CN213977960U - 一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于腐蚀加工设备技术领域，尤其为一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，包括工作板，所述工作板的表面固定连接有腐蚀架，所述腐蚀架的一侧通过固定块固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端贯穿腐蚀架通过轴承转动连接腐蚀架的一侧内壁。本实用新型通过手动转动螺栓利用夹板对晶片进行夹紧固定，通过启动第一电机带动螺纹块移动，从而将往复运动装置移动至腐蚀液池的上方，启动气缸对往复运动装置的高度进行调节，利用往复运动装置将晶片放至腐蚀液池中进行往复运动，对晶片腐蚀作业，通过该结构，降低工人劳动强度，同时可对多个晶体同时作业，极大地提高工作效率。

Description

一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机

技术领域

本实用新型涉及腐蚀加工设备技术领域，具体为一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机。

背景技术

晶体的研究开发和生产活动中，对晶片的生产加工需要一个腐蚀过程，目前对金电极晶振片表面加工处理时，大多都是人工操作，对晶片表面进行腐蚀作业，部分一些腐蚀机机结构简单，又不便对腐蚀液温度进行控制，综上所述总结以下存在的问题：

1、传统方法使用人工操作对晶片进行腐蚀作业，劳动强度大，工作效率低下，晶片与腐蚀液体接触不充分；

2、现有技术种腐蚀设备不便对腐蚀液体温度调节控制，影响加工出品质量，不便对刚腐蚀完毕的晶片进行清洗。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，解决了人工操作对晶片进行腐蚀作业，劳动强度大，晶片与腐蚀液体接触不充分，不便对腐蚀液体温度调节控制，不便对刚腐蚀完毕的晶片进行清洗的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，包括工作板和喷头，所述工作板的表面固定连接有腐蚀架，所述腐蚀架的一侧通过固定块固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端贯穿腐蚀架通过轴承转动连接腐蚀架的一侧内壁，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的顶部固定连接有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有滑块，所述螺纹块的底部固定连接有气缸，所述气缸的端部固定连接有固定框架，所述固定框架的端部固定连接有往复运动装置，所述固定框架的端部固定连接有支撑块，所述支撑块的顶部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有转盘，所述转盘的表面通过辊轴转动连接有第一支杆，所述第一支杆的端部通过辊轴转动连接有传动杆，所述传动杆的端部通过辊轴转动连接有第二支杆，所述第二支杆的端部通过辊轴转动连接有升降块，所述升降块的表面滑动连接有滑动槽，所述滑动槽的端部固定连接支撑块，所述升降块的端部通过连接块固定连接有夹持块，所述夹持块的凹槽处固定连接有滑杆，所述滑杆的表面固定连接有夹板，所述夹板的内部螺纹连接有螺栓，所述工作板的顶部表面位于腐蚀架的一侧固定连接有腐蚀液池，所述腐蚀液池的内壁固定连接有发热管，所述腐蚀液池左侧的内壁位于发热管的一侧固定连接有感应器，所述腐蚀液池左侧的外壁固定连接有显示器，所述腐蚀液池左侧的外壁位于显示器的一侧固定连接有控制器，所述工作板的顶部位于腐蚀架的一侧固定连接有水泵，所述水泵的一端通过管道固定连接有水箱，所述水泵的另一端通过管道固定连接有清洗池。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑块的表面滑动连接有滑槽，所述滑槽开设在腐蚀架顶部的内壁上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传动杆的表面通过辊轴转动连接支撑块，所述传动杆为人字形状。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺栓的表面螺纹连接夹持块，所述螺栓贯穿夹持块延伸至外部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述发热管、感应器、显示器与控制器电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述清洗池的底部固定连接工作板的表面，所述清洗池位于腐蚀液池的一侧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述管道的一端贯穿清洗池的内壁延伸至内部固定连接有喷头，所述喷头的表面固定连接喷嘴。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，具备以下有益效果：

1、该腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，通过手动转动螺栓利用夹板对晶片进行夹紧固定，通过启动第一电机带动螺纹块移动，从而将往复运动装置移动至腐蚀液池的上方，启动气缸对往复运动装置的高度进行调节，利用往复运动装置将晶片放至腐蚀液池中进行往复运动，对晶片腐蚀作业，通过该结构，自动化作业，降低工人劳动强度，同时可对多个晶体同时作业，极大地提高工作效率，实用性强。

2、该腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，通过腐蚀液池内部连接发热管和感应器，在腐蚀液池一侧表面设有控制器和显示器，通过该温控装置对腐蚀液温度进行调节控制至合适温度，提高腐蚀液对晶片的腐蚀效果，提高产品出品质量，降低损坏率，通过清洗池内喷头的设置，方便对晶片进行快速清洗。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型往复运动装置放大图；

