CN117055299A - 工作平台的上下料方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，包括：S1、启动支撑组件；S2、使用托举件将工件移动至平台的工作面上，支撑组件支撑工件；S3、将托举件脱离工件；S4、泵体向若干气孔吹气，使得设置在气孔内的浮动组件在气孔内移动并至少部分突伸出工作面；S5、关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面，浮动组件支撑工件；S6、移动工件至目标位置，并将工件固定在工作面上；S7、工件加工完成后，启动支撑组件，支撑组件至少部分突伸出工作面，以支撑工件；S8、将托举件插入到工件和工作面之间的间隙，以托举工件并将工件移离工作平台。该方法操作简单、省力，且可轻松实现大体积或较重工件的上下料，提高了工作平台的实用性。

Description

工作平台的上下料方法

本申请是申请日为2021年07月30日发明名称为“工作平台的上下料方法”的申请号为202110872266.5的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种工作平台及光刻设备。

背景技术

光刻，也就是光学蚀刻，是将光照射在光反应材料上，使光反应材料发生反应，通常是依照特定的图案将光照射在光反应材料上以得到需要的结构。光刻一般也称为曝光，进行光刻的设备即光刻机或曝光机。

常见的被光刻对象为涂覆有光反应材料的网版、干膜或玻璃等。网版是将纱网固定在木框或钢框上，并在纱网上涂上光反应材料，该网版在经过曝光以及后续的处理后，可以用于印刷布匹。干膜是涂有光反应材料的薄膜，通常用于制造PCB板。涂有光反应材料的玻璃通常是用于制备显示屏。

网版、干膜、玻璃的重量都比较轻，1-3人即可完成搬运和上下料的工作。但是在一些特殊需求下，设备需要对质量、体积较大的对象进行光刻，例如钢板、大理石等。这类对象的长宽尺寸有2-3米，重量超过150Kg，无法通过人工搬运、上下料车运输或者流水线运输，所以需要新的设备和流程进行上下料。

但是，这类对象不能其在上安装吊钩进行吊装，只能用托举的方式搬运。托举方式是在大钢板等对象的底部用托举件向上举起大钢板，但是当运到工作平台上时，托举件无法直接脱离大钢板，造成大钢板无法放置到平台上。

发明内容

本发明的目的在于提供操作简单、省力、且可轻松实现大体积或大重量工件托举上下料的工作平台的上下料方法。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，光刻设备还包括机架和安装在所述机架上的光学装置，所述机架可相对所述工作平台运动，所述方法包括：

S1、启动支撑组件使得所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面；

S2、使用托举件将工件移动至所述平台的工作面上，所述支撑组件支撑所述工件；

S3、将所述托举件脱离所述工件；

S4、打开与具有若干气孔的平台连接的泵体，所述泵体向所述若干气孔吹气，使得设置在所述气孔内的浮动组件在所述气孔内移动并至少部分突伸出所述工作面；

S5、关闭所述支撑组件使得所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面，所述浮动组件支撑所述工件；

S6、移动所述工件至目标位置，并将所述工件固定在所述工作面上，将所述工件固定在所述工作面上的操作方法为：启动位于所述工件两侧的第一压边件和第二压边件，所述第一压边件和所述第二压边组件分别与所述工作面形成卡持槽口，从而将工件卡持在所述工作面上；

S7、所述工件加工完成后，启动所述支撑组件，所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面，以支撑所述工件；

S8、将所述托举件插入到所述工件和所述工作面之间的间隙，以托举所述工件并将所述工件移离所述工作平台。

进一步地，所述平台上设置有至少一个滑轨，所述第一压边件和/或所述第二压边件在所述滑轨内移动。

进一步地，所述浮动组件突伸出所述工作面的距离小于所述支撑组件突伸出所述工作面的距离。

进一步地，所述支撑组件包括至少两个，至少两个所述支撑组件相离设置以稳定支撑所述工件。

进一步地，所述平台上开设有收容腔，所述收容腔在所述工作面上具有开口，所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面时，所述支撑组件封堵所述开口。

