CN117080134B - 一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体加工领域，特别涉及一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，包括晶圆承载台，所述晶圆承载台上设置有用于盛放晶圆的晶圆承载座，晶圆承载座内设置有能够上下移动的承托组件，所述晶圆承载台外壁上设置有联动控制组件，所述晶圆承载台上还设置有驱动晶圆承载座移动的驱动组件，当所述驱动组件推动晶圆承载座移动到晶圆承载台的外侧时，联动控制组件同步自动控制承托组件从晶圆承载座内提升出。本发明实现对每个晶圆片进行单独的防护，一方面可以降低整个车间和输送通道的防护要求，其次也避免当车间或者输送通道防护不达标时，造成输送的所有晶圆均受到污染，避免产生重大损失。

Description

一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，具体为一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具。

背景技术

现有晶圆的先进制程，由于其精密性，对于微尘颗粒的容忍性越来越低，运送过程中如果受到微尘颗粒污染，对后续的器件性能有严重的影响，目前晶圆制造过程中需要对放在独立脱机上的晶圆通过载具进行传送，但是晶圆在输送的过程中，易发生氧化污染等问题；

授权公告号为CN214797359U的中国专利公开了一种用于实现高真空的晶圆传送装置，包括处理腔室、传输单元和M个传输腔室，所述M个传输腔室同时连接至处理腔室，所述传输单元使得晶圆在传输腔室和处理腔室之间进行传送；所述处理腔室和传输腔室均包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈之间形成双层密封腔室，所述处理腔室包括连接惰性气源的处理进气口和连接真空泵的处理出气口，所述传输腔室包括连接惰性气源的传输进气口和连接真空泵的传输出气口，所述双层密封腔室包括连接惰性气源的密封进气口和连接真空泵的密封出气口。该实用新型确保处理腔室能够在高真空状态下对晶圆进行处理，提高晶圆质量。

授权公告号为CN211526595U的中国专利公开了一种芯片封装用超高洁净度净化车间，包括车间本体、侧室、条形箱、风机、吸附液箱、操作室、导管、支管、圆罐、侧滑托架、活性炭过滤板、侧板、齿轮、齿条块、棉滤芯和电机。该实用新型设计合理，通过循环流动的气流依次经过浸湿有酸碱中和液的棉滤芯及两个上下分布的活性炭过滤板，能够将经过的空气流中的酸碱气体及浮尘杂质吸附过滤掉，达到车间空气环境净化的效果。

如上述专利，现有技术中，为了避免晶圆氧化，现有的制造车间都需要做到超洁净环境，整个晶圆输送通道都需要做到超真空环境，但是这样的方式，其对整个车间和输送通道的防护要求较高，防护的成本较高，当车间或者输送通道出现防护不达标时，会造成整个输送的大批量的晶圆均受到污染，造成较大的财产损失。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具。

本发明采用以下技术方案，一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，包括晶圆承载台，所述晶圆承载台上设置有用于盛放晶圆的晶圆承载座，晶圆承载座内设置有能够上下移动的承托组件，所述晶圆承载台外壁上设置有联动控制组件，所述晶圆承载台上还设置有驱动晶圆承载座移动的驱动组件，当所述驱动组件推动晶圆承载座移动到晶圆承载台的外侧时，联动控制组件同步自动控制承托组件从晶圆承载座内提升出，当所述驱动组件驱动晶圆承载座移动到晶圆承载台的内部时，联动控制组件同步自动控制承托组件收缩到晶圆承载座内；

所述晶圆承载台正上方设置有上固定盘，所述上固定盘上设置有密封充气组件，当所述驱动组件驱动晶圆承载座移动到晶圆承载台的内部时，配合设置的密封充气组件对晶圆承载座进行密封充气。

作为上述技术方案的进一步描述：所述驱动组件包括转动连接在晶圆承载台上表面的圆盘，所述圆盘上表面边角处转动连接有第一连杆，所述第一连杆远离圆盘的一端转动连接有第二连杆，所述第二连杆的另一端与晶圆承载座固定连接，所述第二连杆的下表面固定有滑块，所述晶圆承载台上表面开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接，所述晶圆承载台的下表面中心处螺栓固定有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿晶圆承载台延伸到外侧并与圆盘固定连接接，以下简称固接。

