KR20100076219A - 카세트 스테이지 및 이를 이용한 스핀 스크러버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트 스테이지 및 이를 이용한 스핀 스크러버에 관한 것으로서, 스핀 스크러버 장치에서 웨이퍼 카세트가 위치하는 카세트 스테이지에 있어서, 웨이퍼 카세트가 각각 안착되는 안착부가 다수로 마련되는 스테이지와, 안착부들간에 웨이퍼 카세트를 이송시키는 카세트 이송부를 포함한다. 따라서, 본 발명은 SMIF 등과 같은 웨이퍼 카세트를 로딩/언로딩하는 장치의 개수를 증가시키지 않더라도 스핀 스크러버에 위치하는 웨이퍼 카세트의 수를 증가시킴으로써 생산성을 향상키고, 대기하는 웨이퍼 카세트를 확보할 수 있게 됨으로써 작업자가 동작시켜야 하는 시간 및 불편함을 감소시키며, 웨이퍼 카세트가 로딩되는 측과 언로딩되는 측을 분리시킴으로써 웨이퍼 카세트의 동선이 겹쳐짐으로 인한 사고 발생을 억제할 뿐만 아니라 동작의 신뢰성을 향상시키는 효과를 가진다.
Figure P1020080134177
스테이지, 로딩 안착부, 스페어 안착부, 언로딩 안착부, 카세트 이송부

Description

카세트 스테이지 및 이를 이용한 스핀 스크러버{CASSETTE STAGE AND SPIN SCRUBBER USING THE SAME}
본 발명은 작업자에 의한 사용의 편리성을 향상시키며, 웨이퍼 카세트의 동선이 겹쳐짐으로 인한 사고 발생을 감소시킴과 아울러 동작의 신뢰성을 향상시키는 카세트 스테이지 및 이를 이용한 스핀 스크러버에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위하여 웨이퍼 상에 소정의 박막을 형성하는 증착 공정, 박막 상에 포토레지스트를 패터닝하는 포토리소그래피 공정, 포토레지스트를 마스크로 사용하여 박막 또는 웨이퍼를 식각하는 식각 공정, 웨이퍼 표면에 도전성 불순물을 이온 주입하는 이온주입 공정 및 각각의 공정에서 유발된 파티클(particle) 또는 폴리머(polymer)와 같은 오염물질을 세정하는 세정 공정 등을 실시하게 된다.
반도체 소자의 제조를 위한 단위 공정 중에서 세정 공정은 화학 물질 또는 초순수(de-ionized water)를 웨이퍼의 표면에 분사하여 오염물질을 제거하거나, 화학 물질 또는 초순수에 웨이퍼를 침전시키거나, 브러싱(brushing) 처리함으로써 웨 이퍼 표면에 부착된 오염물질을 제거하게 된다.
이러한 세정 공정을 수행하는 장치에는 식각 공정 후 남아 있는 포토레지스트를 화학물질 반응가스를 이용하여 제거하는 애싱장치와, 소정의 공정 수행 완료 후 발생되는 파티클을 초순수를 분사하여 제거하는 스핀 스크러버 등이 있는데, 스핀 스크러버는 웨이퍼를 회전시키면서 웨이퍼 표면에 초순수를 분사시키고, 브러싱하여 웨이퍼 표면에 존재하는 파티클을 물리적인 방법으로 제거하게 된다.
종래의 스핀 스크러브를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 기술에 따른 스핀 스크러버를 도시한 평면도이다. 종래의 스핀 스크러버(2)는 일정 개수의 웨이퍼가 장착되는 웨이퍼 카세트(wafer cassette; 1)가 위치되는 카세트 스테이지(cassette stage; 2a)와, 카세트 스테이지(2a)에 위치되는 웨이퍼 카세트(1)에서 웨이퍼를 인출하는 인덱스 아암(index arm; 2b)과, 인덱스 아암(2b)에 의해 인출되는 웨이퍼를 세정 공정을 위해 이송시키는 트랜스퍼 로봇(transfer robot; 2c)과, 트랜스퍼 로봇(2c)에 의해 이송된 웨이퍼에 대한 스크러빙(scrubbing) 세정을 수행하는 세정부(2d)를 포함한다.
