CN116141259A - 一种石墨舟装配校准装置及石墨舟 - Google Patents

Abstract

本发明属于硅片镀膜技术领域，具体公开了一种石墨舟装配校准装置及石墨舟，石墨舟装配校准装置包括底座、舟片放置装置，还包括机械臂、舟片夹持装置；舟片夹持装置安装于机械臂的末端，包括多个夹持组件，夹持组件呈多排分布，用于夹持舟片；各排夹持组件之间的间距相同，且能够同步改变；机械臂运载舟片夹持装置至舟片放置装置处，舟片夹持装置时夹持多个舟片，然后机械臂运载舟片夹持装置至底座处，使得各个夹持组件远离机械臂的一端朝下，各个舟片的下方与底座接触。本发明解决了现有石墨舟装配装置舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限的问题。采用上述方案装配校准的本发明的石墨舟排列整齐，固定牢靠。

Description

一种石墨舟装配校准装置及石墨舟

技术领域

本发明属于硅片镀膜技术领域，特别涉及一种石墨舟装配校准装置及石墨舟。

背景技术

晶体硅太阳电池片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，即在硅片上沉积一层介质薄膜，一般是氮化硅薄膜，以提高硅片的太阳能转化率。该工序采用石墨舟装载硅片，石墨舟由若干石墨舟片组装而成，该组装过程通常是人为操作，在手工组装完成以后，石墨舟不可避免地存在一定的变形，垂直度、舟片间距存都会有所偏差，这会影响硅片安装的准确性，导致硅片镀膜不均匀甚至出现掉片、碎片现象。

中国专利公开号CN212426179U，公开了一种石墨舟校准装置，包括底座、隔板、第一校准组件和第二校准组件；隔板设于底座上方，隔板上表面沿长度方向间隔设有若干卡条，卡条上开设有多个平行的横向卡槽，隔板上表面两端还分别设有一垫块；第一校准组件设有多组，每组包括设于底座和隔板之间的平行于卡条且可沿述隔板长度方向进行平移的横柱，以及设于隔板一侧并垂直固接于横柱的立柱；第二校准组件设于隔板一端或两端的垫块外侧，包括竖直挡板以及水平设于挡板侧表面的两滑条，滑条位于垫块上方且能于挡板进行上下滑动。该专利能够实现石墨舟片的精准对齐，且构造简单，操作简便。然而，上述专利存在以下问题：舟片之间的相对位置仅依靠平台上的凹槽进行限制，容易导致舟片间距不均匀、不统一。

中国专利公开号CN212705371U，公开了一种免清洗石墨舟安装校准装置，包括底座，底座的顶部固定连接有两个滑轨，两个滑轨之间活动连接有两个滑块，滑块的顶部固定连接有多个安装块，安装块一侧开设有插接孔，插接孔中内活动连接有丝杆，丝杆的一端固定连接有把手，且滑块与丝杆滑动连接，滑块的上表面固定连接有固定块，固定块的上表面开设有多个横向槽，固定块的一侧固定连接有抵板，抵板的两侧固定连接有卡块。该实用新型能够从底部和侧面同时对舟片的相对位置进行限制，一定程度解决了前一个专利存在的问题，但舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限。

发明内容

本发明提供一种石墨舟装配校准装置，不仅能够对舟片之间的相对位置进行可靠的限制，还能够灵活调整舟片之间的间距，目的在于解决现有石墨舟装配装置舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限的问题。本发明还提供一种石墨舟，排列整齐，固定牢靠，有助于实现高质量硅片镀膜。

为达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种石墨舟装配校准装置，包括底座、舟片放置装置，还包括机械臂、舟片夹持装置；舟片夹持装置安装于机械臂的末端，包括多个夹持组件，夹持组件呈多排分布，用于夹持舟片；各排夹持组件之间的间距相同，且能够同步改变；机械臂运载舟片夹持装置至舟片放置装置处，舟片夹持装置时夹持多个舟片，然后机械臂运载舟片夹持装置至底座处，使得各个夹持组件远离机械臂的一端朝下，各个舟片的下方与底座接触，利用底座对舟片的下方进行限位。

采用上述技术方案，多个夹持组件同时夹持多个舟片，并且各排夹持组件之间的间距相同，且能够同步改变，从而能够对舟片之间的相对位置进行可靠的限制，还能够灵活调整舟片之间的间距，解决了现有石墨舟装配装置舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限的问题。

