CN117054442B - 芯片的侧边缺陷检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种芯片的侧边缺陷检测设备，包括：位置调节模组，包括水平调节机构和设置在水平调节机构上的高度调节机构；旋转模组，包括设置在高度调节机构上的第一驱动机构、设置在第一驱动机构下方且由第一驱动机构驱动其沿第一方向移动的移动板和设置在高度调节机构上的产品吸取机构；产品吸取机构包括若干与移动板配合的吸嘴安装导向杆和设置在吸嘴安装导向杆底端的吸嘴，吸嘴安装导向杆在移动板的驱动下可绕吸嘴安装导向杆的轴线旋转，若干吸嘴沿第一方向排列，吸嘴的底端位于同一水平面上；双边相机检测模组，包括固定基座和固定在固定基座上且相对设置的两个视觉检测相机，视觉检测相机的拍照方向垂直于第一方向。

Description

芯片的侧边缺陷检测设备

技术领域

本发明涉及一种芯片的侧边缺陷检测设备，属于芯片检测技术领域。

背景技术

在芯片生产制造过程中，各工艺流程环环相扣，技术复杂，材料、环境、工艺参数等因素的微变常导致芯片产生缺陷，影响产品良率。芯片质量检测作为芯片生产线中的关键环节，可以积极地反馈产品质量信息，以便人们及时掌控各生产环节的健康状况，质量检测技术在生产线中的作用越来越重要。

然而，现有技术中，芯片在进行侧边缺陷检测时，设备首先需要从承载芯片的治具中取出芯片，然后将芯片放置到用于检测的治具中，待完成检测后，再将芯片放回到承载芯片的治具中。如此操作，浪费检测时间，检测效率低下，并且，在检测时，现有设备对检测数量有一定的要求，当同时检测的数量达到一定限度后，检测精度就会大福下降。

发明内容

本发明的目的在于提供一种快速完成对多个待测芯片检测的芯片的侧边缺陷检测设备。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：一种芯片的侧边缺陷检测设备，包括：

位置调节模组，包括水平调节机构和设置在水平调节机构上的高度调节机构；

旋转模组，包括设置在所述高度调节机构上的第一驱动机构、设置在所述第一驱动机构下方且由所述第一驱动机构驱动其沿第一方向移动的移动板和设置在所述高度调节机构上的产品吸取机构；所述移动板包括与所述第一驱动机构连接的基板和设置在所述基板底端的基体部，所述基体部沿所述第一方向延伸；所述产品吸取机构包括若干与所述基体部配合的吸嘴安装导向杆和设置在所述吸嘴安装导向杆底端的吸嘴，所述吸嘴安装导向杆包括杆体和设置在所述杆体的顶端以与所述基体部配合的旋转部，所述旋转部在所述基体部的驱动下可绕所述旋转部的轴线旋转，若干所述吸嘴沿所述第一方向排列，所述吸嘴的底端位于同一水平面上；

双边相机检测模组，包括固定基座和固定在所述固定基座上且相对设置的两个视觉检测相机，所述视觉检测相机的拍照方向垂直于所述第一方向。

进一步地，所述基体部为齿条，所述旋转部为与所述齿条齿啮合的齿轮。

进一步地，若干所述齿轮分为两排，且交错设置在所述齿条上。

进一步地，所述双边相机检测模组还包括连接所述固定基座和视觉检测相机的检测高度调节机构。

进一步地，所述水平调节机构为龙门架。

进一步地，所述高度调节机构包括固定在所述水平调节机构上的第一基座、滑动设置在所述第一基座上的第一滑动部和固定在所述第一基座上以驱动所述第一滑动部上下滑动的第二驱动机构。

进一步地，所述吸嘴安装导向杆通过固定件卡持在第二滑动部上，且所述吸嘴安装导向杆可在所述固定件内绕自身轴线转动，所述第二滑动部滑动设置在所述第一滑动部上。

进一步地，所述固定件内有一通孔，所述吸嘴安装导向杆贯穿所述通孔，且在所述通孔的两端设置有限位件，用以限制所述吸嘴安装导向杆的轴向位移。

进一步地，所述移动板滑动设置在所述第一滑动部上。

进一步地，所述第一驱动机构包括固定在所述高度调节机构上的电机、与电机的输出轴连接的联轴器、与所述联轴器的另一端连接的丝杆和设置在所述丝杆上且与所述丝杆螺纹配合的轴套，所述移动板固定在所述轴套上。

本发明的有益效果在于：本申请通过提供一种降低检测时间的芯片的侧边缺陷检测设备，使用旋转模组以完成芯片的90度转向，实现对芯片的相对侧边的两次检测，从而完成对芯片的四个侧边的缺陷检测。并且，通过产品吸取机构，可以一次吸取多个芯片进行检测，极大程度提高了芯片的检测效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本发明一实施例所示的芯片的侧边缺陷检测设备的结构示意图；

