CN116813824A - 树脂组合物、树脂片、多层印刷布线板、及半导体装置 - Google Patents

树脂组合物、树脂片、多层印刷布线板、及半导体装置 Download PDF

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熊泽优音
铃木卓也
四家诚司
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Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
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Abstract

本发明的树脂组合物含有：波长405nm(h射线)的透射率为5％以上的马来酰亚胺化合物(A)；特定的含羧酸化合物(B)；及特定的光固化引发剂(C)。

Description

树脂组合物、树脂片、多层印刷布线板、及半导体装置
本申请是申请日为2020年01月17日、申请号为2020800101650、发明名称为“树脂组合物、树脂片、多层印刷布线板、及半导体装置”的申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及树脂组合物、使用其的树脂片、多层印刷布线板、及半导体装置。
背景技术
由于多层印刷布线板的小型化及高密度化，正在积极进行将多层印刷布线板中使用的层叠板薄型化的研究。随着薄型化，关于绝缘层也要求薄型化，要求不包含玻璃布的树脂片。作为绝缘层的材料的树脂组合物中，热固化性树脂为主流，在绝缘层间，用于得到导通的钻孔一般通过激光加工来进行。
另一方面，基于激光加工的钻孔存在如下问题：越为孔数多的高密度基板，加工时间变得越长。因此，近些年要求：通过使用利用光线等照射使曝光部固化(曝光工序)、能去除(显影工序)未曝光部的树脂组合物，能够在曝光、及显影工序一次性钻孔加工的树脂片。
作为曝光的方法，使用了以汞灯为光源并隔着光掩模进行曝光的方法。另外，近年来，作为曝光方法，正在进行基于图案的数字数据、在不隔着光掩模的状态下在感光性树脂组合物层直接描绘的直接描绘曝光法的导入。该直接描绘曝光法与借助光掩模的曝光法相比，位置对准精度良好，并且可得到高精细的图案，因此特别是在需要形成高密度的布线的基板中逐渐引入。其光源使用激光等单色光，其中在可形成高精细的抗蚀图案的DMD(数字微镜装置，Digital Micromirror Device)方式的装置中，使用了波长405nm(h射线)的光源。
作为显影方法，从可以得到高精细的图案的方面出发，使用碱显影。
层叠板、树脂片中使用的感光性的树脂组合物中，为了实现曝光工序中的快速的固化，正在使用(甲基)丙烯酸酯等具有烯属不饱和基团的化合物。
例如，专利文献1中记载了一种感光性热固化型树脂组合物，其包含：使双酚型环氧树脂与(甲基)丙烯酸反应后、与酸酐反应而得到的羧基改性环氧(甲基)丙烯酸酯树脂、联苯型环氧树脂、光固化引发剂、以及稀释剂。
另外，专利文献2中记载了一种树脂组合物，其包含：可光固化的粘结剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合化合物、光聚合(固化)引发剂、敏化剂、作为热固化剂的双烯丙基纳迪克酰亚胺化合物及双马来酰亚胺化合物。
专利文献3中记载了包含双马来酰亚胺化合物(固化性树脂)和光自由基聚合引发剂(固化剂)的树脂组合物作为层叠板、树脂片中使用的感光性的树脂组合物。
专利文献4中记载了：包含使双马来酰亚胺与一元胺反应后、与酸酐反应而得到的含多元羧基化合物、及环氧树脂等固化性树脂的树脂组合物。此外，专利文献2中记载了能够得到具有碱显影性的固化物的含多元羧基化合物。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-62450号
专利文献2：日本特开2010-204298公报
专利文献3：WO2018/56466A1
专利文献4：日本特开2015-229734公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，使用了现有的(甲基)丙烯酸酯系树脂的固化物无法获得充分的物性，在形成优异的保护膜、及层间绝缘层方面存在极限。另外，未曝光部中，碱显影性不充分且无法获得高精细的抗蚀图案，从而在高密度印刷布线板的使用中存在问题。
专利文献1中记载的树脂组合物，碱显影性并不充分且无法获得高精细的抗蚀图案、在高密度印刷布线板的使用上存在问题。
专利文献2中记载了使用双马来酰亚胺化合物，但记载的是作为热固化剂，作为光聚合性化合物使用(甲基)丙烯酸酯。因此，对于由该树脂组合物得到的固化物中，也无法获得充分的物性，在形成优异的保护膜、及层间绝缘层方面存在极限。另外，对于未曝光部，碱显影性不充分、且无法获得高精细的抗蚀图案、在高密度印刷布线板的使用上存在问题。
专利文献3中，使用双马来酰亚胺化合物作为固化性树脂，但通常马来酰亚胺化合物的透光性差，因此包含马来酰亚胺化合物时，光无法充分地到达光固化引发剂。因此，光固化引发剂难以产生自由基，其反应性非常低。因此，专利文献3中，通过在显影前进行追加加热而使马来酰亚胺化合物固化，但由于伴随加热，因此无法获得高精细的抗蚀图案。另外，专利文献3中记载的树脂组合物原本碱显影性不充分，因此在显影后也会残留未曝光的树脂组合物。因此，从这点出发，专利文献3中，无法获得高精细的抗蚀图案，无法用于制造高密度印刷布线板。进而，专利文献3中均没有任何关于用作能够照射包含波长405nm(h射线)的活性能量射线的光源的记载。
专利文献4中记载的含多元羧基化合物必须使双马来酰亚胺与一元胺反应后与酸酐反应而得到，因此工序繁杂。另外，使用芳香族胺化合物作为一元胺，因此该含多元羧基化合物在其结构中包含具有芳香环的酰胺基。因此，该含多元羧基化合物的透光性差，阻碍光固化反应，实际上，难以用于感光性树脂组合物。进而，专利文献4中也记载了使用双马来酰亚胺化合物，但记载了作为固化剂，作为固化性树脂使用了环氧树脂，因此在形成优异的保护膜、及层间绝缘层方面存在极限。
因此，本发明是鉴于前述问题点而作出的，提供：在以包含波长405nm(h射线)的活性能量射线进行曝光的情况下能发生感光、进行光固化的、特别是用于多层印刷布线板时、光固化性和碱显影性优异的树脂组合物；使用了其的树脂片、多层印刷布线板及半导体装置。
用于解决问题的方案
本发明人等发现，通过使用含有特定的马来酰亚胺化合物(A)、特定的含羧酸化合物(B)、和波长405nm(h射线)的吸光度为0.1以上的光固化引发剂(C)的树脂组合物，能够解决前述问题，从而完成了本发明。
即，本发明包括以下的内容。
[1]一种树脂组合物，其含有：
马来酰亚胺化合物(A)，其波长405nm(h射线)的透射率为5％以上；
含羧酸化合物(B)，其为选自下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物、下述式(3)所示的化合物、及下述式(4)所示的化合物中的至少1种；以及
光固化引发剂(C)，其波长405nm(h射线)的吸光度为0.1以上。
(式(1)中，R1各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、氨基或氨基甲基，k1各自独立地表示1～5的整数，式(1)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐。)。
(式(2)中，R2各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，l1各自独立地表示1～9的整数，式(2)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(2)中，具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐。)。
(式(3)中，R3各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，m1各自独立地表示1～9的整数，式(3)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(3)中，具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐。)。
(式(4)中，R4各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，j1各自独立地表示1～5的整数，式(4)中，具有1个以上羧基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐，式(4)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(4)中，具有2个以上羧甲基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐。)。
[2]根据[1]所述的树脂组合物，其中，相对于前述马来酰亚胺化合物(A)100质量份，以0.01～60质量份包含前述含羧酸化合物(B)。
[3]根据[1]或[2]所述的树脂组合物，其中，前述含羧酸化合物为选自下述式(5)所示的化合物、下述式(6)所示的化合物、及下述式(7)所示的化合物中的至少1种。
(式(5)中，R1各自独立地表示氢原子、羟基、氨基或氨基甲基，k2各自独立地表示0～4的整数，o表示5-k2的整数，式(5)中的2个以上的羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐。)。
(式(6)中，R3各自独立地表示氢原子、羟基、羧甲基、氨基或氨基甲基，m2各自独立地表示0～8的整数，p表示9-m2的整数，式(6)中，羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(6)中，具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐。)。
(式(7)中，R4各自独立地表示氢原子、羟基、羧甲基、氨基或氨基甲基，j2各自独立地表示0～4的整数，q表示5-j2的整数，式(7)中，羧甲基与羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(7)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(7)中，具有2个以上羧甲基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐。)。
[4]根据[1]～[3]中任一项所述的树脂组合物，其中，前述马来酰亚胺化合物(A)为双马来酰亚胺化合物。
[5]根据[1]～[4]中任一项所述的树脂组合物，其中，前述光固化引发剂(C)为下述式(8)所示的化合物。
(式(8)中，R5各自独立地表示下述式(9)所示的取代基或苯基。)。
(式(9)中，-*表示原子键，R6各自独立地表示氢原子或甲基。)。
[6]一种树脂片，其具有：
支撑体、及
配置于前述支撑体的单面或两面的树脂层，
前述树脂层包含[1]～[5]中任一项所述的树脂组合物。
[7]根据[6]所述的树脂片，其中，前述树脂层的厚度为1～50μm。
[8]一种多层印刷布线板，其具有：
绝缘层、及
形成于前述绝缘层的单面或两面的导体层，
前述导体层包含[1]～[5]中任一项所述的树脂组合物。
[9]一种半导体装置，其包含[1]～[5]中任一项所述的树脂组合物。
发明的效果
根据本发明，提供：在以包含波长405nm(h射线)的活性能量射线进行曝光的情况下能够发生感光、进行光固化的、特别是用于多层印刷布线板时光固化性和碱显影性优异的树脂组合物；使用了其的树脂片、多层印刷布线板及半导体装置。
附图说明
图1是使用实施例1和比较例1中得到的树脂片进行了碱显影后的照片。
具体实施方式
以下，对用于实施本发明的方式(以下，称为“本实施方式”。)详细地进行说明。以下的本实施方式为用于对本发明进行说明的例示，并不旨在将本发明限定于以下的内容。本发明在其主旨的范围内可以适宜进行变形而实施。
需要说明的是，本说明书中的“(甲基)丙烯酰氧基”是指“丙烯酰氧基”及与其对应的“甲基丙烯酰氧基”这两者，“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”及与其对应的“甲基丙烯酸酯”这两者，“(甲基)丙烯酸”是指“丙烯酸”及与其对应的“甲基丙烯酸”这两者，“(甲基)烯丙基”是指“烯丙基”及与其对应的“甲基烯丙基”这两者。另外，本实施方式中，“树脂固体成分”或“树脂组合物中的树脂固体成分”没有特别限定，是指树脂组合物中的除光固化引发剂(C)、添加剂、溶剂及填充材料以外的成分，“树脂固体成分100质量份”是指树脂组合物中的除光固化引发剂(C)、添加剂、溶剂及填充材料以外的成分的合计为100质量份。
[树脂组合物]