进一步地，所述托举件连接在起重设备上。

进一步地，所述目标位置位于所述工作面的顶角处。

本发明的有益效果在于：通过在平台上设置支撑组件，在使用托举件将工件移动至平台的工作面上或从工作面移走时，支撑组件支撑工件，使得工件和工作面之间具有间隙，可轻松将托举件脱离工件或插入到工件底部以支撑工件，操作简单、省力，且可轻松实现大体积或重量较重工件的上下料，提高了工作平台的实用性。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本申请一实施例所示的工作平台的结构示意图；

图2为图1中工作平台的部分结构剖面图；

图3为未覆盖工件且在泵体吹气工作的工作平台的部分结构剖面图；

图4为覆盖工件且在泵体吹气工作的工作平台的部分结构剖面图；

图5为未覆盖工件且在泵体吸气工作的工作平台的部分结构剖面图；

图6为覆盖工件且在泵体吸气工作的工作平台的部分结构剖面图；

图7为托举件托举工件的结构示意图；

图8为支撑组件支撑工件的结构示意图；

图9为支撑组件支撑工件的另一结构示意图；

图10为浮动组件支撑工件的结构示意图；

图11为本申请一实施例所示的工作平台的另一结构示意图；

图12为压边件和抵靠件远离工件的结构示意图；

图13为压边件和抵靠件靠近工件的结构示意图；

图14为压边件和抵靠件接触工件的结构示意图；

图15为本发明一实施例所示的光刻设备的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的机构或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

请参见图1，本申请一实施例所示的工作平台100，用于光刻设备以支撑工件200(如图8所示)，其包括平台1及与平台1连接的泵体(未图示)。

平台1包括平台本体11及贯穿平台本体11设置且与泵体连通的若干气孔12。平台本体11具有工作面111和与工作面111相对设置的底面112，气孔12连通工作面111和底面112。平台本体11为长方体形状，且平台本体11的形状和具体尺寸在此不做限定，可根据实际需要进行设置。若干气孔12等间距排布在工作面111上，但不仅限于此，若干气孔12也可随机排布在工作面111上。本实施例中，气孔12的横截面为圆形，但不仅限于此，气孔12的横截面也可为其他形状，在此不一一列举。关于气孔12的具体数量和具体尺寸和相邻气孔12之间的间距，在此不做具体限定，根据实际需要设置即可。气孔12与泵体连通，启动泵体，可实现向气孔12内吹气或吸气。平台1的底面112可围设形成有与若干气孔12连通的腔室(未图示)，该腔室可通过管道(未图示)与泵体连接，从而实现泵体同步向若干气孔12内吹气或吸气。关于气孔12和泵体的连接方式在此不一一列举。需要说明的是，平台1的高度方向如图1中方向a所示。

请参见图2，本实施例中，于平台1的高度方向，气孔12设置有第一开口121和第二开口122，第一开口121形成在工作面111上，第二开口122形成在平台本体11内，很显然，气孔12还设置有第三开口(未图示)，第三开口形成在底面112上，从而实现经过第一开口121和第三开口贯穿平台本体11。

气孔12内设置有浮动组件13，浮动组件13可在气孔12内移动并部分突伸出工作面111以支撑工件200，浮动组件13也可在气孔12内移动并封堵气孔12。具体的，浮动组件13可移动至第一开口121并突伸出第一开口121或移动至第二开口122并封堵第二开口122。

浮动组件13包括设置在第一开口121和第二开口122之间的浮动件131、用以将浮动件131限位在第一开口121和第二开口122之间的弹性件132、以及与平台本体11连接的固定件133。浮动件131具有弧形面，弧形面朝向第一开口121设置，并可突伸出气孔12以支撑工件200。本实施例中，浮动件131为球体，在其他实施例中，浮动件131还可以为椭圆形或者一端具有弧形面的不规则结构，在此不一一列举。浮动件131的最大尺寸大于第一开口121和第二开口122的尺寸，从而被第一开口121和第二开口122限制在两者之间，具体的，当浮动件131为球体时，球体的直径大于第一开口121和第二开口122的尺寸。