图3为本实用新型图1中A区域放大图；

图4为本实用新型温控装置系统图。

图中：1、工作板；2、腐蚀架；3、第一电机；4、螺纹杆；5、螺纹块； 6、连接杆；7、滑块；8、滑槽；9、气缸；10、固定框架；11、往复运动装置；1101、支撑块；1102、第二电机；1103、转盘；1104、第一支杆；1105、传动杆；1106、第二支杆；1107、滑动槽；1108、升降块；12、夹持块；13、滑杆；14、夹板；15、螺栓；16、腐蚀液池；17、发热管；18、感应器；19、控制器；20、显示器；21、水泵；22、水箱；23、清洗池；24、喷头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，包括工作板1和喷头24，工作板1的表面固定连接有腐蚀架2，腐蚀架2的一侧通过固定块固定连接有第一电机3，第一电机3的输出端固定连接有螺纹杆4，螺纹杆4的一端贯穿腐蚀架2通过轴承转动连接腐蚀架2的一侧内壁，螺纹杆4的表面螺纹连接有螺纹块5，螺纹块5的顶部固定连接有连接杆6，连接杆6的一端固定连接有滑块7，螺纹块5的底部固定连接有气缸9，气缸9的端部固定连接有固定框架10，固定框架10的端部固定连接有往复运动装置11，固定框架10的端部固定连接有支撑块1101，支撑块1101的顶部固定连接有第二电机1102，第二电机1102的输出端固定连接有转盘1103，转盘1103的表面通过辊轴转动连接有第一支杆1104，第一支杆1104的端部通过辊轴转动连接有传动杆1105，传动杆1105的端部通过辊轴转动连接有第二支杆1106，第二支杆1106的端部通过辊轴转动连接有升降块1108，升降块1108的表面滑动连接有滑动槽1107，滑动槽1107的端部固定连接支撑块1101，升降块1108的端部通过连接块固定连接有夹持块12，夹持块12的凹槽处固定连接有滑杆13，滑杆13的表面固定连接有夹板14，夹板14的内部螺纹连接有螺栓15，工作板1的顶部表面位于腐蚀架2的一侧固定连接有腐蚀液池16，腐蚀液池16的内壁固定连接有发热管17，腐蚀液池16左侧的内壁位于发热管17的一侧固定连接有感应器18，腐蚀液池16左侧的外壁固定连接有显示器20，腐蚀液池16左侧的外壁位于显示器20的一侧固定连接有控制器19，工作板1的顶部位于腐蚀架2的一侧固定连接有水泵21，水泵21的一端通过管道固定连接有水箱22，水泵21的另一端通过管道固定连接有清洗池23。

本实施方案中，通过手动转动螺栓15利用夹板14对晶片进行夹紧固定，通过启动第一电机3带动螺纹块5移动，从而将往复运动装置11移动至腐蚀液池16的上方，启动气缸9对往复运动装置11的高度进行调节，利用往复运动装置11将晶片放至腐蚀液池16中进行往复运动，对晶片腐蚀作业，通过该结构，自动化作业，降低工人劳动强度，同时可对多个晶体同时作业，极大地提高工作效率，实用性强；通过腐蚀液池16内部连接发热管17，和感应器18，感应器18型号为HX-RS，在腐蚀液池16一侧表面设有控制器19 和显示器20，控制器19型号为78Q8430-100IGTR/F，显示器20型号为 XMTD-2301，通过该温控装置对腐蚀液温度进行调节控制至合适温度，提高腐蚀液对晶片的腐蚀效果，提高产品出品质量，降低损坏率，通过清洗池23内喷头24的设置，方便对晶片进行快速清洗。

具体的，滑块7的表面滑动连接有滑槽8，滑槽8开设在腐蚀架2顶部的内壁上。

本实施例中，通过滑块7在滑槽8内左右滑动，对螺纹块5进行限位移动，运行更加顺畅。

具体的，传动杆1105的表面通过辊轴转动连接支撑块1101，传动杆1105 为人字形状。

本实施例中，通过传动杆1105的设置，方便改变第一支杆1104处作用力的方向，从而实现往复运动。

具体的，螺栓15的表面螺纹连接夹持块12，螺栓15贯穿夹持块12延伸至外部。

本实施例中，通过螺栓15方便带动夹板14在滑杆13处滑动，配合夹持块12对晶片进行夹持固定。

具体的，发热管17、感应器18、显示器20与控制器19电性连接，感应器18的型号为HX-RS，控制器19的型号为78Q8430-100IGTR/F，显示器20 的型号为XMTD-2301。

