CN116190280B - 一种晶圆刷洗机 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆刷洗机，包括：载台，配置于载台并具备开口的腔体机构，装配于载台并形成于腔体机构周向外侧的清洁单元，以及贯穿载台并沿轴向延伸入腔体机构的晶圆旋转机构；清洁单元包括：具备喷嘴的若干摆臂，具备清洗刷头的刷洗装置，以及沿周向形成于晶圆旋转机构外侧并纵向延伸入腔体机构的若干进气管道；腔体机构包括：腔底单元，径向向内依次罩设于腔底单元的上导流罩与下导流罩；晶圆刷洗机还包括：升降机构，升降机构用于驱动上导流罩和下导流罩沿纵向进行升降运动。通过本申请，实现了可对进行晶圆进行清洗、刷洗、氮气干燥、以及对清洗液进行分离回收等多步工艺一体化，以提高加工效率。

Description

一种晶圆刷洗机

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆刷洗机。

背景技术

在半导体制程中，通常需要液体处理装置对晶圆进行液体处理，例如显影、刻蚀、清洗等工艺流程，这样的工艺流程包括例如用于去除颗粒和粘附到晶圆上的污染物的清洁过程。一般的液体处理装置通常通过旋转托盘固定晶圆并带动晶圆旋转，将处理液（清洗液，冲洗液等）喷洒到晶圆表面和/或背面，同时，喷洒到晶圆的处理液被旋转中的晶圆甩出，并以雾状飞散到晶圆托盘的周边区域。

公告号为CN217691080U的专利公开了一种用于晶圆清洗的多种清洗液自动分离收集装置，包括平台，平台的顶部安装有若干喷头摆臂机构，平台的顶部中间安装有盆罩，盆罩的外侧安装有盆罩升降机构，盆罩为中空的圆锥体，盆罩包括上罩和下罩，上罩能够通过盆罩升降机构上下活动，盆罩的中部安装有清洗盘旋转机构。腔体上罩通过气缸上下移动可以分隔回收腔体，以对不同清洗液实现分离并回收。然而，上述现有技术中的晶圆清洗装置虽然可以分离清洗液，但是并未设计气管装置，也并未设计带有清洗刷片的摆臂，因此上述晶圆清洗装置并不能对晶圆实现清洗、刷洗、氮气干燥、以及对清洗液进行分离回收等多步工艺一体化，装置集成度较低，降低了加工效率。

有鉴于此，有必要对现有技术中的晶圆清洗装置予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于揭示一种晶圆刷洗机，用于解决现有技术中的晶圆清洗装置所存在的诸多缺陷，尤其是为了实现晶圆实现清洗、刷洗、氮气干燥、以及对清洗液进行分离回收等多步工艺一体化，以提高加工效率。

为实现上述目的，本发明提供了一种晶圆刷洗机，包括：载台，配置于所述载台并具备开口的腔体机构，装配于所述载台并形成于所述腔体机构周向外侧的清洁单元，以及贯穿所述载台并沿轴向延伸入所述腔体机构的晶圆旋转机构；

所述清洁单元包括：具备喷嘴的若干摆臂，具备清洗刷头的刷洗装置，以及沿周向形成于所述晶圆旋转机构外侧并纵向延伸入所述腔体机构的若干进气管道；

所述腔体机构包括：腔底单元，径向向内依次罩设于所述腔底单元的上导流罩与下导流罩；

所述晶圆刷洗机还包括：升降机构，所述升降机构用于驱动所述上导流罩和所述下导流罩沿纵向进行升降运动。

作为本发明的进一步改进，所述升降机构沿纵向驱动所述上导流罩和所述下导流罩上升，所述下导流罩与所述腔底单元围合形成第一腔体，所述上导流罩与所述下导流罩围合形成第二腔体；