进一步，舟片与底座接触时，各舟片两端的外侧于底座上分别设置有限位板，限位板能够相对底座沿舟片的长度方向滑动。

进一步，舟片夹持装置包括骨架，骨架的中部与机械臂连接；骨架包括中间横梁，中间横梁的两端对称固定有两条侧梁，中间横梁上安装有交叉式伸缩结构，交叉式伸缩结构的交叉点滑动连接有多个分支横梁，分支横梁上安装有多个夹持组件。

进一步，分支横梁的两端与侧梁滑动连接。

进一步，分支横梁包括主梁和活动梁，活动梁与主梁滑动连接，能够相对主梁上下滑动；夹持组件包括第一夹板和第二夹板，第一夹板安装于活动梁上，第二夹板安装于主梁上；舟片夹持装置还包括夹持驱动组件，能够同时驱动所有活动梁同步移动，带动第一夹板向第二夹板靠近，从而对舟片进行夹持固定。

进一步，第一夹板与活动梁滑动接触，能够沿活动梁长度方向滑动，第二夹板与主梁滑动接触，能够沿主梁长度方向滑动。

采用上述技术方案，可以在任意时刻任意调整第一夹板和第二夹板的位置，避免第一夹板和第二夹板阻碍石墨舟的安装。

进一步，夹持驱动组件包括第三夹板和第四夹板，二者之间通过多个伸缩杆连接；第三夹板与侧梁可滑动连接，使得夹持组件能够相对侧梁上下滑动；活动梁的端部位于第三夹板和第四夹板之间，多个伸缩杆同步伸缩，从而控制第三夹板和第四夹板互相靠近，对活动梁的两端进行夹持固定，然后夹持驱动组件上下滑动，带动所有活动梁同步上下滑动，从而同步改变第一夹板和第二夹板之间的距离，对舟片进行同步夹持固定。

进一步，舟片放置装置包括互相对称的两个侧板，侧板内侧铰接有多个L形托架；L形托架的数量为多个，左右两侧的L形托架互相对称；L形托架与侧板的铰接处安装有扭转弹簧，在不受外界力的作用时，L形托架的一条边水平，另一条边向上紧靠侧板；每个上下相邻的两个L形托架的距离相等，均大于L形托架的下边宽度，且小于L形托架的下边宽度与舟片的厚度之和。

进一步，舟片放置装置远离机械臂的一侧设置有竖直挡板，用于限制舟片的放置位置。

采用上述技术方案，在向舟片放置装置中放置舟片时，可以从任意高度将舟片插入舟片放置装置，并将舟片放置到没有放置舟片的最下层L形托架处，实现舟片由下而上依次摆放，避免遗漏摆放，提高摆放效率。

一种石墨舟，采用上述石墨舟装配校准装置进行装配校准，包括石墨舟片，石墨舟片的边缘处设置有多个侧孔，各石墨舟片之间采用隔距块进行隔离固定，隔距块为一带有通孔的石墨块，通孔与石墨舟片的侧孔对应，通过石墨杆穿孔将不同石墨舟片及隔距块进行串接，端部通过旋紧螺母固定。

采用上述技术方案，使得石墨舟排列整齐，固定牢靠，有助于实现高质量硅片镀膜。

附图说明

图1为本发明石墨舟装配校准装置的主视图；

图2为本发明舟片夹持装置的立体图；

图3为本发明舟片夹持装置的后视图；

图4为本发明分支横梁端部的内部结构放大图；

图5为本发明底座的俯视图；

图6为本发明舟片放置装置的左视图；

图7为本发明石墨舟的侧视图。

图中：100-底座、110-限位板、200-舟片放置装置、210-侧板、220-L形托架、230-扭转弹簧、240-竖直挡板、300-机械臂、400-舟片夹持装置、410-夹持组件、411-第一夹板、412-第二夹板、420-骨架、421-中间横梁、422-侧梁、430-交叉式伸缩结构、440-分支横梁、441-主梁、442-活动梁、450-夹持驱动组件、451-第三夹板、452-第四夹板、453-伸缩杆、510-隔距块、520-旋紧螺母、530-石墨舟片、540-石墨杆。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。

