CN213001497U - 一种spm酸洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种SPM酸洗机，包括固定箱体、固定板、酸洗槽和水箱，所述固定箱体内顶部通过连接杆连接有固定板，所述固定箱体内顶部一端设置有安装盒且安装盒内底部通过螺钉安装有PLC控制器，所述固定板一端通过金属套圈和螺钉安装有转动电机，所述固定板顶端一侧通过轴套安装有丝杆，所述丝杆底端外围套设有轴承且轴承外围套设有滑动丝块，所述固定板一侧两端均焊接有滑轨且滑动丝块端部位于滑轨内。该新型能方便进行取料放料，还能方便带动晶片在酸洗槽内进行一定程度的抖动，清洗效果佳，能方便对清洗槽进行升温和降温，便于对酸洗后产生的酸性废液进行定时排放，适合广泛推广使用。

Description

一种SPM酸洗机

技术领域

本实用新型涉及晶片清洗技术领域，特别涉及一种SPM酸洗机。

背景技术

在电子晶片的生产过程中，为了方便对晶片进行酸洗，所以酸洗机是十分必要的。

以往的酸洗机存在以下缺点：1、不能方便进行取料放料；2、不能方便带动晶片在酸洗槽内进行一定程度的抖动，清洗效果不佳；3、不能方便对清洗槽进行升温和降温；4、不能方便对酸洗后产生的酸性废液进行定时排放。为此，我们提出一种SPM酸洗机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种SPM酸洗机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种SPM酸洗机，包括固定箱体、固定板、酸洗槽和水箱，所述固定箱体内顶部通过连接杆连接有固定板，所述固定箱体内顶部一端设置有安装盒且安装盒内底部通过螺钉安装有PLC控制器，所述固定板一端通过金属套圈和螺钉安装有转动电机，所述固定板顶端一侧通过轴套安装有丝杆，所述丝杆底端外围套设有轴承且轴承外围套设有滑动丝块，所述固定板一侧两端均焊接有滑轨且滑动丝块端部位于滑轨内，所述滑动丝块底部通过螺栓安装有步进电机，所述步进电机的动力输出端连接有转动盘，所述转动盘底部一端通过螺钉安装有往复式电动缸，所述往复式电动缸的动力输出端连接有第一安装板，所述第一安装板底部一端通过螺栓安装有电动液压缸，所述第一安装板底部另一端焊接有固定夹块，所述电动液压缸的动力输出端连接有滑动夹块，所述固定箱体内底部通过安装槽安装有酸洗槽，所述酸洗槽内壁两侧均通过固定槽安装有冷却水管，所述酸洗槽内底部通过螺丝固定安装有电加热管，所述酸洗槽一端通过预留槽安装有集料盒，所述固定箱体一端通过连接杆固定安装有温控器，所述固定箱体另一端通过固定杆安装有电子计时器开关，所述固定箱体底端一侧焊接有安装板且安装板顶部通过螺栓安装有水箱，所述水箱顶部通过螺钉安装有与水箱的进水端口连接的水泵，所述温控器的检测端位于酸洗槽内。

进一步地，所述转动电机的动力输出端和丝杆顶端外围均套设有齿轮，所述齿轮之间通过传送链条进行连接。

进一步地，所述电动液压缸一侧通过螺丝固定有导轨，所述滑动夹块顶端位于导轨内。

进一步地，所述酸洗槽底部连接有废液排放管且废液排放管端部位于固定箱体下端，所述废液排放管上靠近固定箱体一端设置有电磁阀，所述电磁阀的电力输入端与电子计时器开关的电力输出端通过导线构成电连接。

