CN116830039A

CN116830039A - 感光性树脂组合物、感光性树脂片、固化物、中空结构体、电子部件及弹性波滤波器

Info

Publication number: CN116830039A
Application number: CN202280012404.5A
Authority: CN
Inventors: 桂田悠基; 小林悠太; 金森大典
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 2021-02-01
Filing date: 2022-01-25
Publication date: 2023-09-29
Also published as: JPWO2022163610A1; KR20230141762A; TW202233741A; WO2022163610A1

Abstract

本发明的目的是提供图案加工性和耐压性优异的感光性树脂组合物。本发明是一种感光性树脂组合物，其包含(A)聚合物、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)无机填料，上述(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下。

Description

感光性树脂组合物、感光性树脂片、固化物、中空结构体、电子部件及弹性波滤波器

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、感光性树脂片、固化物、中空结构体、电子部件以及弹性波滤波器。

背景技术

感光性树脂组合物能够通过光刻技术进行微细加工，因此作为配线基板的绝缘膜而被广泛使用。进一步对于将感光性树脂组合物片状地成型而得的材料，发挥作为片状的特征，对用于形成电子部件的中空结构体的顶棚件的应用发展。近年来，对形成中空结构体的顶棚的感光性树脂片，要求用于形成微细的贯通孔的图案加工性、耐受密封工序的耐压性。提出了为了提高耐压性而添加无机填料，提高弹性模量的方法，其中在专利文献1中提出的、添加使折射率与感光性树脂组合物匹配的玻璃填料的技术除了由添加填料引起的耐压性提高以外，还期待可以抑制曝光所使用的光的散射，并兼顾图案加工性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-118194号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，专利文献1所记载的感光性树脂组合物在适应于要求特性提高的中空结构体的顶棚件时，有不具有充分的图案加工性和耐压性的课题。

本发明的目的是为了解决以上问题，提供图案加工性和耐压性优异的感光性树脂组合物。

用于解决课题的方法

用于解决上述课题的本发明为以下方案。

一种感光性树脂组合物，其包含(A)聚合物、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)无机填料，

上述(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下。

发明的效果

根据本发明，可以形成进行了微细的加工的耐压性优异的绝缘膜。本发明的感光性树脂组合物可以适合用于要求高分辨率和高弹性模量的基板用途、进一步还要求耐压性的具有中空结构体的电子部件用途。

附图说明

图1为显示形成了用于形成本发明的中空结构体的凸部的一方案的平面示意图。

图2为显示使用本发明的感光性树脂片而形成中空结构体的方法的例子的示意图。

具体实施方式

本发明为一种感光性树脂组合物，是包含(A)聚合物、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)无机填料的感光性树脂组合物，上述(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下。以下，将关于其的详细内容记载于下。

〔(A)聚合物〕

本发明的感光性树脂组合物含有(A)聚合物。通过含有(A)聚合物，从而感光性树脂组合物的厚膜形成变得容易，与用途对应的膜厚调整变得容易。(A)聚合物的主骨架没有特别限定，可以使用(甲基)丙烯酸系聚合物、环氧聚合物、聚氨酯、聚苯并嗪、聚苯并/>唑前体、聚苯并/>唑、聚酰亚胺前体、聚酰亚胺等。其中从耐热性的观点考虑，(A)聚合物优选包含选自聚酰亚胺、聚苯并/>唑、它们任一者的前体、和它们的共聚物中的至少1种树脂，即，包含聚苯并/>唑前体、聚苯并/>唑、聚酰亚胺前体、聚酰亚胺、它们的共聚物。进而(A)聚合物更优选包含聚酰亚胺前体、聚酰亚胺，从降低图案加工后的热处理温度的观点考虑，特别优选包含聚酰亚胺。

(A)聚合物所包含的树脂优选溶解于显影液，特别优选为碱溶性。这里所谓碱溶性，是指在2.38重量％氢氧化四甲基铵(TMAH)水溶液中的溶解度为0.1g/100mL以上。通过向作为感光性树脂组合物的主成分的(A)聚合物赋予碱溶性，从而感光性树脂组合物在碱性显影液中的溶解被促进，可以获得良好的图案形状。作为对(A)聚合物赋予碱溶性的官能团、即碱溶性基，可举出酚性羟基、硫醇基、羧基、磺酸基等，作为碱溶性基，优选具有酚性羟基、羧基中的任一者或两者。

关于(A)聚合物，以下显示聚酰亚胺的适合的例子。在使用聚酰亚胺作为(A)聚合物的情况下，优选含有具有下述通式(1)所示的结构单元的一种以上聚酰亚胺，进一步优选含有下述通式(2)或(3)所示的一种以上聚酰亚胺。

在通式(1)～(3)中，X表示具有羧基、酚性羟基、磺酸基和硫醇基之中的至少一种的1价有机基。Y表示具有羧基、酚性羟基、磺酸基和硫醇基之中的至少一种的2价有机基。X和Y优选具有酚性羟基或硫醇基，特别优选具有酚性羟基。

此外，R¹表示4～14价有机基，R²表示2～12价有机基。R³和R⁴各自独立地表示羧基、酚性羟基、磺酸基或硫醇基。R³和R⁴优选为酚性羟基或羧基，特别优选为酚性羟基。

此外，α和β各自独立地表示0～10的范围的整数。在这样的α和β中，优选α+β为1以上。n表示聚合物的结构单元的重复数。该n的范围为3～200。如果n为3以上，则可以进一步提高感光性树脂组合物的厚膜加工性。从该厚膜加工性的提高这样的观点考虑，n优选为5以上。另一方面，如果n为200以下，则可以使碱溶性聚酰亚胺(a)在碱性显影液中的溶解性提高。从该溶解性的提高这样的观点考虑，n优选为100以下。

在上述通式(1)～(3)中，R¹为具有来源于四羧酸二酐的结构的4～14价有机基。其中R¹优选为含有芳香族基或环状脂肪族基的碳原子数5～40的有机基。

作为四羧酸二酐，可以举出例如，芳香族四羧酸二酐、脂肪族的四羧酸二酐等。作为芳香族四羧酸二酐，可举出例如，均苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-联苯四甲酸二酐、2,3,3’,4’-联苯四甲酸二酐、2,2’,3,3’-联苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四甲酸二酐、2,2’,3,3’-二苯甲酮四甲酸二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-双(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、1,1-双(3,4-二羧基苯基)乙烷二酐、1,1-双(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、双(3,4-二羧基苯基)甲烷二酐、双(2,3-二羧基苯基)甲烷二酐、双(3,4-二羧基苯基)砜二酐、双(3,4-二羧基苯基)醚二酐、1,2,5,6-萘四甲酸二酐、9,9-双(3,4-二羧基苯基)芴酸二酐、9,9-双{4-(3,4-二羧基苯氧基)苯基}芴酸二酐、2,3,6,7-萘四甲酸二酐、2,3,5,6-吡啶四甲酸二酐、3,4,9,10-苝四甲酸二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐等。作为脂肪族的四羧酸二酐，可举出例如，丁烷四甲酸二酐、1,2,3,4-环戊烷四甲酸二酐等。

此外，作为四羧酸二酐，可以举出具有下述所示的结构的酸二酐。在本实施方式中，作为四羧酸二酐，可以使用上述芳香族四羧酸二酐、脂肪族的四羧酸二酐、和具有下述所示的结构的酸二酐之中的2种以上。

这里，R⁵表示选自氧原子、C(CF₃)₂、C(CH₃)₂和SO₂中的基团，R⁶和R⁷各自独立地表示选自羧基、羟基、磺酸基和硫醇基中的基团。

在上述通式(1)～(3)中，R²为具有来源于二胺的结构的2～12价有机基。其中优选为含有芳香族基或环状脂肪族基的碳原子数5～40的有机基。

作为二胺，可举出例如，含有羟基的二胺、含有羧基的二胺、含有硫醇基的二胺、芳香族二胺、将这些芳香族环的氢原子之中的至少一部分用烷基、卤原子取代了的化合物、脂肪族二胺等。

作为含有羟基的二胺，可举出例如，双-(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷、双(3-氨基-4-羟基苯基)砜、双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷、双(3-氨基-4-羟基苯基)亚甲基、双(3-氨基-4-羟基苯基)醚、双(3-氨基-4-羟基)联苯、双(3-氨基-4-羟基苯基)芴等。作为含有羧基的二胺，可举出例如，2,2-双[3-氨基-4-羧基苯基]丙烷、2,2-双[4-氨基-3-羧基苯基]丙烷、2,2-双[3-氨基-4-羧基苯基]六氟丙烷、4,4’-二氨基-2,2‘,5,5’-四羧基二苯基甲烷、3,3‘-二氨基-4,4’-二羧基二苯基醚、4,4‘-二氨基-3,3’-二羧基二苯基醚、4,4‘-二氨基-2,2’-二羧基二苯基醚、4,4‘-二氨基-2,2’,5,5‘-四羧基二苯基醚、3,3’-二氨基-4,4‘-二羧基二苯基砜、4,4’-二氨基-3,3‘-二羧基二苯基砜、4,4’-二氨基-2,2‘-二羧基二苯基砜、4,4’-二氨基-2,2‘,5,5’-四羧基二苯基砜、2,2-双[4-(4-氨基-3-羧基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[4-(4-氨基-3-羧基苯氧基)苯基]砜等。作为含有硫醇基的二胺，可举出例如，二巯基苯二胺等。

