JPH11278626A - 搬送装置および移載装置、並びに搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体ウエハを搬送ベルトに対して位置決めさ
れた状態で搬送することができる。 【解決手段】駆動プーリ１１および従動プーリ１２によ
って周回移動する搬送ベルト１３に、周回移動方向に適
当な間隔をあけて複数の貫通孔が全周にわたって設けら
れている。駆動プーリ１１および従動プーリ１２との間
には、内部が真空状態とされる真空ボックス１５が設け
られており、真空ボックス１５上に、真空ガイド体１６
および固定用ボックス１９が設けられている。真空ガイ
ド体１６は、真空ボックス１５と同様に真空状態とされ
て、周回移動する搬送ベルト１３の各貫通孔が真空状態
とされ、半導体ウエハＷは搬送ベルト１３に吸着されて
搬送される。固定用ボックス１９は、搬送ベルト１３の
各貫通孔を真空状態から大気に開放した状態に切り換え
られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、周回移動する搬送
ベルトによって、半導体ウエハ等の薄板状のワークを搬
送する際に好適に使用される搬送装置、および、薄板状
のワークを移載する際に好適に使用される移載装置、さ
らには、それら搬送装置および移載装置を用いた搬送機
構に関する。

【０００２】

【従来の技術】ソーラーセル等の電子部品、集積回路を
製造する際には、通常、加工される半導体ウエハが搬送
ベルトに載せられて、所定の位置にまで搬送されるよう
になっており、所定位置にて、半導体ウエハが、加工さ
れるようになっている。加工された半導体ウエハは、移
載装置によって搬送ベルトから搬出されて、適当な位置
に移載される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このように、搬送ベル
トによって半導体ウエハを搬送する場合には、半導体ウ
エハが薄くて軽量であるために、搬送ベルトとの摩擦力
によって搬送されている間に、搬送ベルトに対する位置
がずれるおそれがある。特に、搬送ベルトを停止させる
際に、半導体ウエハが搬送ベルトに対して位置ずれする
おそれが大きい。このために、搬送ベルト上に載せられ
た状態の半導体ウエハを、所定の位置に停止させて加工
する場合には、搬送ベルトが停止した後に、再度、搬送
ベルトに対して位置決めする必要がある。また、加工さ
れた半導体ウエハを移載装置によって搬送ベルトから所
定位置に移載する際にも、搬送ベルトに対して半導体ウ
エハの位置がずれていると、移載装置によって半導体ウ
エハを確実に移載することができないおそれがある。

【０００４】また、半導体ウエハを搬送ベルト上に移載
する場合、あるいは、搬送ベルトから移載する場合に、
半導体ウエハを保持する際に応力が加わると、薄くて軽
量な半導体ウエハが破損するおそれがある。

【０００５】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、半導体ウエハ等のワークを、位置
ずれさせることなく搬送ベルトにて搬送することができ
る搬送装置を提供することにある。

【０００６】本発明の他の目的は、半導体ウエハ等のワ
ークを、応力を加えることなく移載することができる移
載装置を提供することにある。

【０００７】本発明のさらに他の目的は、半導体ウエハ
等のワークを、破損することなく、所定位置に搬送する
ことができる搬送機構を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
の搬送装置は、ワークが載置された状態で周回移動する
搬送ベルトに、周回移動方向に適当な間隔をあけて複数
の貫通孔が全周にわたって設けられており、ワークの搬
送域において、搬送ベルト上のワークが位置ずれするこ
となく吸着されるように、各貫通孔の内部が真空状態に
されるようになっていることを特徴する。

【０００９】前記ワークは、半導体ウエハ等のような薄
板状物である。各貫通孔の内部は、搬送ベルトが搬送域
の所定位置を移動している間に、真空状態とされる。

【００１０】各貫通孔の内部は、搬送ベルトの搬送域の
所定位置において、ワークを吸着し得る真空状態と大気
に開放された状態とに切り換えられるように構成されて
いる。

【００１１】請求項５に記載の本発明の移載装置は、本
発明の移載装置は、内部が緩やかに減圧される中空の直
方体状をしており、多数の貫通孔が下面全体にわたって
設けられた保持用真空ボックスと、この真空ボックスの
下面に、保持用真空ボックスの内部が緩やかに減圧され
ることによってワークが応力を加えられることなく吸着
されるように、その下面全体を覆った状態で取り付けら
れた通気性を有する通気性保持部材と、を具備すること
を特徴とする。

【００１２】前記ワークは、半導体ウエハ等のような薄
板状物である。前記保持用真空ボックスがブロアによっ
て減圧される。

【００１３】請求項８に記載の本発明の搬送機構は、請
求項１に記載の搬送装置と、請求項５に記載の移載装置
とを具備することを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。

【００１５】図１は、本発明の搬送装置である第１半導
体ウエハ搬送装置１０および第２半導体ウエハ搬送装置
２０を、直列状態に配置して構成された搬送機構を示す
概略側面図である。

