CN109939972A - 一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，包括第一清洗单元和第二清洗单元；第一清洗单元包括第一清洗槽、第一支撑架、第一驱动件和放置网；第一驱动件设于第一支撑架上；放置网与第一驱动件的输出轴相连；第二清洗单元包括底座、第二驱动件、第二清洗槽、第二支架、第三驱动件和夹紧件；第二驱动件设于底座上，其输出轴与第二清洗槽相连，驱动第二清洗槽自转；第二清洗槽的内壁上设有毛刷；第二支架与底座相连；第三驱动件设于第二支架上，且位于第二清洗槽上方，其输出轴与夹紧件相连，驱动夹紧件相对第二清洗槽做往返运动。本发明结构合理简单、生产成本低、安装方便，酸洗效率高，能够快速的将单晶硅棒表面的杂质除去，且省时省力。
Description
技术领域
本发明属于新能源电池技术领域，具体涉及一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备。
背景技术
随着环境污染的日益加剧和能源危机的日趋严重，新能源电池被广泛用来替代污染较高的铅蓄电池，如锂离子电池，具有储能大、电压稳定、充电快和节能环保的优点。单晶硅是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，其在不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，因而被广泛用于制造半导体器件、太阳能电池等。在新能源电池在生产过程中，需要对单晶硅进行酸洗，以去除单晶硅生产过程中表面的杂质。现有技术中的酸洗设备大多结构较为复杂，成本较高，且酸洗效率不高，费时费力。
发明内容
针对上述问题，本发明提出一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，结构合理简单、生产成本低、安装方便，酸洗效率高，能够快速的将单晶硅棒表面的杂质除去，且省时省力。
为了实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，包括相邻的第一清洗单元和第二清洗单元；
所述第一清洗单元包括第一清洗槽，以及设于第一清洗槽上方的第一支撑架、第一驱动件和放置网；所述第一驱动件设于所述第一支撑架上；所述放置网与所述第一驱动件的输出轴相连，由第一驱动件驱动相对第一清洗槽做往复运动；
所述第二清洗单元包括底座、第二驱动件、第二清洗槽、第二支架、第三驱动件和夹紧件；所述第二驱动件设于底座上，其输出轴与第二清洗槽相连，驱动第二清洗槽自转；所述第二清洗槽的内壁上设有毛刷；所述第二支架与所述底座相连；所述第三驱动件设于第二支架上，且位于第二清洗槽上方，其输出轴与夹紧件相连，驱动夹紧件相对第二清洗槽做往返运动。
优选地，所述第二驱动件包括轴承座、轴承、旋转轴、第一齿轮、第二齿轮和第二电机；
所述轴承座设于所述底座上；
所述轴承设于所述轴承座内；
所述旋转轴的一端设于所述轴承内，另一端贯穿所述第一齿轮后与所述第二清洗槽相连，且垂直与所述第一齿轮；
所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合；
所述第二电机的输出轴与所述第二齿轮相连，驱动所述第二齿轮自转。
优选地，所述夹紧件包括卡头和锁紧杆，所述卡头上设有贯通孔，所述锁紧杆设于所述贯通孔内，且与卡头螺纹相连。
优选地，所述第一支架包括第一连接支架、第二连接支架、升降板、第一立柱、第二立柱和连接杆；
所述第一连接支架与第二连接支架相互垂直，其一端与所述第一清洗槽相连，另一端与所述第二连接支架的一端相连；
所述第一立柱和第二立柱相对设置，二者均垂直与所述第二连接支架设置，二者的端部与所述第二连接支架相连；
所述升降板的两端分别滑设于所述第一立柱和第二立柱上，且与所述第一驱动件的输出轴相连；
所述连接杆的两端分别与所述升降板和放置网相连。
优选地，所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，还包括循环单元，所述循环单元包括：
搅拌室，所述搅拌室的上部通过第一连接管与所述第一清洗槽的底部相连通，其下部通过顺次相连的第二连接管、抽取泵和第三连接管与所述第一清洗槽的上部相连通；
所述搅拌杆设于搅拌室内部，且与搅拌轴相连；
第一电机，所述第一电机设于搅拌室外部，其输出轴与搅拌杆的一端相连；
第一过滤网，所述第一过滤网设于所述第一连接管内。
优选地，所述循环单元还包括第二过滤网，所述第二过滤网设于所述第二连接管内。
优选地，所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，还包括烘干单元，所述烘干单元包括接水槽、滤水网、第三支撑架、风机、风罩；
所述滤水网设于所述第三支撑架上，且位于所述接水槽上方；
所述风机设于所述第三支撑架上，其出风口通过软管与所述风罩相连，所述风罩的出口风正对着所述滤水网。
