CN207183244U - 卡点、石墨舟片及石墨舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种卡点、石墨舟片及石墨舟，涉及太阳能电池制造技术领域。该卡点包括固定部和卡紧部，卡紧部与固定部之间形成有卡槽，固定部用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，卡槽用于卡入硅片，卡紧部自其外沿向内设有缺口；该石墨舟片包括舟片本体和上述卡点，舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位，舟片本体上靠近硅片位的位置分散设有多个安装孔，安装孔与卡点的固定部相匹配；该石墨舟，包括上述石墨舟片，石墨舟片为多个且沿其厚度方向依次并列排布，多个石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔，位于同一侧的多个连接孔中穿设有石墨杆。缺口的设置大大减少卡紧部对硅片镀膜的遮挡面积，从而提高成品硅片的质量和功能性。

Description

卡点、石墨舟片及石墨舟

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种卡点、石墨舟片及石墨舟。

背景技术

在硅基体太阳能电池的制造工艺过程中，通常采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜，例如，可采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺对硅片进行氮化硅的真空镀膜，使硅片表面形成防反射层(钝化层)。

在进行硅片表面镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即，将未镀膜的硅片插入石墨舟，并通过卡点卡紧硅片，然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜；镀膜结束后，从真空镀膜设备的腔体中取出石墨舟，将镀膜的硅片从石墨舟上拆卸下来，完成对硅片的镀膜。

现有的用于固定硅片的卡点在硅片镀膜过程中，对硅片的遮盖面积较大，因而导致生产的硅片的质量较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种卡点、石墨舟片及石墨舟，以解决现有技术中存在的用于固定硅片的卡点在硅片镀膜过程中，对硅片的遮盖面积较大，因而导致生产的硅片的质量较差的技术问题。

本实用新型提供的卡点，包括固定部和卡紧部，所述卡紧部与所述固定部之间形成有卡槽，所述固定部用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，所述卡槽用于卡入硅片；所述卡紧部自其外沿向内设有缺口。

进一步的，所述缺口位于所述卡紧部端部靠近中间的位置，且所述卡紧部上缺口的两侧均形成卡紧头。

进一步的，所述缺口为“U”型缺口。

进一步的，所述卡紧部为圆形，所述卡紧部上沿其圆周设有至少一个缺口；所述固定部也为圆形。

进一步的，所述卡紧部为菱形，所述缺口为两个，且分别设于所述卡紧部上呈锐角的两个角上。

进一步的，所述卡紧部包括长方形部和弧形部，所述弧形部为两个，且分别设于所述长方形部的两个短边上，所述缺口为两个，且分别设于所述弧形部上。

进一步的，所述卡紧部为三角形，所述缺口为三个，且分别设于所述卡紧部的三个角上。

进一步的，所述卡紧部为两个，且两个所述卡紧部分别对称设于所述固定部的两侧。

本实用新型的另一个目的在于提供一种石墨舟片，包括舟片本体和上述卡点，所述舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位，所述舟片本体上靠近所述硅片位的位置分散设有多个安装孔，所述安装孔与所述卡点的固定部相匹配，该石墨舟片具有上述卡点的所有技术效果。

本实用新型还提供一种石墨舟，包括上述石墨舟片，所述石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个所述石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔，位于同一侧的多个所述连接孔中穿设有石墨杆。

本实用新型卡点、石墨舟片及石墨舟的有益效果为：

本实用新型提供的卡点、石墨舟片及石墨舟，其中，卡点包括用于与石墨舟片可拆卸式固定连接的固定部和用于卡紧硅片的卡紧部，卡紧部与固定部之间留有间隙形成卡槽，卡槽用于硅片的插入，卡紧部上设有缺口，缺口可以有效减少卡紧部对硅片的遮挡；其中，石墨舟片包括用于承载硅片的舟片本体，舟片本体上设有用于安装硅片的硅片位和用于安装卡点的安装孔，卡点的固定部安装在安装孔内后，卡紧部可以对放置在硅片位上的硅片进行卡紧定位；其中，石墨舟包括多个沿其厚度方向并列排布的石墨舟片，石墨舟片之间通过石墨杆连接在一起。

使用时，将卡点的固定部镶嵌安装于石墨舟片上的安装孔内，卡紧部凸出石墨舟片，且与固定部之间形成卡槽；将将硅片卡入卡槽内并镶嵌于石墨舟片上的硅片位内，卡紧部的端部与硅片抵接，对硅片进行压紧定位；硅片安装完成后，将多个石墨舟片并列排布组合成石墨舟，并通过石墨杆穿过位于同一侧的连接孔，将多个石墨舟片连接在一起，随后把石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，对硅片进行镀膜即可。