作为上述技术方案的进一步描述：所述晶圆承载座为管状底部封口结构，所述晶圆承载座底部贯穿开设有条形通孔，所述晶圆承载座侧壁上设置有第一楔形块。

作为上述技术方案的进一步描述：所述联动控制组件包括矩形座，所述矩形座上表面开设有矩形槽，所述矩形座固定在晶圆承载台外壁上，所述矩形槽内部通过转轴转动连接有连动杆，所述连动杆的一端固定有第二楔形块，另一端固定有第三楔形块，所述连动杆靠近第三楔形块的一端下表面固定有第一弹簧，且第一弹簧的另一端与矩形座内部底板相互固定，所述矩形槽顶部中心处固定连接有限位座。

作为上述技术方案的进一步描述：所述承托组件包括圆形座，所述圆形座上表面固定有弧形放置架，所述弧形放置架的内壁上开设有放置槽，所述圆形座下表面固定有环形定位座，所述圆形座下表面中心处设置有第四楔形块，所述圆形座下表面还固定有第二弹簧，所述第二弹簧的底端与晶圆承载座内部底板固定连接，所述圆形座的外壁上设置有密封圈。

作为上述技术方案的进一步描述：所述密封充气组件由密封机构和充气机构组成。

作为上述技术方案的进一步描述：所述密封机构包括开设于上固定盘下表面的圆柱型槽，所述圆柱型槽内设置有密封盖，所述圆柱型槽的内部顶板上嵌设安装有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的底端与密封盖固接。

作为上述技术方案的进一步描述：所述充气机构包括开设于上固定盘内的容纳腔，所述容纳腔为圆柱型结构，所述容纳腔内固定有环形盘管，所述环形盘管上导通连接有气管，所述气管远离环形盘管的一端贯穿密封盖延伸到密封盖的下部，所述气管为可伸缩结构，所述容纳腔内部中心处安装有真空泵，所述真空泵的进气口通过连接管与环形盘管连接，且连接管上设置有电磁阀，所述上固定盘上表面安装有氮气存储罐，所述氮气存储罐为环形结构，所述氮气存储罐通过输送管与环形盘管导通连接，所述输送管上设置有输送泵和流量控制阀。

作为上述技术方案的进一步描述：所述上固定盘上表面中心处开设有与容纳腔相互导通的缺口，所述缺口上卡接固定有上盖，所述上盖上表面中心处开设有透气孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述晶圆承载台与上固定盘之间通过多个连接座固定连接，多个所述连接座等间距分布于晶圆承载台上表面边角处，所述上固定盘侧壁上固定有安装座，所述安装座上开设有安装孔。

在上述技术方案中，本发明提供的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，当将晶圆装配固定在晶圆承载座内后，配合设置的密封充气组件对晶圆承载座进行密封，然后抽出内部空气，注入氮气，对晶圆承载座内存储的晶圆片进行抗氧化保护，从而实现对每个晶圆片进行单独的防护，一方面可以降低整个车间和输送通道的防护要求，其次也避免当车间或者输送通道防护不达标时，造成输送的所有晶圆均受到污染，避免产生重大损失；

进一步的，该具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，当装配待传送的晶圆片时，通过驱动组件自动将位于晶圆承载台上的晶圆承载座移动到晶圆承载台的外侧，从而方便进行晶圆片的装配，并且当晶圆承载座移动到晶圆承载台1的外侧时，配合设置的联动控制组件自动将位于晶圆承载座内的承托组件提升出，进一步地方便了晶圆片的装配，并且当装配完成后，将晶圆承载座移动回晶圆承载台上，还可以自动将承托组件回移到晶圆承载座内，一方面对固定在承托组件上的晶圆片进行保护，其次方便配合设置的密封机构对晶圆承载座进行密封。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释：

图1为本发明实施例提供的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的晶圆承载台的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的晶圆承载座的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的联动控制组件的剖视图；