弹性件132可为弹簧等具有弹性力的结构，固定件133和浮动件131相对设置在弹性件132的两端，固定件133位于第三开口处，固定件133可与平台本体11一体成型设置，简化结构，固定件133上形成有连通泵体和气流的通道1331，第三开口为通道1331在底面112的开口。在其他实施例中，固定件133也可固定连接在平台本体11上，在此不做具体限定。固定件133可为空心圆柱体结构或空心长方体结构等，在此不一一列举。

弹性件132可与固定件133和浮动件131抵持接触，在重力作用下，弹性件132与固定件133抵持，浮动件131与弹性件132抵持，使得浮动件131保持在第一开口121和第二开口122之间。弹性件132也可一端与固定件133连接固定，另一端与浮动件131连接固定。

在泵体不工作时，弹性件132处于自然状态，浮动件131抵接在弹性件132的一端，且浮动件131和第一开口121之间具有第一间隙，浮动件131和第二开口122之间具有第二间隙，即，此时浮动件131即没有封堵第一开口121，同时也没有封堵第二开口122，启动泵体，可使得气流在气孔12内流通。

请参见图3，若气孔12上方未覆盖工件200，在泵体吹气工作时，形成的气流从第三开口进入固定件133的通道1331，然后经过弹性件132，吹向浮动件131，在气流的作用下，浮动件131朝向第一开口121移动，并部分突伸出气孔12，即，浮动件131突伸出工作面111，直到浮动件131封堵第一开口121后，浮动件131停止移动。此时，可在浮动件131上放置工件200，其中，气流方向如箭头所示。泵体停止工作后，浮动件131在重力作用下，浮动件131朝向第二开口122位置移动，并在弹性件132的作用下，位于第一开口121和第二开口122之间。

请参见图4，若气孔12上方覆盖工件200，在泵体吹气工作时，形成的气流从第三开口进入固定件133的通道1331，然后经过弹性件132，吹向浮动件131，在气流的作用下，浮动件131朝向第一开口121移动，且支撑工件200向上移动，从而将工件200支撑并远离工作面111，直到浮动件131封堵第一开口121后停止移动，其中，气流方向如箭头所示。泵体停止工作后，浮动件131在重力和工件200的双重作用下，浮动件131朝向第二开口122位置移动，并在弹性件132的作用下，位于第一开口121和第二开口122之间。

工件200放置在工作面111上或将工件200从工作面111上移离时，浮动件131能够支撑工件200，且当工件200的质量较大且体积较大时，例如钢板、大理石等，无法通过人工搬运。此时使用起重设备，比如，具有吊钩的起重机，利用吊钩将工件200钩住或者底部托起工件200，并将工件200放置在工作面111上，因浮动件131突伸出工作面111，故可支撑工件200，因浮动件131的顶端为弧形结构，从而方便工件200的放置且可轻松将工件200在工作面111上移动，操作简单、省力，避免因工件200和工作面111直接接触摩擦，导致工件200和工作面111的损坏，增加平台1的使用寿命。

请参见图5，在泵体吸气工作时，未支撑工件200的气孔12中的浮动件131朝向第二开口122移动并封堵第二开口122，浮动件131和第二开口122处形成负压。具体的，在泵体吸气工作时，形成的气流从第一开口121进入气孔12，在气流的作用下，浮动件131朝向第二开口122移动，此时弹性件132压缩，气流通过固定件133的通道1331，并从第三开口进入到泵体，直到浮动件131封堵第二开口122后，浮动件131停止移动，此时浮动件131和第二开口122处形成负压，从而将该气孔12封堵，其中，气流方向如箭头所示。泵体停止工作后，浮动件131在弹性件132的作用下，朝向第一开口121位置移动，并移动至第一开口121和第二开口122之间。

请参见图6，若气孔12上方覆盖工件200，在泵体吸气工作时，因工件200封堵第一开口121，工件200和第一开口121处立即形成负压，浮动件131保持位置不变，在负压作用下，工件200被牢固吸附在工作面111上。泵体停止工作后，工件200和第一开口121处的负压消失，其中，气流方向如箭头所示。