硅片是太阳能电池片的载体，PECVD真空镀膜设备在硅片表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜，该薄膜利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，电池的短路电流和输出就有很大增加，效率也有相应的提高，即，硅片上的镀膜质量直接影响太阳能电池片的工作效率。镀膜过程中，卡紧部与硅片抵接的部位对硅片造成了遮盖，在卡紧部上设有开口状的缺口，缺口一侧或两侧的卡紧部形成卡紧头，卡紧头与固定部之间形成卡槽，硅片卡入卡槽中，卡紧部的卡紧头与硅片抵接，对硅片进行限位的同时也遮挡了硅片该部位的镀膜。缺口的设置，在不减少卡紧部中部与固定部的连接牢固度和受力强度，以及在确保卡接头对硅片的固定作用的基础上，大大减少卡紧部对硅片的遮挡面积，从而减少镀膜后硅片上缺失镀膜层的面积，提高成品硅片的质量，提高成品硅片的功能性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的卡点的三维结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的卡点中卡紧部为圆形，且设有一个缺口的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的卡点中卡紧部为圆形，且设有多个缺口的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的卡点中卡紧部为菱形的结构示意图；

图5本实用新型实施例提供的卡点中卡紧部包括矩形部和弧形部时的结构示意图；

图6本实用新型实施例提供的卡点中卡紧部为三角形时的结构示意图；

图7本实用新型实施例提供的卡点中卡紧部为正方形，且正方形边长为弧线时的结构示意图。

图标：1－固定部；2－卡紧部；3－卡槽；4－“U”型缺口；5－硅片。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实施例提供一种卡点，如图1－图7所示，包括固定部1和卡紧部2，卡紧部2与固定部1之间形成有卡槽3，固定部1用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，卡槽3用于卡入硅片5；卡紧部2自其外沿向内设有缺口。

本实施例还提供一种石墨舟片，包括舟片本体和上述卡点，舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位，舟片本体上靠近硅片位的位置分散设有多个安装孔，安装孔与卡点的固定部1相匹配。

本实施例还提供一种石墨舟，包括上述石墨舟片，石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔，位于同一侧的多个连接孔中穿设有石墨杆。

本实施例提供的卡点、石墨舟片及石墨舟，其中，卡点包括用于与石墨舟片可拆卸式固定连接的固定部1和用于卡紧硅片5的卡紧部2，卡紧部2与固定部1之间留有间隙形成卡槽3，卡槽3用于硅片5的插入，卡紧部2上设有缺口，缺口可以有效减少卡紧部2对硅片5的遮挡；其中，石墨舟片包括用于承载硅片5的舟片本体，舟片本体上设有用于安装硅片5的硅片位和用于安装卡点的安装孔，卡点的固定部1安装在安装孔内后，卡紧部2可以对放置在硅片位上的硅片5进行卡紧定位；其中，石墨舟包括多个沿其厚度方向并列排布的石墨舟片，石墨舟片之间通过石墨杆连接在一起。

使用时，将卡点的固定部1镶嵌安装于石墨舟片上的安装孔内，卡紧部2凸出石墨舟片，且与固定部1之间形成卡槽3；将将硅片5卡入卡槽3内并镶嵌于石墨舟片上的硅片位内，卡紧部2的端部与硅片5抵接，对硅片5进行压紧定位；硅片5安装完成后，将多个石墨舟片并列排布组合成石墨舟，并通过石墨杆穿过位于同一侧的连接孔，将多个石墨舟片连接在一起，随后把石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，对硅片5进行镀膜即可。

硅片5是太阳能电池片的载体，PECVD真空镀膜设备在硅片5表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜，该薄膜利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，电池的短路电流和输出就有很大增加，效率也有相应的提高，即，硅片5上的镀膜质量直接影响太阳能电池片的工作效率。镀膜过程中，卡紧部2与硅片5抵接的部位对硅片5造成了遮盖，在卡紧部2上设有开口状的缺口，缺口一侧或两侧的卡紧部2形成卡紧头，卡紧头与固定部1之间形成卡槽3，硅片5卡入卡槽3中，卡紧部2的卡紧头与硅片5抵接，对硅片5进行限位的同时也遮挡了硅片5该部位的镀膜。缺口的设置，在不减少卡紧部2中部与固定部1的连接牢固度和受力强度，以及在确保卡接头对硅片5的固定作用的基础上，大大减少卡紧部2对硅片5的遮挡面积，从而减少镀膜后硅片5上缺失镀膜层的面积，提高成品硅片5的质量，提高成品硅片5的功能性。

