CN116169058A - 一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及蓝宝石衬底片加工技术领域，尤其是一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置，包括底座，底座顶部一侧设置有第一机械手，底座顶部另一侧设置有第二机械手，第一机械手与第二机械手之间的底座上设置有处理装置，第一机械手处的底座上设置有清洗池，第二机械手处的底座上设置有缺陷检测机构。本装置兼容6寸和8寸蓝宝石衬底片，提高了设备的利用率。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石衬底片加工技术领域，尤其涉及一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置。
背景技术
随蓝宝石衬底片在后道通常需要经过贴片、单面研磨、抛光等工序来保证抛光面达到客户要求的洁净度和平坦度要求，贴片作为单面研磨和抛光工序的基础对后续加工质量的影响较大，蜡层存在气泡、蜡层分布不均、压片不到位都会引起晶片在抛光后的面型变差，这些问题会随晶片尺寸规格的增加越发明显，8英寸蓝宝石衬底片当前处于开发阶段，需要对贴片机进行针对性设计来避免上述问题。现有贴片机贴片前未对晶片贴合面进行最后清洁，表面若粘有颗粒等杂质会造成贴片后的气泡。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在贴片机贴片前未对晶片贴合面进行最后清洁，表面若粘有颗粒等杂质会造成贴片后的气泡的缺点，而提出的一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
设计一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置，包括底座，所述底座顶部一侧设置有第一机械手，所述底座顶部另一侧设置有第二机械手，所述第一机械手与所述第二机械手之间的所述底座上设置有处理装置，所述第一机械手处的所述底座上设置有清洗池，所述第二机械手处的所述底座上设置有缺陷检测机构。
优选的，所述处理装置包括传送机构、甩蜡机构、烘烤机构、贴片机构。
优选的，所述第一机械手与所述第二机械手之间的所述底座上设置有外壳，所述传送机构、甩蜡机构、烘烤机构均位于所述外壳内。
优选的，所述传送机构包括设置在所述外壳内的第一传送板、第二传送板，所述第一传送板与所述第二传送板之间存在间隔并设置有转运机构，所述第二传送板顶部设置有所述烘烤机构；
所述烘烤机构包括安装在所述第二传送板顶部的外壳上的烘烤箱，所述烘烤箱靠近所述传送板一侧设置有挡条。
优选的，所述转运机构包括安装在所述第一传送板与所述第二传送板之间的所述外壳上的液压伸缩杆，所述液压伸缩杆靠近所述第一传送板一侧设置有第一电机，所述第一电机的转动轴上设置有连接盘，所述连接盘底部设置有所述甩蜡机构；
所述甩蜡机构包括设置在所述连接盘的若干第二电机，若干所述第二电机的输出轴上均设置有第一吸盘。
优选的，所述贴片机构包括第一放置盘，所述第一放置盘处的所述第二机械手上设置有第二吸盘，所述第二吸盘上设置有压片气囊。
优选的，所述缺陷检测机构包括安装在所述底座上的固定板，所述固定板靠近所述第一放置盘处设置有检测摄像头，所述检测摄像头处的所述固定板上设置有报警器。
优选的，所述检测摄像头的垂直投影位于所述第一放置盘上。
优选的，所述第一机械手处的所述底座上设置有第二放置盘。
本发明提出的一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置，有益效果在于：该一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置：
(1)本装置兼容6寸和8寸蓝宝石衬底片，提高了设备的利用率；
(2)本装置配置了贴片前的晶片背面刷洗功能，有效的保证了晶片背面的洁净度，降低了气泡出现的可能；
(3)本装置配置了可自动充气的压片气囊，贴片后进行压片排除蜡层气泡，同时保证晶片表面与陶瓷盘表面的平行度；
(4)本装置配置了贴片后的气泡检测机构，降低了人工漏检气泡的可能同时提高了气泡检测效率。
附图说明
图1为本发明提出的一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置的结构示意图一。
图2为本发明提出的一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置的结构示意图二。