所述腔底单元形成分别连通所述第一腔体与所述第二腔体的第一收集腔与第二收集腔。

作为本发明的进一步改进，所述上导流罩包括：

环形外壳，所述环形外壳纵向向上延伸形成沿所述晶圆旋转机构的中轴线方向倾斜的上罩板，所述上罩板纵向向下延伸形成与所述环形外壳同轴设置的环形内壳，所述上罩板内边缘纵向向下延伸形成环形挡液部。

作为本发明的进一步改进，所述下导流罩包括：

形成于所述环形内壳径向内侧的环形外板，所述环形外板纵向向上延伸形成沿所述晶圆旋转机构的中轴线方向倾斜的下罩板，所述下罩板纵向向下延伸形成与所述环形外板同轴设置的内环板，所述下罩板内边缘纵向向下延伸形成环形阻液部。

作为本发明的进一步改进，所述腔底单元包括：

底板，所述底板内边缘轴向向上凸伸形成环形撑板，所述底板外边缘轴向向上凸伸形成位于所述环形外壳与所述环形内壳之间的外环形围板，所述底板轴向向上凸伸形成位于所述环形外板与所述内环板之间的内环形围板；

所述第一收集腔形成于所述环形撑板与所述内环形围板之间，所述第一收集腔底部形成第一导液槽，所述第二收集腔形成于所述外环形围板与所述内环形围板之间，所述第二收集腔底部形成第二导液槽，所述第一导液槽与第二导液槽均开设回收孔。

作为本发明的进一步改进，所述上罩板与所述环形内壳径向内侧轮廓吻合于所述下罩板与所述环形外板径向外侧轮廓；所述环形挡液部外径小于所述环形阻液部内径。

作为本发明的进一步改进，所述进气管道纵向贯穿所述底板并部分延伸入所述第一腔体；

所述环形撑板顶部罩设衔接盖，所述衔接盖径向向外延伸形成遮盖所述进气管道并向下倾斜的防溅环体，所述防溅环体外边缘纵向向下延伸形成环形止液部。

作为本发明的进一步改进，所述升降机构包括：

配置于所述载台底部并分别用于驱动所述上导流罩与所述下导流罩进行升降运动的第一驱动机构与第二驱动机构。

作为本发明的进一步改进，所述第一驱动机构包括：

两组衔接架，与所述衔接架形成转动连接并呈纵向设置的传动杆，套设于所述传动杆并与所述传动杆形成螺纹连接的传动块，沿轴向对称设置于所述上导流罩两侧的托爪，纵向贯穿所述载台并连接所述托爪的活动杆，所述活动杆远离所述托爪的一端连接所述传动块，以及第一驱动电机；

所述第一驱动电机输出端与所述传动杆纵向延伸过所述衔接架的一端均设置转轮，以及连接所述转轮的皮带。

作为本发明的进一步改进，所述第二驱动机构包括：

两组支撑架，与所述支撑架形成转动连接并呈纵向设置的转动杆，套设于所述转动杆并与所述转动杆形成螺纹连接的转动块，沿轴向对称设置于所述下导流罩两侧的托耳，所述托耳纵向向下延伸形成衔接板，纵向贯穿所述载台并连接所述衔接板的运动杆，所述运动杆远离所述衔接板的一端连接所述转动块，以及第二驱动电机；

所述第二驱动电机输出端与所述转动杆纵向延伸过所述支撑架的一端均设置转轮，以及连接所述转轮的皮带。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

通过清洁单元与刷洗装置能够对晶圆实现清洗、刷洗工艺，通过进气管道能够对晶圆实现氮气干燥，通过升降机构驱动上导流罩和下导流罩沿纵向进行升降运动以对不同清洗液实现分离回收，从而对晶圆实现多步工艺一体化，提高了对晶圆的加工效率。

附图说明

图1为本发明所揭示的晶圆刷洗机的整体图；

图2为本发明所揭示的晶圆刷洗机另一视角的整体图；

图3为载台与腔体机构的剖视图；

图4为第一驱动机构与上导流罩连接的立体图；

图5为第二驱动机构与下导流罩连接的立体图；

图6为上导流罩与下导流罩连接的剖视图；

图7为上导流罩与下导流罩连接的另一种状态的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本发明的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本发明的保护范围之内。