图2为图1中部分部件的结构意图；

图3为图2中部分部件的另一视角的结构意图；

图4为图1中双边相机检测模组的结构意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖 直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

请参见图1，本申请一较佳实施例所示的芯片的侧边缺陷检测设备包括位置调节模组1、旋转模组2和双边相机检测模组3。

请参见图2和图3，位置调节模组1包括水平调节机构（未图示）和设置在水平调节机构上的高度调节机构12。在本实施例中，水平调节机构为龙门架，通过龙门架可以将旋转模组2从暂存工位移动到检测工位（即，双边相机检测模组3实现对芯片检测的检测区域所在位置）以进行待测芯片的检测，待检测完成后，再将旋转模组从检测工位移动到暂存工位。高度调节机构12包括固定在水平调节机构上的第一基座121、滑动设置在第一基座121上的第一滑动部122和固定在第一基座121上以驱动第一滑动部122上下滑动的第二驱动机构123。在本实施例中，第一滑动部122通过滑槽滑块结构滑动设置在第一基体121上，第一滑动部122在第一驱动机构123的驱动下，可相对第一基体121上下滑动，从而使旋转模组2上下移动（图1中上下方向为a1-a2）。

旋转模组2包括设置在高度调节机构12上的第一驱动机构21、设置在第一驱动机构21下方且由第一驱动机构21驱动其沿第一方向移动的移动板22和设置在高度调节机构12上的产品吸取机构23，产品吸取机构23与移动板22配合，从而使产品吸取机构23在移动板22的带动下能够绕自身轴线转动。其中，第一方向为移动板22的长度方向b1-b2。

在本实施例中，第一驱动机构21包括固定在高度调节机构12上的电机211、与电机211的输出轴连接的联轴器212、与联轴器212的另一端连接的丝杆213和设置在述丝杆213上且与丝杆213螺纹配合的轴套214，移动板22固定在轴套214上。联轴器212连接电机211的输出轴和丝杆213，用以补偿两轴线产生的相对位移误差，并且，联轴器212还具有缓冲和减振的作用，从而保护电机211少受或不受损伤。丝杆213通过轴套214连接移动板22，使丝杆213绕自身轴线旋转时，移动板22能够在丝杆213的带动下沿第一方向左右移动。

移动板22包括与第一驱动机构21连接的基板221和设置在基板221底端的基体部222，基体部222沿第一方向延伸。诚然，基体部222也可以设置在基板221的顶端，但是，如此设计，会使产品吸取机构23的长度变长，产品吸取机构23的质量变大，从而使产品吸取机构23在绕自身轴线旋转时所需要的推力变大，造成效率变低。并且，当产品吸取机构23的长度变长后，产品吸取机构23可能会与其他部件产生干涉，因此，较优地，基体部222设置在基板221的底端。

在本实施例中，移动板22滑动设置在第一滑动部122上。为了进一步稳定移动板22在第一方向上的左右移动，移动板22通过滑块滑槽结构滑动设置在第一滑动部122上。当丝杆213带动移动板22移动时，移动板22同时相对于第一滑动部122进行滑动。

产品吸取机构23包括若干与基体部222配合的吸嘴安装导向杆231和设置在吸嘴安装导向杆231底端的吸嘴232。吸嘴安装导向杆231包括杆体2311和设置在杆体2311的顶端以与基体部222配合的旋转部2312，旋转部2312在基体部222的驱动下可绕旋转部2312的轴线旋转，吸嘴232固定在杆体2311远离旋转部2312的一端，且吸嘴232沿第一方向排列，吸嘴232的底端位于同一水平面上。丝杆213带动移动板22移动，基体部222左右移动，从而带动旋转部2312转动，产品吸取机构23通过吸嘴232吸附待测芯片并带动待测芯片转动。

吸嘴安装导向杆231通过固定件233卡持在第二滑动部234上，固定件233内有一通孔（未标号），吸嘴安装导向杆231贯穿通孔，并且在通孔的两端设置有限位件2331，限位件2331限制吸嘴安装导向杆231在其轴线方向上发生位移，从而使吸嘴安装导向杆231相对第二滑动部234不发生移动，且吸嘴安装导向杆231可在固定件233的通孔内绕自身轴线转动。

第二滑动部234滑动设置在第一滑动部122上。在本实施例中，第二滑动部234通过滑槽滑块结构滑动设置在第一滑动部122上。在检测开始之前，通过第二滑动部234在第一滑动部122滑动以完成对产品吸取机构23在第一方向上的“归零”操作，使吸嘴232吸附的待测芯片处于双边相机检测模组3的检测区域之中。