工件200放置在目标位置后，可切换泵体吸气工作，浮动件131可移动至气孔12内，得到平整的工作面111，工件200与工作面111紧密接触，工件200和第一开口121处立即形成负压，将工件200吸附在工作面111上，未支撑工件200的气孔12中的浮动件131在气孔12内移动并封堵气孔12，避免因部分气孔12未工件200覆盖而一直在进气，无法形成负压或者负压较小，吸附力远小于泵体的吸力，从而实现泵体对工件200的吸附力等于或略小于泵体的吸力，使得工件200被紧紧吸附，可吸附任意尺寸的工件200，提高了工作平台100的实用性。工件200可为任意尺寸，且可放置在工作面111的任意位置处，都可实现对工件200的高吸力吸附。

请参见图7，当工件200只能用托举的方式搬运时，因托举件210位于工件200底部，且托举件210具有一定高度，托举件210无法直接脱离工件200，也无法直接托举工件200底部而将工件200从工作面上移开，造成工件200无法放置到平台1上。

请参见图1、图8至图10，本实施例中，平台1还包括设置在平台本体11上的支撑组件14，支撑组件14用以支撑工件200，以使得工件200和工作面111之间具有间隙，且该间隙的高度大于托举件210位于工件200下方的部分的高度，从而方便托举件210通过工件200下方撤出或插入。很显然，浮动组件13突伸出工作面111的距离小于支撑组件14突伸出工作面111的距离。

支撑组件14可设置至少两个且至少两个支撑组件14相离设置，从而能够支撑工件200。为了能够稳定支撑工件200，支撑组件14设置的数量为三个，三个支撑组件14在工作面111上组成三角形排布，但不仅限于此，支撑组件14的数量还可以为其他，在此不做具体限定。支撑组件14在平台本体11是布局可根据实际需要进行设置。

支撑组件14可相对平台本体11沿平台本体11高度方向a移动，并至少部分突伸出工作面111，从而支撑工件200，或支撑组件14的上端面平行或低于工作面111，从而使得工件200位于工作面111上。具体的，支撑组件14包括可相对平台本体11移动的支撑件141、及用以驱动支撑件141移动的驱动件142，为了区分后续的驱动件，将该驱动件142暂成为第四驱动件142，第四驱动件142设置在工作面111的下方，第四驱动件142为电机、气缸、液压缸中的任一个，但不仅限于此，还可以为其他能够提供动力的装置，在此不一一列举。

具体的，平台本体11上开设有收容腔113，支撑组件14设置在收容腔113内并可在收容腔113内移动。该收容腔113为贯穿平台本体11的贯通孔或设置在工作面111上的凹槽。本实施例中，收容腔113为贯穿平台本体11的贯通孔，支撑件141穿设在平台本体11上，第四驱动件142设置在平台本体11的下方。

第四驱动件142和支撑件141的连接方式、及第四驱动件142驱动支撑件141凸伸出工作面111或进入到收容腔113的具体操作为现有技术，在此不做赘述。

收容腔113在工作面111上具有开口1131，支撑件141的上端面移动至工作面111上时，可封堵开口1131，即，支撑件141收容在平台本体11时，能够封堵贯通孔，避免在后续泵体吸气工作时，因贯通孔漏气而降低对工件200的吸附力。

此外，为了增加支撑件141与工件200的接触面积，支撑件141的顶端具有支撑部143，该支撑部143与工件200的底面接触，从而提高支撑组件14的支撑稳定性。

工件200放置在平台1的过程为：请参见图8，先启动三个支撑组件14的每个第四驱动件142，将支撑件141突伸出工作面111，且使得支撑部143和工作面111之间的距离大于托举件210位于工件200下方部分的高度，然后停止第四驱动件142，将工件200放置在支撑件141上；请参见图9，撤下托举件210，启动泵体吹气，浮动件131朝向第一开口121移动，并部分突伸出工作面111，然后再启动第四驱动件142，驱动支撑件141恢复至收容腔113内，此时，浮动件131支撑工件200。工件200撤离平台1时，先将支撑件141突伸出工作面111，托举件210插入到工件200下方，将工件200移开，然后驱动支撑件141恢复至收容腔113即可，如图10所示。操作简单，提高操作者的体验感。

