CN116390366A - 一种闪蚀线 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种闪蚀线，包括除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段和电路板输送线，本发明结构设计合理，并且增设了闪蚀补偿段，可通过补偿段扇形喷嘴进行固定点定喷，补偿段喷管的开启为进板后且电路板的板面偏厚区域到位时，补偿段喷管的关闭为电路板的板面偏厚区域结束时，补偿段喷管的开启和关闭时间可以由编码器根据电路板输送线的线速、电路板的尺寸、以及板面偏厚区域与板边距离计算而获得，可搭配不同的线速，在全铜板咬蚀测试下，其蚀刻均匀性较佳。
Description
技术领域
本发明涉及电路板蚀刻设备技术领域，更具体地说，是涉及一种闪蚀线。
背景技术
对于超精细线路成型工艺，目前MSAP工艺中常见的酸铜或碱铜已无法达到精度的要求，即便采用价格昂贵的真空蚀刻设备，在全铜板咬蚀测试下，均匀性仍较难达到要求，线路品质可靠性无法得到有效保证。为解决上述问题，可通过采用闪蚀工艺处理精细线路。闪蚀，又称差分蚀刻或快速蚀刻工艺，即把非图形区域的薄铜快速蚀刻，同时又不会蚀刻过多的图形区域的铜，是半加成法工艺中的关键步骤。然而，目前市面上缺少一种具有闪蚀补偿段的闪蚀生产线。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供一种增设闪蚀补偿段、蚀刻均匀性好的闪蚀线。
为实现上述目的，本发明提供了一种闪蚀线，包括除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段和电路板输送线，所述除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段往电路板的输送方向依次布置，所述电路板输送线依次经过除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段的内部，所述闪蚀蚀刻槽与闪蚀补偿槽相连通；
所述闪蚀蚀刻槽的内部上方和内部下方均设有五组摇摆式喷管框，每组摇摆式喷管框上的闪蚀段喷管上均设有若干个闪蚀段扇形喷嘴，每组摇摆式喷管框的摇摆方向与电路板的输送方向相垂直；
所述闪蚀补偿槽的内部上方设有至少两根补偿段喷管，每根补偿段喷管上分别设有若干个补偿段扇形喷嘴，每根补偿段喷管均由PLC和各自独立的电磁阀控制进行间歇性喷洒，其中，所述补偿段喷管的开启为进板后且电路板的板面偏厚区域到位时，所述补偿段喷管的关闭为电路板的板面偏厚区域结束时，所述补偿段喷管的开启和关闭时间由编码器根据电路板输送线的线速、电路板的尺寸、以及板面偏厚区域与板边距离计算而获得。
作为优选的，所述补偿段喷管的延迟开启时间的计算公式为：T延迟开启＝H/V，式中，H为板面偏厚区域与板边距离的起始值，V为电路板输送线的线速；
所述补偿段喷管的关闭时间的计算公式为：T关闭＝(W-H)/V，式中，W为电路板的宽度，H为板面偏厚区域与板边距离的起始值，V为电路板输送线的线速；
所述补偿段喷管喷洒时长的计算公式为：T时长＝T关闭-T延迟开启。
作为优选的，相邻两根闪蚀段喷管的间距为55～85mm，每根闪蚀段喷管有独立的泵提供喷压，所述泵的功率为1.5～2HP。
作为优选的，每组摇摆式喷管框之间设有真空吸液段。
作为优选的，相邻两根补偿段喷管的间距为180～210mm。
作为优选的，所述补偿段喷管设置有四根。
作为优选的，当需要禁止补偿段扇形喷嘴喷洒时，用管栓塞住喷嘴孔位。
作为优选的，所述除油槽的内部上方和内部下方均设有除油段喷管，所述除油段喷管上均设有若干个除油段扇形喷嘴，所述除油段喷管的摇摆方向与电路板的输送方向相垂直。
作为优选的，所述第一溢流水洗段设有两段，所述第二溢流水洗段设有两段。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