本实施方式的树脂组合物含有：马来酰亚胺化合物(A)，其波长405nm(h射线)的透射率为5％以上；含羧酸化合物(B)，其为选自所述式(1)所示的化合物、所述式(2)所示的化合物、所述式(3)所示的化合物、及所述式(4)所示的化合物中的至少1种；以及光固化引发剂(C)，其波长405nm(h射线)的吸光度为0.1以上。以下对各成分进行说明。
<波长405nm(h射线)的透射率为5％以上的马来酰亚胺化合物(A)>
本实施方式的马来酰亚胺化合物(A)(也称为成分(A))的波长405nm(h射线)的透射率为5％以上。
通常，马来酰亚胺化合物的透光性差，因此若树脂组合物包含马来酰亚胺化合物，则光未充分到达分散于树脂组合物中的光固化引发剂，光固化引发剂难以产生自由基。因此，通常马来酰亚胺化合物的光自由基反应难以进行，即使进行马来酰亚胺单独的自由基聚合、二聚化反应，其反应性也非常低。但是，对于本实施方式的马来酰亚胺化合物(A)，制备以1质量％包含马来酰亚胺化合物(A)的氯仿溶液并使用波长405nm(h射线)的光线测定该氯仿溶液的透射率的情况下，透射率为5％以上，显示出非常优异的透光性。因此，光充分到达光固化引发剂，马来酰亚胺的光自由基反应有效地发生，即使包含后述的含羧酸化合物(B)，也能够使本实施方式的马来酰亚胺化合物(A)光固化。从能够得到具有更优异的光固化性的树脂组合物的方面考虑，光透射率优选为8％以上，更优选为10％以上。需要说明的是，上限例如为99.9％以下。
假设即使使用具有透光性的马来酰亚胺化合物，如果光聚合引发剂吸收波长405nm(h射线)的光而不产生自由基，则不会进行聚合。通常，光固化引发剂有使用长波长的光线时吸光度降低的倾向。使用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线(光线)时，该波长的光为相对长波长，因此通常的光固化引发剂不吸收光，若不使用能够适宜地吸收该光而产生自由基的光固化引发剂则不会进行聚合。然而，波长405nm(h射线)的吸光度为0.1以上时，后述的光固化引发剂(C)对波长405nm(h射线)的光显示出非常优异的吸收性。因此，光固化引发剂(C)由于能够适宜地吸收波长405nm(h射线)的光而产生自由基，因此能够使马来酰亚胺化合物(A)有效地光固化。
进而，通常，马来酰亚胺化合物由于与碱性显影液不具有反应性，因此难以获得碱显影性。然而，本实施方式中，通过包含马来酰亚胺化合物(A)；含羧酸化合物(B)；及光固化引发剂(C)，从而能够得到具有优异的光固化性且碱显影性非常优异的树脂组合物。该该理由尚未明确，本发明人等推测为如下。即推测：显影工序中，未曝光部中流入碱性显影液时，碱性显影液中的碱性成分与含羧酸化合物(B)中的羧基能够适宜地形成盐，改善水溶性。因此，推测出具有优异的碱显影性。
如前所述马来酰亚胺化合物(A)的透光性优异，因此即使使用波长405nm的光，光也会充分地到达光固化引发剂，利用了由光固化引发剂产生的自由基的自由基反应进行，在大量配混了马来酰亚胺化合物(A)的组合物中也能够进行光固化。另外，本实施方式的树脂组合物的碱显影性非常优异。因此，能够使用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线，并使用直接描绘曝光法制造具有高密度且高精细的布线形成(图案)的印刷布线板。此外，包含本实施方式的树脂组合物而得到的固化物的耐热性、绝缘可靠性、及热稳定性优异，因此根据本实施方式，能够适宜地形成多层印刷布线板和半导体装置中的保护膜、及绝缘层。
从可以得到适合的粘度、能够抑制清漆的粘度升高的方面考虑，马来酰亚胺化合物(A)的质均分子量优选为100～20000，更优选为150～10000。需要说明的是，本实施方式中，“质均分子量”是指利用凝胶渗透色谱法(GPC)的聚苯乙烯标准换算的质均分子量。
作为马来酰亚胺化合物(A)，从交联点数的观点出发，优选为双马来酰亚胺化合物。作为这样的双马来酰亚胺化合物，例如可列举出下述式(10)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(11)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(18)所示的马来酰亚胺化合物等下述式(12)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(13)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(14)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(15)所示的马来酰亚胺化合物、1,6-双马来酰亚胺-(2,2,4-三甲基)己烷(下述式(16)所示的马来酰亚胺化合物)、下述式(17)所示的马来酰亚胺化合物、及荧光素-5-马来酰亚胺。
式(10)中，n1(平均)为1以上，优选为1～21，从显示出优异的光固化性的观点出发，更优选为1～16。
式(11)中，x的数为10～35的整数。
式(11)中，y的数为10～35的整数。
式(12)中，Ra表示碳数1～16的直链状或支链状的烷基、或碳数2～16的直链状或支链状的烯基。作为Ra，优选为直链状或支链状的烷基，从显示优异的光固化性的方面出发，更优选为直链状的烷基。
作为烷基的碳数，从显示优异的光固化性的方面出发，更优选4～12。
作为烯基的碳数，从显示优异的光固化性的方面出发，更优选4～12。
作为烷基，例如可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、2-戊基、叔戊基、新戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、2-甲基丁基、3-甲基丁基、2,2-二甲基丙基、正己基、3-己基、正庚基、正辛基、正乙基己基、正壬基、正癸基、及2-甲基戊烷-3-基等。这些之中，从显示优异的光固化性的方面出发，优选正庚基、正辛基、正壬基，更优选正辛基。
作为烯基，例如可列举出乙烯基、(甲基)烯丙基、异丙烯基、1-丙烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、1,3-丁二烯基、2-甲基-2-丙烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基、2-庚烯基、3-庚烯基、4-庚烯基、5-庚烯基、6-庚烯基、2-辛烯基、3-辛烯基、4-辛烯基、5-辛烯基、6-辛烯基、7-辛烯基、2-壬烯基、3-壬烯基、4-壬烯基、5-壬烯基、6-壬烯基、7-壬烯基、8-壬烯基、2-癸烯基、3-癸烯基、4-癸烯基、5-癸烯基、6-癸烯基、7-癸烯基、8-癸烯基、9-癸烯基、2-十二碳烯基、3-十二碳烯基、4-十二碳烯基、5-十二碳烯基、6-十二碳烯基、7-十二碳烯基、8-十二碳烯基、9-十二碳烯基、10-十二碳烯基、十四碳烯基、十六碳烯基、十八碳烯基、二十碳烯基、十八碳二烯基、9,12,15-十八碳三烯基、9,11,13-十八碳三烯基、巴豆基等。这些之中，从显示优异的光固化性的方面出发，优选2-庚烯基、2-辛烯基、2-壬烯基，更优选2-辛烯基。
式(12)中，Rb表示碳数1～16的直链状或支链状的烷基、或碳数2～16的直链状或支链状的烯基。作为Rb，优选为直链状或支链状的烷基，从显示优异的光固化性的方面出发，更优选为直链状的烷基。
作为烷基的碳数，从显示优异的光固化性的方面出发，更优选4～12。
作为烯基的碳数，从显示优异的光固化性的方面出发，更优选4～12。
作为烷基的具体例，可以参照前述的Ra中的烷基。其中，从显示优异的光固化性的方面出发，优选正庚基、正辛基、及正壬基，更优选正辛基。
作为烯基的具体例，可以参照前述的Ra中的烯基。其中，从显示优异的光固化性的方面出发，优选2-庚烯基、2-辛烯基及2-壬烯基，更优选2-辛烯基。
式(12)中，na的数为1以上的整数，优选为2～16的整数，从显示出优异的光固化性的观点出发，更优选为3～14的整数。
式(12)中，nb的数为1以上的整数，优选为2～16的整数，从显示出优异的光固化性的观点出发，更优选为3～14的整数。
na与nb的数任选相同或不同。
式(13)中，n2(平均)为0.5以上，优选为0.8～10，从显示出优异的光固化性的观点出发，更优选为1～8。
式(14)中，n3表示1以上的整数，优选表示1～10的整数。
式(15)中，n4表示1以上的整数，优选表示1～10的整数。
式(17)中，R7各自独立地表示氢原子、甲基或乙基。R8各自独立地表示氢原子或甲基。
马来酰亚胺化合物(A)也可以利用市售品。
作为式(10)所示的马来酰亚胺化合物，例如可列举出K·I Chemical IndustryCo.,LTD.BMI-1000P(商品名、式(10)中的n1＝13.6(平均))、K·IChemical Industry Co.,LTD.BMI-650P(商品名、式(10)中的n1＝8.8(平均))、K·IChemical Industry Co.,LTD.BMI-250P(商品名、式(10)中的n1＝3～8(平均))、K·I Chemical Industry Co.,LTD.CUA-4(商品名、式(10)中的n1＝1)等。
作为式(11)所示的马来酰亚胺化合物，例如可列举出Designer Molecules Inc.制BMI-6100(商品名、式(11)中的x＝18、y＝18)等。
作为式(12)所示的马来酰亚胺化合物，例如可列举出Designer Molecules Inc.制BMI-689(商品名、下述的式(18)、官能团当量：346g/eq.)等。
作为式(13)所示的马来酰亚胺化合物，例如可列举出Designer Molecules Inc.制BMI-1500(商品名、式(13)中的n2＝1.3、官能团当量：754g/eq.)等。
作为式(14)所示的马来酰亚胺化合物，也可以利用市售品，例如可列举出Designer Molecules Inc.(DMI)制BMI-1700(商品名)。
作为式(15)所示的马来酰亚胺化合物，也可以利用市售品，例如可列举出Designer Molecules Inc.(DMI)制BMI-3000(商品名)、Designer Molecules Inc.(DMI)制BMI-5000(商品名)、Designer Molecules Inc.(DMI)制BMI-9000(商品名)。
作为式(16)所示的马来酰亚胺化合物，也可以利用市售品，例如可列举出大和化成工业株式会社制BMI-TMH。
作为式(17)所示的马来酰亚胺化合物，也可以利用市售品，例如可列举出K·IChemical Industry Co.,LTD.BMI-70(商品名、双-(3-乙基-5-甲基-4-马来酰亚胺苯基)甲烷)。
马来酰亚胺化合物(A)可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式的树脂组合物中，从可以获得以马来酰亚胺化合物作为主成分的固化物、改善光固化性这样的观点出发，相对于马来酰亚胺化合物(A)、后述的含羧酸化合物(B)和后述的光固化引发剂(C)的总计100质量份，马来酰亚胺化合物(A)的含量优选为40～99质量份，更优选为50～97质量份，进一步优选为60～96质量份。
<含羧酸化合物(B)>
本实施方式的含羧酸化合物(B)(也称为成分(B))为选自下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物、下述式(3)所示的化合物、及下述式(4)所示的化合物中的至少1种。含羧酸化合物(B)可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式中，通过使用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线、使包含马来酰亚胺化合物(A)和光固化引发剂(C)、及含羧酸化合物(B)的树脂组合物光固化，从而能够得到固化物。另外，根据本实施方式，能够得到在未曝光部中包含含羧酸化合物(B)的树脂组合物。
对于含羧酸化合物(B)，为了有效地发生马来酰亚胺的光自由基反应，在制备以1质量％包含含羧酸化合物(B)的N-甲基吡咯烷酮溶液，并使用波长405nm(h射线)的光线测定该N-甲基吡咯烷酮溶液的透射率时，透射率优选为5％以上。含羧酸化合物(B)的透光性优异，因此光充分地到达光固化引发剂，有效地发生马来酰亚胺的光自由基反应，即使包含含羧酸化合物(B)也能够使本实施方式的马来酰亚胺化合物(A)光固化。从能够得到具有更优异的光固化性的树脂组合物的方面考虑，透射率优选为8％以上，更优选为10％以上。需要说明的是，上限例如为99.9％以下。
本实施方式中，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，含羧酸化合物(B)中优选以2～4的整数包含羧基。
下述式(1)所示的化合物如下所述。
式(1)中，R1各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、氨基或氨基甲基，另外，式(1)所示的化合物具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(1)中，羧基数的上限为6。
从碱显影性的方面考虑，R1各自独立地优选为氢原子、羟基、羧基、或氨基，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，更优选包含羧基。
需要说明的是，苯甲酸与其它含羧酸化合物(B)相比，有碱显影性差的倾向。
另外，k1各自独立地表示1～5的整数。
作为式(1)所示的化合物，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，优选为下述式(5)所示的化合物。
式(5)中，R1各自独立地表示氢原子、羟基、氨基或氨基甲基，从显示出更优异的碱显影性的方面考虑，R1优选为氢原子或羟基，更优选为氢原子。
另外，k2各自独立地表示0～4的整数。
羧基数o表示5-k2的整数。从显示出更优异的碱显影性的方面考虑，羧基数o优选为1～3的整数。在此情况下，R1的数k2为5-o的整数且2～4的整数。
式(5)所示的化合物任选为包含2个以上羧基并且它们彼此连接而形成的酸酐。
作为式(1)所示的化合物，例如可列举出4-氨基苯甲酸、水杨酸、苯二甲酸、偏苯三酸、均苯四酸、4-氨基甲基苯甲酸、及它们的酸酐。作为它们的酸酐，例如可列举出苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐。作为式(1)所示的化合物，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，优选为苯二甲酸、偏苯三酸、均苯四酸、及它们的酸酐。
下述式(2)所示的化合物如下所述。
式(2)中，R2各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基。另外，式(2)所示的化合物具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(2)中，羧基数的上限为10。式(2)所示的化合物具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐。
从碱显影性的方面考虑，R2各自独立地优选为氢原子、羟基、羧基、或氨基，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，更优选包含羧基。
另外，l1各自独立地表示1～9的整数。
需要说明的是，哌啶羧酸与其它含羧酸化合物(B)相比，有碱显影性差的倾向。
作为R2，包含羧基时，从碱显影性的方面考虑，羧基数l1优选为1～3。作为除羧基以外的R2，各自独立地优选为氢原子、或羟基，更优选为氢原子。式(2)所示的化合物包含1～3个羧基时，除羧基以外的R2的数为7～9。
作为式(2)所示的化合物，例如可列举出哌啶羧酸、1,2-哌啶二羧酸、及哌啶二羧酸酐。
下述式(3)所示的化合物如下所述。
式(3)中，R3各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，另外，式(3)所示的化合物具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(3)中，羧基数的上限为10。式(3)所示的化合物具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐。
从碱显影性的方面考虑，R3各自独立地优选为氢原子、羟基、羧基、或氨基，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，更优选包含羧基。
另外，m1各自独立地表示1～9的整数。
作为式(3)所示的化合物，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，优选为下述式(6)所示的化合物。
式(6)中，R3各自独立地表示氢原子、羟基、羧甲基、氨基或氨基甲基，从显示出更优异的碱显影性的方面考虑，R3优选为氢原子或羟基，更优选为氢原子。
另外，m2各自独立地表示0～8的整数。
羧基数p表示9-m2的整数。从显示出更优异的碱显影性的方面考虑，羧基数p优选为1～3的整数。在此情况下，R3的数m2为9-p的整数且6～8的整数。
式(6)所示的化合物任选为包含2个以上羧基并且它们彼此连接而形成的酸酐。另外，式(6)所示的化合物具有羧甲基时，羧甲基与羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐。
作为式(3)所示的化合物，例如可列举出3-环己烯-1-甲酸、顺式4-环己烯-1,2-二羧酸、及顺式4-环己烯-1,2-二羧酸酐。作为式(3)所示的化合物，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，优选为顺式4-环己烯-1,2-二羧酸、及顺式4-环己烯-1,2-二羧酸酐。
下述式(4)所示的化合物如下所述。
式(4)中，R4各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，另外，式(4)所示的化合物具有1个以上羧基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐。另外，式(4)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(4)中，羧基数的上限为5。式(4)中，具有2个以上羧甲基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(4)中，羧甲基数的上限为6。
从碱显影性的方面考虑，R4各自独立地优选为氢原子、羟基、羧基、或氨基，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，更优选包含羧基。
另外，j1各自独立地表示1～5的整数。
作为式(4)所示的化合物，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，优选为下述式(7)所示的化合物。
式(7)中，R4各自独立地表示氢原子、羟基、羧甲基、氨基或氨基甲基，从显示出更优异的碱显影性的方面考虑，R4优选为氢原子或羟基，更优选为氢原子。
另外，j2各自独立地表示0～4的整数。
羧基数q表示5-j2的整数。从显示出更优异的碱显影性的方面考虑，羧基数q优选为1～3的整数。在此情况下，R4的数j2为5-q的整数且2～4的整数。
式(7)中，羧甲基与羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐。式(7)所示的化合物具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(7)中，羧基数的上限为5。式(7)所示的化合物具有2个以上羧甲基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(7)中，羧甲基数的上限为5。
作为式(4)所示的化合物，例如可列举出亚苯基乙酸、1,2-亚苯基二乙酸、1,3-亚苯基二乙酸、1,4-亚苯基二乙酸、及它们的酸酐。作为它们的酸酐，例如可列举出1,2-亚苯基二乙酸酐。作为式(4)所示的化合物，从可以得到更优异的碱显影性的方面考虑，优选为1,2-亚苯基二乙酸。
本实施方式的树脂组合物中，从碱显影性的方面考虑，本实施方式的含羧酸化合物(B)的含量相对于马来酰亚胺化合物(A)100质量份，优选为0.01～60质量份，更优选为0.1～50质量份，进一步优选为1～40质量份。
本实施方式的树脂组合物中，对于含羧酸化合物(B)的含量，从能够得到碱显影性更优异的固化物这样的观点出发，相对于马来酰亚胺化合物(A)、含羧酸化合物(B)和后述的光固化引发剂(C)的总计100质量份，优选为0.01～30质量份，更优选为0.01～25质量份，进一步优选为0.01～20质量份。
<光固化引发剂(C)>
本实施方式中使用的光固化引发剂(C)(也称为成分(C))只要波长405nm(h射线)的吸光度为0.1以上就没有特别限定，通常可以使用在光固化性树脂组合物中使用的领域中公知的光固化引发剂。本实施方式中，通过使用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线，使包含马来酰亚胺化合物(A)和含羧酸化合物(B)、及光固化引发剂(C)的树脂组合物光固化，从而能够得到固化物。光固化引发剂(C)可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式中，在使用波长405nm(h射线)的光线，测定以1质量％包含光固化引发剂(C)的氯仿溶液的吸光度时，其吸光度为0.1以上。如此光固化引发剂(C)即使使用长波长的光线也显示出非常优异的吸光性。从能够得到具有更优异的光固化性的树脂组合物的方面考虑，吸光度优选为0.2以上。需要说明的是，上限例如为99.9以下。
作为光固化引发剂(C)，优选下述式(8)所示的化合物。
式(8)中，R5各自独立地表示下述式(9)所示的取代基或苯基。
式(9)中，-*表示原子键，R6各自独立地表示氢原子或甲基。
对于前述式(8)所示的化合物，制备以1质量％包含该化合物的氯仿溶液，用波长405nm(h射线)的光线测定该氯仿溶液的吸光度的情况下，吸光度为0.1以上，对波长405nm(h射线)的光显示非常优异的吸收性。因此，该化合物对波长405nm(h射线)的光适当地产生自由基。
吸光度优选为0.2以上。上限值例如为2.0以下。
式(8)中，R5各自独立地表示式(9)所示的取代基或苯基。R5中，优选1个以上为式(9)所示的取代基。
式(9)中，R6各自独立地表示氢原子或甲基。R6中，优选1个以上为甲基，更优选全部为甲基。
作为前述式(8)所示的化合物，例如可列举出2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、乙氧基苯基(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-氧化膦等酰基氧化膦类。这些化合物可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
酰基氧化膦类对包含波长405nm(h射线)的活性能量射线显示出非常优异的吸收性，能够使波长405nm(h射线)的透射率为5％以上的马来酰亚胺化合物(A)适宜地自由基聚合。因此，通过使用酰基氧化膦类，尤其在用于多层印刷布线板时，能够适宜地获得光固化性和碱显影性优异的树脂组合物、树脂片。另外，能够适宜地制造使用了它们的多层印刷布线板、及半导体装置。
本实施方式的树脂组合物中，从使用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线使马来酰亚胺化合物的光固化充分地进行、使碱显影性中曝光部充分地不溶化这样的观点出发，相对于马来酰亚胺化合物(A)100质量份，光固化引发剂(C)的含量优选为0.01～20质量份，更优选为0.1～15质量份，进一步优选为1～10质量份。
本实施方式的树脂组合物中，从使用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线使马来酰亚胺化合物的光固化充分地进行、使碱显影性中曝光部充分地不溶化这样的观点出发，相对于马来酰亚胺化合物(A)、含羧酸化合物(B)和光固化引发剂(C)的总计100质量份，光固化引发剂(C)的含量优选为0.99～30质量份，更优选为2.99～25质量份，进一步优选为3.99～10质量份。
光固化引发剂(C)也可以利用市售品，例如可列举出IGM ResinsB.V.制Omnirad(注册商标)819(商品名)、IGM ResinsB.V.制Omnirad(注册商标)TPO G(商品名)、IGMResinsB.V.制Omnirad(注册商标)TPO L G(商品名)等。
<除马来酰亚胺化合物(A)以外的马来酰亚胺化合物(D)>
本实施方式中，在利用包含波长405nm(h射线)的活性能量射线进行曝光时，只要本实施方式的树脂组合物感光而光固化，就可以使用本实施方式的除马来酰亚胺化合物(A)以外的马来酰亚胺化合物(D)(也称为成分(D))。如前所述，马来酰亚胺化合物(A)的透光性非常优异，因此即使使用马来酰亚胺化合物(D)，光也充分地到达光固化引发剂，有效地发生马来酰亚胺的光自由基反应。因此，即使使用包含波长405nm的活性能量射线，光也充分地到达光固化引发剂，使用了由光固化引发剂产生的自由基的自由基反应进行，在配混了马来酰亚胺化合物(D)的树脂组合物中也能够进行光固化。以下对马来酰亚胺化合物(D)进行说明。
对于本实施方式中使用的马来酰亚胺化合物(D)，只要是除马来酰亚胺化合物(A)以外的、且分子中具有一个以上马来酰亚胺基的化合物，就没有特别限定。作为马来酰亚胺化合物(D)，例如可列举出N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-羟基苯基马来酰亚胺、N-苯胺基苯基马来酰亚胺、N-羧基苯基马来酰亚胺、N-(4-羧基-3-羟基苯基)马来酰亚胺、6-马来酰亚胺己酸、4-马来酰亚胺丁酸、双(4-马来酰亚胺苯基)甲烷、2,2-双(4-(4-马来酰亚胺苯氧基)-苯基)丙烷、4,4-二苯基甲烷双马来酰亚胺、双(3,5-二甲基-4-马来酰亚胺苯基)甲烷、双(3-乙基-5-甲基-4-马来酰亚胺苯基)甲烷、双(3,5-二乙基-4-马来酰亚胺苯基)甲烷、苯基甲烷马来酰亚胺、邻亚苯基双马来酰亚胺、间亚苯基双马来酰亚胺、对亚苯基双马来酰亚胺、邻亚苯基双柠康酰亚胺、间亚苯基双柠康酰亚胺、对亚苯基双柠康酰亚胺、2,2-双(4-(4-马来酰亚胺苯氧基)-苯基)丙烷、3,3-二甲基-5,5-二乙基-4,4-二苯基甲烷双马来酰亚胺、4-甲基-1,3-亚苯基双马来酰亚胺、1,2-双马来酰亚胺乙烷、1,4-双马来酰亚胺丁烷、1,5-双马来酰亚胺戊烷、1,5-双马来酰亚胺-2-甲基戊烷、1,6-双马来酰亚胺己烷、1,6-双马来酰亚胺-(2,2,4-三甲基)己烷、1,8-双马来酰亚胺-3,6-二氧杂辛烷、1,11-双马来酰亚胺-3,6,9-三氧杂十一烷、1,3-双(马来酰亚胺甲基)环己烷、1,4-双(马来酰亚胺甲基)环己烷、4,4-二苯基醚双马来酰亚胺、4,4-二苯基砜双马来酰亚胺、1,3-双(3-马来酰亚胺苯氧基)苯、1,3-双(4-马来酰亚胺苯氧基)苯、4,4-二苯基甲烷双柠康酰亚胺、2,2-双[4-(4-柠康酰亚胺苯氧基)苯基]丙烷、双(3,5-二甲基-4-柠康酰亚胺苯基)甲烷、双(3-乙基-5-甲基-4-柠康酰亚胺苯基)甲烷、双(3,5-二乙基-4-柠康酰亚胺苯基)甲烷、聚苯基甲烷马来酰亚胺、荧光素-5-马来酰亚胺、聚苯基甲烷马来酰亚胺等下述式(19)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(20)所示的马来酰亚胺化合物、及这些马来酰亚胺化合物的预聚物、及马来酰亚胺化合物与胺化合物的预聚物等。
作为下述式(19)所示的马来酰亚胺化合物，也可以利用市售品，例如可列举出大和化成工业株式会社制BMI-2300(商品名)。作为下述式(20)所示的马来酰亚胺化合物，也可以利用市售品，例如可列举出日本化药株式会社制MIR-3000(商品名)。
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式(19)中，R9各自独立地表示氢原子或甲基。n5表示1以上的整数，优选表示1～10的整数，更优选表示1～5的整数。
式(20)中，R10各自独立地表示氢原子或甲基。n6表示1以上的整数，优选表示1～5的整数。
马来酰亚胺化合物(D)可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式的树脂组合物中，从能够获得以马来酰亚胺化合物作为主成分的固化物、改善光固化性这样的观点出发，马来酰亚胺化合物(A)与马来酰亚胺化合物(D)的配混比((A)：(D))以质量基准计优选为1～99：99～1，更优选为5～95：95～5，进一步优选为10～90：90～10。
本实施方式的树脂组合物中，从能够获得以马来酰亚胺化合物作为主成分的固化物、改善光固化性这样的观点出发，相对于马来酰亚胺化合物(A)、含羧酸化合物(B)、光固化引发剂(C)和马来酰亚胺化合物(D)的总计100质量份，马来酰亚胺化合物(A)和马来酰亚胺化合物(D)的总计的含量优选为40～99质量份，更优选为50～97质量份，进一步优选为70～96质量份。
<填充材料(E)>
本实施方式中，只要发挥本发明的效果，就可以为了改善涂膜性、耐热性等各特性而使用填充材料(E)(也称为成分(E))。填充材料(E)只要具有绝缘性、不阻碍对波长405nm(h射线)的光线的透过性就没有特别限定。
作为填充材料(E)，例如可列举出二氧化硅(例如，天然二氧化硅、熔融二氧化硅、无定形二氧化硅、及中空二氧化硅等)、铝化合物(例如，勃姆石、氢氧化铝、氧化铝、及氮化铝等)、硼化合物(例如，氮化硼等)、镁化合物(例如，氧化镁、及氢氧化镁等)、钙化合物(例如，碳酸钙等)、钼化合物(例如，氧化钼、及钼酸锌等)、钡化合物(例如，硫酸钡、及硅酸钡等)、滑石(例如，天然滑石、及焙烧滑石等)、云母、玻璃(例如，短纤维状玻璃、球状玻璃、微粉末玻璃、E玻璃、T玻璃、及D玻璃等)、有机硅粉末、氟树脂系填充材料、氨基甲酸酯树脂系填充材料、(甲基)丙烯酸类树脂系填充材料、聚乙烯系填充材料、苯乙烯·丁二烯橡胶、及有机硅橡胶等。填充材料(E)可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
这些当中，优选为二氧化硅、勃姆石、硫酸钡、有机硅粉末、氟树脂系填充材料、氨基甲酸酯树脂系填充材料、(甲基)丙烯酸类树脂系填充材料、聚乙烯系填充材料、苯乙烯·丁二烯橡胶、及有机硅橡胶。
这些填充材料(E)可以用后述的硅烷偶联剂等进行表面处理。
从改善固化物的耐热性、而且可以得到良好的涂膜性这样的观点出发，优选二氧化硅。更优选熔融二氧化硅。作为二氧化硅，例如可列举出电化株式会社制的SFP-130MC(商品名)、ADMATECHS CO.,LTD.制的SC2050-MB(商品名)、SC1050-MLE(商品名)、YA010C-MFN(商品名)、及YA050C-MJA(商品名)等。
从树脂组合物的紫外线透过性的观点出发，填充材料(E)的粒径通常为0.005～10μm，优选为0.01～1.0μm。
本实施方式的树脂组合物中，从使树脂组合物的紫外光透过性、固化物的耐热性变得良好这样的观点出发，相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，填充材料(E)的含量优选设为30质量份以下、更优选设为20质量份以下、进一步优选设为10质量份以下。需要说明的是，含有填充材料(E)的情况下，从得到提高涂膜性、耐热性等各特性的效果的观点出发，相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，下限值通常为1质量份。
<硅烷偶联剂和湿润分散剂>
本实施方式中，为了改善填充材料的分散性、聚合物和/或树脂与填充材料的粘接强度，也可以使用硅烷偶联剂和/或湿润分散剂。
作为这些硅烷偶联剂，只要是通常无机物的表面处理中使用的硅烷偶联剂就没有特别限定。
作为硅烷偶联剂，例如可列举出3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基二甲氧基甲基硅烷、3-氨基丙基二乙氧基甲基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基二甲氧基甲基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基二乙氧基甲基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、[3-(6-氨基己基氨基)丙基]三甲氧基硅烷、及[3-(N,N-二甲基氨基)-丙基]三甲氧基硅烷等氨基硅烷系；3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基二甲氧基甲基硅烷、3-环氧丙氧基丙基二乙氧基甲基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、及[8-(缩水甘油醚氧基)-正辛基]三甲氧基硅烷等环氧硅烷系；乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、二甲氧基甲基乙烯基硅烷、二乙氧基甲基乙烯基硅烷、三甲氧基(7-辛烯-1-基)硅烷、及三甲氧基(4-乙烯基苯基)硅烷等乙烯基硅烷系；3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基二甲氧基甲基硅烷、及3-甲基丙烯酰氧基丙基二乙氧基甲基硅烷等甲基丙烯酸类硅烷系；3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、及3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷等丙烯酸类硅烷系；3-异氰酸酯丙基三甲氧基硅烷、及3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷等异氰酸酯硅烷系；三-(三甲氧基甲硅烷基丙基)异氰脲酸酯等异氰脲酸酯硅烷系；3-巯基丙基三甲氧基硅烷、及3-巯基丙基二甲氧基甲基硅烷等巯基硅烷系；3-脲基丙基三乙氧基硅烷等脲基硅烷系；对苯乙烯三甲氧基硅烷等苯乙烯硅烷系；N-[2-(N-乙烯基苄基氨基)乙基]-3-氨基丙基三甲氧基硅烷盐酸盐等阳离子型硅烷系；[3-(三甲氧基硅烷基)丙基]琥珀酸酐等酸酐系；苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、二甲氧基甲基苯基硅烷、二乙氧基甲基苯基硅烷、及对甲苯基三甲氧基硅烷等苯基硅烷系；三甲氧基(1-萘基)硅烷等芳基硅烷系。硅烷偶联剂可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式的树脂组合物中，硅烷偶联剂的含量通常相对于树脂组合物100质量份为0.1～10质量份。
作为湿润分散剂，只要为涂料用中使用的分散稳定剂，就没有特别限定。作为湿润分散剂，例如可列举出BYK JapanKK制的DISPERBYK(注册商标)-110(商品名)、111(商品名)、118(商品名)、180(商品名)、161(商品名)、BYK(注册商标)-W996(商品名)、W9010(商品名)、W903(商品名)等。湿润分散剂可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式的树脂组合物中，湿润分散剂的含量通常相对于树脂组合物100质量份为0.1～10质量份。
<氰酸酯化合物、酚醛树脂、氧杂环丁烷树脂、苯并噁嗪化合物、环氧树脂及其它化合物>
本实施方式中，只要发挥本发明的效果，根据固化的固化物的阻燃性、耐热性和热膨胀特性等特性，也可以使用除马来酰亚胺化合物(A)、含羧酸化合物(B)、光固化引发剂(C)和马来酰亚胺化合物(D)以外的氰酸酯化合物、酚醛树脂、氧杂环丁烷树脂、苯并噁嗪化合物、环氧树脂、及其它化合物等各种类化合物和树脂。例如在要求耐热性的情况下，可列举出氰酸酯化合物、苯并噁嗪化合物、酚醛树脂、及氧杂环丁烷树脂。
这些树脂和化合物可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
<氰酸酯化合物>
作为氰酸酯化合物，只要为分子内具有被至少1个氰酰基(氰酸酯基)取代的芳香族部分的树脂，就没有特别限定。
例如，可列举出式(21)所示的化合物。
式(21)中，Ar1表示苯环、萘环或2个苯环进行单键键合而成者。具有多个的情况下，彼此可以相同也可以不同。Ra各自独立地表示氢原子、碳数1～6的烷基、碳数2～6的烯基、碳数6～12的芳基、碳数1～4的烷氧基、碳数1～6的烷基与碳数6～12的芳基键合而成的基团。Ra中的芳香环可以具有取代基，Ar1及Ra中的取代基可以选择任意的位置。p表示键合于Ar1的氰酰基的数量，各自独立地为1～3的整数。q表示键合于Ar1的Ra的数量，Ar1为苯环时为4-p，为萘环时为6-p，为2个苯环进行单键键合而成者时为8-p。t表示平均重复数，为0～50的整数，氰酸酯化合物可以是t不同的化合物的混合物。对于X，具有多个的情况下，各自独立地表示单键、碳数1～50的2价的有机基团(氢原子可以被杂原子取代。)、氮数1～10的2价的有机基团(例如-N-R-N-(此处R表示有机基团。))、羰基(-CO-)、羧基(-C(＝O)O-)、羰基二氧基(-OC(＝O)O-)、磺酰基(-SO2-)、2价的硫原子或2价的氧原子中的任意者。
式(21)的Ra中的烷基可以具有直链或支链的链状结构、及环状结构(例如环烷基等)中的任意者。
另外，式(21)中的烷基及Ra中的芳基中的氢原子可以被氟原子、氯原子等卤素原子、甲氧基、苯氧基等烷氧基、或氰基等取代。
作为烷基，例如可列举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正戊基、1-乙基丙基、2,2-二甲基丙基、环戊基、己基、环己基、及三氟甲基等。
作为烯基，例如可列举出乙烯基、(甲基)烯丙基、异丙烯基、1-丙烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、1,3-丁二烯、2-甲基-2-丙烯基、2-戊烯基、及2-己烯基等。
作为芳基，例如可列举出苯基、二甲苯基、三甲苯基、萘基、苯氧基苯基、乙基苯基、邻-、间-或对-氟苯基、二氯苯基、二氰基苯基、三氟苯基、甲氧基苯基、及邻-、间-或对-甲苯基等。进而作为烷氧基，例如可列举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、及叔丁氧基等。
作为式(21)的X中的碳数1～50的2价的有机基团，例如可列举出亚甲基、亚乙基、三亚甲基、亚环戊基、亚环己基、三甲基亚环己基、联苯基亚甲基、二甲基亚甲基-亚苯基-二甲基亚甲基、芴二基、及苯酞二基等。前述2价的有机基团中的氢原子可以被氟原子、氯原子等卤素原子、甲氧基、苯氧基等烷氧基、氰基等取代。
式(21)的X中的氮数1～10的2价的有机基团，可列举出亚氨基、聚酰亚胺基等。
另外，作为式(21)中的X的有机基团，例如可列举出下述式(22)或下述式(23)所示的结构。
式(22)中，Ar2表示苯二基、萘二基或联苯基二基，u为2以上的整数情况下，彼此可以相同也可以不同。Rb、Rc、Rf、及Rg各自独立地表示氢原子、碳数1～6的烷基、碳数6～12的芳基、三氟甲基、或具有至少1个酚羟基的芳基。Rd及、Re各自独立地选自氢原子、碳数1～6的烷基、碳数6～12的芳基、碳数1～4的烷氧基、或羟基中的任一种。u表示0～5的整数。
式(23)中，Ar3表示苯二基、萘二基或联苯基二基，v为2以上的整数情况下，彼此可以相同也可以不同。Ri、及Rj各自独立地表示氢原子、碳数1～6的烷基、碳数6～12的芳基、苄基、碳数1～4的烷氧基、羟基、三氟甲基、或被至少1个氰酰基取代的芳基。v表示0～5的整数，也可以为v不同的化合物的混合物。
进而，作为式(21)中的X，可列举出下式所示的2价的基团。
此处，式中，z表示4～7的整数。Rk各自独立地表示氢原子或碳数1～6的烷基。
作为式(22)的Ar2及式(23)的Ar3的具体例，可列举出：式(22)所示的2个的碳原子或式(23)所示的2个氧原子键合于1,4位或1,3位的苯二基，前述2个碳原子或2个氧原子键合于4,4’位、2,4’位、2,2’位、2,3’位、3,3’位、或3,4’位的联苯基二基，及前述2个碳原子或2个氧原子键合于2,6位、1,5位、1,6位、1,8位、1,3位、1,4位、或2,7位的萘二基。
式(22)的Rb、Rc、Rd、Re、Rf及Rg、及式(23)的Ri、Rj中的烷基及芳基，与前述式(21)中的含义相同。
作为前述式(21)所示的氰酰基取代芳香族化合物，例如可列举出氰酰基苯、1-氰酰基-2-甲基苯、1-氰酰基-3-甲基苯、或1-氰酰基-4-甲基苯、1-氰酰基-2-甲氧基苯、1-氰酰基-3-甲氧基苯、或1-氰酰基-4-甲氧基苯、1-氰酰基-2,3-二甲基苯、1-氰酰基-2,4-二甲基苯、1-氰酰基-2,5-二甲基苯、1-氰酰基-2,6-二甲基苯、1-氰酰基-3,4-二甲基苯或1-氰酰基-3,5-二甲基苯、氰酰基乙基苯、氰酰基丁基苯、氰酰基辛基苯、氰酰基壬基苯、2-(4-氰酰基苯基)-2-苯基丙烷(4-α-枯基苯酚的氰酸酯)、1-氰酰基-4-环己基苯、1-氰酰基-4-乙烯基苯、1-氰酰基-2-氯苯或1-氰酰基-3-氯苯、1-氰酰基-2,6-二氯苯、1-氰酰基-2-甲基-3-氯苯、氰酰基硝基苯、1-氰酰基-4-硝基-2-乙基苯、1-氰酰基-2-甲氧基-4-烯丙基苯(丁子香酚的氰酸酯)、甲基(4-氰酰基苯基)硫醚、1-氰酰基-3-三氟甲基苯、4-氰酰基联苯、1-氰酰基-2-乙酰基苯或1-氰酰基-4-乙酰基苯、4-氰酰基苯甲醛、4-氰酰基苯甲酸甲酯、4-氰酰基苯甲酸苯基酯、1-氰酰基-4-乙酰氨基苯、4-氰酰基二苯甲酮、1-氰酰基-2,6-二叔丁基苯、1,2-二氰酰基苯、1,3-二氰酰基苯、1,4-二氰酰基苯、1,4-二氰酰基-2-叔丁基苯、1,4-二氰酰基-2,4-二甲基苯、1,4-二氰酰基-2,3,4-二甲基苯、1,3-二氰酰基-2,4,6-三甲基苯、1,3-二氰酰基-5-甲基苯、1-氰酰基萘或2-氰酰基萘、1-氰酰基-4-甲氧基萘、2-氰酰基-6-甲氧基萘、2-氰酰基-7-甲氧基萘、2,2’-二氰酰基-1,1’-联萘、1,3-二氰酰基萘、1,4-二氰酰基萘、1,5-二氰酰基萘、1,6-二氰酰基萘、1,7-二氰酰基萘、2,3-二氰酰基萘、2,6-二氰酰基萘、或2,7-二氰酰基萘、2,2’-二氰酰基联苯或4,4’-二氰酰基联苯、4,4’-二氰酰基八氟联苯、2,4’-二氰酰基二苯基甲烷或4,4’-二氰酰基二苯基甲烷、双(4-氰酰基-3,5-二甲基苯基)甲烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)乙烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)丙烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)丙烷、2,2-双(4-氰酰基-3-甲基苯基)丙烷、2,2-双(2-氰酰基-5-联苯基)丙烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)六氟丙烷、2,2-双(4-氰酰基-3,5-二甲基苯基)丙烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)丁烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)异丁烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)戊烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)-3-甲基丁烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)-2-甲基丁烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)-2,2-二甲基丙烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)丁烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)戊烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)己烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)-3-甲基丁烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)-4-甲基戊烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)-3,3-二甲基丁烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)己烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)庚烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)辛烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2-甲基戊烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2-甲基己烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2,2-二甲基戊烷、4,4-双(4-氰酰基苯基)-3-甲基庚烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2-甲基庚烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2,2-二甲基己烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2,4-二甲基己烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)-2,2,4-三甲基戊烷、2,2-双(4-氰酰基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、双(4-氰酰基苯基)苯基甲烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)-1-苯基乙烷、双(4-氰酰基苯基)联苯基甲烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)环戊烷、1,1-双(4-氰酰基苯基)环己烷、2,2-双(4-氰酰基-3-异丙基苯基)丙烷、1,1-双(3-环己基-4-氰酰基苯基)环己烷、双(4-氰酰基苯基)二苯基甲烷、双(4-氰酰基苯基)-2,2-二氯乙烯、1,3-双[2-(4-氰酰基苯基)-2-丙基]苯、1,4-双[2-(4-氰酰基苯基)-2-丙基]苯、1,1-双(4-氰酰基苯基)-3,3,5-三甲基环己烷、4-[双(4-氰酰基苯基)甲基]联苯、4,4-二氰酰基二苯甲酮、1,3-双(4-氰酰基苯基)-2-丙烯-1-酮、双(4-氰酰基苯基)醚、双(4-氰酰基苯基)硫醚、双(4-氰酰基苯基)砜、4-氰酰基苯甲酸-4-氰酰基苯基酯(4-氰酰基苯基-4-氰酰基苯甲酸酯)、双-(4-氰酰基苯基)碳酸酯、1,3-双(4-氰酰基苯基)金刚烷、1,3-双(4-氰酰基苯基)-5,7-二甲基金刚烷、3,3-双(4-氰酰基苯基)异苯并呋喃-1(3H)-酮(酚酞的氰酸酯)、3,3-双(4-氰酰基-3-甲基苯基)异苯并呋喃-1(3H)-酮(邻甲酚酞的氰酸酯)、9,9’-双(4-氰酰基苯基)芴、9,9-双(4-氰酰基-3-甲基苯基)芴、9,9-双(2-氰酰基-5-联苯基)芴、三(4-氰酰基苯基)甲烷、1,1,1-三(4-氰酰基苯基)乙烷、1,1,3-三(4-氰酰基苯基)丙烷、α,α,α’-三(4-氰酰基苯基)-1-乙基-4-异丙基苯、1,1,2,2-四(4-氰酰基苯基)乙烷、四(4-氰酰基苯基)甲烷、2,4,6-三(N-甲基-4-氰酰基苯胺基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(N-甲基-4-氰酰基苯胺基)-6-(N-甲基苯胺基)-1,3,5-三嗪、双(N-4-氰酰基-2-甲基苯基)-4,4’-氧双苯二甲酰亚胺、双(N-3-氰酰基-4-甲基苯基)-4,4’-氧双苯二甲酰亚胺、双(N-4-氰酰基苯基)-4,4’-氧双苯二甲酰亚胺、双(N-4-氰酰基-2-甲基苯基)-4,4’-(六氟异亚丙基)二苯甲酰亚胺、三(3,5-二甲基-4-氰酰基苄基)异氰脲酸酯、2-苯基-3,3-双(4-氰酰基苯基)苄甲内酰胺(phthalimidine)、2-(4-甲基苯基)-3,3-双(4-氰酰基苯基)苄甲内酰胺、2-苯基-3,3-双(4-氰酰基-3-甲基苯基)苄甲内酰胺、1-甲基-3,3-双(4-氰酰基苯基)吲哚啉-2-酮、及2-苯基-3,3-双(4-氰酰基苯基)吲哚啉-2-酮。
另外，作为前述式(21)所示的氰酸酯化合物的其它具体例，可列举出使苯酚酚醛清漆树脂及甲酚酚醛清漆树脂(通过公知的方法，使苯酚、烷基取代苯酚或卤素取代苯酚与福尔马林、多聚甲醛等甲醛化合物在酸性溶液中反应而成者)、三苯酚酚醛清漆树脂(使羟基苯甲醛与苯酚在酸性催化剂的存在下反应而成者)、芴酚醛清漆树脂(使芴酮化合物与9,9-双(羟基芳基)芴类在酸性催化剂的存在下反应而成者)、苯酚芳烷基树脂、甲酚芳烷基树脂、萘酚芳烷基树脂及联苯芳烷基树脂(通过公知的方法，使Ar4-(CH2Y)2(Ar4表示苯基，Y表示卤素原子。以下，该段落中同样。)所示那样的双卤代甲基化合物与酚化合物在酸性催化剂或无催化剂下反应而成者、使Ar4-(CH2OR)2(R表示烷基。)所示那样的双(烷氧基甲基)化合物与酚化合物在酸性催化剂的存在下反应而成者、或使Ar4-(CH2OH)2所示那样的双(羟基甲基)化合物与酚化合物在酸性催化剂的存在下反应而成者、或使芳香族醛化合物与芳烷基化合物与酚化合物缩聚而成者)、酚改性二甲苯甲醛树脂(通过公知的方法，使二甲苯甲醛树脂与酚化合物在酸性催化剂的存在下反应而成者)、改性萘甲醛树脂(通过公知的方法，使萘甲醛树脂与羟基取代芳香族化合物在酸性催化剂的存在下反应而成者)、酚改性二环戊二烯树脂、具有聚亚萘基醚结构的酚醛树脂(通过公知的方法，使1分子中具有2个以上酚羟基的多羟基萘化合物在碱性催化剂的存在下脱水缩合而成者)等酚醛树脂通过与前述同样的方法进行氰酸酯化而成者等、及它们的预聚物等。
氰酸酯化合物可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
作为这些氰酸酯化合物的制造方法，不特别限定，可以使用公知的方法。作为所述制法的例子，可列举出获得或合成具有期望骨架的含羟基化合物，通过公知的方法对羟基进行修饰而进行氰酸酯化的方法。作为对羟基进行氰酸酯化的方法，例如，可列举出IanHamerton，“Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins，”BlackieAcademic&Professional中记载的方法。
使用了这些氰酸酯化合物的固化物具有玻璃化转变温度、低热膨胀性、及镀覆密合性等优异的特性。
本实施方式的树脂组合物中，相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，氰酸酯化合物的含量优选为0.01～40质量份。
<酚醛树脂>
作为酚醛树脂，只要为1分子中具有2个以上羟基的酚醛树脂，就可以使用通常公知的物质。例如，可列举出双酚A型酚醛树脂、双酚E型酚醛树脂、双酚F型酚醛树脂、双酚S型酚醛树脂、苯酚酚醛清漆树脂、双酚A酚醛清漆型酚醛树脂、缩水甘油酯型酚醛树脂、芳烷基酚醛清漆型酚醛树脂、联苯芳烷基型酚醛树脂、甲酚酚醛清漆型酚醛树脂、多官能酚醛树脂、萘酚树脂、萘酚酚醛清漆树脂、多官能萘酚树脂、蒽型酚醛树脂、萘骨架改性酚醛清漆型酚醛树脂、苯酚芳烷基型酚醛树脂、萘酚芳烷基型酚醛树脂、二环戊二烯型酚醛树脂、联苯型酚醛树脂、脂环式酚醛树脂、多元醇型酚醛树脂、含磷酚醛树脂、含聚合性不饱和烃基的酚醛树脂及含羟基有机硅树脂类等。
酚醛树脂可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式的树脂组合物中，相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，酚醛树脂的含量优选为0.01～40质量份。
<氧杂环丁烷树脂>
作为氧杂环丁烷树脂，可以使用通常公知的物质。例如，可列举出氧杂环丁烷、2-甲基氧杂环丁烷、2,2-二甲基氧杂环丁烷、3-甲基氧杂环丁烷、3,3-二甲基氧杂环丁烷等烷基氧杂环丁烷、3-甲基-3-甲氧基甲基氧杂环丁烷、3,3-二(三氟甲基)全氟氧杂环丁烷、2-氯甲基氧杂环丁烷、3,3-双(氯甲基)氧杂环丁烷、联苯型氧杂环丁烷、OXT-101(东亚合成株式会社制、商品名)、OXT-121(东亚合成株式会社制、商品名)、及OXT-221(东亚合成株式会社制、商品名)。氧杂环丁烷树脂可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，氧杂环丁烷树脂的含量优选为0.01～40质量份。
<苯并噁嗪化合物>
作为苯并噁嗪化合物，只要为1分子中具有2个以上二氢苯并噁嗪环的化合物，就可以使用通常公知的物质。例如，可列举出双酚A型苯并噁嗪BA-BXZ(小西化学工业株式会社制、商品名)、双酚F型苯并噁嗪BF-BXZ(小西化学工业株式会社制、商品名)、双酚S型苯并噁嗪BS-BXZ(小西化学工业株式会社制、商品名)、酚酞型苯并噁嗪。
苯并噁嗪化合物可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，苯并噁嗪化合物的含量优选为0.01～40质量份。
<环氧树脂>
作为环氧树脂，不特别限定，可以使用通常公知的物质。例如，可列举出双酚A型环氧树脂、双酚E型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、双酚A酚醛清漆型环氧树脂、联苯型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、二甲苯酚醛清漆型环氧树脂、多官能酚型环氧树脂、萘型环氧树脂、萘骨架改性酚醛清漆型环氧树脂、亚萘基醚型环氧树脂、苯酚芳烷基型环氧树脂、蒽型环氧树脂、3官能酚型环氧树脂、4官能酚型环氧树脂、异氰脲酸三缩水甘油酯、缩水甘油酯型环氧树脂、脂环式环氧树脂、二环戊二烯酚醛清漆型环氧树脂、联苯基酚醛清漆型环氧树脂、苯酚芳烷基酚醛清漆型环氧树脂、萘酚芳烷基酚醛清漆型环氧树脂、芳烷基酚醛清漆型环氧树脂、萘酚芳烷基型环氧树脂、二环戊二烯型环氧树脂、多元醇型环氧树脂、含磷环氧树脂、缩水甘油基胺、将丁二烯等的双键进行环氧化而成的化合物、通过含羟基有机硅树脂类与环氧氯丙烷的反应而得到的化合物、及它们的卤化物。
作为环氧树脂，可以利用市售品，例如可列举出下述的式(24)所示的环氧树脂(日本化药株式会社制NC-3000FH(商品名)、式(24)中，n7约为4)、及下述式(25)所示的萘型环氧树脂(DIC株式会社制HP-4710(商品名))。
环氧树脂可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，环氧树脂的含量优选为0.01～40质量份。
<其它化合物>
作为其他化合物，可列举出乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、羟乙基乙烯基醚、乙二醇二乙烯基醚等乙烯基醚类；苯乙烯、甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、及二乙烯基苯等苯乙烯类；异氰脲酸三烯丙酯、三甲代烯丙基异氰脲酸酯、及双烯丙基纳迪克酰亚胺等。
其它化合物可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
相对于树脂组合物中的树脂固体成分100质量份，其它化合物的含量优选为0.01～40质量份。
<有机溶剂>
本实施方式的树脂组合物可以根据需要含有有机溶剂。使用有机溶剂时，可以调整树脂组合物的制备时的粘度。对于有机溶剂的种类，只要能将树脂组合物中的树脂的一部分或全部溶解，就没有特别限定。作为有机溶剂，例如可列举出丙酮、甲乙酮、及甲基异丁基酮等酮类；环戊酮、及环己酮等脂环式酮类丙二醇单甲醚、及丙二醇单甲醚乙酸酯等溶纤剂系溶剂；乳酸乙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、乳酸乙酯、甲氧基丙酸甲酯、羟基异丁酸甲酯、及γ-丁内酯等酯系溶剂；二甲基乙酰胺、及二甲基甲酰胺等酰胺类等极性溶剂类；甲苯、及二甲苯等芳香族烃等无极性溶剂。
有机溶剂可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
相对于树脂组合物中的有机溶剂除外的成分100质量份，有机溶剂通常为10～900质量份。
<其它成分>
本实施方式的树脂组合物中，在不损害本实施方式的特性的范围内，也可以组合使用目前为止未举出的热固化性树脂、热塑性树脂及其低聚物、以及弹性体类等各种高分子化合物；目前为止未举出的阻燃性的化合物；添加剂等。这些只要为通常使用的化合物，就没有特别限定。例如，对于阻燃性的化合物，可列举出三聚氰胺、苯并胍胺等含氮化合物、含噁嗪环化合物、及磷系化合物的磷酸酯化合物、芳香族缩合磷酸酯、含卤素缩合磷酸酯等。作为添加剂，可列举出紫外线吸收剂、抗氧化剂、荧光增白剂、光敏化剂、染料、颜料、增稠剂、润滑剂、消泡剂、表面调节剂、光泽剂、阻聚剂、热固化促进剂等。
其它成分可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
本实施方式的树脂组合物中，相对于树脂组合物100质量份，其它成分的含量通常分别为0.1～10质量份。
<树脂组合物的制造方法>
对于本实施方式的树脂组合物，可通过将马来酰亚胺化合物(A)、含羧酸化合物(B)、及光固化引发剂(C)、与根据需要的、除马来酰亚胺化合物(A)以外的马来酰亚胺化合物(D)、填充材料(E)、及其它树脂，其它化合物，其它成分、及有机溶剂等适宜混合而制备。本实施方式的树脂组合物可以适合用于制作后述的本实施方式的树脂片时的清漆。需要说明的是，清漆的制备中使用的有机溶剂没有特别限定，其具体例如前所述。
本实施方式的树脂组合物的制造方法例如可列举出将前述的各成分依次配混至溶剂中并充分进行搅拌的方法。
在树脂组合物的制造时，根据需要，可以进行用于使各成分均匀地溶解或分散的公知的处理(搅拌、混合、及混炼处理等)。具体而言，通过使用附设具有适当搅拌能力的搅拌机的搅拌槽来进行搅拌分散处理，能够改善树脂组合物中的各成分的分散性。搅拌、混合、及混炼处理例如可以使用超声波均化器等以分散为目的的搅拌装置；三辊式磨机、球磨机、珠磨机、及砂磨机等以混合为目的的装置、或者公转或自转型的混合装置等公知的装置来适宜进行。另外，在本实施方式的树脂组合物的制备时，根据需要可以使用有机溶剂。对于有机溶剂的种类，只要能将树脂组合物中的树脂溶解，就不特别限定，其具体例如前所述。
[用途]
本实施方式的树脂组合物可以用于需要绝缘性的树脂组合物的用途，没有特别限定。作为用途，例如，可以用于感光性薄膜、带支撑体的感光性薄膜、预浸料、树脂片、电路基板(层叠板用途、多层印刷布线板用途等)、阻焊剂、底部填充材料、芯片接合材料、半导体密封材料、填孔树脂、及部件填埋树脂等。它们之中，本实施方式的树脂组合物由于光固化性和碱显影性优异，因此可以适合用作多层印刷布线板的绝缘层用途、及阻焊剂用途。
[树脂片]
本实施方式的树脂片具有支撑体和配置于前述支撑体的单面或两面的树脂层，前述树脂层为包含本实施方式的树脂组合物的带支撑体的树脂片。对于树脂片，可以将树脂组合物涂布于支撑体上并进行干燥来制造。本实施方式的树脂片中的树脂层具有优异的光固化性和碱显影性。
支撑体可以使用公知的物质，没有特别限定，优选为树脂薄膜。作为树脂薄膜，例如，可列举出聚酰亚胺薄膜、聚酰胺薄膜、聚酯薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)薄膜、聚丙烯(PP)薄膜、聚乙烯(PE)薄膜、聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、及三乙酰乙酸酯薄膜等。它们之中，优选PET薄膜。
对于树脂薄膜，为了使自树脂层的剥离容易，优选在表面涂布剥离剂。树脂薄膜的厚度优选为5～100μm的范围，更优选为10～50μm的范围。该厚度不足5μm时，有在碱显影前进行的支撑体剥离时支撑体容易破碎的倾向，厚度超过100μm时，有自支撑体上进行曝光时的分辨率降低的倾向。
另外，为了减少曝光时的光的散射，树脂薄膜也优选透明性优异者。
进而，本实施方式的树脂片中，其树脂层可以被保护薄膜保护。
通过用保护薄膜来保护树脂层侧，能够防止树脂层表面上的尘土等的附着、损伤。作为保护薄膜，可以使用由与树脂薄膜同样的材料构成的薄膜。保护薄膜的厚度优选为1～50μm的范围，更优选为5～40μm的范围。厚度不足1μm时，有保护薄膜的处理性降低的倾向，超过50μm时，有廉价性差的倾向。需要说明的是，对于保护薄膜而言优选的是，相对于树脂层与支撑体的粘接力，树脂层与保护薄膜的粘接力更小。
对于本实施方式的树脂片的制造方法，例如可列举出：通过将本实施方式的树脂组合物涂布于PET薄膜等支撑体并进行干燥而将有机溶剂去除，由此制造树脂片的方法等。
涂布方法可以通过例如使用了辊涂机、逗点涂布机、凹版涂布机、模涂机、棒涂机、唇式涂布机、刮刀式涂布机、及挤出涂布机等的公知的方法进行。前述干燥例如可以通过在60～200℃的干燥机中进行1～60分钟加热的方法等来进行。
对于残存于树脂层中的有机溶剂量，从防止之后的工序中的有机溶剂的扩散的观点出发，相对于树脂层的总质量，优选设为5质量％以下。对于树脂层的厚度，从提高处理性的观点出发，优选设为1～50μm。
本实施方式的树脂片可以用作多层印刷布线板的绝缘层的制造用途。
[多层印刷布线板]
本实施方式的多层印刷布线板具有绝缘层、及形成于绝缘层的一面或两面的导体层，绝缘层包含本实施方式的树脂组合物。绝缘层例如也可以将1张以上树脂片重叠并固化而得到。绝缘层与导体层的各种层叠数可以根据目标用途而设定适宜层叠数。另外，绝缘层与导体层的顺序也没有特别限定。作为导体层，可以是各种印刷布线板材料中使用的金属箔，例如可列举出铜、及铝等金属箔。作为铜的金属箔，可列举出轧制铜箔、及电解铜箔等铜箔。导体层的厚度通常为1～100μm。具体而言，可以利用以下的方法而制造。
(层压工序)
层压工序中，用真空层压机将本实施方式的树脂片的树脂层侧层压于电路基板的单面或两面。作为电路基板，例如，可列举出玻璃环氧基板、金属基板、陶瓷基板、硅基板、半导体密封树脂基板、聚酯基板、聚酰亚胺基板、BT树脂基板、及热固化型聚亚苯基醚基板等。需要说明的是，本实施方式中，电路基板是指，在如前所述的基板的单面或两面形成有经图案加工的导体层(电路)的基板。另外，本实施方式中，将导体层与绝缘层交替地层叠而成的多层印刷布线板中，多层印刷布线板的最外层的单面或两面形成经图案加工而成的导体层(电路)的基板也包含在电路基板中。需要说明的是，层叠于多层印刷布线板的绝缘层可以是将1张以上的本实施方式的树脂片重叠并固化而得到的绝缘层，也可以是将本实施方式的树脂片与跟本实施方式的树脂片不同的公知的树脂片分别重叠1张以上而得到的绝缘层。需要说明的是，本实施方式的树脂片与跟本实施方式的树脂片不同的公知的树脂片的重叠方法没有特别限定。可以通过黑化处理和/或铜蚀刻等对导体层表面预先实施粗糙化处理。层压工序中，树脂片具有保护薄膜的情况下，将保护薄膜剥离去除后，根据需要对树脂片及电路基板进行预热，边对树脂片的树脂层进行加压及加热边压接于电路基板。本实施方式中，适合使用通过真空层压法在减压下将树脂片的树脂层层压于电路基板的方法。
层压工序的条件例如优选将压接温度(层压温度)设为50～140℃、压接压力设为1～15kgf/cm2、压接时间设为5～300秒钟、将气压设为20mmHg以下的减压下进行层压。另外，层压工序可以为间歇式，也可以为使用辊的连续式。真空层压法可以使用市售的真空层压机来进行。作为市售的真空层压机，例如，可列举出Nikko-Materials Co.,Ltd.制2阶积层层压机等。
(曝光工序)
曝光工序中，通过层压工序，在电路基板上设置树脂层后，对树脂层的规定部分照射作为光源的包含波长405nm(h射线)的活性能量射线，使照射部的树脂层固化。作为活性能量射线，例如可列举出紫外线。包含波长405nm(h射线)的活性能量射线的照射量大致为10～10000mJ/cm2。
照射可以通过掩模图案，或者也可以使用直接照射的直接描绘曝光法。通过掩模图案的曝光方法有使掩模图案密合于多层印刷布线板而进行的接触曝光法、和不密合地使用平行光线进行曝光的非接触曝光法，两种方法均可以使用。另外，在树脂层上存在有支撑体的情况下，可以从支撑体上进行曝光，也可以将支撑体剥离后进行曝光。另外，通过使用直接描绘曝光法，能够以高密度制造具有高精细的布线形成(图案)的印刷布线板。
(碱显影工序)
树脂层上不存在支撑体时，在曝光工序后，通过直接碱显影去除未光固化的部分(未曝光部)并进行显影，由此能够形成绝缘层的图案。
另外，树脂层上存在支撑体时，在曝光工序后，通过去除其支撑体后，通过碱显影去除未光固化的部分(未曝光部)并进行显影，由此能够形成绝缘层的图案。
包含本实施方式的树脂组合物的未曝光的树脂层具有优异的碱显影性，因此能够得到具有高精细的图案的印刷布线板。
前述碱显影的情况，作为显影液，只要选择性洗脱未曝光部分就没有特别限定，可使用氢氧化四甲基铵水溶液、碳酸钠水溶液、碳酸钾水溶液、氢氧化钠水溶液、及氢氧化钾水溶液等碱性显影液。本实施方式中，特别优选使用氢氧化四甲基铵水溶液。碱性显影液可以单独使用1种或者也可以适宜组合使用2种以上。
另外，作为碱显影方法，例如可以利用浸泡、浆式、喷雾、揺动浸渍、刷涂、刮擦等公知的方法来进行。本实施方式的图案形成中，也可以根据需要组合使用这些显影方法。另外，作为显影方法，由于进一步提高分辨率，使用高压喷雾是适合的。作为采用喷雾方式时的喷雾压力，优选0.02～0.5MPa。
(后烘烤工序)
本实施方式中，在前述碱显影工序结束后，进行后烘烤工序，形成绝缘层(固化物)。作为后烘烤工序，可列举出利用高压汞灯的紫外线照射工序、使用了无尘烘箱的加热工序等，也可以组合使用这些。照射紫外线的情况下，根据需要可以调整其照射量，例如，可以以0.05～10J/cm2左右的照射量进行照射。另外，加热的条件可以根据需要来适宜选择，优选在150～220℃、20～180分钟的范围、更优选在160～200℃、30～150分钟的范围内进行选择。
(导体层形成工序)
形成绝缘层(固化物)后，通过干式镀覆在绝缘层表面形成导体层。作为干式镀覆，可以使用蒸镀法、溅射法及离子镀法等公知的方法。对于蒸镀法(真空蒸镀法)，例如，通过将多层印刷布线板放入到真空容器内并使金属加热蒸发，能够在绝缘层上形成金属膜。溅射法也可以如下：例如，将多层印刷布线板放入至真空容器内，导入氩气等非活性气体，施加直流电压，使经离子化的非活性气体撞击靶金属，能够由被碰撞出的金属在绝缘层上形成金属膜。
接着，通过化学镀、电镀等形成导体层。作为其后的图案形成的方法，例如可以使用消减法、半添加法等。
[半导体装置]
本实施方式的半导体装置包含本实施方式的树脂组合物。具体而言，可以通过以下的方法来制造。可以通过在本实施方式的多层印刷布线板的导通部位安装半导体芯片来制造半导体装置。此处，导通部位为多层印刷布线板中的传送电信号的部位，其场所可以为表面，也可以为埋入的部位。另外，半导体芯片只要为以半导体为材料的电气电路元件，就没有特别限定。
对于制造本实施方式的半导体装置时的半导体芯片的安装方法，只要半导体芯片有效地发挥作用，就没有特别限定，具体而言，可列举出引线接合安装方法、倒装芯片安装方法、基于无凸点叠层(BBUL)的安装方法、基于各向异性导电薄膜(ACF)的安装方法、及基于非导电性薄膜(NCF)的安装方法等。
另外，通过在半导体芯片、搭载有半导体芯片的基板上形成包含本实施方式的树脂组合物的绝缘层，也可以制造半导体装置。搭载有半导体芯片的基板的形状可以为晶圆状也可以为面板状。形成后可以使用与前述的多层印刷布线板同样的方法来制造。
实施例
以下，使用实施例和比较例对本实施方式进行更具体地说明。本实施方式不受以下的实施例任何限定。
[原料的评价]
〔透射率、及吸光度〕
作为马来酰亚胺化合物(A)，使用Designer Molecules Inc.制BMI-689(商品名、质均分子量(Mw)：689)，制备以1质量％包含该BMI-689(商品名)的氯仿溶液，使用UV-vis测定装置Hitachi High-Technologies Corporation制日立分光光度计U-4100(商品名))，进行波长405nm处的透射率的测定。
同样地，作为马来酰亚胺化合物(A)，使用K·I Chemical IndustryCo.,LTD.BMI-1000P(商品名、式(10)中的n1为13.6(平均值)、质均分子量(Mw)：1338)，进行波长405nm处的透射率的测定。
作为含羧酸化合物(B)，使用4-氨基苯甲酸(东京化成工业株式会社制)，制备以1质量％包含该4-氨基苯甲酸的N-甲基吡咯烷酮溶液，使用UV-vis测定装置(U-4100(商品名))，进行波长405nm处的透射率的测定。
同样地，作为含羧酸化合物(B)，使用水杨酸(东京化成工业株式会社制)、哌啶羧酸(东京化成工业株式会社制)、邻苯二甲酸(东京化成工业株式会社制)、偏苯三酸(东京化成工业株式会社制)、均苯四酸(东京化成工业株式会社制)、顺式4-环己烯-1,2-二羧酸(东京化成工业株式会社制)、顺式4-环己烯-1,2-二羧酸酐(东京化成工业株式会社制)、及1,2-亚苯基二乙酸(东京化成工业株式会社制)，进行波长405nm处的透射率的测定。
作为光固化引发剂(C)，使用双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦(IGMResinsB.V.制Omnirad(注册商标)819(商品名))，制备以1质量％包含该Omnirad(注册商标)819(商品名)的氯仿溶液，使用UV-vis测定装置(U-4100(商品名))，进行波长405nm处的吸光度的测定。
同样地，作为光固化引发剂，使用2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)-丁酮-1(IGMResinsB.V.制Omnirad(注册商标)369(商品名))、及2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉丙烷-1-酮(IGMResinsB.V.制Omnirad(注册商标)907(商品名))，进行波长405nm处的吸光度的测定。
将结果示于表1。
[表1]
〔实施例1〕
(树脂组合物和树脂片的制作)
相对于作为马来酰亚胺化合物(A)的BMI-689(商品名)100质量份、作为含羧酸化合物(B)的4-氨基苯甲酸20质量份、和作为光固化引发剂(C)的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦(Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，混合作为有机溶剂的甲乙酮84质量份，利用超声波均质机进行搅拌而得到清漆(树脂组合物的溶液)。使用自动涂覆装置置(PI-1210、TESTER SANGYO CO.,LTD.制)，将该清漆涂布于厚度38μm的PET薄膜(Unitika Ltd.制Unipeel(注册商标)TR1-38(商品名))上，在90℃下进行5分钟加热干燥，得到将PET薄膜作为支撑体、树脂层的厚度为30μm的树脂片。
(内层电路基板的制作)
对形成有内层电路的玻璃布基材BT(双马来酰亚胺/三嗪)树脂两面覆铜层叠板(铜箔厚度18μm、厚度0.2mm、三菱瓦斯化学株式会社制CCL(注册商标)-HL832NS(商品名))的两面，用MEC Co.,Ltd.制CZ8100(商品名)进行铜表面的粗糙化处理，得到内层电路基板。
(评价用树脂的制作)
将前述树脂片的树脂面贴合，使用真空层压机(Nikko-Materials Co.,Ltd.制)，进行30秒钟抽真空(5.0MPa以下)后，在压力10kgf/cm2、温度70℃下进行30秒钟的层叠成形。进而在压力7kgf/cm2、温度70℃下进行60秒钟的层叠成形，由此得到两面具有支撑体的评价用树脂。
(评价用层叠体的制作)
将前述树脂片的树脂面配置于前述内层电路基板上，使用真空层压机(Nikko-Materials Co.,Ltd.制)，进行30秒钟抽真空(5.0hPa以下)后，在压力10kgf/cm2、温度70℃下进行30秒钟的层叠成形。进而在压力10kgf/cm2、温度70℃下进行60秒钟的层叠成形，由此得到层叠有内层电路基板、树脂层和支撑体的评价用层叠体。
〔实施例2〕
作为含羧酸化合物(B)，替代4-氨基苯甲酸20质量份，使用水杨酸20质量份，除此以外与实施例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例3〕
作为马来酰亚胺化合物(A)，替代BMI-689(商品名)100质量份，使用BMI-1000P(商品名)100质量份；作为含羧酸化合物(B)，替代4-氨基苯甲酸20质量份，使用4-氨基苯甲酸0.02质量份；作为光固化引发剂(C)，替代Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，使用Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，除此以外与实施例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例4〕
作为马来酰亚胺化合物(A)，替代BMI-689(商品名)100质量份，使用BMI-1000P(商品名)100质量份；作为含羧酸化合物(B)，替代4-氨基苯甲酸20质量份，使用4-氨基苯甲酸0.2质量份；作为光固化引发剂(C)，替代Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，使用Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，除此以外与实施例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例5〕
作为马来酰亚胺化合物(A)，替代BMI-689(商品名)100质量份，使用BMI-1000P(商品名)100质量份；作为含羧酸化合物(B)，替代4-氨基苯甲酸20质量份，使用4-氨基苯甲酸2质量份；作为光固化引发剂(C)，替代Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，使用Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，除此以外与实施例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例6〕
作为马来酰亚胺化合物(A)，替代BMI-689(商品名)100质量份，使用BMI-1000P(商品名)100质量份；作为含羧酸化合物(B)，替代4-氨基苯甲酸20质量份，使用4-氨基苯甲酸10质量份；作为光固化引发剂(C)，替代Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，使用Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，除此以外与实施例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例7〕
作为马来酰亚胺化合物(A)，替代BMI-689(商品名)100质量份，使用BMI-1000P(商品名)100质量份；作为含羧酸化合物(B)，替代4-氨基苯甲酸20质量份，使用4-氨基苯甲酸20质量份；作为光固化引发剂(C)，替代Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，使用Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，除此以外与实施例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例8〕
相对于作为马来酰亚胺化合物(A)的BMI-1000P(商品名)100质量份、作为含羧酸化合物(B)的水杨酸2质量份、和作为光固化引发剂(C)的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦(Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，混合作为有机溶剂的甲乙酮71质量份，利用超声波均质机进行搅拌而得到清漆(树脂组合物的溶液)。使用该清漆，与实施例1同样地得到树脂片。使用其与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例9〕