请参见图11至图14，平台1还包括设置在平台本体11上的至少一个压边件15，压边件15可相对平台本体11移动，以与平台本体11形成卡持槽口，从而将工件200卡持在工作面111上，避免工件200的侧边翘起而无法紧贴工作面111，从而造成平台1吸附时漏气，吸附不牢固等问题。

压边件15包括可相对平台本体11沿平台本体11高度方向a移动的本体部151和压边部152、以及用以驱动本体部151和与压边部152沿高度方向a移动的第一驱动件(未图示)。本体部151和压边部152连接，本体部151和压边部152可一体成型设置或分体设置，压边部152至少部分位于工件200上方。在压边件15卡持工件200时，本体部151位于工件200侧边，压边部152位于工件200上方。压边部152可为圆形结构，但不仅限于此，还可以方形等结构。因压边部152会覆盖一部分工件200，造成被覆盖的部分无法进行光刻，故，压边部152可为由透明材料制备而成，如树脂、高强度玻璃等，使得光线能够穿过压边部152而照射到工件200表面进行光刻。

第一驱动件可驱动压边部152远离或靠近工作面111。在工件200移动至卡持槽口时，为了方便工件200进入卡持槽口，第一驱动件可先驱动压边部152远离工作面111，增大卡持槽口在高度方向a的尺寸，以此轻松将工件200移动至压边部152下方。当工件200移动至卡持槽口内后，第一驱动件驱动压边部152向靠近工作面111方向移动，从而将工件200紧紧贴合在工作面111上。很显然，该压边件15可卡持各种高度尺寸的工件200，增大了工作平台1的实用性。

第一驱动件为电机、气缸、液压缸中的任一个，但不仅限于此，还可以为其他能够提供动力的装置，在此不一一列举。第一驱动件和压边部152的连接方式、及第一驱动件驱动压边部152移动的具体操作为现有技术，在此不做赘述。

工件200平整度低，尤其会中间凹而两侧边翘，两侧边无法紧贴台面，这会造成平台1吸附工件200时漏气，造成吸附不牢固，为了将工件200紧贴在工作面111上，压边件15可设置为两个，两个压边件15分别设置在工件200的两侧，但不仅限于此，在其他实施例中，压边件15可设置多个，以在工件200的四侧都至少部分位于卡持槽口中。

现以分别设置在工件200两侧的两个压边件15为例进行详细说明，压边件15包括第一压边件153和第二压边件154，第二压边件154可相对第一压边件153在工作面111上移动，以使得第一压边件153和第二压边件154相对抵持在工件200的两侧，即第一压边件153可在工作面111上移动，此时，第二压边件154固定设置在工作面111上；或者，第二压边件154可在工作面111上移动，此时，第一压边件153固定设置在工作面111上；或者第一压边件153和第二压边件154都可在工作面111上移动。从而调节第一压边件153和第二压边件154之间的距离，以适用于各种长度或宽度尺寸的工件200。

具体的，平台本体11上设置有至少一个滑轨114，第一压边件153和/或第二压边件154在滑轨114内移动，平台本体11上还设置有与第一压边件153或第二压边件154的连接第二驱动件(未图示)，第二驱动件驱动第一压边件153或第二压边件154在滑轨114内移动。第二驱动件为电机、气缸、液压缸中的任一个，但不仅限于此，还可以为其他能够提供动力的装置，在此不一一列举。

为了说明方便，限定第一压边件153固定设置在工作面111上，第二压边件154可在滑轨114上移动。请参见图12，当工件200放置在工作面111上时，第一压边件153和第二压边件154可都远离工件200；将工件200朝向第一压边件153所在方向移动，当工件200一侧移动至第一压边件153和工作面111形成的卡持槽口时，移动第二压边件154至工件200的另一侧，并使得工件200至少部分位于第二压边件154和工作面111形成的卡持槽口内。

工件200放置在工作面111上后，需要移动至目标位置，目标位置一般位于工作面111的顶角处，便于定位。第一压边件153可放置在目标位置的外侧，当工件200移动至第一压边件153处，即到达目标位置。

由于工件200重量大，即使被浮动组件13顶起，人工移动依旧费力。为此，平台1还包括设置在平台本体11上的至少一个抵靠件16，抵靠件16与工件200抵靠以将工件200限位在工作面111上。

抵靠件16可设置为两个，两个抵靠件16分别设置在工件200的两侧，但不仅限于此，在其他实施例中，抵靠件16可设置多个，可分布在工件200的四侧的任意位置。

现以分别设置在工件200两侧的两个抵靠件16为例进行详细说明，抵靠件16包括第一抵靠件161和第二抵靠件162，第二抵靠件162可相对第一抵靠件161在工作面111上移动，以使得第一抵靠件161和第二抵靠件162相对抵靠在工件200的两侧。即第一抵靠件161可在工作面111上移动，此时，第二抵靠件162固定设置在工作面111上；或者，第二抵靠件162可在工作面111上移动，此时，第一抵靠件161固定设置在工作面111上，或者第一抵靠件161和第二抵靠件162都可在工作面111上移动。从而调节第一抵靠件161和第二抵靠件162之间的距离，以适用于各种长度或宽度尺寸的工件200。

具体的，平台本体11上设置有至少一个滑槽115，第一抵靠件161和/或第二抵靠件162在滑槽115内移动。平台本体11上还设置有与第一抵靠件161或第二抵靠件162的连接第三驱动件(未图示)，第三驱动件驱动第一抵靠件161或第二抵靠件162在滑槽115内移动。第三驱动件为电机、气缸、液压缸中的任一个，但不仅限于此，还可以为其他能够提供动力的装置，在此不一一列举。

为了说明方便，限定第一抵靠件161固定设置在工作面111上，第一抵靠件161可设置在目标位置的外侧，第二抵靠件162可在滑槽115上移动以抵持工件200并驱动工件200移动。请参见图12，当工件200放置在工作面111上时，第一抵靠件161和第二抵靠件162可都远离工件200；启动第三驱动件，第二抵靠件162朝向第一抵靠件161所在方向移动，以抵持工件200并驱动工件200移动，如图13所示；当工件200一侧抵持第一抵靠件161后即可，如图14所示。

第一抵靠件161和第一压边件153可设置在目标位置的两个侧边处，从而方便第二抵靠件162驱动工件200移动至目标位置。

请参见图15，本发明还提供一种光刻设备001，其包括机座300、设置在机座300上的机架400、设置在机架400上的光学装置500、设置在机座300上且如上所示的工作平台100。

机架400采用龙门架的结构形式，机架400上沿X方向滑动安装在机座300上，且机架400可外接动力装置(未图示)，从而动力装置驱动机架400沿X方向在机座300上移动。光学装置500可沿Y方向和Z方向相对机架400移动，从而可调节光学装置500所在位置，实现对位于工作平台100上的工件200的加工光刻。光学装置500安装在机架400上的方式和移动方式为现有技术，在此不再赘述。

光学装置500包括光源(未图示)、DMD(未图示)和镜头组件(未图示)，光源发射的光束投射到DMD上，并由DMD反射后，经过镜头组件形成，并照射工件200，进行刻蚀加工。关于光学装置500的结构为现有技术，在此不再赘述。

本申请还提供一种上述所示的用于光刻设备的工作平台的上下料方法，该方法包括：

S1、启动支撑组件使得支撑组件至少部分突伸出平台的工作面；

S2、使用托举件将工件移动至平台的工作面上，支撑组件支撑工件；

S3、将托举件脱离工件；

S4、打开与具有若干气孔的平台连接的泵体，泵体向若干气孔吹气，使得设置在气孔内的浮动组件在气孔内移动并至少部分突伸出工作面；

S5、关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面，浮动组件支撑工件；

S6、移动工件至目标位置，并将工件固定在工作面上；

S7、工件加工完成后，启动支撑组件，支撑组件至少部分突伸出平台的工作面，以支撑工件；

S8、将托举件插入到工件和工作面之间的间隙，以托举工件并将工件移离工作平台。

其中，当工件的质量较大且体积较大时，例如钢板、大理石等，无法通过人工搬运且在平台移动较困难。工件可使用起重设备放置在平台上或从平台上移离，比如，起重机，托举件连接在起重设备上，利用托举件在底部托起工件，并将工件放置在工作面上。