카세트 스테이지(2a)는 일측에 설치되는 웨이퍼 카세트(1)의 로딩/언로딩 장치의 일종인 SMIF(standard mechanical interface; 3) 각각으로부터 웨이퍼 카세트(1)가 로딩되어 안착되는 안착부(2e)가 각각 마련된다.
이와 같은 종래의 기술에 따른 스핀 스크러버(2)는 SMIF(3) 각각으로부터 웨이퍼 카세트(1)가 안착부(2e)에 로딩되면, 안착부(2e)상의 웨이퍼 카세트(1)에 장착된 웨이퍼를 인덱스 아암(2b)과 트랜스퍼 로봇(2c)에 의해 세정부(2d)로 이송시 킨 다음, 세정부(2d)에서 웨이퍼를 회전시킴과 아울러 웨이퍼 표면에 초순수 분사 및 브러싱에 의해 웨이퍼 표면에 존재하는 파티클을 물리적으로 제거한다.
스크러빙 세정을 마친 웨이퍼는 트랜스퍼 로봇(2c)과 인덱스 아암(2b)에 의해 웨이퍼 카세트(1)에 장착되어 SMIF(3) 각각으로 언로딩된다.
상기한 바와 같이, 종래의 기술에 따른 스핀 스크러버에 마련된 카세트 스테이지는 안착부 각각에서 웨이퍼 카세트의 로딩 및 언로딩이 실시되며, 이로 인해 웨이퍼 카세트의 로딩/언로딩 장치, 예컨대 SMIF가 2개로 이루어지는 경우 2개의 웨이퍼 카세트만이 사용됨으로써 SMIF의 개수를 늘리지 않는 한 스핀 스크러버에 위치하는 웨이퍼 카세트의 개수를 늘릴 수 없으므로 생산성이 저하되고, 대기하는 웨이퍼 카세트가 없으므로 작업자가 동작시켜야 하는 시간이 늘어날 뿐만 아니라 지속적으로 지켜봐야 하는 불편함을 초래하는 문제점을 가지고 있었다.
또한, 종래의 기술에 따른 스핀 스크러버의 카세트 스테이지는 각각의 안착부에서 서로 상반되는 웨이퍼 카세트의 로딩 및 언로딩이 동시에 수행되므로 사고 발생 우려가 높을 뿐만 아니라 동작의 신뢰성이 저하되는 문제점을 가지고 있었다.
본 발명의 상기한 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, SMIF 등과 같은 웨이퍼 카세트의 로딩/언로딩 장치의 개수를 늘리지 않더라도 스핀 스크러버에 위치하는 웨이퍼 카세트의 개수를 늘릴 수 있도록 함으로써 생산성을 향상키고, 대기하는 웨이퍼 카세트를 확보할 수 있게 됨으로써 작업자가 동작시켜야 하는 시 간 및 불편함을 감소시키며, 웨이퍼 카세트가 로딩되는 측과 언로딩되는 측을 분리시킴으로써 웨이퍼 카세트의 동선이 겹쳐짐으로 인한 사고 발생을 억제할 뿐만 아니라 동작의 신뢰성을 향상시키는 효과를 가진다.
본 발명에 따른 스핀 스크러버의 카세트 스테이지는, 스핀 스크러버 장치에서 웨이퍼 카세트가 위치하는 카세트 스테이지에 있어서, 웨이퍼 카세트가 각각 안착되는 안착부가 다수로 마련되는 스테이지와, 안착부들간에 웨이퍼 카세트를 이송시키는 카세트 이송부를 포함한다.
본 발명에 따른 스핀 스크러버는, 웨이퍼를 스크러빙 세정하는 스핀 스크러버에 있어서, 웨이퍼 카세트가 각각 안착되는 안착부가 다수로 마련되는 스테이지와, 안착부들간에 웨이퍼 카세트를 이송시키는 카세트 이송부를 포함하는 카세트 스테이지를 가진다.
