CN116902929A - 一种高纯度氮化硅粉体的制备方法 - Google Patents
一种高纯度氮化硅粉体的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116902929A CN116902929A CN202311029427.XA CN202311029427A CN116902929A CN 116902929 A CN116902929 A CN 116902929A CN 202311029427 A CN202311029427 A CN 202311029427A CN 116902929 A CN116902929 A CN 116902929A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon dioxide
- silicon nitride
- energy ball
- purity
- starch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 47
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 47
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 130
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 66
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 61
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 51
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 claims abstract description 47
- 239000008107 starch Substances 0.000 claims abstract description 47
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 claims abstract description 47
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000000713 high-energy ball milling Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 33
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 claims description 16
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001515 alkali metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001618 alkaline earth metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 abstract description 18
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 17
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 abstract description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 abstract description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 abstract description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 abstract description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 4
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005261 decarburization Methods 0.000 description 7
- 229910021486 amorphous silicon dioxide Inorganic materials 0.000 description 6
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000005262 decarbonization Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N potassium oxide Chemical compound [O-2].[K+].[K+] CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001950 potassium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 1
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
- C01B21/0685—Preparation by carboreductive nitridation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/80—Compositional purity
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
本发明提供了一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,属于无机非金属材料制备领域。本发明以淀粉作为碳源,通过将糊化后的淀粉与二氧化硅进行高能球磨,一方面利用高能球磨对原料进行机械力活化处理,降低合成温度,降低二氧化硅的氮化温度、缩短氮化时间,从而抑制氮化反应副产物的生成,另一方面在高能球磨下糊化的淀粉能够包覆在二氧化硅表面,促进二者的接触,避免反应过程中生成的氮化硅导致二氧化硅残留;通过添加烧结助剂使反应体系在较低温度下形成液相,同时在高压氮气下提高原料的溶解度,促进原料充分接触,避免二氧化硅残留;通过流动的高压氮气带走反应过程中产生的CO,抑制氧氮化硅的生成,制备的产物纯度可达99.6%。