作为芳香族二胺，可举出例如，3,3’-二氨基二苯基醚、3,4’-二氨基二苯基醚、4,4’-二氨基二苯基醚、3,3’-二氨基二苯基甲烷、3,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基甲烷、3,3’-二氨基二苯基砜、3,4’-二氨基二苯基砜、4,4’-二氨基二苯基砜、3,4’-二氨基二苯基硫醚、4,4’-二氨基二苯基硫醚、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(3-氨基苯氧基)苯、联苯胺、间苯二胺、对苯二胺、1,5-萘二胺、2,6-萘二胺、双(4-氨基苯氧基苯基)砜、双(3-氨基苯氧基苯基)砜、双(4-氨基苯氧基)联苯、双{4-(4-氨基苯氧基)苯基}醚、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、2,2’-二甲基-4,4’-二氨基联苯、2,2’-二乙基-4,4’-二氨基联苯、3,3’-二甲基-4,4’-二氨基联苯、3,3’-二乙基-4,4’-二氨基联苯、2,2’,3,3’-四甲基-4,4’-二氨基联苯、3,3’,4,4’-四甲基-4,4’-二氨基联苯、2,2’-二(三氟甲基)-4,4’-二氨基联苯、9,9-双(4-氨基苯基)芴等。作为脂肪族二胺，可举出例如，环己基二胺、亚甲基双环己基胺等。

此外，作为二胺，可举出例如，具有下述所示的结构的二胺。在本实施方式中，作为二胺，可以使用上述含有羟基的二胺、含有羧基的二胺、含有硫醇基的二胺、芳香族二胺、将这些芳香族环的氢原子之中的至少一部分用烷基、卤原子取代了的化合物、脂肪族二胺、和具有下述所示的结构的二胺之中的2种以上。

这里，R⁵表示选自氧原子、C(CF₃)₂、C(CH₃)₂和SO₂中的基团，R⁶～R⁹各自独立地表示选自羧基、羟基、磺酸基和硫醇基中的基团。

优选为上述二胺之中的、双-(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷、双(3-氨基-4-羟基苯基)砜、双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷、双(3-氨基-4-羟基苯基)亚甲基、双(3-氨基-4-羟基苯基)醚、双(3-氨基-4-羟基)联苯、双(3-氨基-4-羟基苯基)芴、2,2-双[3-氨基-4-羧基苯基]丙烷、2,2-双[4-氨基-3-羧基苯基]丙烷、2,2-双[3-氨基-4-羧基苯基]六氟丙烷、4,4’-二氨基-2,2‘,5,5’-四羧基二苯基甲烷、3,3‘-二氨基-4,4’-二羧基二苯基醚、4,4‘-二氨基-3,3’-二羧基二苯基醚、4,4‘-二氨基-2,2’-二羧基二苯基醚、4,4‘-二氨基-2,2’,5,5‘-四羧基二苯基醚、3,3’-二氨基-4,4‘-二羧基二苯基砜、4,4’-二氨基-3,3‘-二羧基二苯基砜、4,4’-二氨基-2,2‘-二羧基二苯基砜、4,4’-二氨基-2,2‘,5,5’-四羧基二苯基砜、2,2-双[4-(4-氨基-3-羧基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[4-(4-氨基-3-羧基苯氧基)苯基]砜、3,3’-二氨基二苯基醚、3,4’-二氨基二苯基醚、4,4’-二氨基二苯基醚、3,3’-二氨基二苯基甲烷、3,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基甲烷、3,3’-二氨基二苯基砜、3,4’-二氨基二苯基砜、4,4’-二氨基二苯基砜、3,4’-二氨基二苯基硫醚、4,4’-二氨基二苯基硫醚、间苯二胺、对苯二胺、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、9,9-双(4-氨基苯基)芴和具有下述所示的结构的二胺。

此外，在上述通式(1)～(3)中，R³和R⁴如上述那样，各自独立地表示羧基、酚性羟基、磺酸基或硫醇基。通过调整这些R³和R⁴的碱溶性基的量，从而碱溶性聚酰亚胺(a)在碱水溶液中的溶解速度发生变化，因此可以获得具有所希望的溶解速度的感光性树脂组合物。

进一步，为了提高与基板的粘接性，可以在不使耐热性降低的范围内对R²共聚具有硅氧烷结构的脂肪族的基团。具体而言，作为二胺成分，可举出将双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷、双(对氨基-苯基)八甲基五硅氧烷等共聚了1～10摩尔％的物质等。

在通式(2)中，X来源于作为封端剂的伯单胺。作为用作封端剂的伯单胺，优选为5-氨基-8-羟基喹啉、1-羟基-7-氨基萘、1-羟基-6-氨基萘、1-羟基-5-氨基萘、1-羟基-4-氨基萘、2-羟基-7-氨基萘、2-羟基-6-氨基萘、2-羟基-5-氨基萘、1-羧基-7-氨基萘、1-羧基-6-氨基萘、1-羧基-5-氨基萘、2-羧基-7-氨基萘、2-羧基-6-氨基萘、2-羧基-5-氨基萘、2-氨基苯甲酸、3-氨基苯甲酸、4-氨基苯甲酸、4-氨基水杨酸、5-氨基水杨酸、6-氨基水杨酸、2-氨基苯磺酸、3-氨基苯磺酸、4-氨基苯磺酸、3-氨基-4,6-二羟基嘧啶、2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、2-氨基苯硫酚、3-氨基苯硫酚、4-氨基苯硫酚等。它们单独使用或组合使用2种以上。

此外，在通式(3)中，Y来源于作为封端剂的二羧酸酐。作为用作封端剂的酸酐，优选为4-羧基苯二甲酸酐、3-羟基苯二甲酸酐、顺式-乌头酸酐等。它们单独使用或组合使用2种以上。

本发明所使用的碱溶性聚酰亚胺可以仅由通式(1)～(3)所示的结构构成，也可以为与具有碱溶性的其它结构的混合体。此时，优选相对于碱溶性聚酰亚胺整体的重量而含有30重量％以上的通式(1)～(3)所示的结构的碱溶性聚酰亚胺。进一步，优选为60重量％以上。如果为30重量％以上，则可以抑制热固化时的收缩，适合于厚膜制作。混合的聚酰亚胺的种类和量优选在不损害通过最终加热处理而获得的聚酰亚胺的耐热性的范围内进行选择。

碱溶性聚酰亚胺可以将二胺的一部分置换为作为封端剂的单胺，或将四羧酸二酐置换为作为封端剂的二羧酸酐，利用公知的方法合成。例如，利用在低温中使四羧酸二酐与二胺化合物与单胺反应的方法、在低温中使四羧酸二酐与二羧酸酐与二胺化合物反应的方法、通过四羧酸二酐与醇而获得二酯然后与二胺和单胺在缩合剂的存在下反应的方法等方法，获得聚酰亚胺前体。然后，可以利用使用公知的酰亚胺化反应法使所得的聚酰亚胺前体完全酰亚胺化的方法来合成聚酰亚胺。

此外，碱溶性聚酰亚胺的酰亚胺化率例如可以通过以下方法而容易地求出。这里，所谓酰亚胺化率，是指如上述那样在经过聚酰亚胺前体而合成聚酰亚胺时，聚酰亚胺前体之中的、多少摩尔％转变为聚酰亚胺。首先，测定聚合物的红外吸收光谱，确认起因于聚酰亚胺的酰亚胺结构的吸收峰(1780cm^-1附近、1377cm^-1附近)的存在。接下来，关于该聚合物，在350℃下热处理了1小时后，再次测定红外吸收光谱，将热处理前与热处理后的1377cm^-1附近的峰强度进行比较。将热处理后的聚合物的酰亚胺化率设为100％，求出热处理前的聚合物的酰亚胺化率。聚合物的酰亚胺化率优选为90％以上。

被导入到碱溶性聚酰亚胺的封端剂可以通过以下方法检测。例如，将导入了封端剂的聚酰亚胺溶解于酸性溶液，分解为作为聚酰亚胺的构成单元的胺成分和羧酸酐成分，将其通过气相色谱(GC)、NMR而测定。除此以外，将导入了封端剂的聚酰亚胺直接使用裂解气相色谱(PGC)、红外光谱和¹³CNMR光谱进行测定，也能够检测。