본 발명은 SMIF 등과 같은 웨이퍼 카세트를 로딩/언로딩하는 장치의 개수를 증가시키지 않더라도 스핀 스크러버에 위치하는 웨이퍼 카세트의 수를 증가시킴으로써 생산성을 향상키고, 대기하는 웨이퍼 카세트를 확보할 수 있게 됨으로써 작업자가 동작시켜야 하는 시간 및 불편함을 감소시키며, 웨이퍼 카세트가 로딩되는 측과 언로딩되는 측을 분리시킴으로써 웨이퍼 카세트의 동선이 겹쳐짐으로 인한 사고 발생을 억제할 뿐만 아니라 동작의 신뢰성을 향상시키는 효과를 가진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명에 따른 스핀 스크러버를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2의 A-A'선에 따른 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스핀 스크러버의 카세트 스테이지(100)는 스핀 스크러버 장치에서 웨이퍼 카세트(1) 위치하는 것으로서, 웨이퍼 카세트(1)가 각각 안착되는 안착부(111,112,113,114)가 다수로 마련되는 스테이지(110)와, 안착부(111,112,113,114)들간에 웨이퍼 카세트(1)를 이송시키는 카세트 이송부(120)를 포함한다.
스테이지(110)는 스크러빙 세정을 실시하고자 하거나 스크러빙 세정을 마친 웨이퍼가 장착되는 웨이퍼 카세트(1)가 안착되는 안착부(111,112,113,114)가 상면에 마련되며, 안착부(111,112,113,114) 가장자리에 웨이퍼 카세트(1)를 정렬시키기 위한 정렬 가이드(미도시) 마련될 수 있다.
안착부(111,112,113,114)는 웨이퍼 카세트(1)가 로딩되어 안착되는 로딩 안착부(111)와, 웨이퍼 카세트(1)가 언로딩되기 위하여 안착되는 언로딩 안착부(114)와, 로딩 안착부(111)와 언로딩 안착부(114) 사이에 마련되는 하나 또는 2 이상의 스페어 안착부(112,113)를 포함하며, 로딩 안착부(111), 스페어 안착부(112,113), 언로딩 안착부(114)가 순서적으로 일렬을 이루도록 배열될 수 있다. 따라서, 카세 트 스테이지(110)는 로딩 안착부(111)에 대응되는 측에 웨이퍼 카세트(1)를 로딩시키는 장치, 예컨대 웨이퍼 카세트 로딩용 SMIF(standard mechanical interface; 410)가 설치될 수 있고, 언로딩 안착부(114)에 대응되는 측에 웨이퍼 카세트(1)를 언로딩시키는 장치, 예컨대 웨이퍼 카세트 언로딩용 SMIF(420)가 설치될 수 있다.
카세트 이송부(120)는 안착부(111,112,113,114) 각각에 형성되는 다수의 승강구(121)와, 승강구(121)로부터 상승하여 웨이퍼 카세트(1)를 지지하는 승강판(122)과, 승강판(122)을 승강시키는 제 1 구동부(123)와, 제 1 구동부(123)를 안착부(111,112,113,114)의 배열 방향을 따라 이동시키는 제 2 구동부(124)를 포함한다.
승강구(121)는 안착부(111,112,113,114) 내에 형성되되, 웨이퍼 카세트(1)가 안착부(111,112,113,114)로부터 하측으로 빠지지 않고 지지될 수 있을 정도의 크기나 구조를 가진다.
승강판(122)은 승강구(121)를 통과할 수 있도록 형성되며, 승강구(121)로부터 상승 시 안착부(111,112,113,114)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)의 저면을 지지하여 웨이퍼 카세트(1)가 상승되도록 한다.
제 1 구동부(123)는 일 예로, 승강판(122)의 하부에 피스톤 로드(123a)가 수직되게 고정되어 공압 또는 유압에 의해 피스톤 로드(123a)를 왕복 운동시키는 실린더(123b)로 이루어지며, 제 2 구동부(124)에 의해 직선 운동을 할 때 피스톤 로드(123a)가 지나가도록 스테이지(110)에서 승강구(121)를 서로 연결시키도록 형성된 슬릿(115)을 따라 이동한다.