优选地，所述烘干单元还包括传动轴、弹簧、定位板、支撑板和第四驱动件；
所述传动轴的一端与所述风罩相连，另一端贯穿所述第三支撑架后与定位板相连；
所述弹簧位于所述第三支撑架外侧，且套设在所述传动轴上；
所述支撑板平行与所述传动轴，且与所述第三支撑架相连，所述第四驱动件设于所述支撑板上驱动所述传动轴做往复运动。
优选地，所述第四驱动件包括第三电机、凸轮和凸轮杆；
所述第三电机和凸轮杆均设于所述支撑板上，且所述第三电机的输出轴与凸轮杆通过皮带相连；
所述凸轮设于所述凸轮杆上。
优选地，所述第一驱动件和第三驱动件均为驱动气缸。
与现有技术相比，本发明的有益效果：
本发明的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，利用所述夹紧件夹持待清洗的单晶硅棒；启动第三驱动件，利用所述第三驱动件驱动待清洗的单晶硅棒在第二清洗槽内做往复运动，在运动的过程中由所述第二清洗槽内的毛刷去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；启动所述第二驱动件，利用所述第二驱动件驱动所述第二清洗槽自转，实现加速去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；将所述清理过的单晶硅棒从夹紧件上取下来，放入放置网内，启动第一驱动件，由第一驱动件驱动所述放置网带动所述单晶硅棒进入第一清洗槽内，由所述第一清洗槽内的酸性溶液对单晶硅棒进行酸洗。
进一步地，本发明还将第一清洗槽内的清洗溶液经过第一连接管以及第一过滤网后被送入搅拌室内，经过搅拌后再由第二过滤网进行过滤，最终由抽取泵抽取并通过第三连接管重新送入第一清洗槽内，实现了清洗溶液的重复使用，大大降低了生产成本。
进一步地，本发明的棒被送入滤水网中，单晶硅棒上的水直接流入接水槽内，同时启动风机，风机的风经过软管后被送入风罩，利用风罩进行风干处理，在风干的同时，利用第四驱动件不断敲击所述传动轴，由传动轴带动风罩进行往复运动，从而提高风干面积，加速工作效率
附图说明
图1为本发明的第一清洗单元的结构示意图；
图2为本发明的第二清洗单元的结构示意图；
图3为本发明的烘干单元的结构示意图；
图中：1-第一清洗槽；2-抽取泵；3-搅拌室；4-第一电机；5-搅拌轴；6-搅拌杆；7-第一连接管；8-第一过滤网；9-第二连接管；10-第二过滤网；11-第三连接管；12-第一连接支架；13-第一立柱；14-滑轨；15-限位块；16-升降板；17-连接杆；18-放置网；19-第一驱动件；20-第二清洗槽；21-毛刷；22-底座；23-轴承座；24-轴承；25-旋转轴；26-第一齿轮；27-第二电机；28-第二齿轮；29-第三连接支架；30-第二驱动件；31-卡头；32-锁紧杆；33-接水槽；34-第三支撑架；35-风机；36-滤水网；37-风罩；38-软管；39-传动轴；40-弹簧；41-定位板；42-支撑板；43-第三电机；44-凸轮杆；45-凸轮；46-皮带。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明的保护范围。
下面结合附图对本发明的应用原理作详细的描述。
实施例1
本发明实施例提供了一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，包括相邻的第一清洗单元和第二清洗单元；
所述第一清洗单元包括第一清洗槽1，以及设于第一清洗槽1上方的第一支撑架、第一驱动件19和放置网18；
所述第一清洗槽1用于放置清洗单晶硅棒的清洗溶液，比如酸性溶液，由于清洗溶液本身的组分不是本发明的发明点所在，因此不做具体限定，只要能够实现对单晶硅棒进行清洗即可；
所述第一驱动件19设于所述第一支撑架上；在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述第一驱动件19为驱动气缸；
所述放置网18与所述第一驱动件19的输出轴相连，由第一驱动件19驱动相对第一清洗槽1做往复运动；所述放置网18上设有若干个通孔，所述通孔的孔径尺寸以及通孔形状不是本发明的发明点，因此不做具体限定；在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述第一支架包括第一连接支架12、第二连接支架、升降板16、第一立柱13、第二立柱和连接杆17；所述第一连接支架12与第二连接支架相互垂直，其一端与所述第一清洗槽1相连，另一端与所述第二连接支架的一端相连，所述第二连接支架位于水平面上；所述第一立柱13和第二立柱相对设置，二者均垂直与所述第二连接支架设置，二者的端部与所述第二连接支架相连；所述升降板16的两端分别滑设于所述第一立柱13和第二立柱上的滑槽14内，且与所述第一驱动件19的输出轴相连，所述第一立柱13和第二立柱底部还设有限位块15；所述连接杆17的两端分别与所述升降板16和放置网18相连；