(A)聚合物的含量在除后述(D)无机填料以外的、感光性树脂组合物的固体成分100质量％中优选为20质量％以上，更优选为30质量％以上，进一步优选为40质量％以上。(A)聚合物的含量越多，则越能够提高固化物的储能模量和耐压性。另一方面，(A)聚合物的含量在除后述(D)无机填料以外的、感光性树脂组合物的固体成分100质量％中，优选为80质量％以下，更优选为70质量％以下，进一步优选为60质量％以下。(A)聚合物的含量越少，则越可以提高感光性树脂片的层压性。

〔(B)自由基聚合性化合物〕

本发明的感光性树脂组合物含有(B)自由基聚合性化合物。(B)自由基聚合性化合物在分子内具有显示自由基聚合性的官能团。作为显示自由基聚合性的官能团，可举出例如，乙烯基、烯丙基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、炔丙基等等。它们之中，具有丙烯酰基、甲基丙烯酰基的化合物在聚合性方面是优选的。以下，将具有丙烯酰基或甲基丙烯酰基的化合物称为(甲基)丙烯酸系化合物。

在本发明中，(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下。

(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上，更优选为80g/eq以上，进一步优选为90g/eq以上，特别优选为100g/eq以上。自由基聚合性官能团当量越大，则越可以提高固化物的伸长率，越能够抑制裂缝的产生。另一方面，(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为200g/eq以下，更优选为180g/eq以下，进一步优选为160g/eq以下，特别优选为140g/eq以下。自由基聚合性官能团当量越小，则越能够提高固化物的储能模量和耐压性，越能够在密封工序时保持顶棚的形状。此外，能够抑制来源于后述(D)无机填料的图案溶胀，形成高分辨率的图案。推测这是因为，通过自由基聚合性官能团当量变小，从而光固化时的交联密度提高，曝光部与未曝光部的溶解对比度差变大。

自由基聚合性官能团当量由下述式求出。

自由基聚合性官能团当量＝(分子量/同一分子中的显示自由基聚合性的官能团的数)

此外，所谓其平均，是将各(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量用质量比例进行了平均值化而得的值。

作为(B)自由基聚合性化合物的平均官能团数，优选为2以上，更优选为3以上。平均官能团数越大，则越能够提高固化物的耐热性。另一方面，作为(B)自由基聚合性化合物的平均官能团数，优选为6以下，更优选为4以下。平均官能团数越小，则越能够抑制固化物的裂缝的产生。

(B)自由基聚合性化合物只要自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下，就没有特别限定，作为(甲基)丙烯酸系化合物，可举出例如，二甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸异丁酯、丙烯酸己酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸异冰片基酯、甲基丙烯酸异冰片基酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、4-羟基丁基丙烯酸酯缩水甘油基醚、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、1,10-癸二醇二甲基丙烯酸酯、二羟甲基三环癸烷二丙烯酸酯、二羟甲基三环癸烷二甲基丙烯酸酯、1,3-金刚烷二丙烯酸酯、1,3-金刚烷二甲基丙烯酸酯、1,3,5-金刚烷三丙烯酸酯、1,3,5-金刚烷三甲基丙烯酸酯、5-羟基-1,3-金刚烷二丙烯酸酯、5-羟基-1,3-金刚烷二甲基丙烯酸酯、五环十五烷二甲醇二丙烯酸酯、五环十五烷二甲醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、1,3-二丙烯酰氧基-2-羟基丙烷、1,3-二甲基丙烯酰氧基-2-羟基丙烷、2,2,6,6-四甲基哌啶基甲基丙烯酸酯、2,2,6,6-四甲基哌啶基丙烯酸酯、N-甲基-2,2,6,6-四甲基哌啶基甲基丙烯酸酯、N-甲基-2,2,6,6-四甲基哌啶基丙烯酸酯、二氧杂环己烷二醇二丙烯酸酯、环氧乙烷改性双酚A二丙烯酸酯、环氧乙烷改性双酚A二甲基丙烯酸酯、环氧丙烷改性双酚A二丙烯酸酯、环氧丙烷改性双酚A甲基丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二甲基丙烯酸酯、环氧乙烷改性季戊四醇四甲基丙烯酸酯、环氧丙烷改性季戊四醇四丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性二丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性二甲基丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性三丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性三甲基丙烯酸酯等。它们单独使用或组合使用2种以上。

(B)自由基聚合性化合物的含量相对于(A)聚合物100质量份，优选为10质量份以上，更优选为20质量份以上，进一步优选为30质量份以上，特别优选为50质量份以上。通过为10质量份以上，从而可以减少显影时的曝光部的膜减少。另一方面，(B)自由基聚合性化合物的含量相对于(A)聚合物100质量份，优选为300质量份以下，更优选为200质量份以下，进一步优选为100质量份以下，特别优选为80质量份以下。通过为300质量份以下，从而可以提高固化物的耐热性。

作为(B)自由基聚合性化合物，优选含有通式(4)所示的化合物。

在通式(4)中，R¹⁰表示碳原子数1～5的烃基，R¹¹表示氢原子或甲基。Z表示有机基。a表示0～1的整数，b表示2～10的整数。a优选为0。在Z不具有环状骨架的情况下，b优选为4～8，在Z具有环状骨架的情况下，b优选为2～4，在具有环状骨架的情况下，优选环状骨架为脂环骨架。

在将(B)自由基聚合性化合物的总质量设为100质量％时，下述通式(4)所示的化合物的含量优选为70质量％以上且100质量％以下，更优选为80质量％以上且100质量％以下，进一步优选为90质量％以上且100质量％以下。能够提高固化物的储能模量和耐压性，能够在密封工序时保持顶棚的形状。此外，能够抑制来源于后述(D)无机填料的图案溶胀，形成高分辨率的图案。

进一步本发明的感光性树脂组合物中的(B)自由基聚合性化合物优选含有(B1)不具有环状结构，且自由基聚合性官能团当量为80～120g/eq的自由基聚合性化合物(以下称为(B1)成分)。通过含有(B1)成分，从而能够提高固化物的储能模量和耐压性。

(B1)成分的官能团数优选为3以上，进一步优选为4以上。通过使官能团数为3以上，从而能够提高固化物的耐热性。另一方面，(B1)成分的官能团数优选为10以下，更优选为8以下。通过使官能团数为10以下，从而能够抑制固化物的裂缝的产生。

作为(B1)成分的具体例，可以举出三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯等，但不限定于这些。

(B)自由基聚合性化合物优选含有(B2)具有脂环结构，且自由基聚合性官能团当量为130～200g/eq的自由基聚合性化合物(以下称为(B2)成分)。通过含有(B2)成分，从而能够提高固化物的储能模量和耐压性，同时提高伸长率。

(B2)成分的官能团数优选为2以上。通过使官能团数为2以上，从而能够提高固化物的耐热性。另一方面，(B2)成分的官能团数优选为6以下，更优选为4以下。通过使官能团数为6以下，从而能够抑制固化物的裂缝的产生。

作为(B2)成分的具体例，可以举出二羟甲基三环癸烷二丙烯酸酯、二羟甲基三环癸烷二甲基丙烯酸酯、1,3-金刚烷二丙烯酸酯、1,3-金刚烷二甲基丙烯酸酯、1,3,5-金刚烷三丙烯酸酯、1,3,5-金刚烷三甲基丙烯酸酯、5-羟基-1,3-金刚烷二丙烯酸酯、5-羟基-1,3-金刚烷二甲基丙烯酸酯、双-(2-丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三-(2-丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯等，但不限定于这些。

在将(B)自由基聚合性化合物的总质量设为100质量％时，(B1)成分和(B2)成分的总质量优选为70质量％以上且100质量％以下，更优选为80质量％以上且100质量％以下，进一步优选为90质量％以上且100质量％以下。能够提高固化物的储能模量和耐压性，能够在密封工序时保持顶棚的形状。此外，能够抑制来源于后述(D)无机填料的图案溶胀，形成高分辨率的图案。

此外，在本发明中，在将(B1)成分和(B2)成分的总质量设为100质量％时，(B1)成分的含量优选为20质量％以上且80质量％以下。即，在将(B1)成分和(B2)成分的总质量设为100质量％时，(B1)成分的含量优选为20质量％以上，更优选为30质量％以上，进一步优选为40质量％以上。通过为20质量％以上，从而能够提高固化物的储能模量和耐压性。另一方面，在将(B1)成分和(B2)成分的总质量设为100质量％时，(B1)成分的含量优选为80质量％以下，更优选为70质量％以下，进一步优选为60质量％以下。通过为80质量％以下，从而能够提高固化物的伸长率。