需要理解的是，在本申请中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术方案的限制。

尤其需要说明的是，在下述的实施例中，术语“纵向”是指与图7中轴线W平行的方向。术语“轴向”是指图7中轴线W所示方向。

请参图1至图7所揭示的一种晶圆刷洗机的一种具体实施方式。

参图1至图3所示，在本实施方式中，该晶圆刷洗机100包括：载台10，配置于载台10并具备开口的腔体机构20，装配于载台10并形成于腔体机构20周向外侧的清洁单元30，以及贯穿载台10并沿轴向延伸入腔体机构20的晶圆旋转机构40；清洁单元30包括：具备喷嘴的若干摆臂，具备清洗刷头33的刷洗装置34，以及沿周向形成于晶圆旋转机构40外侧并纵向延伸入腔体机构20的若干进气管道35；腔体机构20包括：腔底单元21，径向向内依次罩设于腔底单元21的上导流罩22与下导流罩23；晶圆刷洗机100还包括：升降机构，升降机构用于驱动上导流罩22和下导流罩23沿纵向进行升降运动。上导流罩22和下导流罩23周向分离设置，以避免影响清洗液流通进行回收。

在晶圆刷洗机100对晶圆（未标示）加工的过程中，首先通过晶圆旋转机构40对晶圆进行承托并夹紧晶圆，此时上导流罩22和下导流罩23状态如图3中所示，再通过升降机构驱动上导流罩22和下导流罩23沿纵向向上运动，以形成如图6中上导流罩22a和下导流罩23a所示状态，然后再通过清洁单元30所包括的其中一摆臂的喷嘴对晶圆表面喷射第一清洗液（例如，药液），同时，晶圆旋转机构40将带动晶圆沿轴向旋转，并在晶圆旋转的过程中能够将晶圆表面的第一清洗液沿图6中箭头J1所示方向溅射于下导流罩23a内壁面，并使第一清洗液沿下导流罩23a内壁面流向腔底单元21以进行回收，溅射出的部分第一清洗液形成的液滴将沿图7中箭头L1所示方向流向腔底单元21以进行收集回收；其次，通过升降机构驱动上导流罩22和下导流罩23沿纵向向上运动，以形成如图7中上导流罩22b和下导流罩23b所示状态，之后再通过清洁单元30所包括的其中一摆臂的喷嘴对晶圆表面喷射第二清洗液（例如，纯水），同样在晶圆旋转的过程中能够将晶圆表面的第二清洗液沿图7中箭头J2所示方向溅射于下导流罩23a外壁面与上导流罩22a内壁面，并使第二清洗液沿图7中箭头J2所示方向流向腔底单元21以进行收集回收，从而实现对第一清洗液和第二清洗液进行分离回收；同时在对晶圆执行清洗的过程中，刷洗装置34通过清洗刷头33对晶圆表面进行刷洗，以提高对晶圆的清洗效果，最后在对晶圆清洗完成后，通过进气管道35向腔体机构20内注入干燥气体（例如，氮气），以对晶圆表面实现快速干燥并带走部分杂质，从而对晶圆实现清洗、刷洗、氮气干燥、以及对不同清洗液进行分离回收等多步工艺一体化，以提高加工效率。鉴于晶圆旋转机构40并非本申请之核心发明点，故在本实施例中予以省略展开阐述，且可采用现有技术中任意一种能够承托并夹紧晶圆，以及带动晶圆旋转，甚至能够带动晶圆进行轴向升降的晶圆旋转机构40均可。