所述第二清洗单元包括底座22、第二驱动件、第二清洗槽20、第二支架、第三驱动件30和夹紧件；
所述第二驱动件设于底座22上，其输出轴与第二清洗槽20相连，驱动第二清洗槽20自转；在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述第二驱动件包括轴承座23、轴承24、旋转轴25、第一齿轮26、第二齿轮28和第二电机27；所述轴承座23设于所述底座22上；所述轴承24设于所述轴承座23内；所述旋转轴25的一端设于所述轴承24内，二者之间为转动连接，另一端贯穿所述第一齿轮26后与所述第二清洗槽20相连，且垂直与所述第一齿轮26；所述第一齿轮26与所述第二齿轮28相啮合；所述第二电机27的输出轴与所述第二齿轮28相连，驱动所述第二齿轮28自转；
所述第二清洗槽20的内壁上设有毛刷21；
所述第二支架与所述底座22相连；在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述第二支架包括两个相对设置的第三连接支架29，所述第三连接支架29呈U型；
所述第三驱动件30设于第二支架上，且位于第二清洗槽20上方，其输出轴与夹紧件相连，驱动夹紧件相对第二清洗槽20做往返运动；在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述第三驱动件30为驱动气缸，所述夹紧件包括卡头31和锁紧杆32，所述卡头31上设有贯通孔，所述锁紧杆32设于所述贯通孔内，且与卡头31螺纹相连，在实际使用时，通过旋拧实施锁紧杆32实现将待清洗的单晶硅棒固定在所述卡头31内。
综上所述，本发明实施例中的新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备的工作原理具体为：
(1)利用所述夹紧件夹持待清洗的单晶硅棒；
(2)启动第三驱动件30，利用所述第三驱动件驱动待清洗的单晶硅棒在第二清洗槽20内做往复运动，在运动的过程中由所述第二清洗槽20内的毛刷21去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(3)启动第二驱动件，利用第二驱动件驱动所述第二清洗槽20自转，实现加速去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(4)当完成步骤(1)-(3)后，将所述清理过的单晶硅棒从夹紧件上取下来，放入放置网18内，启动第一驱动件19，由第一驱动件19驱动所述放置网18带动所述单晶硅棒进入第一清洗槽1内，由所述第一清洗槽1内的酸性溶液对单晶硅棒进行酸洗。
实施例2
为了降低生产成本，重复利用位于第一清洗槽1内的清洗溶液，本发明实施例与实施例1的区别在于：所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，还包括循环单元，所述循环单元包括：搅拌室3、搅拌杆6、搅拌轴5、第一电机4和第一过滤网8；
所述搅拌室3的上部通过第一连接管7与所述第一清洗槽1的底部相连通，其下部通过顺次相连的第二连接管9、抽取泵2和第三连接管11与所述第一清洗槽1的上部相连通；
所述搅拌杆6设于搅拌室3内部，且与所述搅拌轴5相连；
所述第一电机4设于搅拌室3外部，其输出轴与搅拌轴5的一端相连；
所述第一过滤网8设于所述第一连接管7内。
进一步地，在本发明实施例的一种具体实施方式中，为了提高过滤效果，所述循环单元还包括第二过滤网10，所述第二过滤网10设于所述第二连接管9内。
综上所述，本发明实施例中的新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备的工作原理具体为：
(1)利用所述夹紧件夹持待清洗的单晶硅棒；
(2)启动第三驱动件，利用所述第三驱动件驱动待清洗的单晶硅棒在第二清洗槽20内做往复运动，在运动的过程中由所述第二清洗槽20内的毛刷21去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(3)启动第二驱动件，利用所述第二驱动件驱动所述第二清洗槽20自转，实现加速去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(4)当完成步骤(1)-(3)后，将所述清理过的单晶硅棒从夹紧件上取下来，放入放置网18内，启动第一驱动件19，由第一驱动件19驱动所述放置网18带动所述单晶硅棒进入第一清洗槽1内，由所述第一清洗槽1内的酸性溶液对单晶硅棒进行酸洗；
(5)利用第一清洗槽1内的清洗溶液经过第一连接管7以及第一过滤网8后被送入搅拌室3内，经过搅拌后再由第二过滤网10进行过滤，最终由抽取泵2抽取并通过第三连接管11重新送入第一清洗槽1内，实现了清洗溶液的重复使用，大大降低了生产成本。
实施例3
本发明实施例与实施例1或者实施例2的区别在于：
