CN116101677A - 基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，包括存储仓，存储仓包括上料装置、存取机械手、存储料架和出料装置；存储仓上设有入料口和出料口，入料口和上料装置相对应，出料口和出料装置相对应；上料装置包括上料缓存模组和第一吸附组件，上料缓存模组包括缓存台和设置有第一工位的上料部，第一吸附组件能够吸附缓存台上的半导体喷涂物料并放置于第一工位上；存取机械手上设置有多个夹片，存取机械手能够完成多个半导体喷涂物料的存取；出料装置能够传送半导体喷涂物料至出料口。本设备不额外添加零部件，能够高效存取半导体喷涂物料；而且各部件设计巧妙，最大限度的保护半导体喷涂物料不受损伤，提高良品率。

Description

基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备

技术领域

本发明涉及物料存储领域，尤其涉及一种基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备。

背景技术

半导体公司内的工艺生产线上，不同工序上会生产半导体半成品工件，部分半成品工件由于特殊材质或经过了特殊工艺，故而对半成品工件传送提出很高的要求，例如半导体喷涂物料，由于表面喷涂物料及半导体工件本身的特殊性，其表面不能被划伤、压着等，避免损伤、压坏半导体喷涂物料。因此在传输过程中如何不被压着、划伤，成了重点解决的问题。另外，在高产能高生产效率的情况下，如何高效率缓存半导体喷涂物料，包括存储及取出等整个步骤，以适应公司高产能的需求，是亟待解决的问题。

针对上述情况，有必要提供一种新的技术方案。

发明内容

为解决目前现有技术中至少存在的技术问题之一，本发明提供一种基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其在不额外添加零部件的情况下，不仅能够高效存放半导体喷涂物料和取出半导体喷涂物料；而且上料装置、存取机械手和出料装置等经过特殊巧妙的设计，避免在存取过程中损伤半导体喷涂物料，最大限度的保护半导体喷涂物料，提高良品率。

本发明提供一种基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，包括存储仓，所述存储仓内设置有上料装置、存取机械手、存储料架和出料装置；所述存储仓上设有入料口和出料口，所述入料口和上料装置相对应，所述出料口和出料装置相对应；所述上料装置包括上料缓存模组和第一吸附组件，上料缓存模组上设置有缓存台和上料部，所述缓存台与入料口相对应，所述上料部位于缓存台远离入料口的一侧，所述上料部上设置有多个第一工位，所述第一吸附组件能够吸附缓存台上的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于第一工位上；所述存取机械手两侧均设置有存储料架，所述存储料架上设置有多个存储半导体喷涂物料的存储仓格，所述存取机械手上设置有多个夹片，所述存取机械手能够完成多个半导体喷涂物料的存取，即所述存取机械手能够一次取出多个第一工位上的半导体喷涂物料并一一存放于存储料架的对应存储仓格内或一次取出多个存储仓格内的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于出料装置上；所述出料装置上设置有出料传送带，所述出料传送带的传送方向朝向出料口。

优选的，所述存储仓包括两个并排设置的子存储仓，每一子存储仓内均设置有上料装置、存取机械手、存储料架和出料装置；子存储仓开设有一个入料口和一个出料口。

优选的，所述第一吸附组件包括第一吸盘、吸附架和转动部件；所述转动部件包括齿轮、同步带、活动件、固定件和驱动器，所述驱动器固定安装于吸附架上，所述齿轮有两个，其中一个齿轮与驱动器的输出端固定连接，另一个齿轮转动安装于吸附架上，所述同步带套设于两个齿轮上；所述活动件有两个，所述活动件与齿轮一一对应，所述活动件的一端安装于齿轮上，所述活动件的另一端活动安装于固定件上，所述固定件靠近缓存台的一端固定安装有第一吸盘。

