CN116313935B - 一种半导体硅片制绒机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体硅片制绒机，属于硅片制绒技术领域，包括工作架和制绒机构，所述制绒机构包括：输送带、储液筒、导液框、旋转筒、支撑架、放置框、调节组件、驱动组件和连接组件；所述工作架内侧设有输送带、储液筒和导液框，储液筒设有多个，通过导液框可向储液筒内侧注入相同浓度的混合液，通过驱动组件可实现旋转筒和驱动辊进行旋转，方便使放置有硅片的放置框位于储液筒上方，并通过调节组件可实现硅片与储液筒内侧的混合液充分接触，所述支撑架和放置框设有两组，能够同时在一组硅片进行制绒操作时，将另一组硅片放入放置框中，能够有效提高工作效率。
Description
技术领域
本发明属于硅片制绒技术领域，尤其涉及一种半导体硅片制绒机。
背景技术
目前硅片制绒一般采用链式设备进行，硅片行进至制绒槽，与氢氟酸、硝酸和水的混合液进行反应，去除硅片表面由于切割引入的损伤层，形成2μm左右的微型凹坑即绒面，在硅片表面起到陷光作用，降低了硅片表面的反射率，有利于电池效率的提升；硅片与氟酸、硝酸反应是放热反应，过程中放出大量的热量，温度越高反应越剧烈，同时与药液的浓度也有关，浓度越高反应也越剧烈；制绒槽通过药液循环与制冷剂热交换进行降温，比较理想的状态是药液温度可控，药液反应平稳均匀，这样形成的绒面也比较均匀，色差比例低。
现有的半导体硅片制绒机在使用过程中，硅片在与混合液进行反应后浓度会发生变化，在对后续硅片进行制绒操作时，容易影响硅片与混合液的反应效果，无法保证硅片在与混合液进行反应时浓度保持一致；且在硅片进行制绒操作时，工作效率较低，不方便使用。
为避免上述技术问题，确有必要提供一种半导体硅片制绒机以克服现有技术中的所述缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体硅片制绒机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种半导体硅片制绒机，包括工作架和制绒机构，所述制绒机构包括：
输送带，位于所述工作架内侧底端，所述输送带内侧安装有驱动辊，所述输送带上设有储液筒，用于对混合液进行储存，所述输送带和储液筒之间安装有限位组件；所述工作架内侧安装有旋转筒，所述旋转筒外侧设有支撑架，支撑架上安装有放置框，用于对硅片进行放置，所述支撑架和旋转筒之间安装有调节组件，用于对支撑架和旋转筒之间的距离进行调节；
所述旋转筒侧面设有导液框，用于向储液筒内侧注入混合液，所述导液框侧面设有控制按钮，所述旋转筒一端设有驱动组件，用于驱动所述旋转筒在工作架内侧进行旋转，并对旋转的角度进行控制；所述驱动组件和驱动辊之间安装有连接组件，用于在驱动组件控制旋转筒进行旋转时，使驱动辊旋转带动输送带进行移动。
作为本发明进一步的技术方案：所述限位组件包括：
限位架，固定安装在所述输送带上，所述限位架上安装有定位杆，所述定位杆贯穿所述限位架，所述定位杆靠近储液筒一端安装有定位块，所述储液筒外侧设有定位孔，所述定位块与定位孔凹凸连接，所述定位杆另一端外侧套接有第一弹性件，用于调节定位杆在限位架上的位置。
作为本发明进一步的技术方案：所述调节组件包括：
第一驱动件，固定安装在所述旋转筒内侧中部，所述旋转筒上设有滑槽，所述第一驱动件输出端安装有第一驱动杆，所述第一驱动杆外侧安装有移动块，所述第一驱动杆与移动块螺纹连接，所述移动块外侧安装有滑块，所述滑块穿过所述滑槽，所述滑块伸出滑槽一端安装有第一铰接座，所述支撑架靠近旋转筒一侧固定安装有第二铰接座，所述第一铰接座和第二铰接座之间安装有连接杆，所述连接杆两端与第一铰接座和第二铰接座转动连接。