제 2 구동부(124)는 일 예로, 제 1 구동부(123)가 나사 결합되어 안착부(111,112,113,114)의 배열 방향을 따라 설치됨으로써 회전에 의해 제 1 구동부(123)를 직선 운동시키는 리드스크루(124a)와, 리드스크루(124a)를 회전시키는 모터(124b)를 포함한다.
리드스크루(124a)는 안착부(111,112,113,114)의 아래에 수평되게 위치하여 회전이 가능하도록 설치되고, 제 1 구동부(123)가 직접 나사 결합될 수 있는데, 본 실시예에서처럼 제 1 구동부(123)에 고정되는 별도의 부재, 예컨대 볼 스크루(123c)가 나사 결합됨으로써 정방향 또는 역방향 회전에 의해 볼 스크루(123c)를 제 1 구동부(123)와 함께 직선 왕복 운동시킬 수 있다.
모터(124b)는 다수의 기어에 의해 회전력을 리드스크루(124a)에 전달하거나, 본 실시예에서처럼 벨트, 일 예로 타이밍 벨트(124c)에 의해 회전력을 리드스크루(124a)에 정확하게 전달하며, 이 때, 모터(124b)의 회전축과 리드스크루(124a)에 타이밍 벨트(124c)의 양단을 지지하는 타이밍 풀리(124d)가 각각 고정된다.
제 2 구동부(124)는 제 1 구동부(123)가 안정된 자세로 직선 운동하기 위하여 제 1 구동부(123), 일 예로 실린더(123b)가 슬라이딩 결합되는 가이드(124e)가 리드스크루(124a)와 나란하게 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 스핀 스크러버(10)는 카세트 스테이지(100)와, 카세트 스테이지(100)의 안착부(111,112,113,114)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출하여 이송시키는 웨이퍼 이송부(200)와, 웨이퍼 이송부(200)에 의해 이송되는 웨이퍼에 대한 스크러빙(scrubbing) 세정을 수행하는 세정부(300)를 포함한다.
카세트 스테이지(100)는 로딩 안착부(111)에 대응되는 측에 웨이퍼 카세트 로딩용 SMIF(standard mechanical interface; 410)가 설치될 수 있고, 언로딩 안착부(114)에 대응되는 측에 웨이퍼 카세트(1)를 언로딩시키는 장치, 예컨대 웨이퍼 카세트 언로딩용 SMIF(420)가 설치될 수 있는데, 이러한 카세트 스테이지(100)에 대해서 본 발명에 따른 스핀 스크러버의 카세트 스테이지(100)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 하겠다.
웨이퍼 이송부(200)는 카세트 스테이지(100)의 안착부(111,112,113,114)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)에서 웨이퍼를 인출하는 인덱스 아암(index arm; 210)과, 인덱스 아암(210)에 의해 인출된 웨이퍼를 세정 공정을 위해 세정부(300)로 이송시키는 트랜스퍼 로봇(transfer robot; 220)을 포함한다.
웨이퍼 이송부(200)는 웨이퍼를 인출시키는 웨이퍼 카세트(1)의 위치에 제한이 없고, 미리 설정됨에 따라 로딩 안착부(111), 스페어 안착부(112,113), 언로딩 안착부(114) 중 어느 하나 또는 다수에 위치하는 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출할 수 있다. 이 때, 예를 들면, 웨이퍼 이송부(200)에 의해 로딩 안착부(111)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출하는 경우, 스페어 안착부(112,113) 및 언로딩 안착부(114)에 위치하는 웨이퍼 카세트(1)는 언로딩을 대기하는 버퍼(buffer) 역할을 하게 되며, 언로딩 안착부(114)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출하는 경우 로딩 안착부(111) 및 스페어 안착부(112,113)에 위치하는 웨이퍼 카세트(1)는 스크러빙 세정 공정을 대기하는 버퍼 역할을 하게 된다.
