CN206477027U - 石墨舟片及石墨舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种石墨舟片及石墨舟，涉及太阳能电池制造技术领域。该石墨舟片包括拼接部，拼接部的两端分别设有第一连接耳和第二连接耳，拼接部包括多个拼接片，拼接片上设有用于承载硅片的硅片位和用于固定硅片的硅片卡件；该石墨舟包括多个并列排布的石墨舟片，多个石墨舟片之间通过石墨杆连接。使用过程中，当其中一个拼接片发生断裂时，只需对该拼接片进行更换即可，可以有效降低设备运行成本；生产时，对单个拼接片进行加工，一方面可以采用小型机床，能够有效提高加工速度和生产精度，另一方面，当原材料有部分瑕疵时，可以选取其中合格的部分进行加工，不需要舍弃整块原材料，从而减少原材料浪费，降低生产成本。

Description

石墨舟片及石墨舟

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种石墨舟片及石墨舟。

背景技术

在硅基体太阳能电池的制造工艺过程中，通常采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜，例如，可采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺对硅片进行氮化硅的真空镀膜，使硅片表面形成防反射层(钝化层)。

在进行硅片表面镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即，将未镀膜的硅片插入石墨舟，然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜；镀膜结束后，从真空镀膜设备的腔体中取出石墨舟，将镀膜的硅片从石墨舟上拆卸下来，完成对硅片的镀膜。

石墨舟由多个并列排布的石墨舟片连接在一起构成，现有的石墨舟片在安装、拆卸或使用过程中容易发生断裂，使用者需要对整片石墨舟片进行更换，且生产时，现有的石墨舟片对原材料要求较高，费用较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟片及石墨舟，以解决现有技术中存在的石墨舟片在安装、拆卸或使用过程中容易发生断裂，使用者需要对整片石墨舟片进行更换，且生产时，现有的石墨舟片对原材料要求较高，费用较高的技术问题。

本实用新型提供的石墨舟片，沿其长度方向依次包括第一连接耳、拼接部和第二连接耳，所述第一连接耳和所述第二连接耳分别设于所述拼接部的两端；所述拼接部包括至少两个拼接片，多个所述拼接片沿所述石墨舟片的长度方向依次排布，且相邻两个所述拼接片之间配合拼接；所述拼接片上设有用于承载硅片的硅片位，所述拼接片上靠近所述硅片位的位置设有硅片卡件。

进一步的，所述拼接片用于拼接的一端为拼接端，相互配合拼接的两个所述拼接片中，其中一个所述拼接片的拼接端为第一拼接端，另一个所述拼接片的拼接端为第二拼接端，所述第一拼接端与所述第二拼接端相匹配。

进一步的，所述第一拼接端为S型波浪拼接端，所述第二拼接端与所述第一拼接端相匹配。

进一步的，所述第一拼接端为H型折线拼接端，所述第二拼接端与所述第一拼接端相匹配。

进一步的，每个所述拼接片上沿其长度方向设有至少一个硅片位，所述硅片卡件为多个，且分散布置于所述拼接片上靠近所述硅片位的四周。

进一步的，所述第一连接耳和所述第二连接耳分别固设于所述拼接部的两端。

进一步的，所述第一连接耳与所述第二连接耳分别与所述拼接部的两端配合拼接。

本实用新型石墨舟片的有益效果为：

本实用新型提供的石墨舟片，包括第一连接耳、第二连接耳和拼接部，其中，拼接部又包括多个依次拼接的拼接片，即，沿石墨舟片的长度方向依次为第一连接耳、拼接部(沿石墨舟片长度方向依次排列的至少两个拼接片)和第二连接耳。使用时，将第一连接耳的位置固定，沿石墨舟片的长度方向依次将拼接片和第二连接耳拼接上；或将其中一个拼接片位置固定，将其他的拼接片以及第一连接耳和第二连接耳依次拼接上，完成整个石墨舟片的拼接，拼接完成后，将多个石墨舟片组合成石墨舟，随后将需要镀膜的硅片通过硅片卡件固定在石墨舟片的硅片位上，把石墨舟放置于PECVD真空镀膜设备中，对硅片进行镀膜。由于石墨的硬度较小，在安装、拆卸或使用石墨舟片的过程中，当其中的一个拼接片、第一连接耳或第二连接耳发生断裂时，只需将发生断裂的部分拆卸下来进行更换即可，不再需要对整个石墨舟片进行更换，可以有效降低运行成本。