图5为本发明实施例提供的联动控制组件截面示意图一；

图6为本发明实施例提供的联动控制组件截面示意图二；

图7为本发明实施例提供的承托组件的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的上固定盘的剖视图；

图9为本发明实施例提供的图8中的A区放大图；

图10为本发明实施例提供的图8中的B区放大图。

图中：1、晶圆承载台；2、上固定盘；3、连接座；4、联动控制组件；41、矩形座；42、连动杆；43、第二楔形块；44、第三楔形块；45、第一弹簧；46、矩形槽；47、限位座；5、晶圆承载座；51、第一楔形块；52、条形通孔；6、承托组件；61、圆形座；62、密封圈；63、环形定位座；64、弧形放置架；65、放置槽；66、第四楔形块；67、第二弹簧；7、驱动组件；71、圆盘；72、第一连杆；73、第二连杆；74、驱动电机；75、滑块；76、滑槽；8、密封充气组件；81、密封机构；811、圆柱型槽；812、密封盖；813、电动伸缩杆；82、充气机构；821、容纳腔；822、环形盘管；823、气管；824、真空泵；825、上盖；826、氮气存储罐；827、输送管；828、输送泵；829、流量控制阀；9、安装座。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

实施例1

请参阅图1-图2和图8，本发明实施例提供一种技术方案：一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，包括晶圆承载台1，晶圆承载台1上设置有用于盛放晶圆的晶圆承载座5，晶圆承载座5内设置有能够上下移动的承托组件6，晶圆承载台1外壁上设置有联动控制组件4，晶圆承载台1上还设置有驱动晶圆承载座5移动的驱动组件7，当驱动组件7推动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的外侧时，联动控制组件4同步自动控制承托组件6从晶圆承载座5内提升出，当驱动组件7驱动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的内部时，联动控制组件4同步自动控制承托组件6收缩到晶圆承载座5内；

晶圆承载台1正上方设置有上固定盘2，上固定盘2上设置有密封充气组件8，如图8所示，当驱动组件7驱动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的内部时，配合设置的密封充气组件8对晶圆承载座5进行密封充气。

具体地，该具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具使用时，装配待传送的晶圆时，首先通过驱动组件7推动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的外侧，位于相对应的联动控制组件4上，当驱动组件7推动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的外侧时，联动控制组件4同步自动控制承托组件6从晶圆承载座5内提升出，此时将晶圆放置到承托组件6即可，然后再次控制驱动组件7工作，带动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1上，此时再配合上固定盘2上设置的密封充气组件8，对晶圆承载座5进行密封，然后抽出晶圆承载座5内的空气，注入氮气进行抗氧化保护。

需要说明的是，晶圆承载座5共设置有若干个，且若干个晶圆承载座5呈环形等间距分布，联动控制组件4也设置有若干个，且若干个联动控制组件4与若干个晶圆承载座5为一一对应关系，每个联动控制组件4均位于晶圆承载座5的移动路径上。

实施例2

请参阅图1-图7，该实施例为本发明的第二个实施例，参照图2和图4，驱动组件7包括转动连接在晶圆承载台1上表面的圆盘71，圆盘71上表面边角处转动连接有第一连杆72，第一连杆72远离圆盘71的一端转动连接有第二连杆73，第二连杆73的另一端与晶圆承载座5固定连接，第二连杆73的下表面固定有滑块75，晶圆承载台1上表面开设有滑槽76，滑块75与滑槽76滑动连接，晶圆承载台1的下表面中心处螺栓固定有驱动电机74，驱动电机74的输出轴贯穿晶圆承载台1延伸到外侧并与圆盘71固接；

参照图3，晶圆承载座5为管状底部封口结构，晶圆承载座5底部贯穿开设有条形通孔52，晶圆承载座5侧壁上设置有第一楔形块51；

参照图4-图6，联动控制组件4包括矩形座41，矩形座41上表面开设有矩形槽46，矩形座41固定在晶圆承载台1外壁上，矩形槽46内部通过转轴转动连接有连动杆42，连动杆42的一端固定有第二楔形块43，另一端固定有第三楔形块44，连动杆42靠近第三楔形块44的一端下表面固定有第一弹簧45，且第一弹簧45的另一端与矩形座41内部底板相互固定，矩形槽46顶部中心处固定连接有限位座47；