〔(C)光聚合引发剂〕

本发明的感光性树脂组合物含有(C)光聚合引发剂。通过含有(C)光聚合引发剂，从而上述(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合进行，通过树脂组合物的膜的曝光部对于碱性显影液为不溶化，从而可以形成负型的图案。

作为(C)光聚合引发剂的例子，可举出二苯甲酮类、甘氨酸类、巯基类、肟类、酰基膦类、α-氨基烷基苯酮类等，其中适合使用酰基膦类、肟类。光聚合引发剂可以使用1种，也可以组合使用2种以上。

作为(C)光聚合引发剂的具体例，可举出二苯甲酮、米蚩酮(Michler’sketone)、4,4,-双(二乙基氨基)二苯甲酮、3,3,4,4,-四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮等二苯甲酮类、3,5-双(二乙基氨基亚苄基)-N-甲基-4-哌啶酮、3,5-双(二乙基氨基亚苄基)-N-乙基-4-哌啶酮等亚苄基类、7-二乙基氨基-3-壬基香豆素、4,6-二甲基-3-乙基氨基香豆素、3,3-羰基双(7-二乙基氨基香豆素)、7-二乙基氨基-3-(1-甲基甲基苯并咪唑基)香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素等香豆素类、2-叔丁基蒽醌、2-乙基蒽醌、1,2-苯并蒽醌等蒽醌类、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚等苯偶姻类、2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮等噻吨酮类、乙二醇二(3-巯基丙酸酯)、2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并唑、2-巯基苯并咪唑等巯基类、N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-(对氯苯基)甘氨酸、N-(4-氰基苯基)甘氨酸等甘氨酸类、1-苯基-1,2-丁二酮-2-(邻甲氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(邻甲氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(邻苯甲酰)肟、双(α-异亚硝基苯丙酮肟)间苯二甲酰、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(邻苯甲酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(邻乙酰肟)等肟类、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦等酰基膦类、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、2-甲基-1[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮等α-氨基烷基苯酮类、2,2’-双(邻氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑等。

其中，作为优选的酰基膦类和肟类的例子，为选自2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(邻苯甲酰)肟、双(α-异亚硝基苯丙酮肟)间苯二甲酰、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(邻苯甲酰肟)]、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(邻乙酰肟)、(株)株式会社ADEKA制的アデカアークルズ(注册商标)N-1919、NCI-831、NCI-930、BASF株式会社制OXE-01、OXE-02、OXE-03、OXE-04中的化合物。

(C)光聚合引发剂的含量在(A)聚合物100质量份中优选为0.5质量份以上，更优选为1质量份以上，进一步优选为2质量份以上。通过使(C)光聚合引发剂的含量为0.5质量份以上，从而可以提高感光性树脂组合物对曝光的灵敏度。另一方面，(C)光聚合引发剂的含量在(A)聚合物100质量份中优选为30质量份以下，更优选为20质量份以下，进一步优选为150质量份以下。通过使(C)光聚合引发剂的含量为30质量份以下，从而能够透过光直到深部，可以获得良好的图案形状。

〔(D)无机填料〕

本发明的感光性树脂组合物含有(D)无机填料。通过含有(D)无机填料，从而可以提高储能模量等机械特性、耐化学品性。由此，能够在密封工序时保持顶棚的形状。作为(D)无机填料，可举出滑石、无定形二氧化硅、结晶性二氧化硅、熔融二氧化硅和球状二氧化硅等硅氧化物、氧化钛、氧化铝、氧化钙、氧化镁、氧化锌、碳酸钙、碳酸镁、粉煤灰、脱水污泥、天然二氧化硅、合成二氧化硅、高岭土、粘土、氢氧化钙、氢氧化铝、氢氧化镁、云母、水滑石、硅酸铝、硅酸镁、硅酸钙、烧成滑石、硅灰石、钛酸钾、硫酸镁、硫酸钙、磷酸镁、海泡石、烧蛭石(Zonolite)、氮化硼、硼酸铝、玻璃、二氧化硅球、玻璃球、制铁熔渣、铜、铁、氧化铁、铁硅铝合金(Sendust)、铝镍钴磁钢、各种铁氧体等磁性粉、水泥、诺易堡硅土(ノイブルグ珪土)、硅藻土、三氧化锑、碱式硫酸镁(Magnesium Oxysulfate)、水合铝、水合石膏、明矾和硫酸钡等。本发明的所谓玻璃，是指具有非晶质性，并且多种无机氧化物结合而成的无机物。例如，熔融二氧化硅由于显示非晶质性，但为单一的无机物，因此在本发明中，不包含于玻璃。关于非晶质性和结合的有无，能够通过X射线衍射的峰为宽的来确认。是否具有多种无机氧化物能够通过荧光X射线分析等组成分析方法来确认。

从通过调节折射率而抑制光散射，能够提高分辨率考虑，它们之中的、(D)无机填料优选包含玻璃填料。玻璃填料在(D)无机填料100质量％中，优选包含50质量％以上，更优选包含90质量％以上，进一步优选包含100质量。

从与树脂成分的折射率匹配的观点考虑，玻璃填料优选波长405nm下的折射率为1.55～1.75。

玻璃填料优选含有选自氧化硅、氧化铝、和氧化硼中的至少两种，进一步含有稀土氧化物。通过含有稀土氧化物，从而可以防止后述由湿度引起的玻璃成分的洗脱，并且适合地调整折射率。玻璃填料中包含的稀土氧化物可以为1种，也可以组合使用2种以上。进而，玻璃填料优选由于湿度的影响而发生成分的洗脱的氧化镁、氧化钙、氧化锌的含量少，更优选不包含它们。进一步从绝缘可靠性的观点考虑，玻璃填料进一步优选不包含碱金属氧化物。此外，从向氧化硅、氧化铝、和氧化硼之中的至少两种以上氧化物的混合容易性考虑，玻璃填料优选为稀土氧化物之中的、氧化钇、或氧化镧系元素，进一步，从可致密地进行玻璃填料的折射率的调整的观点考虑，更优选使用氧化钇。

如上所述，玻璃填料由于优选氧化镁、氧化钙、氧化锌的含量少，因此由将玻璃填料在121℃饱和水蒸气压条件下进行了24小时提取处理的提取液检测到的镁离子、钙离子、和锌离子的总量优选在玻璃填料中为100ppm(重量基准)以下。另外，测定可以通过后述实施例所记载的方法而进行。

为了获得使由在121℃饱和水蒸气压条件下进行了24小时提取处理的提取液检测到的镁离子、钙离子、和锌离子的总量在玻璃填料中为100ppm(重量基准)以下，进一步405nm下的折射率为1.55～1.75的玻璃填料，优选在玻璃填料100质量％中，选自氧化硅、氧化铝、和氧化硼中的至少两种的合计的含量为65～85质量％，稀土氧化物的合计的含量为15～35质量％的玻璃填料。更优选在玻璃填料100质量％中，含有氧化硅40～50质量％、氧化铝20～30质量％、氧化硼0～10质量％、稀土氧化物15～35质量％的玻璃填料。玻璃填料中包含的稀土氧化物的含量能够通过一般公知的无机元素的定量测定法而测定，可以通过将SEM-EDX、TEM-EDX、ICP-MS、荧光X射线分析、X射线衍射、电子射线衍射等组合来测定。另外，SEM-EDX为扫描电子显微镜-能量色散型X射线光谱，TEM-EDX为透射电子显微镜-能量色散型X射线光谱，ICP-MS为电感耦合等离子体质谱分析。

本发明中的所谓玻璃填料，是指在2θ-θ的粉末X射线衍射测定中，不具有表示特定成分的晶体结构的锐峰(半宽度2°以下)的物质。

(D)无机填料的折射率可以通过V型块法来测定，在本发明中将在波长405nm下测定了的结果作为折射率。在(D)无机填料与感光性树脂组合物的固体成分的折射率之差大的情况下，界面中的反射、散射发生，因此分辨率降低。为了获得良好的分辨率，(D)无机填料的折射率、和除(D)无机填料以外的感光性树脂组合物的固体成分的折射率之差的绝对值优选为0.05以下。除(D)无机填料以外的感光性树脂组合物的固体成分的折射率主要取决于(A)聚合物的折射率，在(A)聚合物为聚酰亚胺的情况下，折射率成为1.55～1.75。除(D)无机填料以外的感光性树脂组合物的固体成分的折射率可以通过仅调制感光性树脂组合物的有机成分，在涂布和干燥工序后，通过椭圆光度法，关于25℃下的405nm的波长的光进行测定从而求出。(D)无机填料的折射率、和除(D)无机填料以外的感光性树脂组合物的固体成分的折射率之差的绝对值越小越优选，特别优选没有差，即差的绝对值为0。