生产石墨舟片时，根据事先设计好的形状和大小对拼接片、第一连接耳和第二连接耳进行加工，加工过程中可采用小型机床，可以有效提高石墨舟片的加工速度和加工精度。此外，由于拼接片、第一连接耳和第二连接耳的尺寸相较于整个石墨舟片要小很多，在对原材料进行选择时，当原材料有部分瑕疵时，可以选取其中合格的部分进行加工，而不需要舍弃整块原材料，从而减少了原材料浪费，也降低了生产成本。

本实用新型的另一个目的在于提供一种石墨舟，包括上述石墨舟片，所述石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个所述石墨舟片之间通过石墨杆连接；多个所述石墨舟片的第一连接耳和第二连接耳上均设有相互对应的连接孔，所述石墨杆穿设于同一端的多个所述连接孔内，该石墨舟具有上述石墨舟片的所有技术效果，这里不再赘述。

进一步的，相邻两个所述第一连接耳和/或相邻两个所述第二连接耳之间夹紧有石墨块，所述石墨块套设于所述石墨杆上。

进一步的，多个所述石墨舟片的拼接部均设有相互对应的定位孔，所述定位孔内穿设有陶瓷杆，且相邻两个拼接部之间夹紧有陶瓷圈，所述陶瓷圈套设于所述陶瓷杆上。

本实用新型石墨舟的有益效果为：

本实用新型提供的石墨舟，包括多个拼接完成的石墨舟片，将拼接好的石墨舟片沿其厚度方向并列排布，其中，多个第一连接耳位于石墨舟的同一端，多个第二连接耳位于石墨舟的另一端，位于同一端的连接孔前后照应，将石墨杆穿设于同一端的连接孔内，石墨杆与连接孔可以为过度配合，此时，石墨杆充当电极，当石墨杆通电时，每个石墨舟片均可以处于通电状态；此外，石墨杆还用于对多个石墨舟片的连接。使用时，将需要镀膜的硅片固定在拼接片上的硅片位上，将整个石墨舟推进PECVD真空镀膜设备的空腔内，对硅片进行镀膜，在石墨舟片的安装、拆卸和使用过程中，当其中的一部分发生断裂时，只需将该部分拆卸下来进行更换即可，不再需要对整个石墨舟片进行更换，可以有效降低运行成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的石墨舟片的第一拼接端为S型波浪拼接端且拼接部包括两个拼接片的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的石墨舟片的第一拼接端为S型波浪拼接端且拼接部包括多个拼接片的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的石墨舟片的第一拼接端为H型波浪拼接端且拼接部包括两个拼接片的结构示意图；

图4为本实用新型实施例二提供的石墨舟的结构示意图。

图标：1－第一连接耳；2－拼接部；3－第二连接耳；4－石墨杆；5－连接孔；6－石墨块；7－陶瓷杆；8－陶瓷圈；21－拼接片；22－硅片位；23－拼接端；24－硅片卡件；25－定位孔；231－第一拼接端；232－第二拼接端。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一

本实施例提供一种石墨舟片，如图1－图3所示，沿其长度方向依次包括第一连接耳1、拼接部2和第二连接耳3，第一连接耳1和第二连接耳3分别设于拼接部2的两端；拼接部2包括多个拼接片21，多个拼接片21沿石墨舟片的长度方向依次排布，且相邻两个拼接片21之间配合拼接；拼接片21上设有用于承载硅片的硅片位22，拼接片21上靠近所述硅片位22的位置设有硅片卡件24。