优选的，第一吸附组件还包括限位结构，所述限位结构能够限位活动件旋转的角度。

优选的，所述上料部包括上料台和直线移动模组，所述上料台安装于直线移动模组上，所述上料台上设置有至少两个第一工位，所述直线移动模组被配置的能够驱动上料台上不同的第一工位移动至第一吸附组件的放料区域。

优选的，所述存取机械手包括机械臂，所述机械臂包括基座、第一夹臂、第二夹臂和升降结构，所述第一夹臂和升降结构均固定设置于基座上，所述第二夹臂安装于升降结构上，所述第一夹臂上设置有多个夹片，每一夹片能够存取一个半导体喷涂物料；所述升降结构包括升降件和第一驱动电机，所述升降件能够被第一驱动电机驱动的上下移动，所述第二夹臂与第一夹臂上下对应，所述第二夹臂被配置的能够跟随升降件一起上下移动，所述第二夹臂上设置有第一固定件，所述第一固定件上设有容纳孔，所述容纳孔内容置有至少一个柱体，所述柱体自上而下依次套设有升降件和弹簧。

优选的，所述基座上设置多个存取传感器，所述存取传感器朝向夹片对应的存储仓格，所述存取传感器能够检测待存放的存储仓格内是否有半导体喷涂物料。

优选的，所述出料装置包括出料缓存台、第二吸附组件和出料传送带；所述出料传送带设置于存储仓内靠近出料口的位置，所述出料缓存台设置于所述出料传送带远离出料口的一端，所述出料缓存台上设置有多个第二工位，所述第二吸附组件能够将出料缓存台上的半导体喷涂物料放置于出料传送带上。

优选的，所述第二吸附组件包括第二直线模组和多个第二吸盘，多个第二吸盘固定安装于第二直线模组，多个第二吸盘被配置的分别独立控制，第二直线模组能够将第二吸盘上的半导体喷涂物料放置于出料传送带上。

与现有技术相比，本发明所述的技术方案至少具有如下一个或多个有益效果：本设备在不额外添加零部件及不额外占用空间的情况下，不仅能够高效存放半导体喷涂物料和取出半导体喷涂物料；而且上料装置、存取机械手和出料装置等经过特殊巧妙的设计，避免在存取过程中损伤半导体喷涂物料，最大限度的保护半导体喷涂物料，提高良品率。

存取机械手设置多个夹片，一次存取多个物料，最大程度地提升了存取效率。存取机械手的第二夹臂设置弹簧，对半导体喷涂物料形成弹性夹持力，避免压伤半导体喷涂物料或划伤半导体喷涂物料表面，降低半导体喷涂物料的报废率和不良率。

设置双通道存储仓，既增加存储仓的存取速度，也能增大存储仓的存储容量。

上料装置的第一吸盘和出料装置的第二吸盘均采用海绵吸盘，避免第一吸盘或第二吸盘对半导体喷涂物料造成损伤或划伤等。

上料装置的第一吸附组件设置限位结构，避免设备异常或故障损伤半导体喷涂物料。

传统的电源柜设置于存储仓的地面上，使得电源线和信号线数量较多，一方面损坏或松脱的频率会变高，给存取机械手的运行带来很多不稳定因素，同时减少了存取机械手移动时大量电源线和信号线的拖动，有利于提升存取机械手的移动速度和移动效率。

出料装置的第二吸附组件上的多个第二吸盘分别独立控制，匀速均匀传送半导体喷涂物料，以便于出料口连续自动化收料，实现自动化运行，降低人力成本，提高生产效率。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1是本发明所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备的立体结构示意图；