【００１６】第１半導体ウエハ搬送装置１０は、一対の
歯付駆動プーリー１１および歯付従動プーリー１２間に
巻掛けられた無端帯状の搬送ベルト１３を有している。
歯付駆動プーリー１１は、サーボモーター１４によって
回転されるようになっており、歯付駆動プーリー１１の
回転によって、搬送ベルト１３が間欠的に周回移動され
る。第２半導体ウエハ搬送装置２０も、同様に、一対の
歯付駆動プーリー２１および歯付従動プーリー２２間に
巻掛けられた無端帯状の搬送ベルト２３を有しており、
歯付駆動プーリー２１が、サーボモーター２４によって
回転されて、搬送ベルト２３が間欠的に周回移動される
ようになっている。

【００１７】第１半導体ウエハ搬送装置１０の搬送ベル
ト１３の搬送域における歯付従動プーリー１２近傍の始
端部上には、半導体ウエハＷ搬入用の本発明の移載装置
３０が設けられており、この移載装置３０によって、半
導体ウエハＷが、１枚ずつ、順次、搬送ベルト１３上に
移載されるようになっている。搬送ベルト１３上に移載
された各半導体ウエハＷは、搬送ベルト１３上に位置決
めされた状態で、順次、搬送される。そして、搬送ベル
ト１３によって搬送される半導体ウエハＷは、搬送域の
中央部にて、一旦停止されて、ソーラーセルに加工され
る。その後、半導体ウエハＷは、搬送ベルト１３によっ
て、その終端部上にまで搬送される。

【００１８】第１半導体ウエハ搬送装置１０の終端部上
には、半導体ウエハＷ移載用の移載装置３０が設けられ
ている。この移載装置３０は、第１半導体ウエハ搬送装
置１０の搬送ベルト１３終端部上に順次搬送される半導
体ウエハＷ（ソーラーセル）を、第２半導体ウエハ搬送
装置２０における搬送ベルト２３の始端部上に順次移載
する。第２半導体ウエハ搬送装置２０の搬送ベルト２３
上に移載された各半導体ウエハ（ソーラーセル）Ｗは、
搬送ベルト２３上に位置決めされた状態で順次搬送さ
れ、搬送ベルト２３の所定位置に達した３枚の半導体ウ
エハ（ソーラーセル）Ｗが、搬出用移載装置４０によっ
て、一括して作業台上に移載されるようになっている。
作業台では、所定の枚数の半導体ウエハ（ソーラーセ
ル）Ｗが相互に連結されて、太陽電池パネルとされる。

【００１９】図２は、第１半導体ウエハ搬送装置１０に
おける要部の縦断面図、図３はその横断面図である。搬
送ベルト１３の背面側には、それぞれが幅方向に沿って
延びる複数の歯部１３ａが、長手方向に一定の間隔をあ
けて、全周にわたって設けられるとともに、各歯部１３
ａを、幅方向の各側部および中央部にてそれぞれ分割す
る一対の溝部１３ｂが、全周にわたってそれぞれ設けら
れている。従って、搬送ベルト１３の各歯部１３ａは、
一対の溝部１３ｂによって、搬送ベルト１３の幅方向に
３分割された状態になっている。搬送ベルト１３の各歯
部１３ａは、歯付駆動プーリー１１および歯付従動プー
リー１２にそれぞれ設けられた各歯部に係合して間欠的
に周回移動する。

【００２０】搬送ベルト１３には、各歯部１３ａを分割
する各溝部１３ｂに沿って、複数の貫通孔１３ｃが、周
方向に一定の間隔をあけて、全周にわたってそれぞれ設
けられている。従って、各貫通孔１３ｃは、搬送ベルト
１３の周方向に沿って２本の列状に並んだ状態になって
いる。

【００２１】第１半導体ウエハ搬送装置１０における搬
送ベルト１３内の下部には、上下方向の厚さが薄くなっ
た中空直方体状の真空ボックス１５が、歯付駆動プーリ
ー１１と歯付従動プーリー１２との間にわたって設けら
れている。また、その真空ボックス１５の各端部および
中央部上には、中空直方体状の固定用ボックス１９がそ
れぞれ載置されている。真空ボックス１５の各端部に設
けられた固定用ボックス１９と、真空ボックス１５の中
央部に設けられた固定用ボックス１９との間には、直線
状に延びる直方体状をした一対の真空ガイド体１６がそ
れぞれ配置されている。

【００２２】対をなす各真空ガイド体１６は、真空ボッ
クス１５の上面における幅方向中央部に沿って一定の間
隔が形成されるように、相互に平行に配置されており、
それぞれが中実状に構成されている。対をなす各真空ガ
イド体１６によって真空ボックス１５の幅方向中央部上
に形成された間隙内には、搬送ベルト１３の各歯部１３
ａにおける一対の溝部１３ｂにて挟まれた幅方向中央部
が嵌入している。各真空ガイド体１６の上部には、それ
ぞれの外側の側縁部に沿って、搬送ベルト１３の各歯部
１３ａにおける幅方向の各側部が嵌入するガイド溝部１
６ａがそれぞれ設けられている。搬送ベルト１３は、各
歯部１３ａにおける中央部および各側部が、各真空ガイ
ド体１６の間隙内および各ガイド溝部１６ａ内にそれぞ
れ嵌合した状態で搬送される。