示例性地，如图1所示，摆臂包括具第一喷嘴31a的第一摆臂32a、具第二喷嘴31b的第二摆臂32b、以及补救喷管33c。第一喷嘴31a可用于对晶圆表面喷射第一清洗液，第二喷嘴31b可用于对晶圆表面喷射第二清洗液，补救喷管33c可根据实际需求选择喷射清洗液。在对晶圆进行清洗的过程中，通过驱动设备（未标注）带动第一摆臂32a旋转，带动第一喷嘴31a对着晶圆圆心向晶圆边缘处缓慢移动并对晶圆表面喷射第一清洗液，以对晶圆表面进行清洗处理，第二摆臂32b与第一摆臂32a作动方式相同，用于带动第二喷嘴31b对晶圆表面喷射第二清洗液，第二摆臂32b与第一摆臂32a择一地选择启动。当清洗液（例如，药液或纯水）更新不及时、晶圆刷洗机100故障或操作失误时，可通过补救喷管33c对晶圆表面喷射清洗液进行补救清洗。

具体地，如图3、图6与图7所示，升降机构沿纵向驱动上导流罩22和下导流罩23上升，下导流罩23与腔底单元21围合形成第一腔体a，上导流罩22与下导流罩23围合形成第二腔体b；腔底单元21形成分别连通第一腔体a与第二腔体b的第一收集腔c与第二收集腔d。在升降机构沿纵向驱动上导流罩22和下导流罩23上升，以形成如图6中上导流罩22a和下导流罩23a所示状态后，下导流罩23与腔底单元21围合形成第一腔体a，从而使晶圆旋转机构40所承托的晶圆位于第一腔体a内，在对晶圆进行清洗的过程中，旋转中的晶圆能够将第一清洗液溅射于第一腔体a内并使第一清洗液形成液滴，第一腔体a内的第一清洗液液滴将滴落在第一收集腔c内进行收集回收；在升降机构沿纵向驱动上导流罩22a与下导流罩23向上运动，以形成如图7中上导流罩22b和下导流罩23b所示状态后，上导流罩22与下导流罩23围合形成第二腔体b，从而使晶圆旋转机构40所承托的晶圆位于第二腔体b内，在对晶圆进行清洗的过程中，旋转中的晶圆能够将第二清洗液溅射于第二腔体b内并使第二清洗液形成液滴，第二腔体b内的第二清洗液液滴将流入在第二收集腔d内进行收集回收；以实现对不同清洗液进行分离回收。

如图3、图6与图7所示，上导流罩22包括：环形外壳221，环形外壳221纵向向上延伸形成沿晶圆旋转机构40的中轴线（即，图7中轴线W）方向倾斜的上罩板222，上罩板222纵向向下延伸形成与环形外壳221同轴设置的环形内壳223，上罩板222内边缘纵向向下延伸形成环形挡液部224。当升降机构驱动上导流罩22和下导流罩23沿纵向向上运动以形成如图6中上导流罩22a和下导流罩23a所示状态时，晶圆通过旋转将其表面的第一清洗液沿图6中箭头J1所示方向溅射的过程中，第一清洗液会形成液滴并在第一腔体a内扩散，通过环形挡液部224能够防止第一清洗液液滴进入第二腔体b，避免第一清洗液与第二清洗液出现混合的情况，并且溅射在环形挡液部224内壁面的第一清洗液液滴能够沿图6中箭头L1所示方向滴落进入第一收集腔c内进行收集回收。另外，在晶圆旋转机构40所承托的晶圆位于第二腔体b内时，通过环形内壳223能够溅射入第二腔体b内的第二清洗液液滴进行阻拦，并引导第二清洗液液滴进入第二收集腔d内进行收集回收。