在本实施例中，基体部222为齿条，旋转部2312为与该齿条齿啮合的齿轮，齿条沿第一方向运动，从而带动齿轮旋转。特别地，若干齿轮分为两排，且交错设置在齿条上，如此设置，可以使吸嘴安装导向杆231的排列更加密集，从而减小吸嘴232之间的间距，使一次检测的芯片的数量更多，提高检测效率，一般的，吸嘴232之间的间距最小可以做到9毫米。

当然，在其他实施例中，基体部222也可以为皮带，旋转部2312为滚轮，通过皮带带动滚轮转动，同样可以实现待测芯片的转动。

请参见图4，双边相机检测模组3包括固定基座31和固定在固定基座31上且相对设置的两个视觉检测相机32，视觉检测相机32的拍照方向垂直于第一方向。其中，两个视觉检测相机32用以对待测芯片的相对两侧边拍照检测。在本实施例中，双边相机检测模组3还包括连接固定基座31和视觉检测相机32的检测高度调节机构33，检测高度调节机构33为滑槽滑块结构，视觉检测相机32通过检测高度调节机构33可相对固定基座31上下滑动，从而完成高度调节以使待测芯片处于双边相机检测模组3的检测区域内。

该芯片的侧边缺陷检测设备的具体工作过程如下：

首先，待测芯片位于暂存工位上，位置调节模组1带动产品吸取机构23从暂存工位上吸取若干待测芯片到双边相机检测模组3的检测区域内，视觉检测相机32完成对待测芯片的相对两侧边的检测。

然后，第一驱动机构21带动移动板22沿第一方向运动，通过移动板22上的基体部222与吸嘴安装导向杆231上的旋转部2312的配合，使吸嘴安装导向杆231旋转90度，从而带动芯片转动90度，视觉检测相机32完成对待测芯片的另一相对两侧边的检测。

最后，位置调节模组1带动产品吸取机构23将芯片放回到暂存工位上，从而完成检测。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，包括：

位置调节模组，包括水平调节机构和设置在水平调节机构上的高度调节机构；所述高度调节机构包括固定在所述水平调节机构上的第一基座、滑动设置在所述第一基座上的第一滑动部和固定在所述第一基座上以驱动所述第一滑动部上下滑动的第二驱动机构；

旋转模组，包括设置在所述高度调节机构上的第一驱动机构、设置在所述第一驱动机构下方且由所述第一驱动机构驱动其沿第一方向移动的移动板和设置在所述高度调节机构上的产品吸取机构；所述移动板滑动设置在所述第一滑动部上，所述移动板包括与所述第一驱动机构连接的基板和设置在所述基板底端的基体部，所述基体部沿所述第一方向延伸；所述产品吸取机构包括若干与所述基体部配合的吸嘴安装导向杆和设置在所述吸嘴安装导向杆底端的吸嘴，所述吸嘴安装导向杆通过固定件卡持在第二滑动部上，且所述吸嘴安装导向杆可在所述固定件内绕自身轴线转动，所述第二滑动部滑动设置在所述第一滑动部上；所述吸嘴安装导向杆包括杆体和设置在所述杆体的顶端以与所述基体部配合的旋转部，所述旋转部在所述基体部的驱动下可绕所述旋转部的轴线旋转，若干所述吸嘴沿所述第一方向排列，所述吸嘴的底端位于同一水平面上；

双边相机检测模组，包括固定基座和固定在所述固定基座上且相对设置的两个视觉检测相机，所述视觉检测相机的拍照方向垂直于所述第一方向。

2.如权利要求1所述的芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，所述基体部为齿条，所述旋转部为与所述齿条齿啮合的齿轮。

3.如权利要求1所述的芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，所述第一驱动机构包括固定在所述高度调节机构上的电机、与电机的输出轴连接的联轴器、与所述联轴器的另一端连接的丝杆和设置在所述丝杆上且与所述丝杆螺纹配合的轴套，所述移动板固定在所述轴套上。

4.如权利要求1所述的芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，所述双边相机检测模组还包括连接所述固定基座和视觉检测相机的检测高度调节机构。

5.如权利要求1所述的芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，所述水平调节机构为龙门架。

6.如权利要求1所述的芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，所述固定件内有一通孔，所述吸嘴安装导向杆贯穿所述通孔，且在所述通孔的两端设置有限位件，用以限制所述吸嘴安装导向杆的轴向位移。

7.如权利要求2所述的芯片的侧边缺陷检测设备，其特征在于，若干所述齿轮分为两排，且交错设置在所述齿条上。