图3为本发明提出的一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置的部分结构隐藏的结构示意图一。
图4为本发明提出的一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置的部分结构隐藏的结构示意图二。
图中：底座1、第一机械手2、第二机械手3、外壳4、第一传送板5、第二传送板6、烘烤箱7、挡条8、清洗池9、液压伸缩杆10、第一电机11、连接盘12、第二电机13、第一吸盘14、第一放置盘15、第二吸盘16、压片气囊17、固定板18、检测摄像头19、报警器20、第二放置盘21。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例1
参照图1-4，一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置，包括底座1，底座1顶部一侧设置有第一机械手2，底座1顶部另一侧设置有第二机械手3，第一机械手2与第二机械手3之间的底座1上设置有处理装置，第一机械手2处的底座1上设置有清洗池9，第二机械手3处的底座1上设置有缺陷检测机构；处理装置包括传送机构、甩蜡机构、烘烤机构、贴片机构。
设置的清洗池9内带有超声波发生器，从而让清洗池9可以通过超声波对晶片进行清洗。
工作流程：第一机械手2从花篮中自动取片送入清洗池9内对晶片背面进行刷洗；刷洗完成后第一机械手2将晶片转送至传送机构，传送机构依次将晶片传送至甩蜡机构、烘烤机构，第二机械手3将烘烤后晶片送到贴片机构，并在每一个晶片都会内停留等待甩蜡、烘烤和贴片完成。
实施例2
在实施例1的基础上进行优化，参考图1-4，第一机械手2与第二机械手3之间的底座1上设置有外壳4，传送机构、甩蜡机构、烘烤机构均位于外壳4内；传送机构包括设置在外壳4内的第一传送板5、第二传送板6，第一传送板5与第二传送板6之间存在间隔并设置有转运机构，第二传送板6顶部设置有烘烤机构；烘烤机构包括安装在第二传送板6顶部的外壳4上的烘烤箱7，烘烤箱7靠近传送板6一侧设置有挡条8；转运机构包括固定安装在第一传送板5与第二传送板6之间的外壳4上的液压伸缩杆10，液压伸缩杆10靠近第一传送板5一侧设置有第一电机11，第一电机11的转动轴上设置有连接盘12，连接盘12底部设置有甩蜡机构；甩蜡机构包括设置在连接盘12的若干第二电机13，若干第二电机13的输出轴上均设置有第一吸盘14；贴片机构包括第一放置盘15，第一放置盘15处的第二机械手3上设置有第二吸盘16，第二吸盘16上设置有压片气囊17，缺陷检测机构包括安装在底座1上的固定板18，固定板18靠近第一放置盘15处设置有检测摄像头19，检测摄像头19处的固定板18上设置有报警器20。
这里设置的若干第二电机13处的连接盘12上均设置有摄像头，让第一传送板5上移动的晶片可以准确的被第二电机13上的第一吸盘14吸附。
设置的连接盘12底部的若干第二电机13之间均为间隔设置，从而让其中一个第二电机13对第一传送板5上的晶片吸附后，另外的第二电机13的垂直投影均不会在第二传送板6上，从而提高转运机构和甩蜡机构的使用效率。
这里设置的检测摄像头19是微距摄像头，当普通光线照射在蓝宝石衬底贴片后反射的光线被检测摄像头19捕捉后，蓝宝石衬底贴片上反射没有异常光线时候，蓝宝石衬底贴片中不会存在气泡，从而让检测摄像头19可以检测蓝宝石衬底贴片中会不会存在气泡。
其中工作流程：第一机械手2从花篮中自动取片送入清洗池9内对晶片背面进行刷洗；刷洗完成后第一机械手2将晶片转送至第一传送板5，晶片在第一传送板5上移动的过程中会被第一吸盘14吸附，吸附的过程中第二电机13会转动，从而让晶片处于高速旋转的状态，让晶片处于甩蜡状态，甩蜡完成后，第一电机11带着连接盘12转动，让连接盘12底部的其中一个第二电机13带着其中一个第一吸盘14将甩蜡完成的晶片放置在第二传送板6上，让晶片在第二传送板6上移动的过程中经过烘烤箱7，从而让晶片被烘干，然后从烘烤箱7出来后，第二机械手3上的第二吸盘16吸附并贴在第一放置盘15上，第二机械手3在运动的过程中第二吸盘带着压片气囊17将晶片正面吸附，并翻转手臂将晶片背面贴到陶瓷盘对应位置上，第二吸盘16离开晶片表面后压片气囊17会自动充气鼓起并向下移动，从晶片中心向两边压片，排出内部气体，同时保证晶片表面与陶瓷盘表面平行，然后第一放置盘15上的晶片会跟随第一放置盘15的转动依次经过检测摄像头19，从而让晶体贴片是否有气泡情况被知晓。
实施例3