参照图7，承托组件6包括圆形座61，圆形座61上表面固定有弧形放置架64，弧形放置架64的内壁上开设有放置槽65，圆形座61下表面固定有环形定位座63，圆形座61下表面中心处设置有第四楔形块66，圆形座61下表面还固定有第二弹簧67，第二弹簧67的底端与晶圆承载座5内部底板固定连接，圆形座61的外壁上设置有密封圈62。

具体地，在上述实施例的基础上，通过驱动组件7驱动晶圆承载座5在晶圆承载台1上的移动方式为，通过驱动电机74带动圆盘71转动，圆盘71带动第一连杆72转动，通过第一连杆72拉动第二连杆73移动，第二连杆73带动晶圆承载座5移动，需要说明的是，第二连杆73通过滑块75与晶圆承载台1上开设的滑槽76滑动连接，通过滑块75的限位，使得第二连杆73在第一连杆72的拉动下只能做水平方向的位置移动；

其次联动控制组件4在晶圆承载座5的移动路径上，当晶圆承载座5从晶圆承载台1移动出，就会进入到矩形座41的上表面，当晶圆承载座5继续移动，晶圆承载座5侧壁上设置的第一楔形块51就会挤压矩形座41内第二楔形块43，使得第二楔形块43下移到矩形槽46内，通过第二楔形块43下移推动连动杆42转动，使得第三楔形块44上移（如图5所示），通过第三楔形块44上移抵接在第四楔形块66下表面，带动第三楔形块44上移，通过第三楔形块44上移，带动第四楔形块66上移，通过第四楔形块66带动弧形放置架64上移到晶圆承载座5的外侧，此时第一弹簧45和第二弹簧67均处于拉伸状态，弧形放置架64自动移动到晶圆承载座5的外侧，便于进行晶圆片的放置，然后将晶圆片插入到弧形放置架64内开设的放置槽65内；

控制驱动组件7带动晶圆承载座5移动到晶圆承载台1上，当晶圆承载座5移动时，使得第一楔形块51与第二楔形块43错位，此时在第一弹簧45的回弹力作用下，拉动第三楔形块44下移到初始位置，同步带动第二楔形块43上移到初始位置（如图6所示），当第三楔形块44下移，此时在第二弹簧67的作用下，拉动圆形座61下移，带动弧形放置架64下移到晶圆承载座5内。

需要说明的是，晶圆承载座5下表面开设有配合第三楔形块44使用的条形通孔52，晶圆承载座5移动到矩形座41上时，当第一楔形块51与第二楔形块43接触时，此时第三楔形块44位于条形通孔52的左端，当第二楔形块43完全进入到矩形槽46内，也就是晶圆承载座5移动到远离晶圆承载台1最远的点时，此时第三楔形块44还位于条形通孔52内，从而保证第三楔形块44使用的稳定性。

本实施例中，该具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，当装配待传送的晶圆片时，通过驱动组件7自动将位于晶圆承载台1上的晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的外侧，从而方便进行晶圆片的装配，并且当晶圆承载座5移动到晶圆承载台1的外侧时，配合设置的联动控制组件4自动将位于晶圆承载座5内的承托组件6提升出，进一步地方便了晶圆片的装配，并且当装配完成后，将晶圆承载座5移动回晶圆承载台1上，配合设置的联动控制组件4还可以自动将承托组件6回移到晶圆承载座5内，一方面对固定在承托组件6上的晶圆片进行保护，其次方便配合设置的密封机构81对晶圆承载座5进行密封。

实施例3

请参阅图1和图8-图10，该实施例为本发明的第三个实施例，密封充气组件8由密封机构81和充气机构82组成。

密封机构81包括开设于上固定盘2下表面的圆柱型槽811，圆柱型槽811内设置有密封盖812，圆柱型槽811的内部顶板上嵌设安装有电动伸缩杆813，且电动伸缩杆813的底端与密封盖812固接。