实施例1

参照图1和图2，本实施例公开了一种石墨舟装配校准装置，包括底座100、舟片放置装置200、机械臂300、舟片夹持装置400。舟片夹持装置400安装于机械臂300的末端，包括多个夹持组件410，夹持组件410呈多排分布，用于夹持舟片。各排夹持组件410之间的间距相同，且能够同步改变。机械臂300运载舟片夹持装置400至舟片放置装置200处，舟片夹持装置400同时夹持多个舟片，然后机械臂300运载舟片夹持装置400至底座100处，使得各个夹持组件410远离机械臂300的一端朝下，各个舟片的下方与底座100接触，利用底座100对舟片的下方进行限位。多个夹持组件410同时夹持多个舟片，并且各排夹持组件410之间的间距相同，且能够同步改变，从而能够对舟片之间的相对位置进行可靠的限制，还能够灵活调整舟片之间的间距，解决了现有石墨舟装配装置舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限的问题。

参照图1和图5，舟片与底座100接触时，各舟片两端的外侧于底座100上分别设置有限位板110，限位板110能够相对底座100沿舟片的长度方向滑动。限位板110用于对各舟片的两端进行限位。

参照图2至如图4，舟片夹持装置400包括骨架420，骨架420的中部与机械臂300连接。骨架420包括中间横梁421，中间横梁421的两端对称固定有两条侧梁422，中间横梁421上安装有交叉式伸缩结构430，交叉式伸缩结构430的交叉点滑动连接有多个分支横梁440，分支横梁440上安装有多个夹持组件410。采用上述技术结构，能够实现灵活调整舟片之间间距的功能。进一步，分支横梁440的两端与侧梁422滑动连接，从而增强分支横梁440的稳定性。

分支横梁440包括主梁441和活动梁442，活动梁442与主梁441滑动连接，能够相对主梁441上下滑动。夹持组件410包括第一夹板411和第二夹板412，第一夹板411安装于活动梁442上，第二夹板412安装于主梁441上。舟片夹持装置400还包括夹持驱动组件450，能够同时驱动所有活动梁442同步移动，带动第一夹板411向第二夹板412靠近，从而对舟片进行夹持固定。进一步，第一夹板411与活动梁442滑动接触，能够沿活动梁442长度方向滑动，第二夹板412与主梁441滑动接触，能够沿主梁441长度方向滑动，从而可以在任意时刻任意调整第一夹板411和第二夹板412的位置，避免第一夹板411和第二夹板412阻碍石墨舟的安装。

夹持驱动组件450包括第三夹板451和第四夹板452，二者之间通过多个伸缩杆453连接。第三夹板451与侧梁422可滑动连接，使得夹持组件410能够相对侧梁422上下滑动。活动梁442的端部位于第三夹板451和第四夹板452之间，多个伸缩杆453同步伸缩，从而控制第三夹板451和第四夹板452互相靠近，对活动梁442的两端进行夹持固定，然后夹持驱动组件450上下滑动，带动所有活动梁442同步上下滑动，从而同步改变第一夹板411和第二夹板412之间的距离，对舟片进行同步夹持固定。

参照图6，舟片放置装置200包括互相对称的两个侧板210，侧板210内侧铰接有多个L形托架220。L形托架220的数量为多个，左右两侧的L形托架220互相对称；L形托架220与侧板210的铰接处安装有扭转弹簧230，在不受外界力的作用时，L形托架220的一条边水平，另一条边向上紧靠侧板210；每个上下相邻的两个L形托架220的距离相等，均大于L形托架220的下边宽度，且小于L形托架220的下边宽度与舟片的厚度之和。进一步，舟片放置装置200远离机械臂300的一侧设置有竖直挡板240，用于限制舟片的放置位置。在向舟片放置装置200中放置舟片时，可以从任意高度将舟片插入舟片放置装置200，并将舟片放置到没有放置舟片的最下层L形托架220处，实现舟片由下而上依次摆放，避免遗漏摆放，提高摆放效率。

实施例2

本实施例公开了一种石墨舟，该石墨舟采用实施例1公开的装置装配校准完成，石墨舟片530的边缘处设置有多个侧孔，舟片之间采用隔距块510进行隔离固定，隔距块510为一带有通孔的石墨块，通孔与石墨舟片530的侧孔对应，通过石墨杆540穿孔将不同石墨舟片530进行串接，端部通过旋紧螺母520固定。本实施例的石墨舟排列整齐，固定牢靠，有助于实现高质量硅片镀膜。