本实施例提供的石墨舟片，包括第一连接耳1、第二连接耳3和拼接部2，其中，拼接部2又包括多个依次拼接的拼接片21，即，沿石墨舟片的长度方向依次为第一连接耳1、拼接部2(沿石墨舟片长度方向依次排列的至少两个拼接片21)和第二连接耳3。使用时，将第一连接耳1的位置固定，沿石墨舟片的长度方向依次将拼接片21和第二连接耳3拼接上；或将其中一个拼接片21位置固定，将其他的拼接片21以及第一连接耳1和第二连接耳3依次拼接上，完成整个石墨舟片的拼接，拼接完成后，将多个石墨舟片组合成石墨舟，随后将需要镀膜的硅片通过硅片卡件24固定在石墨舟片的硅片位22上，把石墨舟放置于PECVD真空镀膜设备中，对硅片进行镀膜。由于石墨的硬度较小，在安装、拆卸或使用石墨舟片的过程中，当其中的一个拼接片21、第一连接耳1或第二连接耳3发生断裂时，只需将发生断裂的部分拆卸下来进行更换即可，不再需要对整个石墨舟片进行更换，可以有效降低运行成本。

生产石墨舟片时，根据事先设计好的形状和大小对拼接片21、第一连接耳1和第二连接耳3进行加工，加工过程中可采用小型机床，可以有效提高石墨舟片的加工速度和加工精度。此外，由于拼接片21、第一连接耳1和第二连接耳3的尺寸相较于整个石墨舟片要小很多，在对原材料进行选择时，当原材料有部分瑕疵时，可以选取其中合格的部分进行加工，而不需要舍弃整块原材料，从而减少了原材料浪费，也降低了生产成本。

本实施例中，如图1－图3所示，拼接片21用于拼接的一端为拼接端23，相互配合拼接的两个拼接片21中，其中一个拼接片21的拼接端23为第一拼接端231，另一个拼接片21的拼接端23为第二拼接端232，第一拼接端231与第二拼接端232相匹配。生产前，可以根据实际需要以及对拼接片21的拼接精度确定第一拼接端231和第二拼接端232的尺寸和形状；使用时，相邻拼接片21通过第一拼接端231和第二拼接端232拼接在一起，完成不同拼接片21的配合拼接，得到完整的石墨舟片，其中第一拼接端231和第二拼接端232的配合结构直接决定了两个拼接片21的拼接配合精度以及拼接的牢固性。

另外，当不同的拼接片21完成拼接后，可以使用固定块将两块拼接片21固定在一起。具体的，可以在相邻两块拼接片21拼接端23处的表面共同开设有固定槽，即，固定槽同时位于两块拼接块上，两块拼接块完成拼接后，将于固定槽相匹配的固定块插于(或镶嵌于)固定槽中，将两块拼接块固定在一起，减少搬运过程中拼接块沿石墨舟片长度方向上发生位移而降低石墨舟片精度情况的发生。为了对拼接后石墨舟片宽度方向以及厚度方向的定位，还可以在第一拼接端231上设有插接槽，第二拼接端232上设有与插接槽相对应的插接头，第一拼接端231与第二拼接端232配合拼接后，插接头插入插接槽内，实现对拼接后石墨舟片宽度方向以及厚度方向的定位。

具体的，本实施例中，如图1和图2所示，第一拼接端231可以为S型波浪拼接端23，第二拼接端232与第一拼接端231相匹配。第一拼接端231为S型波浪拼接端23时，与其相匹配的第二拼接端232也为S波浪型，第一拼接端231和第二拼接端232拼接时，S型波浪拼接端23可以增大两个拼接片21的接触面积，提高第一拼接端231与第二拼接端232拼接的配合精度，从而提高拼接后石墨舟片的完整度。

除上述S型波浪拼接端23外，本实施例中，如图3所示，第一拼接端231还可以为H型折线拼接端23，第二拼接端232与第一拼接端231相匹配。相较于S型波浪拼接端23，H型折线拼接端23的弯折程度更大，因此能够进一步提高拼接后拼接片21之间的配合精度，相应进一步提高拼接后石墨舟片的完整度。

这里需要说明的是，相邻拼接片21的第一拼接端231并不局限于上述S型波浪拼接端23和H型折线拼接端23，其他三角型、直线型等等只要能够实现两块拼接片21拼接的都可以。