세정부(300)는 일 예로, 다수로 이루어질 수 있고, 각각은 웨이퍼 이송부(200)에 의해 이송된 웨이퍼를 장착하여 회전시킴과 아울러 웨이퍼 일면에 초순수 분사 및 브러싱에 의해 파티클 등을 물리적으로 제거하는 제 1 스피너(spinner; 310)와, 제 1 스피너(310)에 의해 일면에 대한 스크러빙 세정을 마친 웨이퍼를 뒤집는 리버스 유닛(320)과, 리버스 유닛(320)에 의해 뒤집힌 웨이퍼를 장착하여 회전시킴과 아울러 웨이퍼의 다른 일면에 초순수의 분사 및 브러싱에 의해 파티클 등을 물리적으로 제거하는 제 2 스피너(330)를 포함한다.
이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 카세트 스테이지 및 이를 이용한 스핀 스크러버의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 4에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트 로딩용 SMIF(410)에 의해 웨이퍼 카세트(1)가 카세트 스테이지(100)의 로딩 안착부(111)로 로딩되면, 로딩 안착부(111)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)는 실린더(123b)의 동작에 의해 상승하는 승강판(122)에 의해 지지되어 모터(124b)의 구동에 의한 리드스크루(124a)의 회전에 의해 실린더(123b)와 함께 이웃하는 스페어 안착부(112)로 이동하고, 실린더(123b)의 동작에 의해 승강판(122)이 하강함으로써 승강판(122)이 정지된 곳의 스페어 안착부(112)에 안착된다.
스페어 안착부(112)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)는 상기한 동작의 반복에 의해 이웃하는 다른 스페어 안착부(113) 및 언로딩 안착부(114)로 순차적으로 이송되며, 이 때, 웨이퍼 이송부(200)는 설정된 위치의 안착부(111,112,113,114)에 위치하는 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출하여 스크러빙 세정을 위하여 이송시킨 다.
웨이퍼 이송부(200)에 의해 이송되는 웨이퍼는 제 1 스피너(310)에 장착되어 어느 일면에 대한 스크러빙 세정을 수행하고, 리버스 유닛(320)에 의해 뒤집힌 다음, 제 2 스피너(320)로 이송되어 다른 일면에 대한 스크러빙 세정을 수행하며, 다시 웨이퍼 이송부(200)에 의해 웨이퍼 카세트(1)에 장착되어 언로딩 안착부(114)로부터 웨이퍼 카세트 언로딩용 SMIF(420)로 언로딩된다.
한편, 카세트 이송부(120)에 의해서 웨이퍼 카세트(1)가 안착부(111,112,113,114)간에 이송되는 시간적 간격은 웨이퍼 카세트(1)에 장착된 웨이퍼들에 대한 스크러빙 세정에 소요되는 시간, 웨이퍼 카세트(1)의 로딩 또는 언로딩에 소요되는 시간 등을 고려하여 정해질 수 있다.
또한, 웨이퍼 이송부(200)에 의해 예컨대, 로딩 안착부(111)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출하여 스크러빙 공정을 진행하게 될 경우 스페어 안착부(112,113) 및 언로딩 안착부(114)에 위치하는 웨이퍼 카세트(1)는 언로딩을 대기할 수 있는 버퍼(buffer) 역할을 하게 되며, 언로딩 안착부(114)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)에 안착된 웨이퍼 카세트(1)로부터 웨이퍼를 인출하여 스크러빙 공정을 진행하게 될 경우 로딩 안착부(111) 및 스페어 안착부(112,113)에 위치하는 웨이퍼 카세트(1)는 스크러빙 세정 공정을 대기하는 버퍼 역할을 하게 된다.