图2是本发明所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备的内部立体结构部分示意图；

图3是本发明所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备的内部立体结构部分示意图；

图4是本发明所述的上料装置的一个视角的立体结构示意图；

图5是本发明所述的上料装置的另一个视角的立体结构示意图；

图6是本发明所述的上料架的立体结构示意图；

图7是本发明所述的存取机械手的一个视角的立体结构示意图；

图8是图7的R部的局部放大示意图；

图9是本发明所述的存取机械手的另一个视角的立体结构示意图；

图10是图9的M部的局部放大示意图；

图11是本发明所述的出料装置的立体结构示意图；

图12是本发明所述的出料缓存台和第二吸附组件的立体结构示意图。

其中，1-存储仓，2-上料装置，3-存取机械手，4-存储料架，5-出料装置，9-半导体喷涂物料，11-入料口，12-出料口，13-滑轨，14-子存储仓，21-缓存台，22-第一吸附组件，221-第一吸盘，222-吸附架，2221-限位传感器，2222-第一限位传感器，223-齿轮，2231-感应片，224-同步带，225-活动件，226-固定件，227-驱动器，228-限位块，23-上料部，230-上料台，231-第一工位，232-直线移动模组，233-第一滑轨，234-驱动部件，235-取料空隙，24-上料架，31-底座，313-电源柜，32-支撑主体，33-夹取组件，34-机械臂，341-基座，3411-存取传感器，3412-物料传感器，342-第一夹臂，343-第二夹臂，3431-第一固定件，3432-容纳孔，3434-弹簧，344-升降结构，3441-支撑架，3442-丝杆，3443-升降件，3444-第一驱动电机，345-夹片，35-伸缩结构，351-安装件，352-传动结构，353-第二驱动电机，36-旋转结构，361-固定台，362-第三驱动电机，51-出料缓存台，511-第二工位，512-放料间隙，52-第二吸附组件，521-第二直线模组，522-第二吸盘，53-出料传送带，531-松紧调节组件。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解说明的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置有”、“设有”、“连接”、“安装有”、“开设”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例

请参照图1-12，如图1-12所示，本发明实施例提供一种基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，包括存储仓1，所述存储仓1内设置有上料装置2、存取机械手3、存储料架4和出料装置5；所述存储仓1上设有入料口11和出料口12，所述入料口11和上料装置2相对应，所述出料口12和出料装置5相对应；所述上料装置2包括上料缓存模组和第一吸附组件22，上料缓存模组上设置有缓存台21和上料部23，所述缓存台21与入料口11相对应，所述上料部23位于缓存台21远离入料口11的一侧，所述上料部23上设置有多个第一工位231，所述第一吸附组件22能够吸附缓存台21上的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于第一工位231上；所述存取机械手3两侧均设置有存储料架4，所述存储料架4上设置有多个存储半导体喷涂物料的存储仓格；所述存取机械手3上设置有多个夹片，所述存取机械手能够取出多个第一工位上的半导体喷涂物料并一一存放半导体喷涂物料于存储仓格内或取出多个存储仓格内的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于出料装置上；所述出料装置5上设置有出料传送带53，所述出料传送带53的传送方向朝向出料口12。存取机械手一次存取多个半导体喷涂物料，极大地提升了存取效率。

在优选的示例中，如图1-3所示，所述存储仓1包括两个并排设置的子存储仓14，即存储仓为双通道存储仓，每一子存储仓14内均设置有上料装置2、存取机械手3、存储料架4和出料装置5；子存储仓14开设有一个入料口11和一个出料口12。优选的，所述入料口11和出料口12设置于存储仓1的同一侧。子存储仓14内设置有滑轨13，所述滑轨13的长度方向与存储仓1的长度方向相一致，所述存取机械手3滑动安装于滑轨13上，所述存取机械手3能够沿滑轨13移动，滑轨13两侧均设置有存储料架4。设置双通道存储仓，既增加存储仓的存取速度，也能增大存储仓的存储容量。

如图4-6所示，所述上料装置2包括上料缓存模组、第一吸附组件22和上料架24，上料缓存模组固定设置于上料架24上，第一吸附组件22位于上料缓存模组上方，第一吸附组件22固定设置于上料缓存模组上或上料架24上，示例中，第一吸附组件22固定设置于上料缓存模组上。所述上料缓存模组包括缓存台21和上料部23，所述缓存台21与入料口11相对应，所述上料部23位于缓存台21远离入料口11的一侧，所述上料部23上设置有多个第一工位231，所述第一吸附组件22能够吸附缓存台21上的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于第一工位231上。