Description
技术领域
本发明涉及于无机非金属材料制备技术领域,尤其涉及一种高纯度氮化硅粉体的制备方法。
背景技术
氮化硅陶瓷材料具有硬度高、弹性模量好、高温力学性能好以及热稳定性、化学稳定性和电绝缘性好等特点,已广泛应用于汽车、机械、冶金和化学工程等领域,并逐渐渗透到空间技术、海洋开发、电子技术、医疗卫生、自动控制等多个尖端学科领域。氮化硅粉体是制备高性能氮化硅陶瓷的基础,氮化硅粉体的性能对于氮化硅陶瓷的结构和性能具有十分重要的影响。
目前,氮化硅粉体的制备方法主要有硅粉直接氮化法、碳热还原法、热分解法、溶胶凝胶法、化学气相沉积和自蔓延法。其中碳热还原法因其成本低、反应速度快、制备的粉体粒度小以及适合大规模生产的优势,被广泛应用。但是这种方法制备的氮化硅粉体中常伴有碳化硅和氧氮化硅的残留,导致粉体的纯度不高,影响了产品的质量和应用。
因此,如何提高碳热还原氮化法制备的氮化硅粉体的纯度,成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
鉴于此,本发明的目的在于提供一种高纯度氮化硅粉体的制备方法。本发明提供的制备方法采用碳热还原氮化法,制备的氮化硅粉体纯度高。
为了实现上述发明目的,本发明提供以下技术方案:
本发明提供了一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,包括以下步骤:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨,得到前驱体;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体。
优选地,所述步骤(1)中糊化的温度为60~80℃,糊化的时间为30~40min。
优选地,所述步骤(1)中的淀粉与所述步骤(2)中的二氧化硅的质量比为(0.8~1.2):1。
优选地,所述步骤(2)中的二氧化硅为非晶态二氧化硅。
优选地,所述步骤(2)中的烧结助剂为碱金属的氧化物、碱金属的氟化物、碱土金属的氧化物以及碱土金属的氟化物中的一种。
优选地,所述步骤(2)中烧结助剂与二氧化硅的质量比为1%~10%。
优选地,所述步骤(2)中高能球磨的转速为500~800r/min,高能球磨的时间为1~3h。
优选地,所述步骤(3)中高压氮气的压力为1~3MPa。
优选地,所述步骤(3)中高压氮气的流速为2.5~5L/min。
优选地,所述步骤(3)中碳热还原反应的温度为1200~1500℃,碳热还原反应的时间为1~8h。
本发明提供了一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,包括:将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;将所述糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨,得到前驱体;将所述前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;将所述粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体。本发明以淀粉作为碳源,通过将糊化后的淀粉与二氧化硅进行高能球磨,一方面利用高能球磨对原料进行机械力活化处理,降低合成温度,降低二氧化硅的氮化温度、缩短氮化时间,从而抑制氮化反应副产物的生成,另一方面在高能球磨下糊化的淀粉能够包覆在二氧化硅表面,促进二者的接触,避免反应过程中生成的氮化硅阻碍二氧化硅反应,提高产物纯度;通过添加烧结助剂使反应体系在较低温度下形成液相,同时在高压氮气下提高原料的溶解度,促进原料充分接触,避免二氧化硅残留;通过流动的高压氮气带走反应过程中产生的CO,抑制氧氮化硅的生成,提高产物纯度。实验结果表明,本发明提供的制备方法制备的氮化硅粉体纯度可达99.6%。
具体实施方式
本发明提供了一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,包括以下步骤:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨,得到前驱体;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体。
如无特殊说明,本发明对所用原料的来源没有特殊的限定,采用本领域技术人员熟知的市售产品即可。
本发明将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物。本发明以淀粉作为碳源,通过糊化使淀粉能够充分包裹在二氧化硅表面,促进原料之间的充分接触,提高产物纯度。
在本发明对所述淀粉的种类没有特殊的限定,采用本领域技术人员熟知的淀粉即可。
在本发明中,所述淀粉与水的质量比优选为1:(2~4),更优选为1:3。本发明将淀粉和水的比例控制在上述范围,有利于得到稠度合适的糊化淀粉。
在本发明中,所述糊化的温度优选为60~80℃,更优选为65~75℃;所述糊化的时间优选为30~40min,更优选为35min。
得到糊化物后,本发明将所述糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨,得到前驱体。
在本发明中,所述淀粉与二氧化硅的质量比优选为(0.8~1.2):1,更优选为1:1。本发明通过控制淀粉与二氧化硅的质量比,进一步保证二氧化硅被充分还原。
在本发明中,所述二氧化硅优选为非晶态二氧化硅。本发明选择非晶态二氧化硅作为硅源,具有较低的熔融温度,在较低的烧结温度下实现碳热还原氮化,从而抑制氮化反应副产物的生成,进一步提高产物纯度。
在本发明中,所述二氧化硅的粒径优选为1~5μm,更优选为2~3μm。本发明通过控制二氧化硅的粒径,能够避免其团聚,有利于高能球磨过程中的分散和包覆。
在本发明中,所述烧结助剂优选为碱金属的氧化物、碱金属的氟化物、碱土金属的氧化物以及碱土金属的氟化物中的一种,更优选为氧化钾、氧化钙和氟化钙中的一种。本发明通过添加烧结助剂,使反应体系在较低温度下形成液相,同时在高压氮气下提高原料的溶解度,促进原料充分接触,避免二氧化硅残留。
在本发明中,所述烧结助剂与二氧化硅的质量比优选为1%~10%,更优选为2%~8%,最优选为3%~6%。本发明通过控制烧结助剂的用量,能够降低反应温度,进一步提高产物纯度。
本发明对所述糊化物与二氧化硅和烧结助剂的混合的操作没有特殊的限定,能够将各组分混合均匀即可。