作为本发明进一步的技术方案：所述驱动组件包括：
旋转齿，固定安装在旋转筒伸出工作架一端，所述旋转齿侧面设有第二驱动件，所述第二驱动件输出端安装有第二驱动杆，所述第二驱动杆与旋转齿连接，所述旋转齿上还设有定位组件，用于对旋转齿的旋转角度进行限定。
作为本发明进一步的技术方案：所述定位组件包括：
固定块，固定安装在所述旋转齿表面，并设有四个均匀分布在旋转齿上，所述旋转齿侧面设有固定框，所述固定框内侧安装有调节杆，所述调节杆与固定框内侧凹凸连接，所述调节杆与固定框之间安装有第二弹性件，所述调节杆位于固定框内侧一端固定安装有按压开关。
作为本发明进一步的技术方案：所述连接组件包括：
连接齿，位于所述旋转齿侧面，并与所述旋转齿啮合连接，所述连接齿与工作架转动连接，所述连接齿中部固定安装有第一带轮，所述驱动辊伸出工作架一端安装有第二带轮，所述第一带轮和第二带轮之间安装有皮带。
作为本发明进一步的技术方案：所述工作架顶端设有放置孔，用于使放置框伸出工作架，使硅片可放入放置框中；所述工作架侧面设有取出架和封盖，用于将制绒后的硅片从放置框中取出。
相较于现有技术，本发明的有益效果如下：
本发明提供的一种半导体硅片制绒机，所述工作架内侧设有输送带、储液筒和导液框，储液筒设有多个，通过导液框可向储液筒内侧注入相同浓度的混合液，通过驱动组件可实现旋转筒和驱动辊进行旋转，方便使放置有硅片的放置框位于储液筒上方，并通过调节组件可实现硅片与储液筒内侧的混合液充分接触，所述支撑架和放置框设有两组，能够同时在一组硅片进行制绒操作时，将另一组硅片放入放置框中，能够有效提高工作效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明中驱动组件的结构示意图。
图3为本发明中调节组件的结构示意图。
图4为本发明图1中A处放大的结构示意图。
图5为本发明图2中B处放大的结构示意图。
图6为本发明中旋转筒和滑槽之间的结构示意图。
附图中：1-工作架、2-输送带、3-驱动辊、4-储液筒、5-限位组件、51-限位架、52-定位杆、53-定位块、54-定位孔、55-第一弹性件、6-调节组件、61-第一驱动件、62-滑槽、63-第一驱动杆、64-移动块、65-滑块、66-第一铰接座、67-第二铰接座、68-连接杆、7-驱动组件、71-旋转齿、72-第二驱动件、73-第二驱动杆、74-定位组件、741-固定块、742-固定框、743-调节杆、744-第二弹性件、745-按压开关、8-连接组件、81-连接齿、82-第一带轮、83-第二带轮、84-皮带、9-旋转筒、10-支撑架、11-放置框、12-导液框、13-控制按钮、14-放置孔、15-取出架、16-封盖。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行详细描述。
如图1～图6所示，为本发明提供的实施例中，一种半导体硅片制绒机，包括工作架1和制绒机构，所述制绒机构包括：
输送带2，位于所述工作架1内侧底端，所述输送带2内侧安装有驱动辊3，所述输送带2上设有储液筒4，用于对混合液进行储存，所述输送带2和储液筒4之间安装有限位组件5；所述工作架1内侧安装有旋转筒9，所述旋转筒9外侧设有支撑架10，支撑架10上安装有放置框11，用于对硅片进行放置，所述支撑架10和旋转筒9之间安装有调节组件6，用于对支撑架10和旋转筒9之间的距离进行调节；