所述第一吸附组件22包括第一吸盘221、吸附架222和转动部件；所述第一吸盘221位于缓存台21和第一工位231上方，示例中，所述第一吸盘221为海绵吸盘。第一吸盘采用海绵吸盘，避免第一吸盘对半导体喷涂物料造成损伤或划伤等。所述转动部件包括齿轮223、同步带224、活动件225、固定件226和驱动器227，所述齿轮223有两个，两个齿轮223转动安装于吸附架222上，其中一个齿轮223与驱动器227的输出端固定连接，所述驱动器227固定安装于吸附架222上。所述同步带224安装于两个齿轮223上，使得两个齿轮223同步转动。所述活动件225与齿轮223一一对应，所述活动件225的一端安装于齿轮223上，所述活动件225的另一端活动安装于固定件226上，所述活动件225能够跟随齿轮223的转动而转动，活动件225有两个，两个所述活动件225均安装于固定件226上，两个活动件225分别为第一活动件和第二活动件，所述固定件226靠近缓存台21的一端固定安装有第一吸盘221。在活动件225的转动下，所述固定件226能够将第一吸盘221自吸附架222的一侧移动至另一侧，定义第一吸盘221放置半导体喷涂物料的区域为放料区域，第一吸盘221吸附半导体喷涂物料的区域为吸附区域。示例中，放料区域位于第一吸附组件22远离入料口11的一侧，吸附区域位于第一吸附组件22靠近入料口11的一侧。

优选的，第一吸附组件22还设置有限位结构，一个优选的示例，所述吸附架222上设置有限位块228，示例中，所述限位块228有两个，两个限位块228分别为第一限位块2281和第二限位块2282，第一限位块2281和第二限位块2282分别位于其中一个齿轮223的两侧。示例中，第一限位块2281和第二限位块2282均靠近第一活动件，所述第一活动件转动至与第一限位块2281相抵触时，所述第一吸盘221能够吸附缓存台21上的半导体喷涂物料；所述第一活动件转动至与第二限位块2282相抵触时，所述第一吸盘221能够将吸附的半导体喷涂物料放置于第一工位231上。

另一个优选的示例，如图5所示，所述齿轮223远离活动件的一端固定安装有感应片2231，所述吸附架222上安装有至少两个限位传感器2221，示例中，限位传感器有两个，分别为第一限位传感器2222和第二限位传感器，所述感应片2231能够跟随齿轮一起转动，当感应片2231转动至与第一限位传感器相对应时，所述第一吸盘221能够吸附缓存台21上的半导体喷涂物料；当感应片转动至与第二限位传感器相对应时，所述第一吸盘221能够将吸附的半导体喷涂物料放置于第一工位231上。当然，上述两个优选的示例，可以只设置其中一种限位结构，也可以两种限位结构同时都设置。示例中，所述吸附架上同时设置了两种限位结构，双重保险，以更安全的保证半导体喷涂物料在吸附和放置时不受损伤。

所述上料部23包括上料台230和直线移动模组232，所述上料台230安装于直线移动模组232上，所述上料台230上设置有至少两个第一工位231，所述直线移动模组232被配置的能够驱动上料台230上的不同第一工位231移动至第一吸附组件22的放料区域。

所述直线移动模组232包括第一滑轨233和驱动部件234，第一滑轨233上安装有至少一个滑块，所述驱动部件234能够驱动滑块沿第一滑轨233移动，上料台230固定安装于滑块上。所述上料台230上设置有至少两个第一工位231，所述上料台230位于所述缓存台21远离入料口11的一侧。示例中，所述第一工位231有三个，所述直线移动模组能够移动不同的第一工位231与所述第一吸附组件22相对应。优选的，第一工位231底部设置有取料空隙235，取料时，所述存取机械手3上的夹板伸入至取料空隙内并向上抬起，从而将半导体喷涂物料自第一工位231上取出。示例中，所述驱动部件234为电机。