在本发明中,所述高能球磨的转速优选为500~800r/min,更优选为600~700r/min;所述高能球磨的时间优选为1~3h,更优选为2h。本发明将糊化后的淀粉与二氧化硅进行高能球磨,一方面利用高能球磨对原料进行机械力活化处理,降低合成温度,降低二氧化硅的氮化温度、缩短氮化时间,从而抑制氮化反应副产物的生成,另一方面在高能球磨下糊化的淀粉能够包覆在二氧化硅表面,促进二者的接触,避免反应过程中生成的氮化硅阻碍二氧化硅反应,提高产物纯度;通过控制高能球磨的转速和时间,能够实现原料的充分活化与混合,以进一步产物提高纯度。
高能球磨完成后,本发明优选将所述高能球磨的产物进行干燥,得到前驱体。本发明所述干燥的操作没有特殊的限定,能够去除多余的水分即可。
得到前驱体后,本发明将所述前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体。
在本发明中,所述高压氮气的压力优选为1~3MPa,更优选为2MPa。本发明利用高压氮气提高原料以及氮化硅在液相中的溶解度,促进原料充分接触,避免反应产生的氮化硅包覆二氧化硅形成残留;通过控制氮气的压力,改变氮化速率,进一步提高产物纯度。
在本发明中,所述高压氮气的流速优选为2.5~5L/min,更优选为3~4L/min。本发明在流动的氮气环境中进行碳热还原反应,利用流动的高压氮气带走反应过程中产生的CO,抑制氧氮化硅的生成,提高产物纯度;通过控制高压氮气的流速,避免氧氮化硅的生成,进一步提高产物纯度。
在本发明中,所述碳热还原反应的温度优选为1200~1500℃,更优选为1250~1450℃,最优选为1300~1400℃;所述碳热还原反应的时间优选为1~8h,更优选为2~7h,最优选为3~6h。在本发明中,所述碳热还原反应过程中,二氧化硅与碳和氮气反应,生成氮化硅和二氧化碳/一氧化碳;通过控制碳热还原反应的温度和时间,与氮气的压力和流速配合,能够避免副反应的发生,进一步提高产物的纯度。
在本发明中,所述碳热还原反应优选在高压管式炉中进行。
得到粉体后,本发明将所述粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体。
在本发明中,所述脱碳的温度优选为700~800℃,更优选为750℃;所述脱碳的时间优选为1~3h,更优选为2h。本发明通过控制脱碳的温度和时间,使未反应完全的淀粉充分去除,进一步提高产物纯度。
本发明以淀粉作为碳源,通过将糊化后的淀粉与二氧化硅进行高能球磨,一方面利用高能球磨对原料进行机械力活化处理,降低合成温度,降低二氧化硅的氮化温度、缩短氮化时间,从而抑制氮化反应副产物的生成,另一方面在高能球磨下糊化的淀粉能够包覆在二氧化硅表面,促进二者的接触,避免反应过程中生成的氮化硅阻碍二氧化硅反应,提高产物纯度;通过添加烧结助剂使反应体系在较低温度下形成液相,同时在高压氮气下提高原料的溶解度,促进原料充分接触,避免二氧化硅残留;通过流动的高压氮气带走反应过程中产生的CO,抑制氧氮化硅的生成,提高产物纯度。
下面将结合本发明中的实施例,对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述。所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,由以下步骤组成:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;所述淀粉与水的质量比为1:2;糊化的温度为60℃,糊化的时间为40min;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨后干燥,得到前驱体;所述二氧化硅为非晶态二氧化硅,粒径2~3μm;所述烧结助剂为氧化钙;所述淀粉与二氧化硅的质量比为1.2:1;所述烧结助剂与二氧化硅的质量比为10%;所述高能球磨的转速为800r/min,时间为3h;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;所述高压氮气的压力为3MPa,流速为3L/min;所述碳热还原反应在高压管式炉中进行,碳热还原反应的温度为1350℃,时间为2h;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体;所述脱碳的温度为800℃,时间为1h。
对本实施例制备的高纯度氮化硅粉体进行检测,纯度为99.6%。
实施例2
一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,由以下步骤组成:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;所述淀粉与水的质量比为1:2;糊化的温度为60℃,糊化的时间为40min;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨后干燥,得到前驱体;所述二氧化硅为非晶态二氧化硅,粒径2~3μm;所述烧结助剂为氧化钙;所述淀粉与二氧化硅的质量比为1.2:1;所述烧结助剂与二氧化硅的质量比为10%;所述高能球磨的转速为800r/min,时间为3h;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;所述高压氮气的压力为2MPa,流速为4L/min;所述碳热还原反应在高压管式炉中进行,碳热还原反应的温度为1400℃,时间为2h;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体;所述脱碳的温度为800℃,时间为1h。
对本实施例制备的高纯度氮化硅粉体进行检测,纯度为99.5%。
实施例3
一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,由以下步骤组成:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;所述淀粉与水的质量比为1:2;糊化的温度为60℃,糊化的时间为40min;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨后干燥,得到前驱体;所述二氧化硅为非晶态二氧化硅,粒径2~3μm;所述烧结助剂为氧化钙;所述淀粉与二氧化硅的质量比为1.2:1;所述烧结助剂与二氧化硅的质量比为10%;所述高能球磨的转速为800r/min,时间为3h;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;所述高压氮气的压力为2MPa,流速为5L/min;所述碳热还原反应在高压管式炉中进行,碳热还原反应的温度为1450℃,时间为2h;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体;所述脱碳的温度为800℃,时间为1h。