所述旋转筒9侧面设有导液框12，用于向储液筒4内侧注入混合液，所述导液框12侧面设有控制按钮13，所述旋转筒9一端设有驱动组件7，用于驱动所述旋转筒9在工作架1内侧进行旋转，并对旋转的角度进行控制；所述驱动组件7和驱动辊3之间安装有连接组件8，用于在驱动组件7控制旋转筒9进行旋转时，使驱动辊3旋转带动输送带2进行移动。
在本实施例中，所述工作架1内侧设有输送带2、储液筒4和导液框12，储液筒4设有多个，通过导液框12可向储液筒4内侧注入相同浓度的混合液，通过驱动组件7可实现旋转筒9和驱动辊3进行旋转，方便使放置有硅片的放置框11位于储液筒4上方，并通过调节组件6可实现硅片与储液筒4内侧的混合液充分接触，所述支撑架10和放置框11设有两组，能够同时在一组硅片进行制绒操作时，将另一组硅片放入放置框11中，能够有效提高工作效率；所述支撑架10与所述旋转筒9平行，所述导液框12底端设有输液阀门，并通过控制按钮13进行控制，导液框12顶端安装有连接管，用于将混合液注入导液框12内侧。
在本发明的一个实施例中，请参阅图1和图4，所述限位组件5包括：
限位架51，固定安装在所述输送带2上，所述限位架51上安装有定位杆52，所述定位杆52贯穿所述限位架51，所述定位杆52靠近储液筒4一端安装有定位块53，所述储液筒4外侧设有定位孔54，所述定位块53与定位孔54凹凸连接，所述定位杆52另一端外侧套接有第一弹性件55，用于调节定位杆52在限位架51上的位置。
在本实施例中，所述限位架51垂直安装在输送带2上，所述定位杆52与所述限位架51垂直，定位杆52一端的定位块53方便与储液筒4外侧的定位孔54进行连接，所述定位块53的形状为直角梯形，所述第一弹性件55可为弹簧或橡胶等，在本实施例中第一弹性件55为弹簧，通过第一弹性件55可使定位块53与储液筒4外侧的定位孔54进行连接，当输送带2进行水平方向的移动时，将储液筒4放置在限位架51侧面，通过定位块53与定位孔54的连接，可使输送带2带动储液筒4进行水平方向的稳定移动，方便硅片进行制绒操作。
在本发明的一个实施例中，请参阅图1和图3，所述调节组件6包括：
第一驱动件61，固定安装在所述旋转筒9内侧中部，所述旋转筒9上设有滑槽62，所述第一驱动件61输出端安装有第一驱动杆63，所述第一驱动杆63外侧安装有移动块64，所述第一驱动杆63与移动块64螺纹连接，所述移动块64外侧安装有滑块65，所述滑块65穿过所述滑槽62，所述滑块65伸出滑槽62一端安装有第一铰接座66，所述支撑架10靠近旋转筒9一侧固定安装有第二铰接座67，所述第一铰接座66和第二铰接座67之间安装有连接杆68，所述连接杆68两端与第一铰接座66和第二铰接座67转动连接。
在本实施例中，所述滑槽62设有两组并对称分布在旋转筒9上，所述第一驱动件61可为旋转电机或步进电机等，在本实施例中第一驱动件61为双轴电机，所述第一驱动件61的两个输出端均安装有第一驱动杆63，所述第一驱动杆63在本实施例中为螺纹杆，所述移动块64中部设有螺孔，所述螺孔内侧与第一驱动杆63外侧螺纹连接，所述移动块64两侧均安装有滑块65，滑块65穿过所述滑槽62，当第一驱动件61控制两个第一驱动杆63进行旋转时，便于实现两个移动块64进行相对运动，所述滑块65上固定安装有第一铰接座66，支撑架10两端均设有第二铰接座67，所述连接杆68两端与第一铰接座66和第二铰接座67之间均安装有滚动轴承，当移动块64带动滑块65沿着滑槽62进行位置移动时，方便调节支撑架10与旋转筒9之间的距离，并保持支撑架10始终与旋转筒9平行，方便使用。
在本发明的一个实施例中，请参阅图2、图3和图5，所述驱动组件7包括：