本实施例中，通过该温控装置的设置，方便对腐蚀液的温度进行恒温控制，提高对晶体腐蚀作业的产品质量，自动化操作，节省人力，且该温控装置本身均具有防腐蚀性能。

具体的，清洗池23的底部固定连接工作板1的表面，清洗池23位于腐蚀液池16的一侧。

本实施例中，通过清洗池23的设置，方便利用喷头24对晶片进行快速清洗。

具体的，管道的一端贯穿清洗池的内壁延伸至内部固定连接有喷头，喷头的表面固定连接喷嘴，喷头24的表面固定连接喷嘴。

本实施例中，通过喷头24的表面设置多个角度的喷嘴对晶片进行喷水清洗，使晶片清洗更加彻底。

本实用新型的工作原理及使用流程：将腐蚀液池16内放入腐蚀液体，通过温控装置接通电源，通过控制器19对加热管进行加热到设定的稳定，通过感应器18对腐蚀液体温度进行数据收集，利用控制器19传送至显示器20，通过显示器20显示温度数值，从而达到对腐蚀液体进行恒温控制的效果，通过启动第一电机3带动螺纹杆4转动，通过螺纹杆4的表面连接螺纹块5，通过螺纹块5的一端连接连接杆6，通过连接杆6一端连接滑块7，使滑块7在滑槽8的表面滑动，对螺纹块5进行限位移动，通过螺纹块5底部连接气缸9，方便对往复运动装置11进行高度调节控制，通过气缸9端部连接固定框架10，通过固定框架10端部连接往复运动装置11，方便对晶片在腐蚀液体内进行往复运动，使晶片表面与腐蚀液体接触充分，通过支撑块1101顶部连接第二电机1102，启动第二电机1102带动转盘1103转动，通过转盘1103连接第一支杆1104，通过第一支杆1104连接传动杆1105，通过传动杆1105连接第二支杆1106，通过第二支杆1106连接升降块1108带动升降块1108在滑动槽1107 内部上下滑动，通过升降块1108端部连接夹持块12，对夹持块12进行上下移动，通过夹持块12的内部连接滑杆13，方便夹板14在滑杆13表面滑动限位，通过在滑杆13表面连接螺栓15，方便转动螺栓15带动夹板14对晶片夹紧固定住，通过工作板1顶部连接水泵21，再次启动第一电机3带动夹持块 12移动至清洗池23的上方，启动气缸9将晶片移动至清洗池23内部，启动水泵21抽动水箱22内的清水，利用喷头24对晶片进行快速冲洗干净，从而使晶片完成腐蚀作用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，包括工作板(1)和喷头(24)，其特征在于：所述工作板(1)的表面固定连接有腐蚀架(2)，所述腐蚀架(2)的一侧通过固定块固定连接有第一电机(3)，所述第一电机(3)的输出端固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的一端贯穿腐蚀架(2)通过轴承转动连接腐蚀架(2)的一侧内壁，所述螺纹杆(4)的表面螺纹连接有螺纹块(5)，所述螺纹块(5)的顶部固定连接有连接杆(6)，所述连接杆(6)的一端固定连接有滑块(7)，所述螺纹块(5)的底部固定连接有气缸(9)，所述气缸(9)的端部固定连接有固定框架(10)，所述固定框架(10)的端部固定连接有往复运动装置(11)，所述固定框架(10)的端部固定连接有支撑块(1101)，所述支撑块(1101)的顶部固定连接有第二电机(1102)，所述第二电机(1102)的输出端固定连接有转盘(1103)，所述转盘(1103)的表面通过辊轴转动连接有第一支杆(1104)，所述第一支杆(1104)的端部通过辊轴转动连接有传动杆(1105)，所述传动杆(1105)的端部通过辊轴转动连接有第二支杆(1106)，所述第二支杆(1106)的端部通过辊轴转动连接有升降块(1108)，所述升降块(1108)的表面滑动连接有滑动槽(1107)，所述滑动槽(1107)的端部固定连接支撑块(1101)，所述升降块(1108)的端部通过连接块固定连接有夹持块(12)，所述夹持块(12)的凹槽处固定连接有滑杆(13)，所述滑杆(13)的表面固定连接有夹板(14)，所述夹板(14)的内部螺纹连接有螺栓(15)，所述工作板(1)的顶部表面位于腐蚀架(2)的一侧固定连接有腐蚀液池(16)，所述腐蚀液池(16)的内壁固定连接有发热管(17)，所述腐蚀液池(16)左侧的内壁位于发热管(17)的一侧固定连接有感应器(18)，所述腐蚀液池(16)左侧的外壁固定连接有显示器(20)，所述腐蚀液池(16)左侧的外壁位于显示器(20)的一侧固定连接有控制器(19)，所述工作板(1)的顶部位于腐蚀架(2)的一侧固定连接有水泵(21)，所述水泵(21)的一端通过管道固定连接有水箱(22)，所述水泵(21)的另一端通过管道固定连接有清洗池(23)。

2.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述滑块(7)的表面滑动连接有滑槽(8)，所述滑槽(8)开设在腐蚀架(2)顶部的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述传动杆(1105)的表面通过辊轴转动连接支撑块(1101)，所述传动杆(1105)为人字形状。

4.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述螺栓(15)的表面螺纹连接夹持块(12)，所述螺栓(15)贯穿夹持块(12)延伸至外部。

5.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述发热管(17)、感应器(18)、显示器(20)与控制器(19)电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述清洗池(23)的底部固定连接工作板(1)的表面，所述清洗池(23)位于腐蚀液池(16)的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述管道的一端贯穿清洗池(23)的内壁延伸至内部固定连接有喷头(24)，所述喷头(24)的表面固定连接喷嘴。

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