对本实施例制备的高纯度氮化硅粉体进行检测,纯度为99.5%。
实施例4
一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,由以下步骤组成:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;所述淀粉与水的质量比为1:2;糊化的温度为60℃,糊化的时间为40min;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨后干燥,得到前驱体;所述二氧化硅为非晶态二氧化硅,粒径2~3μm;所述烧结助剂为氧化钙;所述淀粉与二氧化硅的质量比为1.2:1;所述烧结助剂与二氧化硅的质量比为10%;所述高能球磨的转速为800r/min,时间为3h;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;所述高压氮气的压力为1MPa,流速为5L/min;所述碳热还原反应在高压管式炉中进行,碳热还原反应的温度为1500℃,时间为2h;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体;所述脱碳的温度为800℃,时间为1h。
对本实施例制备的高纯度氮化硅粉体进行检测,纯度为99.4%。
实施例5
一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,由以下步骤组成:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;所述淀粉与水的质量比为1:2;糊化的温度为60℃,糊化的时间为40min;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨后干燥,得到前驱体;所述二氧化硅为非晶态二氧化硅,粒径2~3μm;所述烧结助剂为氧化钙;所述淀粉与二氧化硅的质量比为1.2:1;所述烧结助剂与二氧化硅的质量比为10%;所述高能球磨的转速为800r/min,时间为3h;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;所述高压氮气的压力为3MPa,流速为2L/min;所述碳热还原反应在高压管式炉中进行,碳热还原反应的温度为1300℃,时间为2h;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体;所述脱碳的温度为800℃,时间为1h。
对本实施例制备的高纯度氮化硅粉体进行检测,纯度为99.5%。
由以上实施例可以看出,本发明提供的碳热还原氮化法制备的氮化硅具有很高的纯度。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种高纯度氮化硅粉体的制备方法,包括以下步骤:
(1)将淀粉与水混合后进行糊化,得到糊化物;
(2)将所述步骤(1)得到的糊化物与二氧化硅和烧结助剂混合后进行高能球磨,得到前驱体;
(3)将所述步骤(2)得到的前驱体在流动的高压氮气中进行碳热还原反应,得到粉体;
(4)将所述步骤(3)得到的粉体进行脱碳,得到高纯度氮化硅粉体。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中糊化的温度为60~80℃,糊化的时间为30~40min。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的淀粉与所述步骤(2)中的二氧化硅的质量比为(0.8~1.2):1。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中的二氧化硅为非晶态二氧化硅。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中的烧结助剂为碱金属的氧化物、碱金属的氟化物、碱土金属的氧化物以及碱土金属的氟化物中的一种。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中烧结助剂与二氧化硅的质量比为1%~10%。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中高能球磨的转速为500~800r/min,高能球磨的时间为1~3h。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中高压氮气的压力为1~3MPa。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中高压氮气的流速为2.5~5L/min。
10.根据权利要求1、8或9所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中碳热还原反应的温度为1200~1500℃,碳热还原反应的时间为1~8h。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311029427.XA CN116902929A (zh) | 2023-08-16 | 2023-08-16 | 一种高纯度氮化硅粉体的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311029427.XA CN116902929A (zh) | 2023-08-16 | 2023-08-16 | 一种高纯度氮化硅粉体的制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116902929A true CN116902929A (zh) | 2023-10-20 |
Family
ID=88364968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311029427.XA Pending CN116902929A (zh) | 2023-08-16 | 2023-08-16 | 一种高纯度氮化硅粉体的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116902929A (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5370854A (en) * | 1991-03-22 | 1994-12-06 | The Dow Chemical Company | Moving bed process for carbothermally synthesizing nonoxide ceramic powders |