如图3、图6与图7所示，下导流罩23包括：形成于环形内壳223径向内侧的环形外板231，环形外板231纵向向上延伸形成沿晶圆旋转机构40的中轴线方向倾斜的下罩板232，下罩板232纵向向下延伸形成与环形外板231同轴设置的内环板233，下罩板232内边缘纵向向下延伸形成环形阻液部234。当升降机构驱动上导流罩22和下导流罩23沿纵向向上运动以形成如图6中上导流罩22a和下导流罩23a所示状态时，晶圆通过旋转将其表面的第一清洗液沿图6中箭头J1所示方向溅射的过程中，第一清洗液会形成液滴并在第一腔体a内扩散，通过下罩板232与内环板233能够对第一清洗液液滴进行阻拦，并引导第一清洗液液滴入第一收集腔c内进行收集回收。另外，在晶圆旋转机构40所承托的晶圆位于第二腔体b内时，通过下罩板232能够溅射入第二腔体b内的第二清洗液液滴起到引导作用，以便于第二清洗液液滴沿下罩板232外壁面进入第二收集腔d内进行收集回收。

进一步地，如图6与图7所示，上罩板222与环形内壳223径向内侧轮廓吻合于下罩板232与环形外板231径向外侧轮廓；环形挡液部224外径小于环形阻液部234内径。在晶圆刷洗机100初始状态下，上罩板222与环形内壳223径向内侧贴合于下罩板232与环形外板231径向外侧，以减小晶圆刷洗机100体积，减少空间占用。由于环形挡液部224外径小于环形阻液部234内径，在通过升降机构驱动上导流罩22和下导流罩23沿纵向向上运动的过程中，能够将环形挡液部224至少部分运动至环形阻液部234的内侧，从而使晶圆在通过旋转将其表面的第一清洗液沿图6中箭头J1所示方向溅射的过程中，部分第一清洗液液滴将溅射在环形挡液部224内壁面上，以便于环形挡液部224引导第一清洗液液滴向下流动至环形阻液部234内壁面，并使第一清洗液液滴最终滴落至第一收集腔c内进行收集回收。

如图6与图7所示，腔底单元21包括：底板211，底板211内边缘轴向向上凸伸形成环形撑板212，底板211外边缘轴向向上凸伸形成位于环形外壳221与环形内壳223之间的外环形围板213，底板211轴向向上凸伸形成位于环形外板231与内环板233之间的内环形围板216；第一收集腔c形成于环形撑板212与内环形围板216之间，第一收集腔c底部形成第一导液槽214，第二收集腔d形成于外环形围板213与内环形围板216之间，第二收集腔d底部形成第二导液槽215，第一导液槽214与第二导液槽215均开设回收孔（未示出）。底板211被构造出形成于第一收集腔c底部的第一导液槽214，底板211被构造出形成于第二收集腔d底部的第二导液槽215。通过第一导液槽214与第二导液槽215用于分别收集第一收集腔c与第二收集腔d内流入的清洗液，并通过回收孔排出至外部分类储存设备（未示出）中进行回收。同时，通过内环形围板216用于分隔第一收集腔c与第二收集腔d，防止清洗液混合。

如图2、图3、图6与图7所示，进气管道35纵向贯穿底板211并部分延伸入第一腔体a；环形撑板212顶部罩设衔接盖217，衔接盖217径向向外延伸形成遮盖进气管道35并向下倾斜的防溅环体218，防溅环体218外边缘纵向向下延伸形成环形止液部219。晶圆刷洗机还包括：配置于载台10底部并连通进气管道35的气箱36，以及向气箱36输送气体的输气管37。通过输气管37向气箱36内输入气体（例如，氮气），并通过进气管道35向第一腔体a内喷入气体，使气体在第一腔体a内扩散并进入第二腔体b，以对晶圆实现快速干燥，并带走部分杂质。另外，通过衔接盖217与防溅环体218能够对扩散在第一腔体a内的第一清洗液液滴起到遮挡作用，防止第一清洗液液滴进入进气管道35内，并配合环形止液部219引导第一清洗液液滴流入第一导液槽214中进行收集回收。

如图2至图5所示，升降机构包括：配置于载台10底部并分别用于驱动上导流罩22与下导流罩23进行升降运动的第一驱动机构51与第二驱动机构52。第一驱动机构51与第二驱动机构52分别用于驱动上导流罩22与下导流罩23沿纵向进行升降运动。