具体的，卡点的固定部1和卡紧部2可以为一体成型，且选用石墨制成。

本实施例中，如图2－图7所示，缺口可以位于卡紧部2端部靠近中间的位置，且卡紧部2上缺口的两侧均形成卡紧头。缺口开设于卡紧部2端部靠近中间的位置，即，缺口未开设于卡紧部2的侧边缘，缺口两侧的卡紧部2上形成两个卡紧头，硅片5插入两个卡紧头与固定部1之间形成的卡槽3中，两个不同位置的卡紧头同时对硅片5进行压紧限位，进一步增强卡紧部2对硅片5的定位稳定性。

具体的，本实施例中，如图1－图7所示，缺口为“U”型缺口4。“U”型缺口4的内壁均为圆弧过渡，在卡紧部2上设有“U”型缺口4后，圆弧过渡的切面可以减少由于切面存在尖锐切角而造成该处受力时应力集中，而容易产生裂纹或折断情况的发生，从而在减少卡紧部2对硅片5的遮挡面积的基础上，尽可能减少切割缺口对卡紧部2强度的削弱，以确保卡紧部2对硅片5的卡紧作用。

具体的，“U”型缺口4的缺口宽度可以为0.35mm～1.1mm，缺口深度可以为1.2mm～1.25mm。这里选取缺口宽度为1.0mm，缺口深度为1.2mm为例来计算“U”型缺口4可以减少遮挡硅片5镀膜的面积：

矩形部面积S₁＝缺口宽度＊矩形部深度＝1.0mm＊0.7mm＝0.7mm²；

半圆部面积S₂＝0.5＊3.14＊0.52mm²＝0.39mm²；

“U”型缺口4总面积＝S₁+S₂＝0.7mm²+0.39mm²＝1.09mm²，即，卡紧部2上设置“U”型缺口4后，可以减少对硅片5镀膜的遮挡面积为1.09mm²。

这里需要说明的是，缺口的形状不仅仅可以为“U”型缺口4，还可以为其他半圆形、弧形等。

具体的，本实施例中，如图2和图3所示，卡紧部2可以为圆形，卡紧部2上沿其圆周设有至少一个缺口；固定部1也为圆形。当缺口为一个时，将固定部1安装在舟片本体的安装孔内，卡紧部2对硅片5进行固定限位，缺口的设置可以减少卡紧部2对硅片5的遮挡面积，从而减少硅片5镀膜的遮挡面积，提高硅片5的镀膜质量；当缺口为多个时，多个缺口可以沿卡紧部2的周向均匀排布，使用时，将固定部1安装在舟片本体的安装孔内，相较于其他形状的卡紧部2，圆形的卡紧部2安装时不需要区分角度和方向，使对硅片5进行固定的部分卡紧部2上有一个或多个缺口，提高了卡点安装的便捷度，使用一段时间后，卡紧部2由于硅片5的插入和拆卸会产生一定的磨损，此时，只需转动固定部1在安装孔中的角度，将卡紧部2上未磨损的部位转到使用位置，对硅片5进行固定。这样的设置使卡紧部2得到多次利用，从而大大延长了卡点的使用寿命。

卡紧部2除了设置为圆形外，本实施例中，如图4所示，卡紧部2还可以为菱形，缺口为两个，且分别设于卡紧部2上呈锐角的两个角上。这样的设置可以对卡紧部2进行两次利用，初始时，将固定部1安装在舟片本体的安装孔内，并调节固定部1在安装孔内的角度，使菱形的卡紧部2上的一个锐角端部对硅片5进行卡紧，当该端部发生磨损时，调节固定部1在安装孔内的角度，将另一个未磨损的锐角端部调整到使用位置，对硅片5进行固定限位，从而实现卡紧部2的二次利用，提高卡紧部2的使用率。

与菱形相似，本实施例中，如图5所示，卡紧部2还可以包括长方形部和弧形部，弧形部为两个，且分别设于长方形部的两个短边上，缺口为两个，且分别设于弧形部上。该形状的卡紧部2可以得到两次利用，使用过程与菱形的卡紧部2类似，这里不再赘述。