本发明的闪蚀线设有除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段和电路板输送线，结构设计合理，并且增设了闪蚀补偿段，可通过补偿段扇形喷嘴进行固定点定喷，补偿段喷管的开启为进板后且电路板的板面偏厚区域到位时，补偿段喷管的关闭为电路板的板面偏厚区域结束时，补偿段喷管的开启和关闭时间可以由编码器根据电路板输送线的线速、电路板的尺寸、以及板面偏厚区域与板边距离计算而获得，可搭配不同的线速，在全铜板咬蚀测试下，其蚀刻均匀性较佳。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的闪蚀线的结构框图；
图2是本发明实施例提供的闪蚀蚀刻槽和闪蚀补偿槽的结构示意图；
图3是本发明实施例提供的闪蚀补偿槽内的补偿段喷管与电磁阀的结构示意图；
图4是本发明实施例提供的闪蚀补偿槽内的有效喷嘴位置分布图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图1和图2，本发明的实施例提供了一种闪蚀线，包括除油槽1、第一溢流水洗段2、第一衔接段3、闪蚀蚀刻槽4、闪蚀补偿槽5、第二衔接段6、纯水洗段7、第三衔接段8、酸洗段9、第四衔接段10、第二溢流水洗段11、第五衔接段12、吹烘干段13和电路板输送线14，除油槽1、第一溢流水洗段2、第一衔接段3、闪蚀蚀刻槽4、闪蚀补偿槽5、第二衔接段6、纯水洗段7、第三衔接段8、酸洗段9、第四衔接段10、第二溢流水洗段11、第五衔接段12、吹烘干段13往电路板的输送方向依次布置，电路板输送线14依次经过除油槽1、第一溢流水洗段2、第一衔接段3、闪蚀蚀刻槽4、闪蚀补偿槽5、第二衔接段6、纯水洗段7、第三衔接段8、酸洗段9、第四衔接段10、第二溢流水洗段11、第五衔接段12、吹烘干段13的内部，闪蚀蚀刻槽4与闪蚀补偿槽5相连通。
在本实施例中，除油槽1的内部上方和内部下方均可设有除油段喷管，除油段喷管上均设有若干个除油段扇形喷嘴，除油段喷管的摇摆方向与电路板的输送方向相垂直。除油槽1用于闪蚀前先清洁电路板的板面。
如图2所示，闪蚀蚀刻槽4的内部上方和内部下方均可设有五组摇摆式喷管框41，每组摇摆式喷管框41上的闪蚀段喷管43上均设有若干个闪蚀段扇形喷嘴42，每组摇摆式喷管框41的摇摆方向与电路板的输送方向相垂直。
在本实施例中，相邻两根闪蚀段喷管43的间距可以优选设置为55～85mm，每根闪蚀段喷管43有独立的泵(Pump)提供喷压，泵的功率可以设置为1.5～2HP。
较佳的，每组摇摆式喷管框41之间还可以设有真空吸液段。
如图2和图3所示，闪蚀补偿槽5的内部上方可以设有两组固定式喷管框53，每个固定式喷管框53上设有两根补偿段喷管51，即一共四根补偿段喷管51，每根补偿段喷管51上分别设有若干个补偿段扇形喷嘴52，每根补偿段喷管51均由PLC和各自独立的电磁阀54控制进行间歇性喷洒。
在本实施例中，相邻两根补偿段喷管51的间距可以优选设置为180～210mm。
如图4所示，补偿段喷管51可以采用盲喷管栓来调整有效喷嘴位置，当需要禁止补偿段扇形喷嘴52喷洒时，可以用管栓57(即图4中所有黑色圆形区域)塞住喷嘴孔位。工作时，闪蚀补偿槽5仅需要通过上方的补偿段扇形喷嘴52进行固定点定喷。
在实际工作的过程中，补偿段喷管51的开启为进板后且电路板的板面偏厚区域到位时，补偿段喷管51的关闭为电路板的板面偏厚区域结束时，补偿段喷管51的开启和关闭时间由编码器根据电路板输送线14的线速、电路板的尺寸、以及板面偏厚区域与板边距离计算而获得。
补偿段喷管51的延迟开启时间的计算公式为：T延迟开启＝H/V，式中，H为板面偏厚区域与板边距离的起始值，V为电路板输送线14的线速；补偿段喷管51的关闭时间的计算公式为：T关闭＝(W-H)/V，式中，W为电路板的宽度，H为板面偏厚区域与板边距离的起始值，V为电路板输送线14的线速；补偿段喷管51的喷洒时长的计算公式为：T时长＝T关闭-T延迟开启。
举例而言，电路板输送线14的线速为3m/min(即50mm/s)，电路板尺寸为610mm*510mm，进板板边50mm开始偏厚。50/50mm/s＝1s，板边过了NO.1喷管1s到达偏厚区才开始喷洒；510-50＝460mm处以后无偏厚，(510-50)mm/50mm/s＝9.2s，此时NO.1喷管关闭喷洒，喷洒时长为9.2-1＝8.2s。