(D)无机填料的平均粒径优选为0.1～3.0μm，更优选为0.1～2.0μm。平均粒径越小，则越可以使图案加工后的绝缘膜表面的平滑性好。本发明中所谓(D)无机填料的平均粒径，为使用利用了激光衍射散射法的粒度分布计(Microtrac粒度分析计MODEL MT3000)测定的50％体积粒径的值。测定取试样1g左右，在精制水中用40W的输出的超声波使其分散1～3分钟而进行。在(D)无机填料的形状不为球状的情况下，通过激光衍射散射法而获得的平均粒径表示体积等效球的直径，但无论(D)无机填料为哪种形状，平均粒径为上述范围都是适合的。作为(D)无机填料的形状，可举出球状、针状、纤维状、无定形的粒状、板状、破碎状等，但没有特别限定。

从储能模量等机械特性、耐化学品性提高的观点考虑，(D)无机填料的含量在将感光性树脂组合物的固体成分的总质量设为100质量％时，优选为30质量％以上，更优选为50质量％以上，进一步优选为60质量％以上。另一方面，从伸长率提高的观点考虑，(D)无机填料的含量相对于感光性树脂组合物的固体成分的总质量100质量％，优选为80质量％以下。

此外，为了使(D)无机填料分散在感光性树脂组合物中，可以根据需要通过硅烷偶联剂进行表面处理。作为硅烷偶联剂的具体例，可以使用信越化学工业的乙烯基三甲氧基硅烷(KBM-1003)、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(KBM-403)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KBM-503)、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷(KBM-603)、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷(KBM-573)等。(D)无机填料的表面处理可以通过对(D)无机填料添加硅烷偶联剂、和少量的水进行搅拌的干式表面处理而进行。

〔其它成分〕

本发明的感光性树脂组合物优选含有(E)热交联剂。(E)热交联剂为通过图案加工后的加热处理而固化的成分，由此可以使固化物的机械特性、耐化学品性提高。作为(E)热交联剂，优选为含有烷氧基甲基、羟甲基和环氧基之中的至少1个的化合物，更优选为含有烷氧基甲基、羟甲基和环氧基之中的至少2个的化合物。

作为(E)热交联剂之中的、具有烷氧基甲基或羟甲基的化合物，可举出例如，46DMOC、46DMOEP(以上，商品名，旭有机材工业公司制)、DML-PC、DML-PEP、DML-OC、DML-OEP、DML-34X、DML-PTBP、DML-PCHP、DML-OCHP、DML-PFP、DML-PSBP、DML-POP、DML-MBOC、DML-MBPC、DML-MTrisPC、DML-BisOC-Z、DML-BisOCHP-Z、DML-BPC、DMLBisOC-P、DMOM-PC、DMOM-PTBP、DMOM-MBPC、TriML-P、TriML-35XL、TML-HQ、TML-BP、TML-pp-BPF、TML-BPE、TML-BPA、TML-BPAF、TML-BPAP、TMOM-BP、TMOM-BPE、TMOM-BPA、TMOM-BPAF、TMOM-BPAP、HML-TPPHBA、HML-TPHAP、HMOM-TPPHBA、HMOM-TPHAP(以上，商品名，本州化学工业公司制)、“NIKALAC”(注册商标)MX-290、“NIKALAC”MX-280、“NIKALAC”MX-270、“NIKALAC”MX-279、“NIKALAC”MW-100LM、“NIKALAC”MX-750LM(以上，商品名，三和ケミカル公司制)等。

作为(E)热交联剂之中的、具有环氧基的化合物，可举出例如，双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、丙二醇二缩水甘油基醚、聚丙二醇二缩水甘油基醚、聚甲基(缩水甘油基氧基丙基)、含有环氧基的有机硅等。具体而言，可举出“エピクロン”(注册商标)850-S、“エピクロン”HP-4032、“エピクロン”HP-7200、“エピクロン”HP-820、“エピクロン”HP-4700、“エピクロン”EXA-4710、“エピクロン”HP-4770、“エピクロン”EXA-859CRP、“エピクロン”EXA-1514、“エピクロン”EXA-4880、“エピクロン”EXA-4850-150、“エピクロン”EXA-4850-1000、“エピクロン”EXA-4816、“エピクロン”EXA-4822(以上，商品名，大日本インキ化学工業公司制)、“リカレジン”(注册商标)BEO-60E、“リカレジン”BPO-20E、“リカレジン”HBE-100、“リカレジン”DME-100(以上，商品名，新日本理化公司制)、EP-4003S、EP-4000S(以上，商品名，ADEKA公司制)、PG-100、CG-500、EG-200(以上，商品名，大阪ガスケミカル公司制)、NC-3000、NC-6000(以上，商品名，日本化药公司制)、“EPOX”(注册商标)-MK R508、“EPOX”-MKR540、“EPOX”-MK R710、“EPOX”-MK R1710、VG3101L、VG3101M80(以上，商品名，プリンテック公司制)、“セロキサイド”(注册商标)2021P、“セロキサイド”2081、“セロキサイド”2083、“セロキサイド”2085(以上，商品名，ダイセル化学工業公司制)等。

(E)热交联剂可以组合使用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物中的(E)热交联剂的含量相对于(A)聚合物100质量％优选为1质量％以上，更优选为5质量％以上。通过使(E)热交联剂的含量为1质量％以上，从而可以提高固化物的机械特性、耐化学品性。另一方面，(E)热交联剂的含量相对于(A)聚合物100质量％，优选为50质量％以下，更优选为30质量％以下。通过使(E)热交联剂的含量为50质量％以下，从而可以提高感光性树脂组合物的保存稳定性。

此外，本发明的感光性树脂组合物也可以进一步含有阻聚剂。通过含有阻聚剂，从而调节激子的浓度，因此可以形成截面形状为矩形的图案。此外，能够通过阻聚剂而抑制过度的光响应性，可以使曝光裕量宽。

作为阻聚剂的例子，可举出例如，氢醌、氢醌单甲基醚、叔丁基儿茶酚等酚系阻聚剂、吩噻嗪、2-甲氧基吩噻嗪、1-萘酚、1,4-二羟基萘、4-甲氧基-1-萘酚、1-甲氧基萘、1,4-二甲氧基萘、2,6-二甲氧基萘、2,7-二甲氧基萘、1,4-二乙氧基萘、2,6-二乙氧基萘、2,7-二乙氧基萘、2,6-二丁氧基萘、2-乙基-1,4-二乙氧基萘、1,4-二丁氧基萘、1,4-二苯乙氧基萘、1,4-萘醌、2-羟基-1,4-萘醌、2-甲基-1,4-萘醌、9-丁氧基蒽、9,10-丁氧基蒽、9-蒽酮、9,10-蒽醌、2-乙基-9,10-蒽醌等。这些阻聚剂可以单独使用或组合使用两种以上。

本发明的感光性树脂组合物根据需要可以含有敏化剂、密合改良剂、着色剂、分散剂等。

〔感光性树脂组合物的制造方法〕

接下来显示本发明的感光性树脂组合物的制造方法的例子。本发明的感光性树脂组合物的形态之一为将各种原料溶解、稀释于溶剂的清漆材料。作为进行溶解的方法，可举出超声波、叶片搅拌、球磨机等，根据需要可以进行过滤器过滤。过滤方法没有特别限定，但优选为使用保留粒径1μm～50μm的过滤器通过加压过滤进行过滤的方法。作为进行稀释的溶剂，没有特别限定，可举出乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇二丁基醚等醚类、乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸异丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯等乙酸酯类、丙酮、甲基乙基酮、乙酰丙酮、甲基丙基酮、甲基丁基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、2-庚酮等酮类、丁醇、异丁醇、戊醇、4-甲基-2-戊醇、3-甲基-2-丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、双丙酮醇等醇类、甲苯、二甲苯等芳香族烃类、以及N-甲基-2-吡咯烷酮、N-环己基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲亚砜、γ-丁内酯等。

〔感光性树脂片〕

本发明的感光性树脂组合物通过将形成了上述清漆材料的形态的感光性树脂组合物在进行支持的膜(也称为支持膜)上涂覆、干燥，将由感光性树脂组合物形成的层形成在支持膜上，从而制成感光性树脂片。即，本发明的感光性树脂片具有支持膜、和在该支持膜上的由本发明的感光性树脂组合物形成的层(称为感光性树脂层)。

本发明的感光性树脂片中使用的支持膜没有特别限定，能够使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜、聚苯硫醚膜、聚酰亚胺膜等通常被市售的各种膜。在支持膜与由感光性树脂形成的层的接合面，为了提高密合性和剥离性，可以实施有机硅、硅烷偶联剂、铝螯合剂、聚脲等的表面处理。支持膜的厚度没有特别限定，但从作业性的观点考虑，优选为10～100μm的范围。在对由感光性树脂组合物形成的层进行曝光时，由于可以经由支持膜而曝光，因此支持膜的雾度优选为2.0％以下。如果雾度大于2.0％，则曝光光的散射发生，因此图案加工性恶化。