充气机构82包括开设于上固定盘2内的容纳腔821，容纳腔821为圆柱型结构，容纳腔821内固定有环形盘管822，环形盘管822上导通连接有气管823，气管823远离环形盘管822的一端贯穿密封盖812延伸到密封盖812的下部，气管823为可伸缩结构，容纳腔821内部中心处安装有真空泵824，真空泵824的进气口通过连接管与环形盘管822连接，且连接管上设置有电磁阀，上固定盘2上表面安装有氮气存储罐826，氮气存储罐826为环形结构，氮气存储罐826通过输送管827与环形盘管822导通连接，输送管827上设置有输送泵828和流量控制阀829。

上固定盘2上表面中心处开设有与容纳腔821相互导通的缺口，缺口上卡接固定有上盖825，上盖825上表面中心处开设有透气孔。

晶圆承载台1与上固定盘2之间通过多个连接座3固定连接，多个连接座3等间距分布于晶圆承载台1上表面边角处，上固定盘2侧壁上固定有安装座9，安装座9上开设有安装孔。

具体的，在上述实施例的基础上，当将晶圆片固定在承托组件6内，通过驱动组件7带动晶圆承载座5移动晶圆承载台1的上方，使其与圆柱型槽811内设置的密封盖812相对应，此时控制电动伸缩杆813伸长，带动密封盖812下移，通过密封盖812对晶圆承载座5的上部开口进行密封，圆形座61的外壁上设置有密封圈62，通过密封圈62对晶圆承载座5的下部进行密封，从而使得晶圆承载座5内部形成密封状态，然后控制真空泵824工作，通过环形盘管822和气管823抽取晶圆承载座5内的空气，真空泵824的进气口通过连接管与环形盘管822连接，且连接管上设置有电磁阀，通过电磁阀对连接管进行封闭，此时打开流量控制阀829，控制输送泵828工作，将氮气存储罐826内存储的氮气通过环形盘管822和气管823传输到晶圆承载座5内，对内部存储的晶圆进行抗氧化保护。

本实施例中，当将晶圆装配固定在晶圆承载座5内后，配合设置的密封充气组件8对晶圆承载座5进行密封，然后抽出内部空气，注入氮气，对晶圆承载座5内存储的晶圆进行抗氧化保护。

实施例4

请参阅图7，该实施例为本发明的第四个实施例，承托组件6包括圆形座61，圆形座61上表面固定有弧形放置架64，弧形放置架64的内壁上开设有放置槽65，圆形座61下表面固定有环形定位座63，圆形座61下表面中心处设置有第四楔形块66。

具体的，通过设置的弧形放置架64用于放置晶圆片，在使用时，通过弧形放置架64内壁上水平开设的放置槽65进行卡接放置晶圆片，即晶圆片放置在弧形放置架64的内部中心处，这样的放置方式，使得密封盖812下移对晶圆承载座5进行密封时，即使出现故障，也不会挤压在弧形放置架64上，从而不会直接挤压到弧形放置架64上放置的晶圆片上，对晶圆片进行保护，其次下部环形定位座63的设置，用于对圆形座61在晶圆承载座5内下移的高度进行限位，防止圆形座61下移过多，造成第四楔形块66从条形通孔52延伸出，从而影响到晶圆承载座5在驱动组件7的带动下移动。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (9)

1.一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，包括晶圆承载台（1），其特征在于，所述晶圆承载台（1）上设置有用于盛放晶圆的晶圆承载座（5），晶圆承载座（5）内设置有能够上下移动的承托组件（6），所述晶圆承载台（1）外壁上设置有联动控制组件（4），所述晶圆承载台（1）上还设置有驱动晶圆承载座（5）移动的驱动组件（7），当所述驱动组件（7）推动晶圆承载座（5）移动到晶圆承载台（1）的外侧时，联动控制组件（4）同步自动控制承托组件（6）从晶圆承载座（5）内提升出，当所述驱动组件（7）驱动晶圆承载座（5）移动到晶圆承载台（1）的内部时，联动控制组件（4）同步自动控制承托组件（6）收缩到晶圆承载座（5）内；

所述晶圆承载台（1）正上方设置有上固定盘（2），所述上固定盘（2）上设置有密封充气组件（8），当所述驱动组件（7）驱动晶圆承载座（5）移动到晶圆承载台（1）的内部时，配合设置的密封充气组件（8）对晶圆承载座（5）进行密封充气；