表一：补偿段喷管的工作控制
在本实施例中，第一溢流水洗段2可以设有两段(如溢流水洗1和溢流水洗2)，第二溢流水洗段11也可以设有两段(如溢流水洗3和溢流水洗4)。
表二：本闪蚀线与现有技术的测试结果
从表二可知，现有的真空蚀刻机在处理量为10um时，其Uniformity(％)≤80％，而本实施例的本闪蚀线在开启补偿闪蚀段后，当处理量为10.5um时，其Uniformity(％)≤92.1％，在全铜板咬蚀测试下，其蚀刻均匀性较佳，蚀刻时能够将橄榄球地形削至平原地形。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种闪蚀线，其特征在于，包括除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段和电路板输送线，所述除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段往电路板的输送方向依次布置，所述电路板输送线依次经过除油槽、第一溢流水洗段、第一衔接段、闪蚀蚀刻槽、闪蚀补偿槽、第二衔接段、纯水洗段、第三衔接段、酸洗段、第四衔接段、第二溢流水洗段、第五衔接段、吹烘干段的内部，所述闪蚀蚀刻槽与闪蚀补偿槽相连通；
所述闪蚀蚀刻槽的内部上方和内部下方均设有五组摇摆式喷管框，每组摇摆式喷管框上的闪蚀段喷管上均设有若干个闪蚀段扇形喷嘴，每组摇摆式喷管框的摇摆方向与电路板的输送方向相垂直；
所述闪蚀补偿槽的内部上方设有至少两根补偿段喷管，每根补偿段喷管上分别设有若干个补偿段扇形喷嘴，每根补偿段喷管均由PLC和各自独立的电磁阀控制进行间歇性喷洒，其中，所述补偿段喷管的开启为进板后且电路板的板面偏厚区域到位时，所述补偿段喷管的关闭为电路板的板面偏厚区域结束时，所述补偿段喷管的开启和关闭时间由编码器根据电路板输送线的线速、电路板的尺寸、以及板面偏厚区域与板边距离计算而获得。
2.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，所述补偿段喷管的延迟开启时间的计算公式为：T延迟开启＝H/V，式中，H为板面偏厚区域与板边距离的起始值，V为电路板输送线的线速；
所述补偿段喷管的关闭时间的计算公式为：T关闭＝(W-H)/V，式中，W为电路板的宽度，H为板面偏厚区域与板边距离的起始值，V为电路板输送线的线速；
所述补偿段喷管喷洒时长的计算公式为：T时长＝T关闭-T延迟开启。
3.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，相邻两根闪蚀段喷管的间距为55～85mm，每根闪蚀段喷管有独立的泵提供喷压，所述泵的功率为1.5～2HP。
4.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，每组摇摆式喷管框之间设有真空吸液段。
5.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，相邻两根补偿段喷管的间距为180～210mm。
6.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，所述补偿段喷管设置有四根。
7.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，当需要禁止补偿段扇形喷嘴喷洒时，用管栓塞住喷嘴孔位。
8.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，所述除油槽的内部上方和内部下方均设有除油段喷管，所述除油段喷管上均设有若干个除油段扇形喷嘴，所述除油段喷管的摇摆方向与电路板的输送方向相垂直。
9.根据权利要求1所述的一种闪蚀线，其特征在于，所述第一溢流水洗段设有两段，所述第二溢流水洗段设有两段。
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