此外，为了保护感光性树脂片，可以在通过由感光性树脂组合物形成的层和支持膜制成的感光性树脂片中的上述层侧具有保护膜。由此，可以保护感光性树脂片的由感光性树脂组合物形成的层的表面不受大气中的垃圾、灰尘等污染物质影响。作为保护膜，可举出聚乙烯膜、聚丙烯(PP)膜、聚酯膜、聚乙烯醇膜等。保护膜优选为由感光性树脂组合物形成的层与保护膜不会容易地剥离的程度的物质。

作为将感光性树脂组合物涂布于支持膜的方法，可举出使用了旋涂器的旋涂、喷涂、辊涂、丝网印刷、刮刀涂布机、模涂机、压延涂布机、弯月面涂布机(meniscus coater)、棒式涂布机、辊式涂布机、逗点辊式涂布机、凹版式涂布机、筛网涂布机(screen coater)、缝模涂布机等方法。此外，涂布膜厚根据涂布方法、组合物的固体成分浓度、粘度等不同而不同，但通常，优选干燥后的膜厚为3μm以上且100μm以下。

本发明的感光性树脂片优选由感光性树脂组合物形成的层的厚度为10～50μm。特别是在使用本发明的固化物作为电子部件的中空结构体的顶棚件的情况下，从耐压性的观点考虑，由感光性树脂组合物形成的层的厚度优选为10μm以上，更优选为20μm以上，进一步优选为30μm以上。另一方面，从电子部件的低高度化的观点考虑，由感光性树脂组合物形成的层的厚度优选为50μm以下，更优选为40μm以下。在干燥时，可以使用烘箱、电热板、红外线等。干燥温度和干燥时间只要为能够使有机溶剂挥发的范围即可，优选适当设定感光性树脂片成为未固化或变为半固化状态那样的范围。具体而言，优选在40℃～120℃的范围进行1分钟～数十分钟。此外，可以将这些温度组合而阶段性地升温，例如，可以在50℃、60℃、70℃下各进行1分钟热处理。

本发明的感光性树脂片将该感光性树脂层的厚度设为25μm时的感光性树脂层的可见光透射率T25优选为40％以上且100％以下，更优选为50％以上且100％以下。通过使将感光性树脂层的厚度设为25μm时的感光性树脂层的可见光透射率T25为40％以上，从而在调整光掩模的位置而进行曝光时，基板上的对位用的标记的辨识性变得良好，位置的调整变得容易。可见光透射率T25可以通过利用紫外可见分光光度计而测定波长400～800nm的透射率，进行平均值化来算出。

〔固化物〕

本发明的固化物为本发明的感光性树脂组合物的固化物。本发明的固化物可以通过使本发明的感光性树脂组合物光固化和热固化而获得。

本发明的固化物的180℃储能模量优选为10GPa以上，更优选为12GPa以上，进一步优选为13GPa以上，特别优选为14GPa以上。通过使180℃储能模量为10GPa以上，从而在作为顶棚件而应用时耐受密封工序变得容易。另一方面，从裂缝抑制的观点考虑，固化物的180℃储能模量优选为20GPa以下，更优选为18GPa以下，进一步优选为16GPa以下。

通过加热处理而获得的固化物的伸长率优选为0.5％以上，更优选为1.0％以上，进一步优选为2.0％。通过使伸长率为0.5％以上，从而可以在作为顶棚件而应用时抑制在密封工序时产生裂缝。

在将损耗模量成为最大的温度设为TE(℃)、将玻璃化转变温度设为TG(℃)时，本发明的固化物优选满足15＜TG-TE＜25的关系。通过使TG-TE高于15，从而在作为顶棚件而应用时耐受密封工序变得容易。另一方面，通过使TG-TE小于25，从而可以抑制裂缝。

在将损耗模量的最大值设为EMAX(GPa)、将180℃下的损耗模量设为E180(GPa)时，本发明的固化物优选满足1.5＜EMAX/E180＜3.2的关系。通过使EMAX/E180高于1.5，从而在作为顶棚件而应用时耐受密封工序变得容易。另一方面，通过使EMAX/E180小于3.2，从而可以抑制裂缝。

〔中空结构体〕

本发明的中空结构体为具有本发明的感光性树脂组合物的固化物作为顶棚件的中空结构体。这里所谓中空结构体，是指具有基板、形成在上述基板上的以包围基板的表面的一部分的方式被设置的凸部、和与上述凸部的顶部接触的膜状物(以下，称为顶棚件)，通过基板、凸部、和顶棚件而形成密闭的空间(以下，称为中空部)，在顶棚件中包含本发明的固化物的结构体。即，本发明的中空结构体为具有基板、形成在上述基板上的以包围上述基板的表面的一部分的方式被设置的凸部、和与上述凸部的顶部接触的膜状物(以下，称为顶棚件)，通过上述基板、上述凸部、和上述顶棚件而形成密闭的空间(以下，称为中空部)，上述顶棚件是包含本发明的固化物的中空结构体。有时将形成在中空结构体的基板的凸部称为壁、壁材。此外，有时将以与上述凸部的顶部接触的方式被设置的膜状物称为顶棚、顶棚件。

中空结构体的凸部可以在基板上通过树脂材料的印刷、感光性材料的光刻加工而形成，也可以通过将基板利用干蚀刻等方法削刮而形成凹陷，相对地形成凸部。在凸部由感光性材料形成了的情况下，从可靠性的观点考虑，优选包含聚酰亚胺。

在本发明的中空结构体中，优选凸部的厚度为5～25μm，进一步中空部中的基板的短边的宽度为200～400μm。如果中空部中的基板的短边的宽度为200μm以上，则在中空部配置内部电极变得容易，如果为400μm以下，则在密封工序时保持顶棚的形状变得容易。可以在被凸部包围了的内侧具有独立的凸部、与外壁连续的凸部。另外，中空部中的基板的短边的宽度为基板的被凸部包围了的内侧的短边的宽度(图1的y1)，可以用能够测长的显微镜测定。

本发明的中空结构体优选顶棚件具有贯通孔。通过顶棚件具有贯通孔，从而能够在顶棚件内部形成配线。由此，不需要在中空结构体的外壁形成配线，能够进行电子部件的小型化。

使用本发明的感光性树脂片而形成中空结构体的方法具有以下工序。

工序1：在基板上形成凸部的工序，

工序2：将感光性树脂片的感光性树脂层侧贴合在基板的凸部上的工序，

工序3：将感光性树脂层曝光的工序，

工序4：将支持膜剥离的工序，

工序5：将感光性树脂层显影的工序，

工序6：将感光性树脂层热固化而制成固化物的工序。

关于各工序，使用图1和图2详细地说明。

首先，如上述那样，通过在基板上通过树脂材料的印刷、感光性材料的光刻加工而形成凸部的方法、通过将基板利用干蚀刻等方法削刮从而形成凹陷而相对地形成凸部的方法等，在基板上形成凸部。

接着，将感光性树脂片的感光性树脂层侧贴合在基板的凸部上。在图1和图2(a)中，作为代表例，将凸部2的宽度x设为50μm，将凸部2的高度z设为20μm，将中空部中的基板1的短边的宽度y1设为300μm，将中空部中的基板1的长边的宽度y2设为500μm，但尺寸不限于此。

从感光性树脂片剥离保护膜，将由感光性树脂组合物形成的层4以与形成了凸部2的基板1对置的方式配置，利用辊层压机从支持膜3侧用辊贴合(图2(b))。贴合温度、压力虽然与形成于基板的凸部的形状等有关，但50～80℃、0.05～0.3MPa是适合的。

接着，利用以发出包含波长405nm的紫外线的光的超高压水银灯、LED、激光等作为光源的曝光机，经由可以形成覆盖凸部2的图案的光掩模而进行曝光。作为曝光所使用的化学射线，有紫外线、可见光、电子射线、X射线等，但在本发明中优选使用水银灯的i射线(365nm)、h射线(405nm)、g射线(436nm)。由感光性树脂组合物形成的层4成为通过曝光而所希望的图案光固化了的层5(图2(c))。另外，可以进行曝光后烘烤。通过进行曝光后烘烤，从而反应良好地进行，可以期待显影后的分辨率提高或显影条件的允许宽度增大等效果。曝光后烘烤可以使用烘箱、电热板、红外线、快闪退火装置或激光退火装置等。作为曝光后烘烤温度，优选为40～150℃，更优选为60～150℃。曝光后烘烤时间优选为10秒～数小时。