第一驱动机构51包括：两组衔接架511，与衔接架511形成转动连接并呈纵向设置的传动杆512，套设于传动杆512并与传动杆512形成螺纹连接的传动块513，沿轴向对称设置于上导流罩22两侧的托爪514，纵向贯穿载台10并连接托爪514的活动杆515，活动杆515远离托爪514的一端连接传动块513，以及第一驱动电机516；第一驱动电机516输出端与传动杆512纵向延伸过衔接架511的一端均设置转轮501，以及连接转轮501的皮带502。相对于现有技术中的气缸带动上罩进行升降运动而言，该第一驱动机构51通过第一驱动电机516输出端驱动转轮501转动，以带动皮带502使传动杆512一端设置的转轮501同步转动，并同步带动传动杆512在衔接架511上转动，以带动与传动杆512形成螺纹连接的传动块513沿传动杆512向上或向下运动，从而使传动块513能够同步带动活动杆515沿纵向向上或向下运动，以使活动杆515通过托爪514带动上导流罩22实现纵向向上或向下运动，进而能够对上导流罩22的升降位置起到精准定位的作用，提高了上导流罩22升降位置的精准度，并且由于传动杆512沿纵向的两端均转动连接于衔接架511，并且衔接架511固定安装在载台10底部，由此传动杆512安装方式能够实现带动活动杆515低噪音稳定运行升降，而气缸一般安装时要有一端活动，其稳定性远远低于传动杆512。

第二驱动机构52包括：两组支撑架521，与支撑架521形成转动连接并呈纵向设置的转动杆522，套设于转动杆522并与转动杆522形成螺纹连接的转动块523，沿轴向对称设置于下导流罩23两侧的托耳524，托耳524纵向向下延伸形成衔接板527，纵向贯穿载台10并连接衔接板527的运动杆525，运动杆525远离衔接板527的一端连接转动块523，以及第二驱动电机526；第二驱动电机526输出端与转动杆522纵向延伸过支撑架521的一端均设置转轮501，以及连接转轮501的皮带502。相对于现有技术中的气缸带动上罩进行升降运动而言，该第二驱动机构52通过第二驱动电机526输出端驱动转轮501转动，以带动皮带502使转动杆522一端设置的转轮501同步转动，并同步带动转动杆522在支撑架521上转动，以带动与转动杆522形成螺纹连接的转动块523沿转动杆522向上或向下运动，从而使转动块523能够同步带动运动杆525沿纵向向上或向下运动，以使运动杆525带动衔接板527并通过托耳524带动下导流罩23实现纵向向上或向下运动，进而能够对下导流罩23的升降位置起到精准定位的作用，提高了下导流罩23升降位置的精准度，转动杆522与前述传动杆512安装方式运作方式一致，因此通过转动杆522也能够实现带动衔接板527低噪音稳定运行升降，并且稳定性高于现有技术中的气缸。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种晶圆刷洗机，其特征在于，包括：