如图7-10所示，所述存取机械手3包括底座31、支撑主体32和夹取组件33；所述支撑主体32固定设置于底座31上，所述夹取组件33移动连接于支撑主体32上，所述夹取组件33能够被驱动的沿支撑主体32上下移动。

如图8和图10所示，所述夹取组件33包括机械臂34、伸缩结构35和旋转结构36；所述旋转结构36能够驱动机械臂34沿水平方向转动，所述伸缩结构35能够驱动所述机械臂34向外伸出或向内收缩。示例中，所述机械臂34为弹性机械臂。

所述旋转结构36包括固定台361、转轴和第三驱动电机362；所述固定台361安装于支撑主体32上，所述固定台361能够被支撑主体32控制的沿支撑主体32上升或下降；所述转轴和第三驱动电机362均安装于固定台361上，所述转轴固定安装于第三驱动电机362的输出端，所述机械臂34固定安装于转轴上，所述机械臂34能够在在第三驱动电机362的驱动下通过转轴沿水平方向转动。

所述伸缩结构35包括安装件351、传动结构352和第二驱动电机353；所述安装件351固定安装于转轴上，所述传动结构352和第二驱动电机353均固定安装于安装件351上，所述机械臂34固定安装于传动结构352上，所述机械臂34能够在第二驱动电机353的驱动下通过传动结构352向外伸出或收缩至初始位置，定义机械臂34与固定台361上下对应的位置为机械臂34的初始位置。

所述机械臂34包括基座341、第一夹臂342、第二夹臂343和升降结构344，所述基座341固定安装于传动结构352上，所述第一夹臂342和升降结构344均固定设置于基座341上，所述第二夹臂343安装于升降结构344上，所述第二夹臂343与第一夹臂342上下对应，所述升降结构344被配置的能够驱动第二夹臂343上下移动。所述第一夹臂342上设置有多个夹片345，示例中，所述夹片345有三个，分别为第一夹片、第二夹片和第三夹片，一个夹片能够取出一个第一工位上的半导体喷涂物料，或一个夹片能够取出一个存储仓格内的半导体喷涂物料。即，三个夹片能够同时取出三个第一工位上的半导体喷涂物料；或三个夹片能够同时取出三个存储仓格内的半导体喷涂物料。优选的，所述第一夹臂342设置夹片的数量与上料装置上的第一工位231相对应，设置不同数量的第一工位，第一夹臂342对应设置相同数量的夹片。

所述升降结构344包括支撑架3441、丝杆3442、升降件3443和第一驱动电机3444，所述支撑架3441固定设置于基座341上，所述丝杆3442可转动安装于支撑架3441上，所述升降件3443上设置有与丝杆3442相配合的螺纹孔，所述升降件3443通过螺纹孔套设于丝杆3442上，所述第一驱动电机3444被配置的能够驱动丝杆3442转动使升降件3443沿丝杆3442上下移动。

所述第二夹臂343上设置有第一固定件3431，所述第一固定件3431上设有容纳孔3432，所述容纳孔3432内容置有至少一个柱体，所述柱体自上而下依次套设有升降件3443和弹簧3434，所述升降件3443能够带动第二夹臂343一起上下移动。示例中，所述柱体竖向设置于槽孔内，所述柱体有两个，当然柱体的数量不做限制，以第二夹臂343不发生晃动、能够稳定跟随升降件3443上下移动为准。第二夹臂上设置弹簧，机械臂为弹性机械臂，对半导体喷涂物料形成弹性夹持力，避免压伤半导体喷涂物料或划伤半导体喷涂物料表面，降低半导体喷涂物料的报废率和不良率。