此外，本实施例中，如图6所示，卡紧部2还可以为三角形，缺口为三个，且分别设于卡紧部2的三个角上。该形状的卡紧部2可以实现三次利用，使用的原理与上述菱形的卡紧部2的两次利用的原理类似，这里不再赘述。

除了上述几种形状的卡紧部2外，如图7所示，卡紧部2还可以为正方形(正方形的边长可以为直线，也可以为弧线)、五角星形等多角形，每个角上设有缺口，在缺口可以有效减少对硅片5遮挡面积，从而提高硅片5镀膜质量的基础上，还可以实现卡紧部2的多次利用。

本实施例中，如图1所示，卡紧部2可以为两个，且两个卡紧部2分别对称设于固定部1的两侧。此种情况，将固定部1安装在舟片本体的安装孔内，可以在一个硅片位的两面均插接有硅片5，固定部1两侧的两个卡紧部2分别对位于同侧的硅片5进行固定限位，实现舟片本体上双倍硅片5的镀膜加工。

具体的，本实施例中，石墨舟片的舟片本体可以包括多个依次拼接的拼接片，每个拼接片上设有至少一个硅片位，硅片位的外周附近的拼接片上设有多个安装孔；舟片本体的两个端部设有连接耳，连接孔设置于连接耳上。使用时，将多个拼接片沿其长度方向依次拼接好，完成整个舟片本体的拼接，拼接完成后，将卡点的固定部1安装到安装孔内，将硅片5卡入卡紧部2与固定部1之间形成的卡槽3中，随后将多个石墨舟片组合成石墨舟，把石墨舟放置于PECVD真空镀膜设备中，对硅片5进行镀膜。由于石墨的硬度较小，在安装、拆卸或使用石墨舟片的过程中，当其中的一个拼接片发生断裂时，只需将发生断裂的部分拆卸下来进行更换即可，不再需要对整个石墨舟片进行更换，可以有效降低运行成本。

此外，生产石墨舟片时，根据事先设计好的形状和大小对拼接片进行加工，加工过程中可采用小型机床，可以有效提高石墨舟片的加工速度和加工精度；另外，由于拼接片的尺寸相较于整个石墨舟片要小很多，在对原材料进行选择时，当原材料有部分瑕疵时，可以选取其中合格的部分进行加工，而不需要舍弃整块原材料，从而减少了原材料浪费，也降低了生产成本。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种卡点，其特征在于，包括固定部(1)和卡紧部(2)，所述卡紧部(2)与所述固定部(1)之间形成有卡槽(3)，所述固定部(1)用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，所述卡槽(3)用于卡入硅片(5)；所述卡紧部(2)自其外沿向内设有缺口。

2.根据权利要求1所述的卡点，其特征在于，所述缺口位于所述卡紧部(2)端部靠近中间的位置，且所述卡紧部(2)上缺口的两侧均形成卡紧头。

3.根据权利要求2所述的卡点，其特征在于，所述缺口为“U”型缺口(4)。

4.根据权利要求1－3中任一项所述的卡点，其特征在于，所述卡紧部(2)为圆形，所述卡紧部(2)上沿其圆周设有至少一个缺口；所述固定部(1)也为圆形。

5.根据权利要求1－3中任一项所述的卡点，其特征在于，所述卡紧部(2)为菱形，所述缺口为两个，且分别设于所述卡紧部(2)上呈锐角的两个角上。

6.根据权利要求1－3中任一项所述的卡点，其特征在于，所述卡紧部(2)包括长方形部和弧形部，所述弧形部为两个，且分别设于所述长方形部的两个短边上，所述缺口为两个，且分别设于所述弧形部上。

7.根据权利要求1－3中任一项所述的卡点，其特征在于，所述卡紧部(2)为三角形，所述缺口为三个，且分别设于所述卡紧部(2)的三个角上。

8.根据权利要求1－3中任一项所述的卡点，其特征在于，所述卡紧部(2)为两个，且两个所述卡紧部(2)分别对称设于所述固定部(1)的两侧。

9.一种石墨舟片，其特征在于，包括舟片本体和权利要求1－8中任一项所述的卡点，所述舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位，所述舟片本体上靠近所述硅片位的位置分散设有多个安装孔，所述安装孔与所述卡点的固定部(1)相匹配。

10.一种石墨舟，其特征在于，包括权利要求9所述的石墨舟片，所述石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个所述石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔，位于同一侧的多个所述连接孔中穿设有石墨杆。