载台，配置于所述载台并具备开口的腔体机构，装配于所述载台并形成于所述腔体机构周向外侧的清洁单元，以及贯穿所述载台并沿轴向延伸入所述腔体机构的晶圆旋转机构；

所述清洁单元包括：具备喷嘴的若干摆臂，具备清洗刷头的刷洗装置，以及沿周向形成于所述晶圆旋转机构外侧并纵向延伸入所述腔体机构的若干进气管道；

所述腔体机构包括：腔底单元，径向向内依次罩设于所述腔底单元的上导流罩与下导流罩；

所述晶圆刷洗机还包括：升降机构，所述升降机构用于驱动所述上导流罩和所述下导流罩沿纵向进行升降运动；

所述升降机构沿纵向驱动所述上导流罩和所述下导流罩上升，所述下导流罩与所述腔底单元围合形成第一腔体，晶圆旋转机构所承托的晶圆位于第一腔体内；

所述升降机构沿纵向驱动所述上导流罩和所述下导流罩上升，所述上导流罩与所述下导流罩围合形成第二腔体，晶圆旋转机构所承托的晶圆位于第二腔体内；

所述腔底单元形成分别连通所述第一腔体与所述第二腔体的第一收集腔与第二收集腔；

所述升降机构包括：配置于所述载台底部并分别用于驱动所述上导流罩与所述下导流罩进行升降运动的第一驱动机构与第二驱动机构；

所述第一驱动机构包括：两组衔接架，与所述衔接架形成转动连接并呈纵向设置的传动杆，套设于所述传动杆并与所述传动杆形成螺纹连接的传动块，沿轴向对称设置于所述上导流罩两侧的托爪，纵向贯穿所述载台并连接所述托爪的活动杆，所述活动杆远离所述托爪的一端连接所述传动块，以及第一驱动电机；

所述第一驱动电机输出端与所述传动杆纵向延伸过所述衔接架的一端均设置转轮，以及连接所述转轮的皮带。

2.根据权利要求1所述的晶圆刷洗机，其特征在于，所述上导流罩包括：

环形外壳，所述环形外壳纵向向上延伸形成沿所述晶圆旋转机构的中轴线方向倾斜的上罩板，所述上罩板纵向向下延伸形成与所述环形外壳同轴设置的环形内壳，所述上罩板内边缘纵向向下延伸形成环形挡液部。

3.根据权利要求2所述的晶圆刷洗机，其特征在于，所述下导流罩包括：

形成于所述环形内壳径向内侧的环形外板，所述环形外板纵向向上延伸形成沿所述晶圆旋转机构的中轴线方向倾斜的下罩板，所述下罩板纵向向下延伸形成与所述环形外板同轴设置的内环板，所述下罩板内边缘纵向向下延伸形成环形阻液部。

4.根据权利要求3所述的晶圆刷洗机，其特征在于，所述腔底单元包括：

底板，所述底板内边缘轴向向上凸伸形成环形撑板，所述底板外边缘轴向向上凸伸形成位于所述环形外壳与所述环形内壳之间的外环形围板，所述底板轴向向上凸伸形成位于所述环形外板与所述内环板之间的内环形围板；

所述第一收集腔形成于所述环形撑板与所述内环形围板之间，所述第一收集腔底部形成第一导液槽，所述第二收集腔形成于所述外环形围板与所述内环形围板之间，所述第二收集腔底部形成第二导液槽，所述第一导液槽与第二导液槽均开设回收孔。

5.根据权利要求4所述的晶圆刷洗机，其特征在于，所述上罩板与所述环形内壳径向内侧轮廓吻合于所述下罩板与所述环形外板径向外侧轮廓；所述环形挡液部外径小于所述环形阻液部内径。

6.根据权利要求4所述的晶圆刷洗机，其特征在于，所述进气管道纵向贯穿所述底板并部分延伸入所述第一腔体；

所述环形撑板顶部罩设衔接盖，所述衔接盖径向向外延伸形成遮盖所述进气管道并向下倾斜的防溅环体，所述防溅环体外边缘纵向向下延伸形成环形止液部。

7.根据权利要求1所述的晶圆刷洗机，其特征在于，所述第二驱动机构包括：

两组支撑架，与所述支撑架形成转动连接并呈纵向设置的转动杆，套设于所述转动杆并与所述转动杆形成螺纹连接的转动块，沿轴向对称设置于所述下导流罩两侧的托耳，所述托耳纵向向下延伸形成衔接板，纵向贯穿所述载台并连接所述衔接板的运动杆，所述运动杆远离所述衔接板的一端连接所述转动块，以及第二驱动电机；

所述第二驱动电机输出端与所述转动杆纵向延伸过所述支撑架的一端均设置转轮，以及连接所述转轮的皮带。