接着，将支持膜3剥离(图2(d))。支持膜可以在曝光前剥离，也可以在刚曝光后剥离，也可以在曝光后的加热处理后剥离。

接着使用显影液将未曝光部除去(图2(e))。作为显影液，可举出四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液、碳酸钠水溶液等碱水溶液、环己酮、丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)等有机溶剂，可以根据感光性树脂层的溶解性来适当选择。关于显影液的温度、显影时间，通过图案形状等来适当设定，但分别为20～30℃、30秒～10分钟是适合的。作为显影方式，能够为喷射、桨、浸渍、超声波等方式。

接下来，优选将通过显影而形成的图案利用蒸馏水进行冲洗处理。可以将乙醇、异丙醇等醇类、乳酸乙酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯等酯类等加入到蒸馏水中进行冲洗处理。

进一步，进行热处理，使感光性树脂组合物完全固化，获得具有感光性树脂组合物的固化物6的中空结构体(图2(f))。通过热固化使感光性树脂组合物完全固化，从而可以使耐热性、耐药性提高。

作为使这些特性提高的加热温度，优选为150℃以上，更优选为180℃以上。此外，如果感光性树脂层的热分解发生，则特性降低，因此加热温度优选为350℃以下，更优选为300℃以下。该加热处理选择温度而阶段性地升温，或选择某温度范围一边连续地升温一边实施5分钟～5小时。作为一例，可举出在150℃、250℃下各进行30分钟热处理。或从室温经2小时而直线地升温直到300℃等方法。

〔电子部件、弹性波滤波器〕

本发明的中空结构体被用于具有中空结构体的电子部件。作为具有中空结构体的电子部件，可举出弹性波滤波器。同样地本发明的固化物被用于具有固化物的电子部件，作为特别优选的具有本发明的固化物的电子部件，可举出弹性波滤波器。即，本发明的电子部件具有本发明的固化物或本发明的中空结构体。此外，本发明的弹性波滤波器具有本发明的固化物或本发明的中空结构体。

此外，本发明的固化物由于可以形成图案加工性优异，并且可靠性高的绝缘膜，因此也可以适合用于具有中空结构体的电子部件以外。

固化物的用途没有特别限定，例如，能够应用于安装基板、使用晶片级封装等半导体的系统用的基板、内置于封装的表面保护膜、层间绝缘膜、电路基板的配线保护绝缘膜等的抗蚀剂、多种电子部件、装置。此外，由于其优异的耐热性，可以特别适合用于永久抗蚀剂、即，将进行了图案形成的层间绝缘膜、图案形成后的基板、玻璃、半导体元件等与被粘物热压接的粘接剂用途。

实施例

以下举出实施例等而说明本发明，但本发明不受这些例子限定。

＜(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量的平均的求法＞

自由基聚合性官能团当量由下述式求出。

此外，所谓自由基聚合性官能团当量的平均，是将各(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量用质量比例进行了平均值化而得的值。具体而言，在包含Bx、By、Bz作为(B)自由基聚合性化合物，各自的自由基聚合性官能团当量为Rx、Ry、Rz，各自的质量为Wx、Wy、Wz，它们的合计为W的情况下，自由基聚合性官能团当量的平均为Rx(Wx/W)+Ry(Wy/W)+Rz(Wz/W)。

＜(D)无机填料的折射率＞

通过V型块法进行了测定。在将(D)无机填料50g使用铂制的坩埚在1500℃下熔融了4小时后，使熔液流入到碳制的模中，缓慢冷却后，获得了(D)无机填料的块。将所得的(D)无机填料的块加工为10mm以上×10mm以上×10mm以上的长方体状，使用(株)島津デバイス製造制精密折射计KPR-2000，测定了波长405nm下的折射率。

＜除(D)无机填料以外的感光性树脂组合物的固体成分的折射率＞

调制从感光性树脂组合物除去了(D)无机填料的溶液，在硅晶片上涂布使其干燥了。使用日本セミラボ(株)制光谱椭偏仪SE-2000，通过椭圆光度法，测定了25℃下的波长405nm的折射率。

＜180℃储能模量、TE、TG、EMAX、E180的评价＞

将通过各实施例和各比较例而获得的感光性树脂片的保护膜剥离，以由感光性树脂组合物形成的层朝向硅晶片的方式配置，在80℃、0.3MPa的条件下在4英寸的硅晶片上进行了辊层压。

对所得的支持膜和由感光性树脂组合物形成的层，利用以超高压水银灯作为光源的曝光机以曝光量400mJ/cm²(使用i射线截止滤波器、h射线换算)进行了曝光。在曝光后，将支持膜剥离，利用惰性烘箱进行200℃、60分钟的热处理，在硅晶片上形成了固化物。

关于所得的固化物，从硅晶片剥离，制作出单膜。将该单膜用单刃切为5mm×40mm，通过动态粘弹性测定装置(日立ハイテクサイエンス公司制，DMS6100)而测定了180℃下的储能模量、损耗模量成为最大的温度TE、玻璃化转变温度TG、损耗模量的最大值EMAX、180℃下的损耗模量E180。

另外，该测定在试验模式：拉伸、试验温度：室温(23℃)～350℃、升温速度：5℃/分钟、试验频率：1Hz、夹盘间距离：10mm、样品宽度：5mm的条件下实施了。将所得的180℃储能模量作为评价结果。

＜分辨率的评价＞

在所得的支持膜和由感光性树脂组合物形成的层上，载置配置了通孔的直径为5、10、15这样每隔5μm直到100μm为止的通孔图案20个的光掩模，利用以超高压水银灯作为光源的曝光机以曝光量400mJ/cm²(使用i射线截止滤波器，h射线换算)进行了曝光。在曝光后，将支持膜剥离，用100℃的电热板加热了5分钟。接下来，使用氢氧化四甲基铵的2.38重量％水溶液，通过480秒的喷淋显影将未曝光部除去，利用水进行冲洗处理60秒，然后，进行了旋转干燥。进一步，利用惰性烘箱进行200℃、60分钟的热处理，在硅晶片上形成了在硅晶片上加工了通孔图案的固化物。

将通孔图案用显微镜进行观察，将通孔开口了的最小尺寸作为分辨率。这里所谓通孔的开口，以相对于光掩模的设计值开口50％以上设为通孔开口。将45μm以下的通孔开口了的情况判定为A，将50μm～100μm的通孔开口了的情况判定为B。

＜感光性树脂层的可见光透射率T25的评价＞

将通过各实施例和各比较例而获得的感光性树脂片的保护膜剥离，设为评价用的样品。通过将该样品使用紫外可见分光光度计(日立ハイテクサイエンス公司制，U-3900)而测定波长400～800nm的透射率，进行平均值化，从而算出了可见光透射率T25。

另外，该测定在参比：支持膜、扫描速度：300nm/分钟、取样间隔：0.5nm的条件下实施了。将可见光透射率T25为40％以上的情况判定为A，将小于40％的情况判定为B。

＜伸长率的评价＞

按照与上述180℃储能模量的评价的情况同样的方法而进行处理，由此，制作出感光性树脂组合物的固化物的单膜。将该单膜用单刃切为10mm×100mm，通过拉伸试验机(ボールドウィン公司制，UTM-4-100)而测定了伸长率。

另外，该测定在拉伸速度50mm/分钟、夹盘间距离50mm、样品宽度：10mm的条件下实施了。将伸长率为2％以上的情况设为A，将1％以上且小于2％的情况设为B，将小于1％的情况设为C。

＜(A)聚合物＞

聚酰亚胺1：

使用了通过以下方法而合成出的碱溶性聚酰亚胺。

在干燥氮气气流下，使2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷(32.78g(0.0895摩尔))、和1,3-双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷(1.24g(0.005摩尔))溶解于N-甲基-2-吡咯烷酮(100g)。以下，“N-甲基-2-吡咯烷酮”称为“NMP”。在该溶液中与NMP(30g)一起加入双(3,4-二羧基苯基)醚二酐(31.02g(0.10摩尔))，在20℃下搅拌1小时，接着在50℃下搅拌了4小时。在该搅拌后的溶液中，加入3-氨基苯酚(1.09g(0.01摩尔))，在50℃下搅拌了2小时后，在180℃下搅拌5小时而获得了树脂溶液。接下来，将该树脂溶液投入水(3L)中，使白色沉淀生成了。将该白色沉淀通过过滤收集并用水洗涤了3次后，用80℃的真空干燥机干燥了5小时。所得的聚酰亚胺的酰亚胺化率为94％。此外，聚酰亚胺A1在23℃的四甲基铵水溶液(2.38质量％)中的溶解度为0.5g/100g以上。