驱动组件（7）包括转动连接在晶圆承载台（1）上表面的圆盘（71），所述圆盘（71）上表面边角处转动连接有第一连杆（72），所述第一连杆（72）远离圆盘（71）的一端转动连接有第二连杆（73），所述第二连杆（73）的另一端与晶圆承载座（5）固定连接，所述第二连杆（73）的下表面固定有滑块（75），所述晶圆承载台（1）上表面开设有滑槽（76），所述滑块（75）与滑槽（76）滑动连接，所述晶圆承载台（1）的下表面中心处螺栓固定有驱动电机（74），所述驱动电机（74）的输出轴贯穿晶圆承载台（1）延伸到外侧并与圆盘（71）固接。

2.根据权利要求1所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述晶圆承载座（5）为管状底部封口结构，所述晶圆承载座（5）底部贯穿开设有条形通孔（52），所述晶圆承载座（5）侧壁上设置有第一楔形块（51）。

3.根据权利要求2所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述联动控制组件（4）包括矩形座（41），所述矩形座（41）上表面开设有矩形槽（46），所述矩形座（41）固定在晶圆承载台（1）外壁上，所述矩形槽（46）内部通过转轴转动连接有连动杆（42），所述连动杆（42）的一端固定有第二楔形块（43），另一端固定有第三楔形块（44），所述连动杆（42）靠近第三楔形块（44）的一端下表面固定有第一弹簧（45），且第一弹簧（45）的另一端与矩形座（41）内部底板相互固定，所述矩形槽（46）顶部中心处固定连接有限位座（47）。

4.根据权利要求3所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述承托组件（6）包括圆形座（61），所述圆形座（61）上表面固定有弧形放置架（64），所述弧形放置架（64）的内壁上开设有放置槽（65），所述圆形座（61）下表面固定有环形定位座（63），所述圆形座（61）下表面中心处设置有第四楔形块（66），所述圆形座（61）下表面还固定有第二弹簧（67），所述第二弹簧（67）的底端与晶圆承载座（5）内部底板固定连接，所述圆形座（61）的外壁上设置有密封圈（62）。

5.根据权利要求1所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述密封充气组件（8）由密封机构（81）和充气机构（82）组成。

6.根据权利要求5所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述密封机构（81）包括开设于上固定盘（2）下表面的圆柱型槽（811），所述圆柱型槽（811）内设置有密封盖（812），所述圆柱型槽（811）的内部顶板上嵌设安装有电动伸缩杆（813），且电动伸缩杆（813）的底端与密封盖（812）固接。

7.根据权利要求6所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述充气机构（82）包括开设于上固定盘（2）内的容纳腔（821），所述容纳腔（821）为圆柱型结构，所述容纳腔（821）内固定有环形盘管（822），所述环形盘管（822）上导通连接有气管（823），所述气管（823）远离环形盘管（822）的一端贯穿密封盖（812）延伸到密封盖（812）的下部，所述气管（823）为可伸缩结构，所述容纳腔（821）内部中心处安装有真空泵（824），所述真空泵（824）的进气口通过连接管与环形盘管（822）连接，且连接管上设置有电磁阀，所述上固定盘（2）上表面安装有氮气存储罐（826），所述氮气存储罐（826）为环形结构，所述氮气存储罐（826）通过输送管（827）与环形盘管（822）导通连接，所述输送管（827）上设置有输送泵（828）和流量控制阀（829）。

8.根据权利要求7所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述上固定盘（2）上表面中心处开设有与容纳腔（821）相互导通的缺口，所述缺口上卡接固定有上盖（825），所述上盖（825）上表面中心处开设有透气孔。

9.根据权利要求7所述的一种具有充气密封抗氧化作用晶圆片传送载具，其特征在于，所述晶圆承载台（1）与上固定盘（2）之间通过多个连接座（3）固定连接，多个所述连接座（3）等间距分布于晶圆承载台（1）上表面边角处，所述上固定盘（2）侧壁上固定有安装座（9），所述安装座（9）上开设有安装孔。