【００２３】各真空ガイド体１６の上面には、搬送ベル
ト１３の周方向に沿った各貫通孔１３ｃの２本の列にそ
れぞれ対向するように、２本の通気溝１６ｂが、それぞ
れ、長手方向の全体にわたって設けられている。各通気
溝１６ｂには、それぞれが上下方向に沿って延びる複数
の通気孔１６ｃの上端部が連通している。各通気孔１６
ｃは、長手方向に一定の間隔をあけてそれぞれ設けられ
ており、各通気孔１６ｃの下端は、各真空ガイド体１６
の下面から下方に向かって開口している。隣接する通気
孔１６ｃの配置間隔は、搬送ベルト１３に設けられた各
貫通孔１３ｃの配置間隔よりも大きくなっている。

【００２４】中空の真空ボックス１５の上面には、各真
空ガイド体１６に２本の列状に並んで配置された各通気
孔１６ｃにそれぞれ対向するように、２本の列状に並ん
だ複数の貫通孔１５ａが設けられている。従って、各貫
通孔１５ａが、各通気孔１６ｃをそれぞれ介して、各真
空ガイド体１６の上面に設けられた各通気溝１６ｂに連
通している。

【００２５】図４は、各固定用ボックス１９の幅方向中
央部に沿った断面図である。各固定用ボックス１９の上
面における幅方向中央部には、搬送ベルト１３の周回方
向に沿って直線状に延びる中央ガイド溝１９ａが設けら
れており、この中央ガイド溝１９ａに、搬送ベルト１３
の各歯部１３ａにおける一対の溝部１３ｂにて挟まれた
幅方向中央部が嵌入するようになっている。各固定用ボ
ックス１９の上面におけるそれぞれの外側の側縁部に
は、搬送ベルト１３の周回方向に沿って側部ガイド溝１
９ｂがそれぞれ設けられている。各側部ガイド溝１９ｂ
には、搬送ベルト１３の各歯部１３ａにおける幅方向の
各側部が嵌入するようになっており、搬送ベルト１３
は、各歯部１３ａにおける中央部および各側部が、各固
定用ボックス１９の中央ガイド溝１９ａおよび各側部ガ
イド溝１９ｂ内に案内されて搬送される。

【００２６】各固定用ボックス１９の上面には、搬送ベ
ルト１３の周方向に沿った各貫通孔１３ｃの２本の列に
それぞれ対向するように、２本の通気溝１９ｃが、それ
ぞれ、搬送ベルト１３の周回方向に沿って設けられてい
る。各通気溝１９ｃは、固定用ボックス１９の上面に、
搬送ベルト１３の周回方向に沿って一定の間隔をあけて
設けられた複数の通気孔１９ｄによって、固定用ボック
ス１９の内部に連通している。

【００２７】図１に示すように、各固定用ボックス１９
が載置された真空ボックス１５の内部は、真空ポンプ１
７によって真空状態にされるようになっている。また、
各固定用ボックス１９は、それぞれ、ソレノイド弁１８
を介して、真空ボックス１５の内部と連通している。各
ソレノイド弁１８は、ソレノイドによって、真空ボック
ス１５の内部と各固定用ボックス１９の内部とをそれぞ
れ連通した状態と、真空ボックス１５に通じる配管を閉
鎖して、各固定用ボックス１９に通じる配管を大気中に
開放した状態の２位置にそれぞれ切り換えられるように
なっている。各固定用ボックス１９の内部は、各ソレノ
イド弁１８を介して真空ボックス１５の内部に連通する
ことにより、それぞれ、真空ボックス１５の内部と同様
の真空状態とされ、また、各ソレノイド弁１８によって
大気中に開放されることによって、内部の真空状態が解
除される。

【００２８】第２半導体ウエハ搬送装置２０の搬送ベル
ト２３も、第１半導体ウエハ搬送装置の搬送ベルト１３
と同様の構成の歯付きベルトによって構成されており、
一対の溝部２３ｂ（図４参照）が全周にわたって設けら
れるとともに、各溝部２３ｂに連通する複数の貫通孔２
３ｃ（図４参照）が、周方向に一定の間隔をあけて、全
周にわたってそれぞれ設けられている。

【００２９】図１に示すように、第２半導体ウエハ搬送
装置２０における搬送ベルト２３の内部にも、第１半導
体ウエハ搬送装置１０と同様の構成になった真空ボック
ス２５が設けられており、また、真空ボックス２５上に
は、搬送ベルト２３の搬送方向中央部と各端部との間に
わたってそれぞれ延びる一対の固定用ボックス２９がそ
れぞれ設けられている。各固定用ボックス２９は、前述
した第１半導体ウエハ搬送装置１０における各固定用ボ
ックス１９と同様の横断面構造であって、各固定用ボッ
クス１９よりも長く構成されている。各固定用ボックス
２９の上面には、搬送ベルト２３の各歯部２３ａにおけ
る中央部および各側部がそれぞれ嵌合される中央ガイド
溝２９ａ（図４参照）および各側部ガイド溝２９ｂ（図
４参照）がそれぞれ設けられており、搬送ベルト２３の
各歯部２３ａにおける中央部および各側部が、中央ガイ
ド溝２９ａおよび各側部ガイド溝２９ｂ内にそれぞれ嵌
合されて、搬送ベルト２３が、中央ガイド溝２９ａおよ
び各側部ガイド溝２９ｂによって案内されて搬送される
ようになっている。