＜(B)自由基聚合性化合物＞

DPE-6A(共荣者化学株式会社)。化合物名：二季戊四醇六丙烯酸酯，自由基聚合性官能团当量：96g/eq，官能团数：6。相当于(B1)成分。符合通式(4)。

M-450(东亚合成株式会社)。化合物名：季戊四醇四丙烯酸酯，自由基聚合性官能团当量：88g/eq，官能团数：4。相当于(B1)成分。符合通式(4)。

DCP-A(共荣社化学株式会社)。化合物名：二羟甲基三环癸烷二丙烯酸酯，自由基聚合性官能团当量：152g/eq，官能团数：2。相当于(B2)成分。符合通式(4)。

ADDM(三菱化学株式会社)。化学名：1,3-金刚烷二甲基丙烯酸酯，自由基聚合性官能团当量：152g/eq，官能团数：2。相当于(B2)成分。符合通式(4)。

BP-6EM(共荣社化学株式会社)。化学名：环氧乙烷改性双酚A二甲基丙烯酸酯，自由基聚合性官能团当量：314g/eq，官能团数：2。不符合通式(4)。

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＜(C)光聚合引发剂＞

OXE-04(BASF株式会社)。肟酯系光聚合引发剂。

＜(D)无机填料＞

玻璃填料1

含有氧化硅(以下，也记为SiO₂)45重量％、氧化铝(以下，也记为Al₂O₃)25重量％、氧化硼(以下，也记为B₂O₃)4重量％、氧化钇(以下，也记为Y₂O₃)26重量％的玻璃填料。折射率(波长405nm)：1.61，平均粒径：1.2μm，提取离子量(镁离子、钙离子、和锌离子的总量)：7ppm(重量基准)。

二氧化硅1

SO-E2(アドマテックス株式会社)。氧化硅100重量％的熔融二氧化硅。折射率(波长405nm)：1.47，平均粒径：0.5μm，提取离子量(镁离子、钙离子、和锌离子的总量)：2ppm(重量基准)。

＜(E)热交联剂＞

HMOM-TPHAP(本州化学工业株式会社)。化学名：4,4’,4”-亚乙基三[2,6-双(甲氧基甲基)苯酚]。

＜阻聚剂＞

吩噻嗪(东京化成工业株式会社)

＜密合改良剂＞

KBM-403(信越化学工业株式会社)。化学名：3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷。

＜实施例1＞

以下显示实施例1的感光性树脂组合物的调制作为一例。

添加作为(A)聚合物的聚酰亚胺1(35g)、作为(B)光聚合性化合物的DPE-6A(20g)、作为(C)光聚合引发剂的OXE-04(1.5g)、作为(D)无机填料的玻璃填料1(150g)、作为(E)热交联剂的HMOM-TPHAP的γ-丁内酯溶液(30g(作为固体成分为6g))、作为阻聚剂的吩噻嗪(0.01g)、作为密合改良剂的KBM-403(2g)、作为稀释溶剂的乳酸乙酯(68g)，在120分钟室温下搅拌，将所得的溶液使用保留粒径为10μm的过滤器进行加压过滤，由此获得了感光性树脂组合物。

将所得的感光性树脂组合物使用逗点辊式涂布机，涂布在支持膜(厚度50μm的PET膜)上，在65℃下进行了5分钟干燥后，作为保护膜，将厚度50μm的PP膜进行层压，获得了感光性树脂层的厚度为25μm的感光性树脂片。通过上述方法评价所得的感光性树脂片，将实施例1的评价结果示于表1中。

＜实施例2～12、比较例1～2＞

在本发明的实施例2～12和相对于本发明的比较例1～2中，将上述实施例1中的组成变更为表1所示的组成，除此以外，按照与实施例1同样的方法进行处理，由此，制作出感光性树脂片。使用所得的感光性树脂片，通过上述方法进行评价，实施例2～12、比较例1～2的评价结果示于表1中。

[表1-1]

[表1-2]

表中，“组成”栏的数值是指质量(g)。

如表1所示那样，在(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下的实施例1～11中，与(D)无机填料量相同的比较例1相比，180℃储能模量高，为10GPa以上，成为良好的结果。在(D)无机填料为玻璃填料、仅由符合通式(4)的(B)自由基聚合性化合物构成的实施例1～9中，180℃储能模量、分辨率良好。在(B)自由基聚合性化合物由(B1)成分和(B2)成分构成的、实施例5～9中，180℃储能模量、伸长率都显示出良好的结果。含有(D)无机填料的实施例1和实施例12与比较例2相比，成为180℃弹性模量更高的结果。

产业可利用性

可以形成图案加工性和耐压性优异的固化物。由本发明的感光性树脂组合物获得的固化物由于电特性、机械特性和耐热性优异，具有高可靠性，因此在半导体元件、电子部件的表面保护膜、层间绝缘膜、电路基板的配线保护绝缘膜等用途中是有用的。在进一步要求耐压性的具有中空结构体的电子部件、特别是弹性波滤波器、水晶器件等的中空结构体的顶棚用途中是有用的。

符号的说明

1：基板

2：凸部

3：支持膜

4：由感光性树脂组合物形成的层

5：光固化了的层

6：固化物

x：凸部的宽度

y1：基板的被凸部包围了的内侧的短边的宽度

y2：基板的被凸部包围了的内侧的长边的宽度

z：凸部的高度。

Claims

1.一种感光性树脂组合物，其包含(A)聚合物、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)无机填料，

所述(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量的平均值为70g/eq以上且200g/eq以下。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，在将所述感光性树脂组合物的固体成分的总质量设为100质量％时，所述(D)无机填料的含量为30质量％以上且80质量％以下。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(D)无机填料的折射率、和除所述(D)无机填料以外的所述感光性树脂组合物的固体成分的折射率之差的绝对值为0.05以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)无机填料包含玻璃填料。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述玻璃填料含有选自氧化硅、氧化铝、和氧化硼中的至少两种，且进一步含有稀土氧化物。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(A)聚合物包含选自聚酰亚胺、聚苯并唑、聚酰亚胺前体、聚苯并/>唑前体、和它们的共聚物中的至少1种树脂。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)自由基聚合性化合物包含下述通式(4)所示的化合物，

在将所述(B)自由基聚合性化合物的总质量设为100质量％时，下述通式(4)所示的化合物的含量为70质量％以上且100质量％以下，

在通式(4)中，R¹⁰表示碳原子数1～5的烃基，R¹¹表示氢原子或甲基；Z表示有机基；a表示0～1的整数，b表示2～10的整数。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)自由基聚合性化合物包含(B1)成分，即不具有环状结构、且自由基聚合性官能团当量为80～120g/eq的自由基聚合性化合物。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)自由基聚合性化合物包含(B2)成分，即具有脂环结构、且自由基聚合性官能团当量为130～200g/eq的自由基聚合性化合物。

10.根据权利要求8或9所述的感光性树脂组合物，在将所述(B)自由基聚合性化合物的总质量设为100质量％时，所述(B1)成分和所述(B2)成分的总量为70质量％以上且100质量％以下。

11.根据权利要求9或10所述的感光性树脂组合物，在将所述(B1)成分和所述(B2)成分的总质量设为100质量％时，所述(B1)成分的含量为20质量％以上且80质量％以下。

12.一种感光性树脂片，其具有支持膜和在所述支持膜上的感光性树脂层，所述感光性树脂层是由权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物形成的层。

13.根据权利要求12所述的感光性树脂片，在使所述感光性树脂层的厚度为25μm时的感光性树脂层的可见光透射率T25为40％以上且100％以下。

14.权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物。

15.根据权利要求14所述的固化物，所述固化物的180℃下的储能模量为10GPa以上且20GPa以下。

16.根据权利要求14或15所述的固化物，在将所述固化物的损耗模量成为最大时的温度设为TE、将玻璃化转变温度设为TG时，满足15＜TG-TE＜25的关系，TE和TG的单位是℃。

17.根据权利要求14～16中任一项所述的固化物，在将所述固化物的损耗模量的最大值设为EMAX、将180℃下的损耗模量设为E180时，满足1.5＜EMAX/E180＜3.2的关系，EMAX和E180的单位是GPa。

18.一种中空结构体，其具有基板、形成在所述基板上的以包围所述基板的表面的一部分的方式被设置的凸部、和与所述凸部的顶部接触的膜状物，以下，将所述膜状物称为顶棚件，

通过所述基板、所述凸部、和所述顶棚件形成密闭的空间，以下，将所述空间称为中空部，

所述顶棚件包含权利要求14～17中任一项所述的固化物。

19.根据权利要求18所述的中空结构体，所述顶棚件具有贯通孔。

20.根据权利要求18或19所述的中空结构体，所述凸部的厚度为5～25μm，

所述中空部中的基板的短边的宽度为200～400μm。

21.一种电子部件，其具有权利要求14～17中任一项所述的固化物、或权利要求18～20中任一项所述的中空结构体。

22.一种弹性波滤波器，其具有权利要求14～17中任一项所述的固化物、或权利要求18～20中任一项所述的中空结构体。