进一步地，所述水泵的进水端连接冷却水管一端，所述水箱的出水端口通过管道连接冷却水管另一端。

进一步地，所述固定箱体底端一侧通过安装孔安装有与酸洗槽连接的加液管。

进一步地，所述转动电机、步进电机、往复式电动缸和电动液压缸的电力输入端与PLC控制器的电力输出端通过导线构成电连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.通过设置转动电机、传送链条、齿轮、滑动丝块、滑轨、步进电机、转动盘、电动液压缸和PLC控制器，转动电机、步进电机和电动液压缸由PLC控制器进行控制，打开转动电机，工作时带动传送链条和齿轮转动，从而带动丝杆转动，从而推动滑动丝块在滑轨内滑动，步进电机工作时方便带动转动盘转动一定的角度，打开电动液压缸，工作时方便带动滑动夹块在导轨内滑动，人员手持晶片预放置在滑动夹块和固定夹块之间，从而方便利用滑动夹块和固定夹块对晶片进行夹持，进而可以实现将晶片夹持完毕后，将晶片沉入酸洗槽内进行酸洗，一端时间后，再将晶片抬升，转动180度后，再降至集料盒上端，松开滑动夹块，从而便于将清洗完成的晶片置入集料盒中进行收集，进而便于进行取料和放料。

2.通过设置往复式电动缸，当滑动夹块和固定夹块夹持晶片浸入酸洗槽内时，打开往复式电动缸，工作时方便带动第一安装板上下往复移动，进而方便带动晶片进行一定程度的抖动，有利于大大提升清洗效果。

3.通过设置温控器、水泵、水箱、冷却水管和电加热管，温控器的检测端位于酸洗槽内，温控器在检测到酸洗槽的温度较低时，可以利用自带的微型PLC控制器控制与温控器电性相连的电加热管工作，对酸洗槽内的酸洗液进行加热升温，温控器在检测到酸洗槽的温度较高时，可以利用自带的微型PLC控制器控制与温控器电性相连的水泵工作，水泵工作时方便带动水箱内的水在冷却水管内循环流动，带走热量，对酸洗槽进行降温，进而方便对酸洗槽进行升温和降温。

4.通过设置电子计时器开关、废液排放管和电磁阀，在清洗工作开始时，人员可以设定电子计时器开关的设定值，在一端时间到达电子计时器开关的设定值后，电子计时器开关就会接通电磁阀与外部电源的电路，从而方便使得电磁阀所在的废液排放管打开，便于对酸洗后产生的酸性废液进行定时排放。

附图说明

图1为本实用新型一种SPM酸洗机的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种SPM酸洗机的导轨结构示意图。

图3为本实用新型一种SPM酸洗机的冷却水管和电加热管结构示意图。

图中：1、固定箱体；2、温控器；3、连接杆；4、固定板；5、滑轨；6、转动电机；7、传送链条；8、丝杆；9、齿轮；10、滑动丝块；11、步进电机；12、转动盘；13、往复式电动缸；14、第一安装板；15、电动液压缸；16、滑动夹块；17、电子计时器开关；18、安装盒；19、PLC控制器；20、安装板；21、水箱；22、水泵；23、集料盒；24、酸洗槽；25、加液管；26、废液排放管；27、电磁阀；28、导轨；30、冷却水管；31、电加热管。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-3所示，一种SPM酸洗机，包括固定箱体1、固定板4、酸洗槽24和水箱21，所述固定箱体1内顶部通过连接杆3连接有固定板4，所述固定箱体1内顶部一端设置有安装盒18且安装盒18内底部通过螺钉安装有PLC控制器19，所述固定板4一端通过金属套圈和螺钉安装有转动电机6，所述固定板4顶端一侧通过轴套安装有丝杆8，所述丝杆8底端外围套设有轴承且轴承外围套设有滑动丝块10，所述固定板4一侧两端均焊接有滑轨5且滑动丝块10端部位于滑轨5内，所述滑动丝块10底部通过螺栓安装有步进电机11，所述步进电机11的动力输出端连接有转动盘12，所述转动盘12底部一端通过螺钉安装有往复式电动缸13，所述往复式电动缸13的动力输出端连接有第一安装板14，所述第一安装板14底部一端通过螺栓安装有电动液压缸15，所述第一安装板14底部另一端焊接有固定夹块29，所述电动液压缸15的动力输出端连接有滑动夹块16，所述固定箱体1内底部通过安装槽安装有酸洗槽24，所述酸洗槽24内壁两侧均通过固定槽安装有冷却水管30，所述酸洗槽24内底部通过螺丝固定安装有电加热管31，所述酸洗槽24一端通过预留槽安装有集料盒23，所述固定箱体1一端通过连接杆固定安装有温控器2，所述固定箱体1另一端通过固定杆安装有电子计时器开关17，所述固定箱体1底端一侧焊接有安装板20且安装板20顶部通过螺栓安装有水箱21，所述水箱21顶部通过螺钉安装有与水箱21的进水端口连接的水泵22，所述温控器2的检测端位于酸洗槽24内。