【００３０】各固定用ボックス２９の上面には、搬送ベ
ルト２３の周方向に沿った各貫通孔２３ｃの２本の列に
それぞれ対向するように、２本の通気溝２９ｃ（図４参
照）が、それぞれ、搬送ベルト２３の周回方向に沿って
設けられている。各通気溝２９ｃは、固定用ボックス２
９の上面に、搬送ベルト２３の周回方向に沿って一定の
間隔をあけて設けられた複数の通気孔２９ｄ（図４参
照）によって、固定用ボックス２９の内部に連通してい
る。

【００３１】各固定用ボックス２９が載置された真空ボ
ックス２５の内部は、図１に示すように、真空ポンプ２
７によって真空状態にされるようになっている。また、
各固定用ボックス２９は、それぞれ、ソレノイド弁２８
を介して、真空ボックス２５の内部と連通している。各
ソレノイド弁２８は、ソレノイドによって、真空ボック
ス２５の内部と各固定用ボックス２９の内部とをそれぞ
れ連通した状態と、真空ボックス２５に通じる配管を閉
鎖して、各固定用ボックス２９に通じる配管を大気中に
開放した状態の２位置にそれぞれ切り換えられるように
なっている。各固定用ボックス２９の内部は、各ソレノ
イド弁２８によって、真空ボックス２５の内部に連通す
ることにより、それぞれ、真空ボックス２５の内部と同
様の真空状態とされ、、各ソレノイド弁２８によって大
気中に開放されることによって、内部の真空状態が解除
される。

【００３２】第１半導体ウエハ搬送装置１０の始端部上
に半導体ウエハＷを搬入する搬入用の移載装置３０、お
よび、第１半導体ウエハ搬送装置１０の終端部上に搬送
された半導体ウエハＷを第２半導体ウエハ搬送装置２０
の始端部上に移載する移載装置３０は、それぞれ、同様
の構成になっている。図５は、その移載装置３０の断面
図である。この移載装置３０は、図示しない支持機構に
よって、水平方向および垂直方向に移動可能になった水
平保持板３１に、エアーシリンダ３２が垂直に支持され
ている。エアーシリンダ３２は、ピストンロッド３２ａ
の進出方向が下方になっており、そのピストンロッド３
２ａの下端部に、保持用真空ボックス３３が取り付けら
れている。保持用真空ボックス３３は、上下方向が薄く
なった中空の直方体状に構成されており、ピストンロッ
ド３２ａの下端部に水平に取り付けられている。保持用
真空ボックス３３の下面は、１枚の半導体ウエハＷを保
持し得る大きさになっとおり、その下面には、多数の貫
通孔３３ａが設けられている。

【００３３】保持用真空ボックス３３の下面には、平板
状をした通気性保持部材３４が、保持用真空ボックス３
３の下面全体を覆うように取り付けられている。この通
気性保持部材３４は、例えば、通気性を有する柔軟なス
ポンジによって構成されている。

【００３４】保持用真空ボックス３３の上面における一
方の側部には、通気孔３３ｂが設けられている。この通
気孔３３ｂには、通気管３６の端部が接続されており、
この通気管３６が、図１に示すように、ソレノイド弁３
８を介してブロア３７に接続されている。

【００３５】ソレノイド弁３８は、保持用真空ボックス
３３とブロア３７とを通気管３６を介して連通する状態
と、保持用真空ボックス３３の内部を大気に開放した状
態とに切り換えられるようになっている。そして、保持
用真空ボックス３３の内部がブロア３７と連通した状態
になると、保持用真空ボックス３３内がブロア３７によ
って緩やかに減圧された状態になり、１枚の半導体ウエ
ハＷが、通気性保持部材３４に吸着保持される。

【００３６】第２半導体ウエハ搬送装置２０の搬送ベル
ト２３の上方域には、搬送ベルト２３上を搬送される３
枚の半導体ウエハＷを同時に保持して搬出する搬出用移
載装置４０が設けられている。図６は、この搬出用移載
装置４０の断面図である。の搬出用移載装置４０では、
図示しない支持機構によって水平方向および垂直方向に
移動される水平保持板４１に、エアーシリンダ４２が垂
直に支持されている。エアーシリンダ４２は、ピストン
ロッド４２ａの進出方向が下方になっており、そのピス
トンロッド４２ａの下端部に、保持用真空ボックス４３
が取り付けられている。保持用真空ボックス４３は、上
下方向が薄くなった中空の直方体状に構成されており、
ピストンロッド４２ａの下端部に水平に取り付けられて
いる。保持用真空ボックス４３の下面は、３枚の半導体
ウエハＷを保持し得る大きさになっており、その下面に
は、多数の貫通孔４３ａが設けられている。

【００３７】保持用真空ボックス４３の下面には、平板
状をした通気性保持部材４４が、保持用真空ボックス４
３の下面全体を覆うように取り付けられている。この通
気性保持部材４４は、例えば、通気性を有する柔軟なス
ポンジによって構成されている。

【００３８】水平保持板４１には、エアーシリンダ４２
を挟んで一対のスライドロッド４５が、それぞれ垂直に
支持されている。各スライドロッド４５は、水平保持板
４１に対してスライド可能に支持されており、それぞれ
の下端部が、保持用真空ボックス４３の上面に取り付け
られている。