优选的，所述基座341上设置多个存取传感器3411，所述存取传感器3411的数量与所述夹片的数量相一致。所述存取传感器3411朝向待存放的存储仓格，所述存取传感器3411能够检测待存放的存储仓格内是否有半导体喷涂物料。优选的，所述基座341上还设置有多个物料传感器3412，所述物料传感器3412的数量与所述夹片的数量相一致，所述物料传感器3412与所述夹片一一对应，物料传感器朝向夹片，所述物料传感器3412能够检测夹片上是否有半导体喷涂物料。

示例中，所述容纳孔3432内壁靠近第一夹臂342的一侧开设有贯通的安装孔，所述容纳孔3432内壁远离第一夹臂342一侧的侧壁开设有容置槽，所述安装孔与容置槽相对应，所述柱体的一端依次穿过安装孔和容纳孔3432直至容置于容置槽内，所述柱体的另一端容置于安装孔内，其中所述柱体穿过容纳孔3432时，弹簧和升降件依次穿套于所述柱体上。

在优选的实施例中，所述底座31底部设置有至少两组滑槽，每组滑槽滑动安装于一条滑轨13上，底座上设置滑动电机，滑动电机能够驱动存取机械手沿滑轨滑动。优选的，所述支撑主体32为铝制支撑主体，支撑主体选用铝型材，大大减轻了存取机械手的重量，降低对设备现场的地面承重力的要求，同时也有利于提高存取机械手的移动速度，从而提高工作效率。

所述底座31上设置有电源柜313，电源柜能够为存取机械手的运行提供电能和数据信号，电源柜设置于存取机械手上，而不是传统的设置于地面上，减少很多电源线和信号线的大量拉扯，仅需外接一个电源线和一个信号线，甚至不需要信号线，采用无线连接。传统的电源柜设置于存储仓的地面上，使得电源线和信号线数量较多，一方面损坏或松脱的频率会变高，给存取机械手的运行带来很多不稳定因素，同时存取机械手移动时大量电源线和信号线拖动，降低了存取机械手的移动速度和移动效率。

还包括控制系统，控制系统能够控制仓储设备的运行。以下为在控制系统的配合下，存取机械手的工作原理：

夹取半导体喷涂物料时，第一夹臂342在控制系统的控制下，并在旋转结构36、伸缩结构35及滑轨的配合下，第一夹臂342移动至靠近上料部的位置，所述存取传感器检测到第一工位上有半导体喷涂物料时，第一夹臂342上的三个夹片在伸缩结构35的配合下各自对应伸入至第一工位下方的取料空隙235内，第一夹臂342在支撑主体的配合下向上移动一定距离至第一工位上的半导体喷涂物料置于第一夹臂342上。然后控制系统向第一驱动电机3444发出下降指令，第一驱动电机3444运行，同时带动丝杆转动，升降件3443同步跟随丝杆的转动同步向下移动，穿套于升降件3443的第一固定件3431同步向下移动，固定有第一固定件3431的第二夹臂343也同步向下移动，当第二夹臂343下降至半导体喷涂物料顶部时，第二夹臂343停止下降移动，与第二夹臂343固定连接的第一固定件3431也同步停止移动，通过设置第二夹臂343下降的距离，同时在弹簧的作用下，可调节使第二夹臂343弹性接触半导体喷涂物料顶部，避免第二夹臂343夹持半导体喷涂物料时造成半导体喷涂物料挤压损伤或产生划痕等。

放置半导体喷涂物料时，机械臂在控制系统的控制下，并在旋转结构36、伸缩结构35及滑轨的配合下，移动至待存放的存储仓格位置，第一夹臂上的三个存取感应器分别检测对应位置的待存放存储仓格内是否有半导体喷涂物料，若三个存储仓格内均没有半导体喷涂物料，则机械臂在伸缩结构和升降结构的配合下将三个半导体喷涂物料分别放置于对应的存储仓格内；若三个存储仓格内至少有一个存储仓格内存储有半导体喷涂物料，则控制系统发出警报，第一夹臂不向存储仓格内存放半导体喷涂物料，避免撞料造成半导体喷涂物料损伤。