所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，还包括烘干单元，所述烘干单元包括接水槽33、滤水网36、第三支撑架34、风机35、风罩37；
所述滤水网36设于所述第三支撑架34上，且位于所述接水槽33上方；
所述风机35设于所述第三支撑架上，其出风口通过软管38与所述风罩37相连，所述风罩37的出口风正对着所述滤水网36。
综上所述，本发明实施例中的新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备的工作原理具体为：
(1)利用所述夹紧件夹持待清洗的单晶硅棒；
(2)启动第三驱动件，利用所述第三驱动件驱动待清洗的单晶硅棒在第二清洗槽20内做往复运动，在运动的过程中由所述第二清洗槽20内的毛刷21去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(3)启动第二驱动件，利用所述第二驱动件驱动所述第二清洗槽20自转，实现加速去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(4)当完成步骤(1)-(3)后，将所述清理过的单晶硅棒从夹紧件上取下来，放入放置网18内，启动第一驱动件19，由第一驱动件19驱动所述放置网18带动所述单晶硅棒进入第一清洗槽1内，由所述第一清洗槽1内的酸性溶液对单晶硅棒进行酸洗；
(5)利用第一清洗槽1内的清洗溶液经过第一连接管7以及第一过滤网8后被送入搅拌室3内，经过搅拌后再由第二过滤网10进行过滤，最终由抽取泵2抽取并通过第三连接管11重新送入第一清洗槽1内，实现了清洗溶液的重复使用，大大降低了生产成本；
(6)当完成步骤(1)-(4)的清洗后，单晶硅棒被送入滤水网36中，单晶硅棒上的水直接流入接水槽33内，同时启动风机35，风机35的风经过软管38后被送入风罩37，利用风罩37进行风干处理。
实施例4
为了提高风干面积，本发明实施例与实施例3的区别在于：所述烘干单元还包括传动轴39、弹簧40、定位板41、支撑板42和第四驱动件；
所述传动轴39的一端与所述风罩37相连，另一端贯穿所述第三支撑架34后与定位板41相连；
所述弹簧40位于所述第三支撑架34外侧，且套设在所述传动轴39上；
所述支撑板42平行与所述传动轴39，且与所述第三支撑架34相连，所述第四驱动件设于所述支撑板42上驱动所述传动轴39做往复运动。
在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述第四驱动件包括第三电机43、凸轮45和凸轮杆44；所述第三电机43和凸轮杆44均设于所述支撑板42上，且所述第三电机43的输出轴与凸轮杆44通过皮带46相连；所述凸轮45设于所述凸轮杆44上。
综上所述，本发明实施例中的新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备的工作原理具体为：
(1)利用所述夹紧件夹持待清洗的单晶硅棒；
(2)启动第三驱动件，利用所述第三驱动件驱动待清洗的单晶硅棒在第二清洗槽20内做往复运动，在运动的过程中由所述第二清洗槽20内的毛刷21去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(3)启动第二驱动件，利用所述第二驱动件驱动所述第二清洗槽20自转，实现加速去除所述待清洗的单晶硅棒表面的杂质；
(4)当完成步骤(1)-(3)后，将所述清理过的单晶硅棒从夹紧件上取下来，放入放置网18内，启动第一驱动件19，由第一驱动件19驱动所述放置网18带动所述单晶硅棒进入第一清洗槽1内，由所述第一清洗槽1内的酸性溶液对单晶硅棒进行酸洗；
(5)利用第一清洗槽1内的清洗溶液经过第一连接管7以及第一过滤网8后被送入搅拌室3内，经过搅拌后再由第二过滤网10进行过滤，最终由抽取泵2抽取并通过第三连接管11重新送入第一清洗槽1内，实现了清洗溶液的重复使用，大大降低了生产成本；
(6)当完成步骤(1)-(4)的清洗后，单晶硅棒被送入滤水网36中，单晶硅棒上的水直接流入接水槽33内，同时启动风机35，风机35的风经过软管38后被送入风罩37，利用风罩37进行风干处理，在风干的同时，利用第四驱动件不断敲击所述传动轴39，由传动轴39带动风罩37进行往复运动，从而提高风干面积，加速工作效率。
在发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对发明的限制。
在发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在发明中的具体含义。