【００３９】保持用真空ボックス４３の上面における両
側部には、通気孔４３ｂがそれぞれ設けられている。各
通気孔４３ｂには、各通気管４６の各端部がそれぞれ接
続されており、各通気管４６が、図１に示すように、一
括されて、ソレノイド弁４８を介してブロア４７に接続
されている。

【００４０】ソレノイド弁４８は、保持用真空ボックス
４３とブロア４７とを各通気管４６を介して連通する状
態と、保持用真空ボックス４３の内部を大気に開放した
状態とに切り換えられるようになっている。そして、保
持用真空ボックス４３の内部がブロア４７と連通した状
態になると、保持用真空ボックス４３内がブロア４７に
よって減圧された状態になり、３枚の半導体ウエハＷ
が、通気性保持部材４４に吸着保持されるようになって
いる。

【００４１】このような構成の装置において、半導体ウ
エハＷを搬送する際には、第１半導体ウエハ搬送装置１
０および第２半導体ウエハ搬送装置２０の各真空ポンプ
１７および２７がそれぞれ駆動されて、各真空ボックス
１５および２５の内部が、それぞれ真空状態とされてい
る。このような状態になると、搬入用の移載装置３０
は、保持用真空ボックス３３の内部がブロア３７によっ
て緩やかに減圧状態とされることによって、通気性保持
部材３４に半導体ウエハＷを吸着保持し、第１半導体ウ
エハ搬送装置１０における搬送ベルト１３の始端部上に
まで移動される。移載装置３０が搬送ベルト１３の始端
部上に移動されると、エアーシリンダ３２が駆動される
ことによって、保持用真空ボックス３３全体が下降さ
れ、搬送ベルト１３に近接した状態とされる。

【００４２】このとき、搬送ベルト１３は、周回移動が
停止された状態になっており、また、搬送ベルト１３の
始端部に位置する固定用ボックス１９の内部は、ソレノ
イド弁１８によって大気に開放された状態になってい
る。

【００４３】このような状態になると、搬入用の移載装
置３０のソレノイド弁３８が切り換えられて、保持用真
空ボックス３３の内部が大気に開放される。これによ
り、保持用真空ボックス３３の内部の緩やかな減圧状態
が解除され、通気性保持部材３４による半導体ウエハの
吸着状態が解除され、半導体ウエハＷは、自重によっ
て、搬送ベルト１３上に移載される。このとき、半導体
ウエハＷは、薄くて軽量であるために、搬送ベルト１３
上に緩やかに移載される。

【００４４】その後、搬送ベルト１３の始端部に位置す
る固定用ボックス１９と真空ボックス１５との間に設け
られたソレノイド弁１８が切り換えられて、真空ボック
ス１５の内部が、固定用ボックス１９の内部と連通され
る。真空ボックス１５の内部は、真空ポンプ１７によっ
て真空状態になっているために、ソレノイド弁１８が切
り換えられて固定用ボックス１９の内部が真空ボックス
１５の内部と連通すると、固定用ボックス１９の内部が
真空状態になる。これにより、固定用ボックス１９の上
面に設けられた通気孔１９ｄおよび通気溝１９ｃ内が真
空状態になり、搬送ベルト１３に設けられて固定用ボッ
クス１９の上面と対向した状態になった各貫通孔１３ｃ
が真空状態とされ、搬送ベルト１３上に移載された半導
体ウエハＷは、真空状態になった各貫通孔１３ｃに吸着
されて、搬送ベルト１３の所定位置に位置決めされた状
態で固定される。

【００４５】このような状態になると、搬送ベルト１３
が周回移動され、搬送ベルト１３上の半導体ウエハＷ
は、搬送ベルト１３の真空になった各貫通孔１３ｃに吸
着された状態で搬送される。半導体ウエハＷは、搬送ベ
ルト１３の周回移動されることにより、固定用ボックス
１９から、一対の真空ガイド体１６上に移動した状態に
なる。そして、搬送ベルト１３上の半導体ウエハＷが所
定の距離だけ移動すると、搬送ベルト１３の周回移動
が、一旦、停止されて、前述した動作と同様の動作によ
って、半導体ウエハＷが搬入用の移載装置３０から搬送
ベルト１３上に移載される。以後、同様の動作が繰り返
され、搬送ベルト１３が間欠的に周回移動されることに
よって、搬送ベルト１３上には、半導体ウエハＷが、一
定の間隔をあけた状態で、順次、載置されて、位置決め
された状態で搬送される。

【００４６】搬送ベルト１３が各真空ガイド体１６上を
移動する際には、真空ボックス１５と連通状態になった
各真空ガイド体１６の内部が真空状態になっていること
により、搬送ベルト１３に設けられた貫通孔１３ｃの内
部が、各真空ガイド体１６に設けられた通気孔１６ｃお
よび通気溝１６ｂによって真空状態とされ、搬送ベルト
１３上に載置された半導体ウエハＷは、真空状態になっ
た各貫通孔１３ｃに吸着された状態で搬送される。従っ
て、半導体ウエハＷは、搬送ベルト１３によって搬送さ
れている間、搬送ベルト１３との間に摩擦力が働くこと
なく、搬送ベルト１３上の所定位置に位置決めされた状
態で安定的に搬送される。