如图11-12所示，所述出料装置5固定设置于存储仓内，所述出料装置朝向传送方向的一端与所述出料口12相对应。

所述出料装置5包括出料缓存台51、第二吸附组件52和出料传送带53。所述出料传送带53与出料口12相对应，所述出料传送带53设置于存储仓内靠近出料口的位置，所述出料缓存台51设置于所述出料传送带53远离出料口的一端，所述存取机械手将半导体喷涂物料自存储料架上取出并放置于出料缓存台51上，所述第二吸附组件52能够将出料缓存台51上的半导体喷涂物料放置于出料传送带53上。示例中，所述第二吸附组件52设置于出料缓存台51和/或出料传送带53的上方。

所述出料缓存台51上设置有多个第二工位511，所述第二工位下方设置有放料间隙512，所述放料间隙512能够用于存取机械手4于第二工位上放置半导体喷涂物料。

所述第二吸附组件52包括第二直线模组521和多个第二吸盘522。所述第二吸盘522能够被第二直线模组521驱动的将出料缓存台51上的半导体喷涂物料移送至出料传送带53上。示例中，所述第二吸盘522为海绵洗盘，所述第二直线模组521设置于出料缓存台51和出料传送带53的上方。示例中，所述第二吸盘522通过升降电机安装于第二直线模组521上。优选的，所述第二吸附组件52上的多个第二吸盘被配置的分别独立控制，以便每个第二吸盘522上的半导体喷涂物料依次放置于出料缓存台51上，即所述第二吸附组件52每次只放置一个半导体喷涂物料于出料传送带53上，待该半导体喷涂物料沿出料传送带53传送至靠近入料口的一端时，所述第二吸附组件52再放置下一个半导体喷涂物料于出料传送带53。第二吸附组件上的多个第二吸盘分别独立控制，匀速均匀传送半导体喷涂物料，以便于出料口连续自动化收料，实现自动化运行，降低人力成本，提高生产效率。示例中，第二吸盘522有三个。

所述出料传送带53上设置有松紧调节组件531，所述松紧调节组件531能够调节出料传送带53上传动带的松紧度。出料传送带53上传动带绕设于出料传送带53和松紧调节组件531上，松紧调节组件531上设置有至少一个松紧件，松紧调节组件531能够通过调节松紧件的位置调节出料传送带53上传动带的松紧度。

以上部件的所有特征在不冲突的情况下可以任意自由组合，另外，部件结构上的变化、变型和修改也均在本专利的保护范围。

在本说明书的描述中，参考术语“实施例”或“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改和变型。

Claims (9)

1.一种基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，包括存储仓（1），所述存储仓（1）内设置有上料装置（2）、存取机械手（3）、存储料架（4）和出料装置（5）；所述存储仓（1）上设有入料口（11）和出料口（12），所述入料口（11）和上料装置（2）相对应，所述出料口（12）和出料装置（5）相对应；

所述上料装置（2）包括上料缓存模组和第一吸附组件（22），上料缓存模组上设置有缓存台（21）和上料部（23），所述缓存台（21）与入料口（11）相对应，所述上料部（23）位于缓存台（21）远离入料口（11）的一侧，所述上料部（23）上设置有多个第一工位（231），所述第一吸附组件（22）能够吸附缓存台（21）上的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于第一工位（231）上；

所述存取机械手（3）两侧均设置有存储料架（4），所述存储料架（4）上设置有多个存储半导体喷涂物料的存储仓格，所述存取机械手（3）上设置有多个夹片（345），所述存取机械手（3）能够取出多个第一工位（231）上的半导体喷涂物料并一一存放于对应的存储仓格内或取出多个存储仓格内的半导体喷涂物料并放置半导体喷涂物料于出料装置上；