旋转齿71，固定安装在旋转筒9伸出工作架1一端，所述旋转齿71侧面设有第二驱动件72，所述第二驱动件72输出端安装有第二驱动杆73，所述第二驱动杆73与旋转齿71连接，所述旋转齿71上还设有定位组件74，用于对旋转齿71的旋转角度进行限定。
所述定位组件74包括：
固定块741，固定安装在所述旋转齿71表面，并设有四个均匀分布在旋转齿71上，所述旋转齿71侧面设有固定框742，所述固定框742内侧安装有调节杆743，所述调节杆743与固定框742内侧凹凸连接，所述调节杆743与固定框742之间安装有第二弹性件744，所述调节杆743位于固定框742内侧一端固定安装有按压开关745。
在本实施例中，所述旋转齿71固定安装在旋转筒9一端，所述旋转齿71直径大于旋转筒9的直径，所述第二驱动件72可为旋转电机或步进电机等，在本实施例中第二驱动件72为旋转电机，所述第二驱动杆73在本实施例中为蜗杆，所述旋转齿71在本实施例中为蜗轮，所述第二驱动杆73与旋转齿71连接，所述第二驱动件72可控制第二驱动杆73进行旋转，并进一步的实现旋转齿71带动旋转筒9进行旋转，通过蜗轮和蜗杆的自锁性，还能够有效保持旋转齿71在旋转后的稳定性；所述固定块741设有四块并均匀分布在旋转齿71表面，所述固定框742为水平状，调节杆743与固定框742内侧凹凸连接，当固定块741跟随旋转齿71进行旋转时，在旋转一定角度后可对调节杆743进行按压，通过调节杆743对按压开关745进行挤压可控制第二驱动件72；在固定块741与调节杆743分离后，在第二弹性件744的作用下可对调节杆743进行复位，所述第二弹性件744可为弹簧或橡胶等，在本实施例中第二弹性件744为弹簧。
在本发明的一个实施例中，请参阅图2，所述连接组件8包括：
连接齿81，位于所述旋转齿71侧面，并与所述旋转齿71啮合连接，所述连接齿81与工作架1转动连接，所述连接齿81中部固定安装有第一带轮82，所述驱动辊3伸出工作架1一端安装有第二带轮83，所述第一带轮82和第二带轮83之间安装有皮带84。
在本实施例中，所述连接齿81与所述旋转齿71啮合连接，连接齿81与工作架1之间安装有滚动轴承，所述连接齿81可在工作架1上进行稳定旋转，当旋转齿71进行旋转时可实现连接齿81在工作架1上旋转，所述连接齿81中部固定安装有第一带轮82，驱动辊3一端安装有第二带轮83，第一带轮82和第二带轮83之间通过皮带84连接，当旋转齿71进行旋转时，通过连接齿81和带轮可实现驱动辊3的旋转，进一步的实现输送带2的移动，方便下一组硅片与另一个储液筒4内侧的混合液进行接触，保证硅片在制绒过程中混合液的浓度始终保持一致。
在本发明的一个实施例中，请参阅图1，所述工作架1顶端设有放置孔14，用于使放置框11伸出工作架1，使硅片可放入放置框11中；所述工作架1侧面设有取出架15和封盖16，用于将制绒后的硅片从放置框11中取出；所述支撑架10和放置框11均设有两组，在两个支撑架10为水平状时，通过调节组件6可实现支撑架10在竖直方向的位置移动，此时一组放置框11内侧的硅片与储液筒4内侧的混合液接触，另一组放置框11伸出放置孔14，此时工作人员可将另一组硅片放入放置框11中，操作便捷；所述支撑架10为竖直状时，通过调节组件6可实现制绒后的硅片进入取出架15内侧，此时方便将制绒后的硅片取出进行下一步操作，操作便捷。
本发明的工作原理是：