【００４７】搬送ベルト１３によって搬送される半導体
ウエハＷは、搬送ベルト１３の搬送域中央部に設けられ
た固定用ボックス１９上に達すると、搬送ベルト１３の
周回移動は停止される。固定用ボックス１９は、半導体
ウエハＷが移動される際には、その内部がソレノイド弁
１８を介して真空ボックス１５に連通した状態になって
おり、従って、固定用ボックス１９の内部は真空状態に
なっている。従って、搬送ベルト１３が停止される際に
は、半導体ウエハＷは、固定用ボックス１９内の真空状
態に吸着されているために、その位置がずれるおそれが
ない。停止された搬送ベルト１３上の半導体ウエハＷに
は、所定の加工作業が実施されて、ソーラーセルに加工
される。

【００４８】半導体ウエハＷに対する所定の加工作業が
終了すると、搬送ベルト１３が移動されて、ソーラーセ
ルに加工された半導体ウエハＷは、各真空ガイド体１６
に設けられた通気孔１６ｃおよび通気溝１６ｂ内の真空
状態によって吸着された状態で、搬送ベルト１３上を搬
送される。

【００４９】半導体ウエハＷが、搬送ベルト１３の終端
部に設けられた固定用ボックス１９上に達すると、搬送
ベルト１３の周回移動は停止される。固定用ボックス１
９は、半導体ウエハＷが移動される際には、その内部が
ソレノイド弁１８を介して真空ボックス１５に連通した
状態になっており、従って、固定用ボックス１９の内部
は真空状態になっている。従って、搬送ベルト１３が停
止される際には、半導体ウエハＷは、固定用ボックス１
９内の真空状態に吸着されているために、その位置がず
れるおそれがない。

【００５０】搬送ベルト１３が停止されると、ソレノイ
ド弁１８が切り換えられて、固定用ボックス１９による
半導体ウエハＷの吸着状態が解除される。このような状
態になると、搬送ベルト１３の終端部上に設けられた移
載装置３０の保持用真空ボックス３３が下降されて、通
気性保持部材３４が、搬送ベルト１３の終端部上に位置
する半導体ウエハＷに近接した状態とされる。これと同
時に、保持用真空ボックス３３の内部がブロア３７によ
って緩やかに減圧されるように、ソレノイド弁３８が切
り換えられる。そして、保持用真空ボックス３３の内部
が、ブロア３７によって緩やかに減圧されると、搬送ベ
ルト１３の終端部上に位置する半導体ウエハＷが、移載
装置３０の通気性保持部材３４に吸着保持される。

【００５１】この場合、半導体ウエハＷは、ブロア３７
による保持用真空ボックス３３の内部の緩やかな減圧状
態によって通気性保持部材３４に吸着されるために、半
導体ウエハＷ自体に応力が加わるおそれがない。

【００５２】通気性保持部材３４に半導体ウエハＷが吸
着された移載装置３０は、第２半導体ウエハ搬送装置２
０における搬送ベルト２３の始端部上に搬送されて、通
気性保持部材３４に吸着された半導体ウエハＷが搬送ベ
ルト１３の表面に接近するように、保持用真空ボックス
３３が下降される。このとき、第２半導体ウエハ搬送装
置２０の搬送ベルト２３は、停止した状態になってお
り、また、搬送ベルト２３の搬送方向上流側に位置する
固定用ボックス２９の内部は、ソレノイド弁２８によっ
て大気に開放された状態になっている。

【００５３】移載装置３０に保持された半導体ウエハＷ
が、搬送ベルト２３に近接した状態になると、ソレノイ
ド弁３８が切り換えられて、保持用真空ボックス３３の
内部が大気に開放される。これにより、通気性保持部材
３４による半導体ウエハＷの吸着が解除され、半導体ウ
エハＷは、搬送ベルト２３上に移載される。

【００５４】半導体ウエハＷが搬送ベルト２３上に移載
されると、第２半導体ウエハ搬送装置２０の搬送方向上
流側に固定用ボックス２９と真空ボックス２５との間に
設けられたソレノイド弁２８が切り換えられて、固定用
ボックス２９の内部と真空ボックス２５とが連通され、
固定用ボックス２９の内部が真空状態とされる。これに
より、固定用ボックス２９の上面に設けられた通気孔２
９ｄおよび通気溝２９ｃ内がそれぞれ真空状態になり、
搬送ベルト２３に設けられて固定用ボックス２９の上面
と対向した状態になった各貫通孔２３ｃの内部が真空状
態とされ、搬送ベルト１３上に移載された半導体ウエハ
Ｗは、真空状態になった各貫通孔２３ｃに吸着されて、
搬送ベルト２３上に位置決めされた状態で固定される。

【００５５】半導体ウエハＷが固定用ボックス２９によ
って位置決めされると、搬送ベルト２３が周回移動さ
れ、搬送ベルト２３上の半導体ウエハＷが所定の距離だ
け移動すると、搬送ベルト２３の周回移動が、一旦、停
止されて、前述した動作と同様の動作によって、半導体
ウエハＷが移載装置３０によって、第１半導体ウエハ搬
送装置１０から第２半導体ウエハ搬送装置２０の搬送ベ
ルト２３上に移載される。以後、このように、搬送ベル
ト２３の間欠移動に同期して、ソレノイド弁２８が順次
切り換えられることによって、搬送ベルト２３上には、
順次、半導体ウエハＷが移載され、搬送ベルト２３上に
は、各半導体ウエハＷが一定の間隔をあけて、位置決め
された状態で配置される。