이상과 같은 본 발명의 실시예에 따르면, SMIF 등과 같은 웨이퍼 카세트를 로딩/언로딩하는 장치의 개수를 증가시키지 않더라도 스핀 스크러버에 위치하는 웨이퍼 카세트의 수를 증가시킴으로써 생산성을 향상키고, 대기하는 웨이퍼 카세트를 확보할 수 있게 됨으로써 작업자가 동작시켜야 하는 시간 및 불편함을 감소시키며, 웨이퍼 카세트가 로딩되는 측과 언로딩되는 측을 분리시킴으로써 웨이퍼 카세트의 동선이 겹쳐짐으로 인한 사고 발생을 억제할 뿐만 아니라 동작의 신뢰성을 향상시킨다.
이상에서와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 기술이 당업자에 의하여 용이하게 변형 실시될 가능성이 자명하며, 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다할 것이다.
도 1은 종래의 기술에 따른 스핀 스크러버를 도시한 평면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 스핀 스크러버를 도시한 평면도이고,
도 3은 도 2의 A-A'선에 따른 단면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 스핀 스크러버의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 카세트 스테이지 110 : 스테이지
111 : 로딩 안착부 112,113 : 스페어 안착부
114 : 언로딩 안착부 115 : 슬릿
120 : 카세트 이송부 121 : 승강구
122 : 승강판 123 : 제 1 구동부
123a : 피스톤 로드 123b : 실린더
123c : 볼 스크루 124 : 제 2 구동부
124a : 리드스크루 124b : 모터
124c : 타이밍 벨트 124d : 타이밍 풀리
124e : 가이드 200 : 웨이퍼 이송부
210 : 인덱스 아암 220 : 트랜스퍼 로봇
300 : 세정부 310 : 제 1 스피너
320 : 리버스 유닛 330 : 제 2 스피너
410 : 웨이퍼 카세트 로딩용 SMIF 420 : 웨이퍼 카세트 언로딩용 SMIF

Claims (7)

  1. 스핀 스크러버 장치에서 웨이퍼 카세트가 위치하는 카세트 스테이지에 있어서,
    상기 웨이퍼 카세트가 각각 안착되는 안착부가 다수로 마련되는 스테이지와,
    상기 안착부들간에 상기 웨이퍼 카세트를 이송시키는 카세트 이송부
    를 포함하는 스핀 스크러버의 카세트 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 안착부는,
    상기 웨이퍼 카세트가 로딩되어 안착되는 로딩 안착부와,
    상기 웨이퍼 카세트가 언로딩되기 위하여 안착되는 언로딩 안착부와,
    상기 로딩 안착부와 상기 언로딩 안착부 사이에 마련되는 하나 또는 2 이상의 스페어 안착부
    를 포함하는 스핀 스크러버의 카세트 스테이지.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트 이송부는,
    상기 스테이지의 안착부 각각에 형성되는 다수의 승강구와,
    상기 승강구로부터 상승하여 상기 웨이퍼 카세트를 지지하는 승강판과,
    상기 승강판을 승강시키는 제 1 구동부와,
    상기 제 1 구동부를 상기 안착부의 배열 방향을 따라 이동시키는 제 2 구동부
    를 포함하는 스핀 스크러버의 카세트 스테이지.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 구동부는,
    상기 승강판 하부에 피스톤 로드가 수직되게 고정되는 실린더로 이루어지고,
    상기 스테이지는,
    상기 피스톤 로드가 지나갈 수 있도록 상기 승강구를 서로 연결시키는 슬릿이 형성되는 스핀 스크러버의 카세트 스테이지.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 구동부는,
    상기 제 1 구동부가 나사 결합되어 상기 안착부의 배열 방향을 따라 설치되며, 회전에 의해 상기 제 1 구동부를 직선 운동시키는 리드스크루와,
    상기 리드스크루를 회전시키는 모터
    를 포함하는 스핀 스크러버의 카세트 스테이지.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 구동부는,
    상기 제 1 구동부가 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 리드스크루와 나란하게 설치되는 가이드
    를 더 포함하는 스핀 스크러버의 카세트 스테이지.
  7. 웨이퍼를 스크러빙 세정하는 스핀 스크러버에 있어서,
    제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 카세트 스테이지를 가지는 스핀 스크러버.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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