在实施例1-2的基础上进行优化，参考图1-4，检测摄像头19的垂直投影位于第一放置盘15上，第一机械手2处的底座1上设置有第二放置盘21。
通过设置第一机械手2处的底座1上设置有第二放置盘21，让需要贴片的蓝宝石衬底贴片可以摆放在第二放置盘21上，从而让第一机械手2在拿起单个蓝宝石衬底贴片的过程中不会让蓝宝石衬底贴片多个重叠的现象发生，从而避免多个蓝宝石衬底贴片之间发生碰撞让蓝宝石衬底贴片造成损伤的现象发生。
通过设置检测摄像头19的垂直投影位于第一放置盘15上，让第一放置盘15上的蓝宝石衬底贴片反射的光线被检测摄像头19的观察更加清晰，从而让蓝宝石衬底贴片是否含有气泡出现的折射光线精准的传递给检测摄像头19，从而让蓝宝石衬底贴片出现气泡后被检测到的几率更高。
本发明对晶片的贴片和移动的过程中都是通过吸附的方式进行的，从而让晶片的规格不仅仅局限与8英寸蓝宝石，比如6英寸蓝宝石也能使用本装置进行贴片，对此过程中改进贴片的第一放置盘15和晶片摆放的第二放置盘21、第一吸盘14、第二吸盘16、压片气囊17，从而让本装置具有兼容性，提高了设备的利用率。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种8英寸蓝宝石衬底贴片装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)顶部一侧设置有第一机械手(2)，所述底座(1)顶部另一侧设置有第二机械手(3)，所述第一机械手(2)与所述第二机械手(3)之间的所述底座(1)上设置有处理装置，所述第一机械手(2)处的所述底座(1)上设置有清洗池(9)，所述第二机械手(3)处的所述底座(1)上设置有缺陷检测机构。
2.根据权利要求1所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述处理装置包括传送机构、甩蜡机构、烘烤机构、贴片机构。
3.根据权利要求2所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述第一机械手(2)与所述第二机械手(3)之间的所述底座(1)上设置有外壳(4)，所述传送机构、甩蜡机构、烘烤机构均位于所述外壳(4)内。
4.根据权利要求3所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述传送机构包括设置在所述外壳(4)内的第一传送板(5)、第二传送板(6)，所述第一传送板(5)与所述第二传送板(6)之间存在间隔并设置有转运机构，所述第二传送板(6)顶部设置有所述烘烤机构；
所述烘烤机构包括安装在所述第二传送板(6)顶部的外壳(4)上的烘烤箱(7)，所述烘烤箱(7)靠近所述传送板(6)一侧设置有挡条(8)。
5.根据权利要求4所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述转运机构包括安装在所述第一传送板(5)与所述第二传送板(6)之间的所述外壳(4)上的液压伸缩杆(10)，所述液压伸缩杆(10)靠近所述第一传送板(5)一侧设置有第一电机(11)，所述第一电机(11)的转动轴上设置有连接盘(12)，所述连接盘(12)底部设置有所述甩蜡机构；
所述甩蜡机构包括设置在所述连接盘(12)的若干第二电机(13)，若干所述第二电机(13)的输出轴上均设置有第一吸盘(14)。
6.根据权利要求2所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述贴片机构包括第一放置盘(15)，所述第一放置盘(15)处的所述第二机械手(3)上设置有第二吸盘(16)，所述第二吸盘(16)上设置有压片气囊(17)。
7.根据权利要求6所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述缺陷检测机构包括安装在所述底座(1)上的固定板(18)，所述固定板(18)靠近所述第一放置盘(15)处设置有检测摄像头(19)，所述检测摄像头(19)处的所述固定板(18)上设置有报警器(20)。
8.根据权利要求7所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述检测摄像头(19)的垂直投影位于所述第一放置盘(15)上。
9.根据权利要求1所述的8英寸蓝宝石衬底贴片装置，其特征在于，所述第一机械手(2)处的所述底座(1)上设置有第二放置盘(21)。
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