【００５６】搬送ベルト２３上に配置された各半導体ウ
エハＷは、順次、間欠的に搬送されて、第２半導体ウエ
ハ搬送装置２０の搬送方向下流側に位置する固定用ボッ
クス２９上に、順次、移動される。第２半導体ウエハ搬
送装置２０の搬送方向下流側に位置する固定用ボックス
２９は、搬送ベルト２３によって半導体ウエハＷが搬送
されている間は、その内部が真空状態になるように、ソ
レノイド弁２８が切り換えられて、搬送ベルト２３上の
半導体ウエハＷが位置決めされた状態で固定されてい
る。

【００５７】このようにして、搬送方向下流側に位置す
る固定用ボックス２９上に３枚の半導体ウエハＷが搬送
されると、搬送ベルト２３が停止されて、搬送方向下流
側に位置する固定用ボックス２９内の真空状態が解除さ
れる。このような状態になると、搬出用移載装置４０の
通気性保持部材４４が、搬送ベルト２３上の３枚の半導
体ウエハＷに接近するように移動される。そして、３枚
の半導体ウエハＷに通気性保持部材４４が近接した状態
になると、保持用真空ボックス４３とブロア４７との間
に設けられたソレノイド弁４８が切り換えられて、保持
用真空ボックス４３の内部がブロア４７と連通され、保
持用真空ボックス４３の内部が、ブロア４７によって緩
やかに減圧される。これにより、搬出用移載装置４０の
通気性保持部材４４の下方が緩やかに減圧されて、通気
性保持部材４４に近接した３枚の半導体ウエハＷが通気
性保持部材４４に吸着される。その後、エアーシリンダ
４２によって保持用真空ボックス４３が上昇されるとと
もに、エアーシリンダ４２が所定位置にまで搬送され
て、通気性保持部材４４に吸着された３枚の半導体ウエ
ハＷは、所定の作業位置にまで搬送される。

【００５８】このように、各移載装置３０および搬出用
移載装置４０は、各ブロア３７および４７による緩やか
な減圧状態を利用して、半導体ウエハＷを吸着保持して
移載するようになっているために、吸着保持される半導
体ウエハＷに応力が加わるおそれがなく、半導体ウエハ
Ｗが損傷するおそれがない。

【００５９】また、第１半導体ウエハ搬送装置１０は、
移載された半導体ウエハＷを真空によって、位置決めさ
れた固定状態で搬送されるために、半導体ウエハＷを移
載する際、あるいは、半導体ウエハＷを加工する際に、
位置決めするような必要がなく、半導体ウエハＷの移載
作業および加工作業の効率が著しく向上する。

【００６０】図７は、第１半導体ウエハ搬送装置１０の
他の例を示す一部破断側面図、図８は、その横断面図で
ある。この第１半導体ウエハ搬送装置１０では、中空直
方体状の真空ボックス１５上に設けられた一対の真空ガ
イド体１６が、真空ボックス１５の長手方向の全長にわ
たって設けられており、前述した固定用ボックス１９が
設けられていない。各真空ガイド体１６の各端部および
中央部には、上下方向に延びる１本の移載用通気孔１６
ｆ（図６においては、真空ガイド体１６の中央部に設け
られた移載用通気孔を示す）がそれぞれ設けられてお
り、また、各真空ガイド体１６の各端部に設けられた移
載用通気孔１６ｆと、中央部に設けられた移載用通気孔
１６ｆとの間には、上下方向に沿って延びる複数本の通
気孔１６ｃが、一定の間隔をあけて、それぞれ設けられ
ている。各移載用通気孔１６ｆおよび各通気孔１６ｃ
は、搬送ベルト１３に設けられた各貫通孔１３ｃの列に
沿って設けられている。

【００６１】各真空ガイド体１６の上面には、各移載用
通気孔１６ｆおよび各通気孔１６ｃがそれぞれ連通する
通気溝部１６ｇが、搬送ベルト１３に設けられた各貫通
孔１３ｃの列に沿って、それぞれ設けられている。各通
気溝部１６ｇは、例えば、搬送ベルト１３の長手方向に
沿って連続して設けられた３つの貫通孔１３ｃが対向し
得るように、搬送ベルト１３の長手方向に沿った長さに
形成されており、各通気溝部１６ｇ同士は、相互に分離
している。

【００６２】各通気孔１６ｃは、真空ボックス１５の上
面に設けられた各貫通孔１５ａに対向した状態になって
いるが、各移載用通気孔１６ｆの下端面は、真空ボック
ス１５の上面にて閉鎖されている。

【００６３】各移載用通気孔１６ｆは、各真空ガイド体
１６の側面に開口した連通孔１６ｈにそれぞれ連通して
おり、この連通孔１６ｈは、ソレノイド弁１８を介し
て、それぞれ真空ポンプ１７に接続されている。ソレノ
イド弁１８は、前述した実施の形態における固定用ボッ
クス１９と真空ポンプ１７との間に設けられたソレノイ
ド弁１８と同様の構成になっており、連通孔１６ｈが真
空ポンプ１７と連通する状態と、大気に開放される状態
とに切り換えられるようになっている。真空ボックス１
５の下面には、真空ポンプ１７に接続された貫通孔１５
ｃが設けられており、真空ポンプ１７によって真空ボッ
クス１５の内部が真空状態とされる。