目标位置位于工作面的顶角处，比如左上角、左下角等位置，目标位置的设置，方便后续光刻设备对工件的光刻时定位。

移动工件至目标位置的操作方法为：工件位于第一抵靠件和第二抵靠件之间，移动第一抵靠件和/或第二抵靠件，直到工件两侧分别与第一抵靠件和第二抵靠件抵靠。无需人力驱动，操作省力且简单。

将工件固定在工作面上的操作方法为：启动位于工件两侧的第一压边件和第二压边件，第一压边件和第二压边组件分别与工作面形成卡持槽口，从而将工件卡持在工作面上，从而避免工件的侧边翘起而导致吸附性差。

下面以具体实施例对工作平台的上下料方法进行详细说明：

步骤一、启动支撑组件使得支撑组件至少部分突伸出平台的工作面；

步骤二、启动起重设备，使用托举件将工件移动至平台的工作面上，支撑组件支撑工件；

步骤三、将托举件脱离工件；

步骤四、打开与具有若干气孔的平台连接的泵体，泵体向若干气孔吹气，使得设置在气孔内的浮动组件在气孔内移动并至少部分突伸出工作面；

步骤五、关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面，浮动组件支撑工件；

步骤六、启动第二抵靠件和第一压边件在工作面上移动，并驱动工件移动工件至目标位置；

步骤七、启动第一压边件和第二压边件将工件固定在工作面上；

步骤八、启动泵体吸气工作，浮动组件在气孔内移动并进入气孔，工件覆盖部分气孔并吸附在工作面上，未支撑工件的气孔中的浮动组件在气孔内移动并封堵气孔，泵体将工件稳定地吸附；

步骤九、光刻设备的光学装置定位工件，然后开始光刻处理，工件加工完成后，启动支撑组件，支撑组件至少部分突伸出平台的工作面，以支撑工件；

步骤十、将托举件插入到工件和工作面之间的间隙，以托举工件并将工件移离工作平台，关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面。

综上，通过在平台上设置支撑组件，在使用托举件将工件移动至平台的工作面上或从工作面移走时，支撑组件支撑工件，使得工件和工作面之间具有间隙，可轻松将托举件脱离工件或插入到工件底部以支撑工件，操作简单、省力，且可轻松实现大体积或重量较重工件的上下料，提高了工作平台的实用性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，光刻设备还包括机架和安装在所述机架上的光学装置，所述机架可相对所述工作平台运动，其特征在于，所述方法包括：

S1、启动支撑组件使得所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面；

S2、使用托举件将工件移动至所述平台的工作面上，所述支撑组件支撑所述工件；

S3、将所述托举件脱离所述工件；

S4、打开与具有若干气孔的平台连接的泵体，所述泵体向所述若干气孔吹气，使得设置在所述气孔内的浮动组件在所述气孔内移动并至少部分突伸出所述工作面；

S5、关闭所述支撑组件使得所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面，所述浮动组件支撑所述工件；

S6、移动所述工件至目标位置，并将所述工件固定在所述工作面上，将所述工件固定在所述工作面上的操作方法为：启动位于所述工件两侧的第一压边件和第二压边件，所述第一压边件和所述第二压边组件分别与所述工作面形成卡持槽口，从而将工件卡持在所述工作面上；

S7、所述工件加工完成后，启动所述支撑组件，所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面，以支撑所述工件；

S8、将所述托举件插入到所述工件和所述工作面之间的间隙，以托举所述工件并将所述工件移离所述工作平台。

2.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述平台上设置有至少一个滑轨，所述第一压边件和/或所述第二压边件在所述滑轨内移动。

3.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述浮动组件突伸出所述工作面的距离小于所述支撑组件突伸出所述工作面的距离。

4.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述支撑组件包括至少两个，至少两个所述支撑组件相离设置以稳定支撑所述工件。

5.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述平台上开设有收容腔，所述收容腔在所述工作面上具有开口，所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面时，所述支撑组件封堵所述开口。

6.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述托举件连接在起重设备上。

7.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述目标位置位于所述工作面的顶角处。