本实施例中，如图1－图3所示，可以在每个拼接片21上沿其长度方向设有至少一个硅片位22，硅片卡件24为多个，且分散布置于拼接片21上靠近硅片位22的四周。拼接片21上的硅片位22用于承载需要镀膜的硅片，硅片位22四周的多个硅片卡件24同时将硅片固定在拼接片21上，从而进一步确保对硅片的固定，减少其在硅片位22上发生位移甚至掉落情况的发生。其中，拼接片21上沿其长度方向硅片位22个数的设置，应该根据实际石墨舟片的长度、石墨舟片上硅片的尺寸以及拼接片21的块数来确定每块拼接片21上硅片位22的个数。具体的，石墨舟片的厚度可以为2.5mm，石墨舟片长度可以为1196mm，硅片尺寸可以为156mm×156mm或125mm×125mm；石墨舟片长度还可以为1370mm或1537mm，硅片尺寸为156mm×156mm。

本实施例中，如图1－图3所示，第一连接耳1和第二连接耳3可以分别固设于拼接部2的两端。第一连接耳1和第二连接耳3尺寸较小，用于不同石墨舟片的连接，第一连接耳1和第二连接耳3均固设于拼接部2的端部，一方面不会过多增大拼接片21的尺寸，另一方面可以增强石墨舟片组成石墨舟后的稳定性。

本实施例中，第一连接耳1与第二连接耳3也可以分别与拼接部2的两端配合拼接。第一连接耳1和第二连接耳3为独立部件时，可以提高生产过程的便捷度，还可以提高第一连接耳1、第二连接耳3以及拼接片21的生产精度，且安装、拆卸时较为方便。

实施例二

本实施例提供一种石墨舟，如图4所示，包括实施例一所述的石墨舟片，石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个石墨舟片之间通过石墨杆4连接；多个石墨舟片的第一连接耳1和第二连接耳3上均设有相互对应的连接孔5，石墨杆4穿设于同一端的多个连接孔5内，该石墨舟具有上述石墨舟片的所有技术效果，这里不再赘述。

本实施例提供的石墨舟，包括多个拼接完成的石墨舟片，将拼接好的石墨舟片沿其厚度方向并列排布，其中，多个第一连接耳1位于石墨舟的同一端，多个第二连接耳3位于石墨舟的另一端，位于同一端的连接孔5前后照应，将石墨杆4穿设于同一端的连接孔5内，石墨杆4与连接孔5可以为过度配合，此时，石墨杆4充当电极，当石墨杆4通电时，每个石墨舟片均可以处于通电状态；此外，石墨杆4还用于对多个石墨舟片的连接。使用时，将需要镀膜的硅片固定在拼接片21上的硅片位22上，将整个石墨舟推进PECVD真空镀膜设备的空腔内，对硅片进行镀膜，在石墨舟片的安装、拆卸和使用过程中，当其中的一部分发生断裂时，只需将该部分拆卸下来进行更换即可，不再需要对整个石墨舟片进行更换，可以有效降低运行成本。

考虑到石墨材料硬度较小，可以在石墨舟片的第一连接耳1和第二连接耳3上的不同位置设置两个连接孔5，其中一个连接孔5穿设石墨杆4用以充当电极，另一个连接孔5内穿设陶瓷杆7，并在陶瓷杆7两端拧上陶瓷螺母对多个石墨舟片进行连接定位。此外，考虑到石墨舟在真空镀膜设备中的定位，还可以在石墨舟片的第一连接耳1和第二连接耳3下部设置定位片，多个石墨舟片并列连接成为石墨舟后，多个并列排布的定位片形成定位槽；真空镀膜设备的空腔内可以设置与定位槽相对应的支座，将石墨舟推进真空镀膜设备的空腔后，石墨舟的定位槽与支座配合连接，将石墨舟固定在一定的位置。

本实施例中，如图4所示，可以在相邻两个第一连接耳1和/或相邻两个第二连接耳3之间夹紧有石墨块6，石墨块6套设于石墨杆4上。石墨块6的设置一方面可以确保石墨杆4与石墨舟片之间的导电性，另一方面也可以对相邻石墨舟片之间的距离进行定位，确保相邻石墨舟片之间留有一定的间隙。