CN105776158A (zh) * | 2015-09-14 | 2016-07-20 | 天津纳德科技有限公司 | 采用高气压和添加剂直接制备高球形度氮化硅粉体的方法 |
CN106810267A (zh) * | 2017-02-21 | 2017-06-09 | 河北利福光电技术有限公司 | 一种高纯氮化硅粉末的制备方法 |
CN107056306A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-08-18 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 氮化硅多孔陶瓷的制备方法 |
CN112225566A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-15 | 衡阳凯新特种材料科技有限公司 | 氮化硅粉体及其制备方法与应用、陶瓷材料 |
CN112723327A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-04-30 | 福建臻璟新材料科技有限公司 | 一种掺杂氮化硅粉体的制备方法 |
-
2023
- 2023-08-16 CN CN202311029427.XA patent/CN116902929A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5370854A (en) * | 1991-03-22 | 1994-12-06 | The Dow Chemical Company | Moving bed process for carbothermally synthesizing nonoxide ceramic powders |
CN105776158A (zh) * | 2015-09-14 | 2016-07-20 | 天津纳德科技有限公司 | 采用高气压和添加剂直接制备高球形度氮化硅粉体的方法 |
CN106810267A (zh) * | 2017-02-21 | 2017-06-09 | 河北利福光电技术有限公司 | 一种高纯氮化硅粉末的制备方法 |
CN107056306A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-08-18 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 氮化硅多孔陶瓷的制备方法 |
CN112225566A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-15 | 衡阳凯新特种材料科技有限公司 | 氮化硅粉体及其制备方法与应用、陶瓷材料 |
CN112723327A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-04-30 | 福建臻璟新材料科技有限公司 | 一种掺杂氮化硅粉体的制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
陈宏;穆柏春;赵连俊;: "溶胶凝胶-碳热还原法制备Si_3N_4纳米粉末", 《粉末冶金技术》, no. 02, 27 April 2009 (2009-04-27), pages 114 - 118 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102515767B (zh) | 一种制备SiC-AlN固溶体陶瓷粉末的方法 | |
JP2018048033A (ja) | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
CN112225566B (zh) | 氮化硅粉体及其制备方法与应用、陶瓷材料 | |
CN101353160A (zh) | 一种氮化硅纳米粉末合成方法 | |
CN111792937A (zh) | 一种氮化硅粉体的制备方法 | |
JP2016164112A (ja) | 雰囲気が制御される炭素熱還元法によって窒化アルミニウム粉体の製造方法 | |
CN110240132B (zh) | 一种基于熔盐法的氮化硅镁粉体及其制备方法 | |
CN109264677B (zh) | 一种富含纤维形貌的氮化硅的制备方法 | |
CN116902929A (zh) | 一种高纯度氮化硅粉体的制备方法 | |
CN107285288A (zh) | 纳米氮化硅粉的制备方法 | |
CN1307089C (zh) | 控温活化自蔓延燃烧合成α相氮化硅粉体的方法 | |
US5032370A (en) | Method of preparing silicon nitride with a high alpha-phase content | |
CN114478021A (zh) | 一种单相MgSiN2粉体的制备方法 | |
TWI646045B (zh) | 一種製備球形氮化矽粉體的方法 | |
CN105503198B (zh) | 氮化硅材料及其制备方法 | |
US10384941B2 (en) | Method for producing spherical silicon nitride powder | |
CN112723327A (zh) | 一种掺杂氮化硅粉体的制备方法 | |
JPWO2014208461A1 (ja) | 炭化ケイ素粉体 | |
CN114716252B (zh) | 一种易烧结高纯氮化硅粉体的制备方法 | |
WO2020241700A1 (ja) | 窒化ケイ素粉末及びその製造方法、並びに、窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
CN113307630B (zh) | 一种超细复合粉体及其制备方法 | |
CN114409414B (zh) | 一种以高氧含量硅粉为原料制备高纯氮化硅粉体的方法 | |
CN110550957B (zh) | 一种原位合成氮化硅/硼化锆复相陶瓷及其制备方法和应用 | |
CN102485645B (zh) | 一种以分解时能产生氮气的发泡剂为添加剂快速燃烧合成氮化硅粉体的方法 | |
CN101113095A (zh) | 一种AlN陶瓷粉体的合成制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |