CN116482790A - 线栅偏振器和检偏器及角度调整、偏振光照射、曝光装置 - Google Patents

线栅偏振器和检偏器及角度调整、偏振光照射、曝光装置 Download PDF

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Abstract

本发明的课题在于提供能够以高精度进行偏振轴方向的调整的线栅偏振器。在线栅偏振器(110)上形成相互平行地形成的多个偏振用图案(122)以及无偏振部(124)。由此，通过利用摄像机(116)接收透过在与偏振用图案(122)的光的偏振方向正交的方向上偏振的偏振滤光器(114)以及无偏振部(124)的来自光源(112)的光(L)，能够进行角度调整，摄像机(116)沿应使偏振用图案(122)一致的角度相对于线栅偏振器(110)相对地移动。

Description

线栅偏振器和检偏器及角度调整、偏振光照射、曝光装置
技术领域
本发明涉及例如用于制造液晶面板时的曝光用的线栅偏振器、具备其的偏振光照射装置、曝光装置以及线栅偏振器的角度调整方法。
背景技术
在液晶面板的制造中需要液晶取向处理，作为用于从由光源放射的未偏振的光得到用于该液晶取向处理的直线偏振光的偏振器，一般使用线栅偏振器(例如，专利文献1)。
具备配置多个这样的线栅偏振器而构成的偏振器单元的偏振光照射装置用于液晶取向处理，但在使用时需要进行使多个线栅偏振器的偏振轴方向与给定的方向(基准方向)一致的调整。
作为该调整方法，利用调整用照度传感器来接收透过了偏振轴的方向已知的调整用偏振器(检偏器)和调整对象的偏振器以及调整用偏振器的光，一边改变调整对象的偏振器相对于调整用偏振器的角度一边进行调整，以使由该调整用照度传感器接收到的光的强度达到峰值。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平10-153706号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而，若想要如以往的调整方法那样基于接收到的光的强度进行调整，则在接收到的光的强度的峰值附近，即便是使调整对象的偏振器的角度细微地变化，光的强度也不会表现出显著的变化，因此存在难以进行要求以0.1deg为单位的调整那样的精度高的调整的问题。
本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于提供一种能够以高精度进行偏振轴方向的调整的线栅偏振器、具备其的偏振光照射装置、曝光装置以及线栅偏振器的角度调整方法。
用于解决课题的技术方案
根据本发明的一个方面，提供一种线栅偏振器，
线栅偏振器具有无偏振部以及相互平行地形成的多个偏振用图案，
通过利用摄像机接收透过在与基于所述偏振用图案的光的偏振方向正交的方向上偏振的偏振滤光器以及所述无偏振部的来自光源的光，来进行角度调整，所述摄像机沿着应使所述偏振用图案一致的角度相对于所述线栅偏振器相对地移动。
优选地，
所述无偏振部是相对于所述偏振用图案平行地形成的无偏振狭缝。
优选地，
所述无偏振部包含相对于所述偏振用图案平行地延伸的边界线。
优选地，
以使彼此的所述边界线位于相对于所述偏振用图案平行地延伸的假想线上的方式，配置有一对所述无偏振部。
优选地，
所述无偏振部包含在相对于所述偏振用图案正交的方向上延伸的正交边界线。
优选地，
以使彼此的所述正交边界线位于在相对于所述偏振用图案正交的方向上延伸的假想线上的方式，配置有一对所述无偏振部。
根据本发明的其他方面，提供一种偏振光照射装置，其具备：
上述的线栅偏振器；
偏振滤光器，其在与所述偏振用图案的偏振方向正交的方向上偏振；
光源，其朝向所述线栅偏振器以及所述偏振滤光器放射光；
摄像机，其接收从所述光源放射并透过了所述无偏振部以及所述偏振滤光器的光；以及
致动器，其使所述摄像机沿着应使所述偏振用图案一致的角度移动。
优选地，
还具备显示所述摄像机接收到的所述光的监视器，
在所述监视器显示有标记，所述标记用于在所述摄像机通过所述致动器移动时，确认与所述摄像机的移动方向正交的方向的所述光的移动幅度。
优选地，
所述标记由以给定的间隔配置的一对标记线构成，
调整所述线栅偏振器的角度，以使由所述摄像机接收到的光的端缘位于一对所述标记线之间。
根据本发明的其他方面，提供具备上述的偏振光照射装置的曝光装置。
根据本发明的其他方面，提供一种线栅偏振器的角度调整方法，
朝向上述的线栅偏振器以及在与基于所述偏振用图案的光的偏振方向正交的方向进行偏振的偏振滤光器放射来自光源的光，
利用摄像机接收透过所述无偏振部以及所述偏振滤光器的光，所述摄像机沿着应使所述偏振用图案一致的角度相对于所述线栅偏振器相对地移动。
根据本发明的其他方面，提供一种检偏器，其具有偏振面、以及形成于形成有所述偏振面的表面周缘部的一对轴向标记，其中，
将所述一对轴向标记相互连结的假想线与所述偏振面上的偏振轴平行，
利用摄像机映现所述轴向标记，使所述检偏器沿着应使所述偏振轴一致的角度相对于所述摄像机相对地移动，由此进行角度调整。
根据本发明的其他方面，提供一种检偏器，其具有偏振面以及无偏振部，
通过利用摄像机接收透过所述无偏振部以及在与应使所述偏振面上的偏振轴一致的角度正交的方向上偏振的偏振滤光器的光，并且使所述检偏器沿着所述应一致的角度相对于所述摄像机相对地移动，由此进行角度调整。
根据本发明的其他方面，提供一种检偏器的角度调整方法，所述检偏器具有偏振面以及形成于形成有所述偏振面的表面周缘部的一对轴向标记，将所述一对轴向标记相互连结的假想线与所述偏振面上的偏振轴平行，其中，
利用摄像机拍摄所述轴向标记，并使所述检偏器沿着应使所述偏振轴一致的角度相对于所述摄像机相对地移动。
根据本发明的其他方面，提供一种检偏器的角度调整方法，
朝向具有偏振面和无偏振部的检偏器以及在与应使所述偏振面上的偏振轴一致的角度正交的方向上偏振的偏振滤光器放射光，
利用摄像机接收透过所述无偏振部的光，并且使所述检偏器沿着所述应一致的角度相对于所述摄像机相对地移动。
发明效果
根据本发明所涉及的线栅偏振器、具备其的偏振光照射装置、曝光装置以及偏振光照射方法，由于在线栅偏振器形成有偏振用图案和无偏振部，因此从光源朝向该线栅偏振器以及在与该线栅偏振器的偏振用图案的光的偏振方向正交的方向上偏振的偏振滤光器放射的光当中，透过无偏振部以外(即，偏振用图案)的光无法透过该偏振滤光器，而透过无偏振部的光(被偏振)透过偏振滤光器。或者，先(被偏振)透过偏振滤光器的光无法透过无偏振部以外(即，偏振用图案)，而透过无偏振部。
由此，在由摄像机接收到透过无偏振部以及偏振滤光器的光时，得到与该无偏振部对应的光的区域，因此通过利用沿着应使偏振用图案一致的角度移动的摄像机来调整该光的区域的角度，能够进行线栅偏振器的角度调整。
附图说明
图1是本实施方式所涉及的曝光装置10的概略图。
图2是表示本实施方式所涉及的偏振光照射装置100的结构的图。
图3是表示本实施方式所涉及的线栅偏振器110的结构的放大示意剖视图。
图4是表示本实施方式所涉及的线栅偏振器110的结构的俯视图。
图5是表示旋转装置111的一例的图。
图6是表示在监视器120上显示的光L的带与标记130的关系的图。
图7是表示变形例3所涉及的线栅偏振器110的结构的图。
图8是表示变形例3所涉及的其他线栅偏振器110的结构的图。
图9是表示变形例4所涉及的偏振光照射装置100的结构的图。
图10是表示变形例4所涉及的检偏器300的图。
图11是表示变形例5所涉及的检偏器300的图。
图12是表示变形例5所涉及的偏振光照射装置100的结构的图。
具体实施方式
(曝光装置10的结构)
以下，对具备应用了本发明的实施方式所涉及的偏振光照射装置100的曝光装置10进行说明。曝光装置10主要用于制造用于液晶面板的光取向膜(工件X)。如图1所示，该曝光装置10大致具备工件输送装置20和偏振光照射装置100。
工件输送装置20是用于将由曝光装置10曝光的光取向膜(工件X)沿给定的方向(工件X的输送方向)大致水平输送的装置，使用公知的输送装置。
例如，工件输送装置20具备用于载置工件X的载物台单元22、用于使载物台单元22向工件X的输送方向及与工件X的输送方向正交的方向移动的移动机构24。
载物台单元22具备用于载置工件X的载物台26、用于调整载物台26的高度的高度调整机构28、以及用于使载物台26水平旋转的水平旋转机构30，在载物台26的表面具备用于保持工件X的位置的保持机构32。
水平旋转机构30使用电动旋转致动器，对于移动机构24，组合使用多个电动单轴致动器。
(偏振光照射装置100的结构)
如图2所示，本实施方式所涉及的偏振光照射装置100大致具备线栅偏振器110、光源112、偏振滤光器114、摄像机116、致动器118、监视器120以及旋转装置111。
线栅偏振器110是用于使从光源112放射的光在给定的方向上偏振的部件，如图3以及图4所示，具有：玻璃基板121；形成于该玻璃基板121上的相互平行地形成的多个偏振用图案122；以及相对于该偏振用图案122平行地形成的无偏振部即“无偏振狭缝124”。此外，为了进行良好的处理，优选偏振用图案122的消光比(P偏振透过率÷S偏振透过率)大致为50以上。另外，作为玻璃基板121，一般使用石英玻璃。
作为线栅偏振器110的具体例(特别是偏振用图案122)，可以考虑将直线状的金属或金属化合物结构体平行地排列多个周期而成的线与间隙状的结构，线与间隙的的间距形成为比光的波长短的宽度。作为这里所说的“金属”，可以考虑铝、钛、钼等，也可以是它们的氧化物、化合物。
无偏振狭缝124因为是使来自光源112的光不偏振地透过的部分，因此如图示那样，未形成偏振用图案122的部分成为无偏振狭缝124。
此外，在本实施方式中，无偏振狭缝124的宽度设定为0.5mm以上且1.0mm以下。当然，并不限定于该范围，但通过使无偏振狭缝124的宽度相对于线栅偏振器110的有效宽度极小(在大致1/50以下且该有效宽度为50mm的情况下，无偏振狭缝124的宽度为1mm以下)，能够抑制来自无偏振狭缝124的照射对取向处理的不良影响(与消光比低同样的不利影响)，在这一点上是优选的。
此外，关于无偏振狭缝124的位置，在本实施方式中，在图2中，在线栅偏振器110的左右方向大致中央部形成有无偏振狭缝124，但该无偏振狭缝124的位置没有特别限定，可以位于图中左右方向的任意位置。
而且，无偏振狭缝124可以如本实施方式那样以一直线状连续，也可以是断续的。另外，无偏振狭缝124延伸的长度没有特别限定。当然，从角度调整的精度的观点出发，优选以一直线状连续地形成无偏振狭缝124。
另外，在具备偏振光照射装置100的曝光装置10为扫描曝光，且在与工件X的扫描方向正交的方向上配置无偏振狭缝124的情况下，即使存在由无偏振狭缝124形成的无偏振部分，对施加于工件X的累计偏振能量以及均匀度的影响也是轻微的。
另外，线栅偏振器110通过旋转装置111水平或相对于偏振滤光器114平行地旋转，由此能够调整偏振用图案122、无偏振狭缝124延伸的方向相对于工件X的扫描方向的角度。
在图5中示出旋转装置111的一例。该旋转装置111由保持框200和保持框支架202构成。
保持框200是形成有供线栅偏振器110嵌入的嵌合开口204的大致矩形状的框体，在任一边形成有供旋转轴销206嵌合的旋转轴销孔208。
保持框支架202是将嵌入线栅偏振器110的状态的保持框200以能够转动的方式进行保持的部件，具有支架主体205、旋转轴销206和推压螺钉210。
支架主体205是排列形成有2个开口207的大致矩形状的部件，分别配设有相对于各开口207的旋转轴销206。
另外，隔着开口207在旋转轴销206的相反侧，形成有支架主体205的台阶部212，以贯通该台阶部212的方式相对于一个开口207以给定的间隔配置有一对(2根)推压螺钉210。各推压螺钉210能够改变从台阶部212朝向开口207的突出长度。
由此，通过将旋转轴销206插入到嵌入了线栅偏振器110的状态的保持框200上的旋转轴销孔208，将保持框200(以及线栅偏振器110)以旋转轴销206为中心可转动地安装于保持框支架202。而且，通过调整一对推压螺钉210的从台阶部212朝向开口207的突出长度，能够调整保持框200相对于保持框支架202的角度。
保持框支架202由于预先正确地设定了相对于工件X的扫描方向的角度，因此能够调整偏振用图案122、无偏振狭缝124延伸的方向的角度。
返回图2，光源112朝向线栅偏振器110放射包含给定的波长的光。光源112的种类没有特别限定，例如，可以使用LED、放电灯等。
进一步而言，光源112即使不是曝光用光源，也可以使用为了调整用而另外设置的光源。此外，如果是LED、LD(激光二极管)等单一波长光源，则容易明确为了提高消光比而选定哪个偏振滤光器即可，如果是线栅偏振器110及偏振滤光器114的消光比与曝光用光源同等或在其以上的波长的光源，则在后述的光的带的观察中，能够增强在监视器120上显示时的光L的带与其以外的区域的明暗(对比度)，由于容易进行边界线(侧线134)的识别，所以认为作业性提高。
另外，如果能够得到能把握显示在监视器120上时的光L的带与除此以外的区域之间的边界线(侧线134)的程度的明暗(对比度)，则设置有偏振光照射装置100的场所中的室内灯等也可以包含在光源112中。
偏振滤光器114是在与基于形成于线栅偏振器110的偏振用图案122的光的偏振方向正交的方向上偏振的部件，在本实施方式中，配置在与光源112所朝向的线栅偏振器110的面的相反侧的面对置的位置(即，线栅偏振器110与工件X之间)。进一步而言，该偏振滤光器114配置在能够主要接收从形成于线栅偏振器110的无偏振狭缝124射出的光的位置。另外，偏振滤光器114被调整、定位成在相对于应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度正交的方向上偏振。
此外，也可以将偏振滤光器114配置在光源112与线栅偏振器110之间。在该情况下，从光源112放射并被偏振滤光器114偏振的光照射线栅偏振器110。
这样，通过将偏振滤光器114的透射轴(偏振方向)相对于线栅偏振器110的偏振用图案122的透射轴(偏振方向)配置在正交方向上，由线栅偏振器110的偏振用图案122偏振的光基本上不能透过偏振滤光器114，或者偏振透过偏振滤光器114的光基本上不能透过偏振用图案122。
此外，偏振滤光器114的透射轴(偏振方向)相对于线栅偏振器110上的偏振用图案122的透射轴(偏振方向)的正交精度不一定需要高，如后所述，只要能够得到能把握显示在监视器120上时的光L的带与除此以外的区域之间的边界线(侧线134)的程度的明暗(对比度)即可。
摄像机116接收从光源112放射且透过无偏振狭缝124以及偏振滤光器114的光。
致动器118具有使摄像机116相对于无偏振狭缝124平行地移动的作用，在本实施方式中，具有正交致动器126和平行致动器128。在本实施方式中，作为正交致动器126以及平行致动器128，使用滚珠丝杠驱动或线性电机驱动的电动单轴致动器，通过PLC(可编程逻辑控制器)进行各致动器126、128的动作控制。
正交致动器126使摄像机116在与无偏振狭缝124延伸的方向正交的方向上移动。此外，也可以将为工件X的输送用(工件X的扫描方向)所准备的其他致动器用作正交致动器126。
另外，平行致动器128使摄像机116沿着应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度移动。即，平行致动器128预先被调整、定位成其移动方向相对于正交致动器126的行进轴(工件X的输送轴)成为“正确的角度”。本实施方式中的正确的角度是指直角。
监视器120显示摄像机116接收到的光L(透过无偏振狭缝124以及偏振滤光器114的带(线)状的光)。在该监视器120上显示有标记130，该标记130用于在通过致动器118使摄像机116移动时，确认与该摄像机116的移动方向正交的方向的光的移动幅度。
对该标记130具体地进行说明。作为标记130的一例，可举出图6所示的相互平行地分离配置的一对标记线132。如后所述，在调整线栅偏振器110的配置角度时，调整成利用摄像机116接收并显示在监视器120上的带状的光L中的至少一方的侧线134(在本实施方式中使用图中下侧的侧线134，但也可以使用图中上侧的侧线134。)位于一对标记线132之间。
(利用偏振光照射装置100的线栅偏振器110的角度调整步骤)
接着，对使用至此说明的偏振光照射装置100的线栅偏振器110的角度调整步骤进行说明。
首先，从光源112朝向线栅偏振器110放射光L。于是，该光L之中透过了无偏振狭缝124以外(即，偏振用图案122)的光L不能透过偏振滤光器114，透过了无偏振狭缝124的光L由偏振滤光器114偏振而透射到摄像机116侧。
然后，使致动器118中的正交致动器126动作，使摄像机116移动到接收透过的光L的位置。当由摄像机116接收该光L时，由于在监视器120映现出被放大的光L的带，因此以使该光L的带的图中下侧的侧线134位于一对标记线132之间的方式，利用正交致动器126调整摄像机116在与应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度大致正交的方向上的位置。
当决定了与无偏振狭缝124大致正交的方向的摄像机116的位置时，接着，使平行致动器128动作，使摄像机116沿着应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度移动。
在线栅偏振器110的角度与正确的角度不一致的情况下，即，在线栅偏振器110上的偏振用图案122以及无偏振狭缝124的角度不是正确的角度的情况下，当利用平行致动器128使摄像机116移动时，光L的带的图中下侧的侧线134的位置从上下任一标记线132向外侧出来。在这样的情况下，将线栅偏振器110的角度进行微调，再次实施利用正交致动器126或平行致动器128的摄像机116的移动。
若线栅偏振器110的角度与正确的角度一致，则在利用平行致动器128的移动的整个范围内，由摄像机116接收到的光L的带的图中下侧的侧线134的位置总是收在一对标记线132之间。至此，线栅偏振器110的角度的调整完成。
例如，将由摄像机116接收到的光的带放大到100倍并映现到监视器120上，将一对标记线132的间隔设定为5mm，利用平行致动器128使摄像机116移动50mm。此时，如果由摄像机116接收到的光L的带的图中下侧的侧线134的位置总是收在一对标记线132之间，则以atan(0.05/50)＝0.057°以内的精度将线栅偏振器110的角度设定为正确的角度。
(偏振光照射装置100等的特征)
根据本实施方式所涉及的线栅偏振器110、具备其的偏振光照射装置100、曝光装置10，由于在线栅偏振器110形成有偏振用图案122和相对于该偏振用图案122平行地形成的无偏振狭缝124，因此从光源112向该线栅偏振器110以及在与该线栅偏振器110的偏振用图案122的光的偏振方向正交的方向上偏振的偏振滤光器114放射的光当中，透过无偏振狭缝124以外(即，偏振用图案122)的光不能透过该偏振滤光器114，而透过无偏振狭缝124的光透过偏振滤光器114(被偏振)。或者，先透过偏振滤光器114(被偏振)的光不能透过无偏振狭缝124以外(即，偏振用图案122)，而透过无偏振狭缝124。
由此，在由摄像机116接收到透过无偏振狭缝124以及偏振滤光器114的光时，得到与该无偏振狭缝124对应的直线状的光L的带，因此，通过由沿着应使偏振用图案122一致的角度移动的摄像机116调整该光L的带延伸的角度，能够进行线栅偏振器110的角度调整。
另外，由于至少由摄像机116接收由偏振滤光器114偏振的光，因此与(例如与拍摄风景的情况相同地)用摄像机116观察无偏振光的情况相比，偏振光的明暗(对比度)提高，所以视觉辨认性提高。
(变形例1)
在上述的实施方式中，以相对于线栅偏振器110的表面大致垂直地照射光的方式配置光源112，但也可以取而代之，以能够相对于线栅偏振器110的表面以给定的角度照射光的方式，使光源112相对于该线栅偏振器110倾斜。
(变形例2)
另外，也可以将偏振滤光器114安装在摄像机116中的受光透镜的前端(受光透镜与线栅偏振器110之间)，使该摄像机116与偏振滤光器114一体地移动。
(变形例3)
在上述的实施方式中，在线栅偏振器110中形成了偏振用图案122和与该偏振用图案122平行地形成的无偏振狭缝124，但也可以取而代之，如图7所示，在线栅偏振器110的角部等形成无偏振部250。
该无偏振部250在变形例3中是形成为矩形状的区域，但只要至少包括相对于偏振用图案122平行地延伸的边界线252即可。
从光源112向该线栅偏振器110以及偏振滤光器114放射的光当中，透过无偏振部250的光透过偏振滤光器114(被偏振)。或者，先透过偏振滤光器114(被偏振)的光不能透过无偏振部250以外(即，偏振用图案122)，而透过无偏振部250。
其结果，在监视器120上显示与包含边界线252的无偏振部250对应的区域，因此与上述的实施方式同样地，能够利用边界线252来调整线栅偏振器110的配置角度。
另外，如图8所示，也可以配置包含在相对于偏振用图案122正交的方向上延伸的正交边界线254的无偏振部250。
在该情况下，通过使在相对于偏振用图案122正交的方向上延伸的标记130显示在监视器120上，并使摄像机116在该方向上移动，来调整线栅偏振器110的配置角度。
进一步而言，也可以将包含在相对于偏振用图案122正交的方向上延伸的正交边界线254的至少一对无偏振部250配置成相互的正交边界线254位于在相对于偏振用图案122正交的方向上延伸的假想线256上。
在该情况下，显示在监视器120上的标记130可以是1条标记线132。具体而言，在使用平行致动器128将该标记线132对准与一方的无偏振部250上的正交边界线254对应的位置后，使用正交致动器126(也可以是用于工件X的输送的其他致动器)使标记线132靠近另一方的无偏振部250上的正交边界线254。
作为其结果，以标记线132与另一方的无偏振部250上的正交边界线254一致的方式，利用上述的方法进行线栅偏振器110的角度调整。
这样，关于在线栅偏振器110形成至少一对无偏振部250的方法，如图7所示，也可以适用于以相对于偏振用图案122平行地延伸的边界线252位于相对于偏振用图案122平行地延伸的假想线258上的方式配置一对无偏振部250的情况。
(变形例4)
至此，对调整线栅偏振器110的偏振轴方向的情况进行了说明，但也可以将同样的方法适用于“背景技术”中记载的调整用偏振器(检偏器)。
调整用偏振器(称为“检偏器300”)的偏振轴的方向已知，在使线栅偏振器110的偏振轴方向与基准方向一致时使用。万一检偏器300的偏振轴的方向偏移，则线栅偏振器110的偏振轴方向也从基准方向偏移，因此该检偏器300的偏振轴的调整也非常重要。
如图9所示，检偏器300配置在线栅偏振器110与调整用照度传感器302之间。更具体而言，作为一例，检偏器300与调整用照度传感器302组合为一体。另外，检偏器300(以及调整用照度传感器302)可通过致动器118(正交致动器126以及平行致动器128)移动。而且，在能够从线栅偏振器110侧拍摄检偏器300的位置配设摄像机304。
然后，如图10所示，在检偏器300的形成有偏振面301的表面周缘部设置一对轴向标记310、312。该轴向标记310、312配设在检偏器300的表面周缘部的一端部和位于该一端部的相反侧的另一端部。另外，将一对轴向标记310、312相互连结的假想线314与检偏器300的偏振面301上的偏振轴平行。
首先，使用致动器118，使检偏器300移动到一方的轴向标记310可由摄像机304拍摄的位置(由于检偏器300与调整用照度传感器302组合为一体，因此调整用照度传感器302也同样移动。)。具体而言，由于由摄像机304所拍摄的一方的轴向标记310以放大的状态映现在监视器120上，因此移动检偏器300，以使该一方的轴向标记310位于一对标记线132之间。
然后，使平行致动器128动作，使检偏器300沿着应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度移动。
在检偏器300的角度与正确的角度不一致的情况下，若利用平行致动器128使检偏器300移动，则另一方的轴向标记312的位置从上下任一标记线132向外侧出来。在这种情况下，将检偏器300的角度进行微调，再次实施利用致动器118的检偏器300的移动。
当检偏器300的角度与正确的角度一致时，另一方的轴向标记312的位置收在一对标记线132之间。至此，检偏器300的角度的调整完成。
(变形例5)
如图11所示，也可以使用在偏振面301上形成有作为无偏振部的无偏振狭缝320的检偏器300来代替一对轴向标记310、312。此外，也可以代替无偏振狭缝320，在偏振面301的角部等形成例如矩形状的无偏振部。关于在偏振面301的角部形成有矩形状的无偏振部的情况下的检偏器300的角度调整方法，援用上述变形例3中的说明。
在该情况下，如图12所示，在检偏器300与摄像机304之间设置偏振滤光器322。该偏振滤光器322与上述的实施方式中的偏振滤光器114同样，是在与应使形成于由检偏器300调整的线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度正交的方向上偏振的部件。此外，偏振滤光器322可以与摄像机304组合为一体，也可以是分体的。
来自从检偏器300观察配置于摄像机304侧或与摄像机304侧相反侧的光源(未图示。此外，如果有来自外部的光，则作为曝光装置10不需要具备该光源。)的光中透过检偏器300的偏振面上的无偏振狭缝320以外的光不能透过偏振滤光器322，只有透过无偏振狭缝320的光被偏振滤光器322偏振而透射到摄像机304侧。
当由摄像机304接收到该光时，由于在监视器120上映现出放大的光的带，因此利用正交致动器126调整摄像机304在与应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度大致正交的方向的位置，以使该光的带的下侧的侧线134位于一对标记线132之间。
接着，使平行致动器128动作，使检偏器300沿应使形成于线栅偏振器110的偏振用图案122一致的正确的角度移动。
在检偏器300的角度与正确的角度不一致的情况下，即，在检偏器300上的无偏振狭缝320的角度不是正确的角度的情况下，若利用平行致动器128使摄像机304移动，则光的带的下侧的侧线134的位置会从上下任一标记线132向外侧出来。在这种情况下，将检偏器300的角度进行微调，再次实施利用致动器118的检偏器300的移动。
若检偏器300的角度与正确的角度一致，则在利用平行致动器128的移动的整个范围内，由摄像机304接收到的光的带的下侧的侧线134的位置总是收在一对标记线132之间。至此，检偏器300的角度的调整完成。
此外，至此，对作为应使检偏器300的偏振面301上的“偏振轴一致的角度”而使用形成于线栅偏振器110的偏振用图案122的情况进行了说明，但例如也可以将相对于正交致动器126的动作方向平行的方向(或者，相对于平行致动器128的动作方向正交的方向)设为“应使偏振轴一致的角度”。
在该情况下，将摄像机304配置在正交致动器126的扫描轴上，将偏振滤光器322的偏振方向设定为相对于该正交致动器126的动作方向正交的方向。
(变形例6)
对于本说明书中记载的所有实施例、变形例，既可以在固定线栅偏振器110、检偏器300的同时移动摄像机116、304，也可以使线栅偏振器110、检偏器300移动而将摄像机116、304固定。进一步而言，也可以使线栅偏振器110、检偏器300以及摄像机116、304这双方移动。总之，只要摄像机116、304相对于线栅偏振器110、检偏器300相对地移动即可。
此外，在上述的实施例、变形例中，示出了摄像机116、304相对于线栅偏振器110、检偏器300相对地连续地移动的例子，但在整个本说明书中“相对地移动”是不仅包括这样连续地移动，还包括“断续地移动”的情况的概念。所谓“断续地移动”，是指进行多次如下动作：在相对于线栅偏振器110、检偏器300停止的状态下摄像机116、304接收光，然后，摄像机116、304相对于线栅偏振器110、检偏器300相对地移动，再次在停止的状态下摄像机116、304接收光。
应该认为本次公开的实施方式在所有方面都是例示而不是限制。本发明的范围不是由上述的说明而是由请求保护的范围表示，包括与请求保护的范围等同的意思和范围内的所有变更。
符号说明
10…曝光装置，20…工件输送装置，22…载物台单元，24…移动机构，26…载物台，28…高度调整机构，30…水平旋转机构，32…保持机构
100…偏振光照射装置，110…线栅偏振器，111…旋转装置，112…光源，114…偏振滤光器，116…摄像机，118…致动器，120…监视器121…玻璃基板，122…偏振用图案，124…无偏振狭缝，126…正交致动器，128…平行致动器，130…标记，132…标记线，134…侧线
200…保持框，202…保持框支架，204…嵌合开口，205…支架主体，206…旋转轴销，207…开口，208…旋转轴销孔，210…推压螺钉，212…台阶部
250…无偏振部，252…边界线，254…正交边界线，256…假想线，258…假想线
300…检偏器，301…偏振面，302…调整用照度传感器，304…摄像机
310…(一方端部的)轴向标记，312…(另一方端部的)轴向标记，314…假想线
320…(检偏器300的偏振面上的)无偏振狭缝，322…偏振滤光器
L…光，X…工件。

Claims (15)

1.一种线栅偏振器，其具有无偏振部以及相互平行地形成的多个偏振用图案，其中，
通过利用摄像机接收透过在与基于所述偏振用图案的光的偏振方向正交的方向上偏振的偏振滤光器以及所述无偏振部的来自光源的光，来进行角度调整，所述摄像机沿着应使所述偏振用图案一致的角度相对于所述线栅偏振器相对地移动。
2.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中，
所述无偏振部是相对于所述偏振用图案平行地形成的无偏振狭缝。
3.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中，
所述无偏振部包含相对于所述偏振用图案平行地延伸的边界线。
4.根据权利要求3所述的线栅偏振器，其中，
以使彼此的所述边界线位于相对于所述偏振用图案平行地延伸的假想线上的方式，配置有一对所述无偏振部。
5.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中，
所述无偏振部包含在相对于所述偏振用图案正交的方向上延伸的正交边界线。
6.根据权利要求5所述的线栅偏振器，其中，
以使彼此的所述正交边界线位于在相对于所述偏振用图案正交的方向上延伸的假想线上的方式，配置有一对所述无偏振部。
7.一种偏振光照射装置，其具备：
权利要求1所述的线栅偏振器；
偏振滤光器，其在与所述偏振用图案的偏振方向正交的方向上偏振；
光源，其朝向所述线栅偏振器以及所述偏振滤光器放射光；
摄像机，其接收从所述光源放射并透过了所述无偏振部以及所述偏振滤光器的光；以及
致动器，其使所述摄像机沿着应使所述偏振用图案一致的角度移动。
8.根据权利要求7所述的偏振光照射装置，其中，
所述偏振光照射装置还具备显示所述摄像机接收到的所述光的监视FB225073JP-I
器，
在所述监视器显示有标记，所述标记用于在所述摄像机通过所述致动器移动时，确认与所述摄像机的移动方向正交的方向的所述光的移动幅度。
9.根据权利要求8所述的偏振光照射装置，其中，
所述标记由以给定的间隔配置的一对标记线构成，
调整所述线栅偏振器的角度，以使由所述摄像机接收到的光的端缘位于一对所述标记线之间。
10.一种曝光装置，其具备权利要求7所述的偏振光照射装置。
11.一种线栅偏振器的角度调整方法，其中，
朝向权利要求1所述的线栅偏振器以及在与基于所述偏振用图案的光的偏振方向正交的方向上偏振的偏振滤光器放射来自光源的光，
利用摄像机接收透过所述无偏振部以及所述偏振滤光器的光，所述摄像机沿着应使所述偏振用图案一致的角度相对于所述线栅偏振器相对地移动。
12.一种检偏器，其具有偏振面、以及形成于形成有所述偏振面的表面周缘部的一对轴向标记，其中，
将所述一对轴向标记相互连结的假想线与所述偏振面上的偏振轴平行，
利用摄像机映现所述轴向标记，使所述检偏器沿着应使所述偏振轴一致的角度相对于所述摄像机相对地移动，由此进行角度调整。
13.一种检偏器，其具有偏振面以及无偏振部，其中，
通过利用摄像机接收透过所述无偏振部以及在与应使所述偏振面上的偏振轴一致的角度正交的方向上偏振的偏振滤光器的光，并且使所述检偏器沿着上述应一致的角度相对于所述摄像机相对地移动，由此进行角度调整。
14.一种检偏器的角度调整方法，所述检偏器具有偏振面以及形成于形成有所述偏振面的表面周缘部的一对轴向标记，将所述一对轴向标记相互连结的假想线与所述偏振面上的偏振轴平行，其中，
利用摄像机拍摄所述轴向标记，并使所述检偏器沿着应使所述偏振轴FB225073JP-I
一致的角度相对于所述摄像机相对地移动。
15.一种检偏器的角度调整方法，其中，
朝向具有偏振面和无偏振部的检偏器以及在与应使所述偏振面上的偏振轴一致的角度正交的方向上偏振的偏振滤光器放射光，
利用摄像机接收透过所述无偏振部的光，并且使所述检偏器沿着上述应一致的角度相对于所述摄像机相对地移动。
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