以上显示和描述了发明的基本原理和主要特征和发明的优点，本行业的技术人员应该了解，发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明发明的原理，在不脱离发明精神和范围的前提下，发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的发明范围内，发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (10)
1.一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：包括相邻的第一清洗单元和第二清洗单元；
所述第一清洗单元包括第一清洗槽，以及设于第一清洗槽上方的第一支撑架、第一驱动件和放置网；所述第一驱动件设于所述第一支撑架上；所述放置网与所述第一驱动件的输出轴相连，由第一驱动件驱动相对第一清洗槽做往复运动；
所述第二清洗单元包括底座、第二驱动件、第二清洗槽、第二支架、第三驱动件和夹紧件；所述第二驱动件设于底座上，其输出轴与第二清洗槽相连，驱动第二清洗槽自转；所述第二清洗槽的内壁上设有毛刷；所述第二支架与所述底座相连；所述第三驱动件设于第二支架上，且位于第二清洗槽上方，其输出轴与夹紧件相连，驱动夹紧件相对第二清洗槽做往返运动。
2.根据权利要求1所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述第二驱动件包括轴承座、轴承、旋转轴、第一齿轮、第二齿轮和第二电机；
所述轴承座设于所述底座上；
所述轴承设于所述轴承座内；
所述旋转轴的一端设于所述轴承内，另一端贯穿所述第一齿轮后与所述第二清洗槽相连，且垂直与所述第一齿轮；
所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合；
所述第二电机的输出轴与所述第二齿轮相连，驱动所述第二齿轮自转。
3.根据权利要求1所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述夹紧件包括卡头和锁紧杆，所述卡头上设有贯通孔，所述锁紧杆设于所述贯通孔内，且与卡头螺纹相连。
4.根据权利要求1所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述第一支架包括第一连接支架、第二连接支架、升降板、第一立柱、第二立柱和连接杆；所述第一连接支架与第二连接支架相互垂直，其一端与所述第一清洗槽相连，另一端与所述第二连接支架的一端相连；
所述第一立柱和第二立柱相对设置，二者均垂直与所述第二连接支架设置，二者的端部与所述第二连接支架相连；
所述升降板的两端分别滑设于所述第一立柱和第二立柱上，且与所述第一驱动件的输出轴相连；
所述连接杆的两端分别与所述升降板和放置网相连。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：还包括循环单元，所述循环单元包括：
搅拌室，所述搅拌室的上部通过第一连接管与所述第一清洗槽的底部相连通，其下部通过顺次相连的第二连接管、抽取泵和第三连接管与所述第一清洗槽的上部相连通；
搅拌杆，所述搅拌杆设于搅拌室内部，且与搅拌轴相连；
第一电机，所述第一电机设于搅拌室外部，其输出轴与搅拌轴的一端相连；
第一过滤网，所述第一过滤网设于所述第一连接管内。
6.根据权利要求5所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述循环单元还包括第二过滤网，所述第二过滤网设于所述第二连接管内。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：还包括烘干单元，所述烘干单元包括接水槽、滤水网、第三支撑架、风机、风罩；
所述滤水网设于所述第三支撑架上，且位于所述接水槽上方；
所述风机设于所述第三支撑架上，其出风口通过软管与所述风罩相连，所述风罩的出口风正对着所述滤水网。
8.根据权利要求7所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述烘干单元还包括传动轴、弹簧、定位板、支撑板和第四驱动件；
所述传动轴的一端与所述风罩相连，另一端贯穿所述第三支撑架后与定位板相连；
所述弹簧位于所述第三支撑架外侧，且套设在所述传动轴上；
所述支撑板平行与所述传动轴，且与所述第三支撑架相连，所述第四驱动件设于所述支撑板上驱动所述传动轴做往复运动。
9.根据权利要求8所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述第四驱动件包括第三电机、凸轮和凸轮杆；
所述第三电机和凸轮杆均设于所述支撑板上，且所述第三电机的输出轴与凸轮杆通过皮带相连；
所述凸轮设于所述凸轮杆上。
10.根据权利要求1所述的一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备，其特征在于：所述第一驱动件和第三驱动件均为驱动气缸。
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