本实施例中，如图4所示，还可以在石墨舟片的拼接部2均设有相互对应的定位孔25，定位孔25内穿设有陶瓷杆7，且相邻两个拼接部2之间夹紧有陶瓷圈8，陶瓷圈8套设于陶瓷杆7上。陶瓷杆7硬度较大，穿设于石墨舟片上的定位孔25中，将多个石墨舟片连接在一起；陶瓷杆7上套设有陶瓷圈8，陶瓷圈8夹紧于相邻两个拼接部2之间，一方面，陶瓷圈8可以对相邻石墨舟片之间的距离进行定位，以留出硅片取放的空间；另一方面，陶瓷圈8为绝缘材料，在控制石墨舟片之间不接触的同时，可以确保相邻石墨舟片之间的绝缘。具体的，为了方便陶瓷杆7的安装、拆卸和长度调节，可以在陶瓷杆7的端部设置螺纹，使用螺母与陶瓷杆7配合使用。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种石墨舟片，其特征在于，沿其长度方向依次包括第一连接耳(1)、拼接部(2)和第二连接耳(3)，所述第一连接耳(1)和所述第二连接耳(3)分别设于所述拼接部(2)的两端；

所述拼接部(2)包括多个拼接片(21)，多个所述拼接片(21)沿所述石墨舟片的长度方向依次排布，且相邻两个所述拼接片(21)之间配合拼接；所述拼接片(21)上设有用于承载硅片的硅片位(22)，所述拼接片(21)上靠近所述硅片位(22)的位置设有硅片卡件(24)。

2.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述拼接片(21)用于拼接的一端为拼接端(23)，相互配合拼接的两个所述拼接片(21)中，其中一个所述拼接片(21)的拼接端(23)为第一拼接端(231)，另一个所述拼接片(21)的拼接端(23)为第二拼接端(232)，所述第一拼接端(231)与所述第二拼接端(232)相匹配。

3.根据权利要求2所述的石墨舟片，其特征在于，所述第一拼接端(231)为S型波浪拼接端(23)，所述第二拼接端(232)与所述第一拼接端(231)相匹配。

4.根据权利要求2所述的石墨舟片，其特征在于，所述第一拼接端(231)为H型折线拼接端(23)，所述第二拼接端(232)与所述第一拼接端(231)相匹配。

5.根据权利要求1－4中任一项所述的石墨舟片，其特征在于，每个所述拼接片(21)上沿其长度方向设有至少一个硅片位(22)，所述硅片卡件(24)为多个，且分散布置于所述拼接片(21)上靠近所述硅片位(22)的四周。

6.根据权利要求1－4中任一项所述的石墨舟片，其特征在于，所述第一连接耳(1)和所述第二连接耳(3)分别固设于所述拼接部(2)的两端。

7.根据权利要求1－4中任一项所述的石墨舟片，其特征在于，所述第一连接耳(1)与所述第二连接耳(3)分别与所述拼接部(2)的两端配合拼接。

8.一种石墨舟，其特征在于，包括权利要求1－7中任一项所述的石墨舟片，所述石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个所述石墨舟片之间通过石墨杆(4)连接；多个所述石墨舟片的第一连接耳(1)和第二连接耳(3)上均设有相互对应的连接孔(5)，所述石墨杆(4)穿设于同一端的多个所述连接孔(5)内。

9.根据权利要求8所述的石墨舟片，其特征在于，相邻两个所述第一连接耳(1)和/或相邻两个所述第二连接耳(3)之间夹紧有石墨块(6)，所述石墨块(6)套设于所述石墨杆(4)上。

10.根据权利要求8或9所述的石墨舟片，其特征在于，多个所述石墨舟片的拼接部(2)均设有相互对应的定位孔(25)，所述定位孔(25)内穿设有陶瓷杆(7)，且相邻两个拼接部(2)之间夹紧有陶瓷圈(8)，所述陶瓷圈(8)套设于所述陶瓷杆(7)上。