其中，所述转动电机6的动力输出端和丝杆8顶端外围均套设有齿轮9，所述齿轮9之间通过传送链条7进行连接。

本实施例中如图1所示，转动电机6工作时方便带动齿轮9和传送链条7进行转动。

其中，所述电动液压缸15一侧通过螺丝固定有导轨28，所述滑动夹块16顶端位于导轨28内。

本实施例中如图2所示，利用导轨28方便对滑动夹块16的位移进行导向。

其中，所述酸洗槽24底部连接有废液排放管26且废液排放管26端部位于固定箱体1下端，所述废液排放管26上靠近固定箱体1一端设置有电磁阀27，所述电磁阀27的电力输入端与电子计时器开关17的电力输出端通过导线构成电连接。

本实施例中如图1所示，在清洗工作开始时，人员可以设定电子计时器开关17的设定值，在一端时间到达电子计时器开关17的设定值后，电子计时器开关17就会接通电磁阀27与外部电源的电路，从而方便使得电磁阀27所在的废液排放管26打开，便于对酸洗后产生的酸性废液进行定时排放。

其中，所述水泵22的进水端连接冷却水管30一端，所述水箱21的出水端口通过管道连接冷却水管30另一端。

本实施例中如图1和图3所示，水泵22工作时方便带动水箱21内的水在冷却水管30内循环流动，带走热量，对酸洗槽24进行降温，进而方便对酸洗槽24进行升温和降温。

其中，所述固定箱体1底端一侧通过安装孔安装有与酸洗槽24连接的加液管25。

本实施例中如图1所示，由加液管25方便向酸洗槽24注入酸洗液。

其中，所述转动电机6、步进电机11、往复式电动缸13和电动液压缸15的电力输入端与PLC控制器19的电力输出端通过导线构成电连接。

本实施例中如图1所示，转动电机6、步进电机11、往复式电动缸13和电动液压缸15由PLC控制器19进行控制。

需要说明的是，本实用新型为一种SPM酸洗机，工作时，转动电机6、步进电机11、往复式电动缸13、电动液压缸15、水泵22、电磁阀27和电加热管31均连接外部电源进行供电，转动电机6、步进电机11、往复式电动缸13和电动液压缸15由PLC控制器19进行控制，利用导线将水泵22和电加热管31的输入端与温控器2的输出端连接，由加液管25向酸洗槽24注入酸洗液，打开转动电机6，工作时带动传送链条7和齿轮9转动，从而带动丝杆8转动，从而推动滑动丝块10在滑轨5内滑动，步进电机11工作时方便带动转动盘12转动一定的角度，打开电动液压缸15，工作时方便带动滑动夹块16在导轨28内滑动，人员手持晶片预放置在滑动夹块16和固定夹块29之间，从而方便利用滑动夹块16和固定夹块29对晶片进行夹持，进而可以实现将晶片夹持完毕后，将晶片沉入酸洗槽24内进行酸洗，一端时间后，再将晶片抬升，转动180度后，再降至集料盒23上端，松开滑动夹块16，从而便于将清洗完成的晶片置入集料盒23中进行收集，进而便于进行取料和放料，当滑动夹块16和固定夹块29夹持晶片浸入酸洗槽24内时，打开往复式电动缸13，工作时方便带动第一安装板14上下往复移动，进而方便带动晶片进行一定程度的抖动，有利于大大提升清洗效果，温控器2的检测端位于酸洗槽24内，温控器2在检测到酸洗槽24的温度较低时，可以利用自带的微型PLC控制器控制与温控器2电性相连的电加热管31工作，对酸洗槽24内的酸洗液进行加热升温，温控器2在检测到酸洗槽24的温度较高时，可以利用自带的微型PLC控制器控制与温控器2电性相连的水泵22工作，水泵22工作时方便带动水箱21内的水在冷却水管30内循环流动，带走热量，对酸洗槽24进行降温，进而方便对酸洗槽24进行升温和降温，在清洗工作开始时，人员可以设定电子计时器开关17的设定值，在一端时间到达电子计时器开关17的设定值后，电子计时器开关17就会接通电磁阀27与外部电源的电路，从而方便使得电磁阀27所在的废液排放管26打开，便于对酸洗后产生的酸性废液进行定时排放。