【００６４】このような構成の第１半導体ウエハ搬送装
置１０も、半導体ウエハＷが搬送ベルト１３上に半導体
ウエハＷが搬入されると、各ソレノイド弁１８が真空ポ
ンプ１７に連通するように切り換えられて、各移載用通
気孔１６ｆの内部が真空状態とされることによって、搬
送ベルト１３の貫通孔１３ｃ内が真空状態とされ、半導
体ウエハＷは搬送ベルト１３上に位置決めされた状態で
固定される。反対に、搬送ベルト１３にて搬送される半
導体ウエハＷを搬出する際には、各移載用通気孔１６ｆ
の内部が大気に開放され、搬送ベルト１３の貫通孔１３
ｃによる半導体ウエハＷの吸着が解除される。

【００６５】

【発明の効果】本発明の搬送装置は、このように、搬送
ベルト上のワークが、搬送ベルトに設けられた貫通孔が
真空状態になることによって、搬送ベルト上に吸着され
た状態で搬送されるために、ワークが搬送ベルトに対す
る位置がずれるおそれがない。従って、半導体ウエハ等
のワークの移載作業、加工作業等を効率よく実施するこ
とができる。

【００６６】本発明の移載装置は、保持用真空ボックス
の内部が緩やかに減圧されることによって、通気性保持
部材にワークが吸着されるようになっているために、ワ
ークに応力が加わるおそれがなく、ワークが破損するお
それがない。

【００６７】本発明の搬送機構は、搬送ベルトの所定位
置に位置決めされて搬送されるワークが、移載装置によ
って、確実に、しかも、ワークを破損させることなく、
移載することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送機構の実施の形態の一例を示す概
略構成図である。

【図２】その搬送機構に使用される第１半導体ウエハ搬
送装置の要部の一部破断側面図である。

【図３】その第１半導体ウエハ搬送装置の要部の横断面
図である。

【図４】その第１半導体ウエハ搬送装置の他の要部の横
断面図である。

【図５】その搬送機構に使用される移載装置の要部の断
面図である。

【図６】その搬送機構に使用される搬出用移載装置の要
部の断面図である。

【図７】本発明の搬送機構に使用される第１半導体ウエ
ハ搬送装置の他の例を示す縦断面図である。

【図８】その第１半導体ウエハ搬送装置の横断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 第１半導体ウエハ搬送装置 １１ 歯付駆動プーリ １２ 歯付従動プーリ １３ 搬送ベルト １３ｃ 貫通孔 １４ サーボモーター １５ 真空ボックス １６ 真空ガイド体 １７ 真空ポンプ １８ ソレノイド弁 １９ 固定用ボックス ２０ 第１半導体ウエハ搬送装置 ２１ 歯付駆動プーリ ２２ 歯付従動プーリ ２３ 搬送ベルト ２４ サーボモーター ２５ 真空ボックス ２７ 真空ポンプ ２８ ソレノイド弁 ２９ 固定用ボックス ３０ 移載装置 ３２ エアーシリンダ ３３ 保持用真空ボックス ３３ａ 貫通孔 ３４ 通気性保持部材 ３７ ブロア ３８ ソレノイド弁 ４０ 搬出用移載装置 ４２ エアーシリンダ ４３ 保持用真空ボックス ４３ａ 貫通孔 ４４ 通気性保持部材 ４７ ブロア ４８ ソレノイド弁

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークが載置された状態で周回移動する
   搬送ベルトに、周回移動方向に適当な間隔をあけて複数
   の貫通孔が全周にわたって設けられており、ワークの搬
   送域において、搬送ベルト上のワークが位置ずれするこ
   となく吸着されるように、各貫通孔の内部が真空状態に
   されるようになっていることを特徴する搬送装置。
2. 【請求項２】 前記ワークは、半導体ウエハ等のような
   薄板状物である請求項１に記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 各貫通孔の内部は、搬送ベルトが搬送域
   の所定位置を移動している間に、真空状態とされる請求
   項１に記載の搬送装置。
4. 【請求項４】 各貫通孔の内部は、搬送ベルトの搬送域
   の所定位置において、ワークを吸着し得る真空状態と大
   気に開放された状態とに切り換えられるように構成され
   ている請求項１または２に記載の搬送装置。
5. 【請求項５】 内部が緩やかに減圧される中空の直方体
   状をしており、多数の貫通孔が下面全体にわたって設け
   られた保持用真空ボックスと、 この真空ボックスの下面に、保持用真空ボックスの内部
   が緩やかに減圧されることによってワークが応力を加え
   られることなく吸着されるように、その下面全体を覆っ
   た状態で取り付けられた通気性を有する通気性保持部材
   と、 を具備することを特徴とする移載装置。
6. 【請求項６】 前記ワークは、半導体ウエハ等のような
   薄板状物である請求項５に記載の移載装置。
7. 【請求項７】 前記保持用真空ボックスがブロアによっ
   て減圧される請求項５に記載の移載装置。
8. 【請求項８】 請求項１に記載の搬送装置と、請求項５
   に記載の移載装置とを具備することを特徴とする搬送機
   構。