作为含羧酸化合物(B)，替代水杨酸2质量份，使用水杨酸10质量份，除此以外与实施例8同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例10〕
作为含羧酸化合物(B)，替代水杨酸2质量份，使用水杨酸20质量份，除此以外与实施例8同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例11〕
作为含羧酸化合物(B)，替代水杨酸2质量份，使用哌啶羧酸2质量份，除此以外与实施例8同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例12〕
作为含羧酸化合物(B)，替代水杨酸2质量份，使用哌啶羧酸10质量份，除此以外与实施例8同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例13〕
作为含羧酸化合物(B)，替代水杨酸2质量份，使用哌啶羧酸20质量份，除此以外与实施例8同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例14〕
相对于作为马来酰亚胺化合物(A)的BMI-689(商品名)100质量份、作为含羧酸化合物(B)的邻苯二甲酸5质量份、和作为光固化引发剂(C)的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦(Omnirad(注册商标)819(商品名))5质量份，混合作为有机溶剂的甲乙酮73质量份，利用超声波均质机进行搅拌而得到清漆(树脂组合物的溶液)。使用该清漆，与实施例1同样地得到树脂片。使用其与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例15〕
作为含羧酸化合物(B)，替代邻苯二甲酸5质量份，使用偏苯三酸5质量份，除此以外与实施例14同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例16〕
作为含羧酸化合物(B)，替代邻苯二甲酸5质量份，使用均苯四酸5质量份，除此以外与实施例14同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例17〕
作为含羧酸化合物(B)，替代邻苯二甲酸5质量份，使用顺式4-环己烯-1,2-二羧酸5质量份，除此以外与实施例14同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例18〕
作为含羧酸化合物(B)，替代邻苯二甲酸5质量份，使用顺式4-环己烯-1,2-二羧酸酐5质量份，除此以外与实施例14同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔实施例19〕
作为含羧酸化合物(B)，替代邻苯二甲酸5质量份，使用1,2-亚苯基二乙酸5质量份，除此以外与实施例14同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔比较例1〕
相对于作为马来酰亚胺化合物的BMI-689(商品名)100质量份、作为光固化引发剂的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦(Omnirad(注册商标)819(商品名))6质量份，混合作为有机溶剂的甲乙酮71质量份，利用超声波均质机进行搅拌而得到清漆(树脂组合物的溶液)。使用该清漆，与实施例1同样地得到树脂片。使用其与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔比较例2〕
作为马来酰亚胺化合物，替代BMI-689(商品名)100质量份，使用BMI-1000P(商品名)100质量份，除此以外与比较例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔比较例3〕
替代Omnirad(注册商标)819(商品名)6质量份，使用2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)-丁酮-1(Omnirad(注册商标)369(商品名))6质量份，除此以外与比较例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
〔比较例4〕
替代Omnirad(注册商标)819(商品名)6质量份，使用2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉丙烷-1-酮(Omnirad(注册商标)907(商品名)6质量份，除此以外与比较例1同样地得到清漆和树脂片。另外，使用树脂片，与实施例1同样地得到评价用树脂和评价用层叠体。
[物性测定评价]
利用以下的方法对评价用树脂和评价用层叠体进行测定、评价。将这些结果示于表2～4和图1。
〔光固化性〕
使用附属有可照射包含波长405nm(h射线)的活性能量射线的光源(U-VIXCorporation制Omnicure(注册商标)S2000(商品名))的Photo DSC(TA InstrumentsJapanInc.制DSC-2500(商标名))，对得到的评价用树脂以照度30mW、曝光时间3.5分钟照射包含波长405nm(h射线)的活性能量射线，得到横轴为时间(秒)、纵轴为热流(mW)的图表。将从该图表的终点水平地引线时的峰面积作为焓(J/g)。对于固化性，按照以下的基准进行评价。
“AA”：焓为1(J/g)以上。
“CC”：焓低于1(J/g)。
需要说明的是，焓为1(J/g)以上是指通过规定的波长下的曝光而充分地进行树脂的固化。
〔碱显影性〕
使用能够照射包含波长405nm(h射线)的活性能量射线的光源(MIKASA公司制MA-20(商品名))，从支撑体的上方对得到的评价用层叠体以照射量200mJ/cm2进行照射，使树脂层的一半曝光(200mJ)，余量为未曝光。然后，将支撑体(PET薄膜)剥离，在2.38％TMAH(氢氧化四甲基铵)水溶液(显影液、Tokuyama Corporati制)中振动90秒。此时，在振动60秒时确认显影性，有未溶解而残留时进一步振动30秒。碱显影性按照以下的基准通过目视进行评价。
“AA”：曝光部不溶解，但未曝光部在60秒的振动下溶解。
“BB”：曝光部不溶解，但未曝光部在60秒的振动下未完全溶解，在90秒的振动下溶解。
“CC”：曝光部和未曝光部均不溶解。
另外，将使用实施例1和比较例1中得到的各自的树脂片进行的碱显影后的照片示于图1。
[表2]
[表3]
[表4]
根据表2～4明确可知，本实施方式的树脂组合物在以包含波长405nm(h射线)的活性能量射线进行曝光的情况下良好地发生感光，可进行光固化。另外，未曝光部中，如表2～4和图1所示，具有优异的碱显影性。
本申请基于2019月1月22日申请的日本专利申请(特愿2019-008389)，其内容作为参照被并入其中。
产业上的可利用性
本发明的树脂组合物的光固化性和碱显影性优异，因此适合于需要绝缘性的树脂组合物的用途。作为这样的用途，例如，可列举出感光性薄膜、带支撑体的感光性薄膜、预浸料、树脂片、电路基板(层叠板用途、多层印刷布线板用途等)、阻焊剂、底部填充材料、芯片接合材料、半导体密封材料、填孔树脂、及部件填埋树脂。

Claims (9)

1.一种树脂组合物，其含有：
马来酰亚胺化合物(A)，其中制备以1质量％包含马来酰亚胺化合物(A)的氯仿溶液并使用波长405nm的h射线的光线测定的该氯仿溶液的透射率为5％以上；
含羧酸化合物(B)，其为选自下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物、下述式(3)所示的化合物、及下述式(4)所示的化合物中的至少1种；以及
光固化引发剂(C)，其为下述式(8)所示的化合物，
式(1)中，R1各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、氨基或氨基甲基，k1各自独立地表示1～5的整数，式(1)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，
式(2)中，R2各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，l1各自独立地表示1～9的整数，式(2)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(2)中，具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐，
式(3)中，R3各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，m1各自独立地表示1～9的整数，式(3)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(3)中，具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐，
式(4)中，R4各自独立地表示氢原子、羟基、羧基、羧甲基、氨基或氨基甲基，j1各自独立地表示1～5的整数，式(4)中，具有1个以上羧基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐，式(4)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(4)中，具有2个以上羧甲基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，
式(8)中，R5各自独立地表示下述式(9)所示的取代基或苯基，
式(9)中，-*表示原子键，R6各自独立地表示氢原子或甲基。
2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，相对于所述马来酰亚胺化合物(A)100质量份，以0.01～60质量份包含所述含羧酸化合物(B)。
3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述含羧酸化合物为选自下述式(5)所示的化合物、下述式(6)所示的化合物、及下述式(7)所示的化合物中的至少1种，
式(5)中，R1各自独立地表示氢原子、羟基、氨基或氨基甲基，k2各自独立地表示0～4的整数，o表示5-k2的整数，式(5)中的2个以上的羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐，
式(6)中，R3各自独立地表示氢原子、羟基、羧甲基、氨基或氨基甲基，m2各自独立地表示0～8的整数，p表示9-m2的整数，式(6)中，羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(6)中，具有羧甲基时，任选为羧甲基与羧基彼此连接而形成的酸酐，
式(7)中，R4各自独立地表示氢原子、羟基、羧甲基、氨基或氨基甲基，j2各自独立地表示0～4的整数，q表示5-j2的整数，式(7)中，羧甲基与羧基任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(7)中，具有2个以上羧基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐，式(7)中，具有2个以上羧甲基时，任选为它们彼此连接而形成的酸酐。
4.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述马来酰亚胺化合物(A)为双马来酰亚胺化合物。
5.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，相对于马来酰亚胺化合物(A)100质量份，光固化引发剂(C)的含量为0.01～20质量份。
6.一种树脂片，其具有：
支撑体、及
配置于所述支撑体的单面或两面的树脂层，
所述树脂层包含权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物。
7.根据权利要求6所述的树脂片，其中，所述树脂层的厚度为1～50μm。
8.一种多层印刷布线板，其具有：
绝缘层、及
形成于所述绝缘层的单面或两面的导体层，
所述导体层包含权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物。
9.一种半导体装置，其包含权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物。
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