以上仅对本发明的较佳实施例进行了详细叙述，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石墨舟装配校准装置，包括底座（100）、舟片放置装置（200），其特征在于，还包括机械臂（300）、舟片夹持装置（400）；所述舟片夹持装置（400）安装于所述机械臂（300）的末端，包括多个夹持组件（410），所述夹持组件（410）呈多排分布，用于夹持舟片；各排所述夹持组件（410）之间的间距相同，且能够同步改变；所述机械臂（300）运载所述舟片夹持装置（400）至所述舟片放置装置（200）处，所述舟片夹持装置（400）时夹持多个舟片，然后所述机械臂（300）运载所述舟片夹持装置（400）至所述底座（100）处，使得各个所述夹持组件（410）远离所述机械臂（300）的一端朝下，各个舟片的下方与所述底座（100）接触，利用所述底座（100）对舟片的下方进行限位。

2.根据权利要求1所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，舟片与所述底座（100）接触时，各舟片两端的外侧于所述底座（100）上分别设置有限位板（110），所述限位板（110）能够相对所述底座（100）沿舟片的长度方向滑动。

3.根据权利要求1所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述舟片夹持装置（400）包括骨架（420），所述骨架（420）的中部与所述机械臂（300）连接；所述骨架（420）包括中间横梁（421），所述中间横梁（421）的两端对称固定有两条侧梁（422），所述中间横梁（421）上安装有交叉式伸缩结构（430），所述交叉式伸缩结构（430）的交叉点滑动连接有多个分支横梁（440），所述分支横梁（440）上安装有多个所述夹持组件（410）。

4.根据权利要求3所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述分支横梁（440）的两端与所述侧梁（422）滑动连接。

5.根据权利要求3所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述分支横梁（440）包括主梁（441）和活动梁（442），所述活动梁（442）与所述主梁（441）滑动连接，能够相对所述主梁（441）上下滑动；所述夹持组件（410）包括第一夹板（411）和第二夹板（412），所述第一夹板（411）安装于所述活动梁（442）上，所述第二夹板（412）安装于所述主梁（441）上；所述舟片夹持装置（400）还包括夹持驱动组件（450），能够同时驱动所有所述活动梁（442）同步移动，带动所述第一夹板（411）向所述第二夹板（412）靠近，从而对舟片进行夹持固定。

6.根据权利要求5所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述第一夹板（411）与所述活动梁（442）滑动接触，能够沿所述活动梁（442）长度方向滑动，所述第二夹板（412）与所述主梁（441）滑动接触，能够沿所述主梁（441）长度方向滑动。

7.根据权利要求5所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述夹持驱动组件（450）包括第三夹板（451）和第四夹板（452），二者之间通过多个伸缩杆（453）连接；所述第三夹板（451）与所述侧梁（422）可滑动连接，使得所述夹持组件（410）能够相对所述侧梁（422）上下滑动；所述活动梁（442）的端部位于所述第三夹板（451）和所述第四夹板（452）之间，多个所述伸缩杆（453）同步伸缩，从而控制所述第三夹板（451）和所述第四夹板（452）互相靠近，对所述活动梁（442）的两端进行夹持固定，然后所述夹持驱动组件（450）上下滑动，带动所有所述活动梁（442）同步上下滑动，从而同步改变所述第一夹板（411）和所述第二夹板（412）之间的距离，对舟片进行同步夹持固定。

8.根据权利要求1所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述舟片放置装置（200）包括互相对称的两个侧板（210），所述侧板（210）内侧铰接有多个L形托架（220）；所述L形托架（220）的数量为多个，左右两侧的所述L形托架（220）互相对称；所述L形托架（220）与所述侧板（210）的铰接处安装有扭转弹簧（230），在不受外界力的作用时，所述L形托架（220）的一条边水平，另一条边向上紧靠所述侧板（210）；每个上下相邻的两个所述L形托架（220）的距离相等，均大于所述L形托架（220）的下边宽度，且小于所述L形托架（220）的下边宽度与舟片的厚度之和。

9.根据权利要求8所述的石墨舟装配校准装置，其特征在于，所述舟片放置装置（200）远离所述机械臂（300）的一侧设置有竖直挡板（240），用于限制舟片的放置位置。

10.一种石墨舟，其特征在于，所述石墨舟采用权利要求7所述的石墨舟装配校准装置进行装配校准，包括石墨舟片（530），所述石墨舟片（530）的边缘处设置有多个侧孔，各石墨舟片（530）之间采用隔距块（510）进行隔离固定，所述隔距块（510）为一带有通孔的石墨块，通孔与所述石墨舟片（530）的侧孔对应，通过石墨杆（540）穿孔将不同所述石墨舟片（530）及所述隔距块（510）进行串接，端部通过旋紧螺母（520）固定。

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