所述出料装置（5）上设置有出料传送带（53），所述出料传送带（53）的传送方向朝向出料口（12）。

2.根据权利要求1所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述存储仓（1）包括两个并排设置的子存储仓（14），每一子存储仓（14）内均设置有上料装置（2）、存取机械手（3）、存储料架（4）和出料装置（5）；子存储仓（14）开设有一个入料口（11）和一个出料口（12）。

3.根据权利要求1所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述第一吸附组件（22）包括第一吸盘（221）、吸附架（222）和转动部件；

所述转动部件包括齿轮（223）、同步带（224）、活动件（225）、固定件（226）和驱动器（227），所述驱动器（227）固定安装于吸附架（222）上，所述齿轮（223）有两个，其中一个齿轮（223）与驱动器（227）的输出端固定连接，另一个齿轮（223）转动安装于吸附架（222）上，所述同步带（224）套设于两个齿轮（223）上；

所述活动件（225）有两个，所述活动件（225）与齿轮（223）一一对应，所述活动件（225）的一端安装于齿轮（223）上，所述活动件（225）的另一端活动安装于固定件（226）上，所述固定件（226）靠近缓存台（21）的一端固定安装有第一吸盘（221）。

4.根据权利要求3所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，第一吸附组件（22）还包括限位结构，所述限位结构能够限位活动件（225）旋转的角度。

5.根据权利要求1所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述上料部（23）包括上料台（230）和直线移动模组（232），所述上料台（230）安装于直线移动模组（232）上，所述上料台（230）上设置有多个第一工位（231），所述直线移动模组（232）被配置的能够驱动上料台（230）上不同的第一工位（231）移动至第一吸附组件（22）的放料区域。

6.根据权利要求1所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述存取机械手（3）包括机械臂（34），所述机械臂（34）包括基座（341）、第一夹臂（342）、第二夹臂（343）和升降结构（344），所述第一夹臂（342）和升降结构（344）均固定设置于基座（341）上，所述第二夹臂（343）与第一夹臂（342）上下对应，所述第二夹臂（343）安装于升降结构（344）上，所述第一夹臂（332）上设置有多个夹片（345），每一夹片（345）能够存取一个半导体喷涂物料；

所述升降结构（344）包括升降件（3443）和第一驱动电机（3444），所述升降件（3443）能够被第一驱动电机（3444）驱动的上下移动，所述第二夹臂（343）被配置的能够跟随升降件（3443）一起上下移动，所述第二夹臂（343）上设置有第一固定件（3431），所述第一固定件（3431）上设有容纳孔（3432），所述容纳孔（3432）内容置有至少一个柱体，所述柱体自上而下依次套设有升降件（3443）和弹簧（3434）。

7.根据权利要求6所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述基座（341）上设置多个存取传感器（3411），所述存取传感器（3411）朝向夹片（345）对应的存储仓格，所述存取传感器（3411）能够检测待存放的存储仓格内是否有半导体喷涂物料。

8.根据权利要求1所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述出料装置（5）包括出料缓存台（51）、第二吸附组件（52）和出料传送带（53）；

所述出料传送带（53）设置于存储仓（1）内靠近出料口的位置，所述出料缓存台（51）设置于所述出料传送带（53）远离出料口的一端，所述出料缓存台（51）上设置有多个第二工位（511），所述第二吸附组件（52）能够将出料缓存台（51）上的半导体喷涂物料放置于出料传送带（53）上。

9.根据权利要求8所述的基于多工位半导体喷涂物料存取的高速智能仓储设备，其特征在于，所述第二吸附组件（52）包括第二直线模组（521）和多个第二吸盘（522），多个第二吸盘（522）固定安装于第二直线模组（521），多个第二吸盘（522）被配置的能够分别独立控制，第二直线模组（521）能够将第二吸盘（522）上的半导体喷涂物料放置于出料传送带（53）上。

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