在本发明中，首先将硅片放入放置框11内侧，然后第一驱动件61，使支撑架10靠近旋转筒9，然后控制第二驱动件72，使旋转筒9旋转，在支撑架10为竖直状时，控制第一驱动件61，使放置框11与导液框12侧面的控制按钮13接触，此时输送带2上的储液筒4为导液框12正下方，导液框12箱储液筒4内侧注入混合液，然后控制第二驱动件72，使旋转筒9继续旋转，在定位组件74和连接组件8的作用下，注入混合液的储液筒4移动到支撑架10正下方，此时通过第一驱动件61，使硅片与混合液接触，进行制绒操作，在制绒操作完成后，支撑架10靠近旋转筒9，此时旋转筒9再次进行旋转，使支撑架10可进入取出架15中，此时另一组放置框11中已经放入另一组硅片，能够不断的进行硅片制绒操作，在使用后的混合液可进行收集，然后进行浓度调节，重新利用，操作便捷。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种半导体硅片制绒机，包括工作架和制绒机构，其特征在于，所述制绒机构包括：
输送带，位于所述工作架内侧底端，所述输送带内侧安装有驱动辊，所述输送带上设有储液筒，用于对混合液进行储存，所述输送带和储液筒之间安装有限位组件；所述工作架内侧安装有旋转筒，所述旋转筒外侧设有支撑架，支撑架上安装有放置框，用于对硅片进行放置，所述支撑架和旋转筒之间安装有调节组件，用于对支撑架和旋转筒之间的距离进行调节；
所述旋转筒的一侧设有导液框，用于向储液筒内侧注入混合液，所述导液框侧面设有控制按钮，所述旋转筒一端设有驱动组件，用于驱动所述旋转筒在工作架内侧进行旋转，并对旋转的角度进行控制；所述驱动组件和驱动辊之间安装有连接组件，用于在驱动组件控制旋转筒进行旋转时，使驱动辊旋转带动输送带进行移动；
所述调节组件包括：第一驱动件，固定安装在所述旋转筒内侧中部，所述旋转筒上设有滑槽，所述第一驱动件输出端安装有第一驱动杆，所述第一驱动杆外侧安装有移动块，所述第一驱动杆与移动块螺纹连接，所述移动块外侧安装有滑块，所述滑块穿过所述滑槽，所述滑块伸出滑槽一端安装有第一铰接座，所述支撑架靠近旋转筒一侧固定安装有第二铰接座，所述第一铰接座和第二铰接座之间安装有连接杆，所述连接杆两端与第一铰接座和第二铰接座转动连接；
所述驱动组件包括：旋转齿，固定安装在旋转筒伸出工作架一端，所述旋转齿侧面设有第二驱动件，所述第二驱动件输出端安装有第二驱动杆，所述第二驱动杆与旋转齿连接，所述旋转齿上还设有定位组件，用于对旋转齿的旋转角度进行限定；
所述定位组件包括：固定块，固定安装在所述旋转齿表面，并设有四个均匀分布在旋转齿上，所述旋转齿侧面设有固定框，所述固定框内侧安装有调节杆，所述调节杆与固定框内侧凹凸连接，所述调节杆与固定框之间安装有第二弹性件，所述调节杆位于固定框内侧一端固定安装有按压开关。
2.根据权利要求1所述的半导体硅片制绒机，其特征在于，所述限位组件包括：
限位架，固定安装在所述输送带上，所述限位架上安装有定位杆，所述定位杆贯穿所述限位架，所述定位杆靠近储液筒一端安装有定位块，所述储液筒外侧设有定位孔，所述定位块与定位孔凹凸连接，所述定位杆另一端外侧套接有第一弹性件，用于调节定位杆在限位架上的位置。
3.根据权利要求1所述的半导体硅片制绒机，其特征在于，所述连接组件包括：
连接齿，位于所述旋转齿侧面，并与所述旋转齿啮合连接，所述连接齿与工作架转动连接，所述连接齿中部固定安装有第一带轮，所述驱动辊伸出工作架一端安装有第二带轮，所述第一带轮和第二带轮之间安装有皮带。
4.根据权利要求1所述的半导体硅片制绒机，其特征在于，所述工作架顶端设有放置孔，用于使放置框伸出工作架，使硅片可放入放置框中；所述工作架侧面设有取出架和封盖，用于将制绒后的硅片从放置框中取出。
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