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种SPM酸洗机，包括固定箱体(1)、固定板(4)、酸洗槽(24)和水箱(21)，其特征在于：所述固定箱体(1)内顶部通过连接杆(3)连接有固定板(4)，所述固定箱体(1)内顶部一端设置有安装盒(18)且安装盒(18)内底部通过螺钉安装有PLC控制器(19)，所述固定板(4)一端通过金属套圈和螺钉安装有转动电机(6)，所述固定板(4)顶端一侧通过轴套安装有丝杆(8)，所述丝杆(8)底端外围套设有轴承且轴承外围套设有滑动丝块(10)，所述固定板(4)一侧两端均焊接有滑轨(5)且滑动丝块(10)端部位于滑轨(5)内，所述滑动丝块(10)底部通过螺栓安装有步进电机(11)，所述步进电机(11)的动力输出端连接有转动盘(12)，所述转动盘(12)底部一端通过螺钉安装有往复式电动缸(13)，所述往复式电动缸(13)的动力输出端连接有第一安装板(14)，所述第一安装板(14)底部一端通过螺栓安装有电动液压缸(15)，所述第一安装板(14)底部另一端焊接有固定夹块(29)，所述电动液压缸(15)的动力输出端连接有滑动夹块(16)，所述固定箱体(1)内底部通过安装槽安装有酸洗槽(24)，所述酸洗槽(24)内壁两侧均通过固定槽安装有冷却水管(30)，所述酸洗槽(24)内底部通过螺丝固定安装有电加热管(31)，所述酸洗槽(24)一端通过预留槽安装有集料盒(23)，所述固定箱体(1)一端通过连接杆固定安装有温控器(2)，所述固定箱体(1)另一端通过固定杆安装有电子计时器开关(17)，所述固定箱体(1)底端一侧焊接有安装板(20)且安装板(20)顶部通过螺栓安装有水箱(21)，所述水箱(21)顶部通过螺钉安装有与水箱(21)的进水端口连接的水泵(22)，所述温控器(2)的检测端位于酸洗槽(24)内。

2.根据权利要求1所述的一种SPM酸洗机，其特征在于：所述转动电机(6)的动力输出端和丝杆(8)顶端外围均套设有齿轮(9)，所述齿轮(9)之间通过传送链条(7)进行连接。

3.根据权利要求1所述的一种SPM酸洗机，其特征在于：所述电动液压缸(15)一侧通过螺丝固定有导轨(28)，所述滑动夹块(16)顶端位于导轨(28)内。

4.根据权利要求1所述的一种SPM酸洗机，其特征在于：所述酸洗槽(24)底部连接有废液排放管(26)且废液排放管(26)端部位于固定箱体(1)下端，所述废液排放管(26)上靠近固定箱体(1)一端设置有电磁阀(27)，所述电磁阀(27)的电力输入端与电子计时器开关(17)的电力输出端通过导线构成电连接。

5.根据权利要求1所述的一种SPM酸洗机，其特征在于：所述水泵(22)的进水端连接冷却水管(30)一端，所述水箱(21)的出水端口通过管道连接冷却水管(30)另一端。

6.根据权利要求1所述的一种SPM酸洗机，其特征在于：所述固定箱体(1)底端一侧通过安装孔安装有与酸洗槽(24)连接的加液管(25)。

7.根据权利要求1所述的一种SPM酸洗机，其特征在于：所述转动电机(6)、步进电机(11)、往复式电动缸(13)和电动液压缸(15)的电力输入端与PLC控制器(19)的电力输出端通过导线构成电连接。

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