CN116086369A - 电子枪测试平台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种电子枪测试平台，包括测试腔体；测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；移动载具模组与测试腔体的内壁固定，移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，平行移载模组设置在移动载具模组的旁侧；平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件；其中，固定座固定安装在移动载具模组旁侧，固定座与测试腔体的内壁固定；驱动装置固定在固定座上，驱动装置的输出端与移动架的一侧固定连接，移动架的另一侧与夹持件转动连接；夹持件适用于夹持硅片载盒，驱动装置驱动夹持件在移动载具模组的顶部移动。其有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。

Description

电子枪测试平台

技术领域

本申请涉及半导体设备领域，尤其涉及一种电子枪测试平台。

背景技术

在电子枪的制造过程中，电子枪测试平台用来使电子枪在测试过程中能够使硅片放取及定位满足电子枪测试要求，比如硅片放置位置偏差等。该平台的主要工作原理是破坏真空压力后，利用真空馈入装置将硅片送至运动平台上电子枪测试所需位置，放置的精度及速度决定了电子枪在测试过程中调节参数得快捷稳定等。

现有电子枪测试平台主要是通过真空馈入装置将硅片推送至二维XY运动模组，这样的方式接驳会存在间隙误差。

发明内容

有鉴于此，本申请提出了一种电子枪测试平台，其有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。

根据本申请的一方面，提供了一种电子枪测试平台，包括测试腔体；

所述测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；

所述移动载具模组与所述测试腔体的内壁固定，所述移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，所述平行移载模组设置在所述移动载具模组的旁侧；

所述平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件；

其中，所述固定座固定安装在所述移动载具模组旁侧，所述固定座与所述测试腔体的内壁固定；

所述驱动装置固定在所述固定座上，所述驱动装置的输出端与所述移动架的一侧固定连接，所述移动架的另一侧与所述夹持件转动连接；

所述夹持件适用于夹持所述硅片载盒，所述驱动装置驱动所述夹持件在所述移动载具模组的顶部移动。

在一种可能的实现方式中，所述移动架包括第一转动件和第二转动件；

其中，所述驱动装置的输出端与所述第一转动件固定连接，所述第一转动件的另一端与所述夹持件铰接；

所述固定架上设有铰接座，所述第二转动件的一侧与所述铰接座铰接，所述第二转动件的另一侧与所述夹持件铰接；

所述第二转动件与所述第一转动件同步转动。

在一种可能的实现方式中，所述夹持件朝向所述第一转动件的一侧设有第一铰接杆和第二铰接杆；

所述第一铰接杆和所述第二铰接杆均与所述夹持件固定，所述第一转动件未与所述驱动装置固定连接的一侧与所述第一铰接杆铰接，所述第二转动件未与所述铰接部铰接的一侧与所述第二铰接杆铰接。

在一种可能的实现方式中，所述夹持件包括第一部件和第二部件，所述第一部件和所述第二部件均呈板状，所述第一部件和所述第二部件呈“L”连接，所述第二部件背离所述第一部件的一侧板面上设有夹持部，用于夹持所述硅片载盒；

所述移动架组转动连接在所述第一部件背离所述第二部件的一侧板面上，所述夹持部朝向所述移动载具模组的顶部设置。

在一种可能的实现方式中，所述移动载具模组包括移动模组；

所述移动模组固定安装在所述测试腔体的底部内壁上，所述移动模组上移动安装有移动平台，所述移动模组驱动所述移动平台移动，所述移动平台的顶部适用于放置所述硅片或者所述硅片载盒。

在一种可能的实现方式中，还包括过渡隔离腔体，所述过渡隔离腔体与所述测试腔体连通设置；

所述过渡隔离腔体的内部安装有运输模组，所述运输模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒；

所述过渡隔离腔体和所述测试腔体连通处设有隔离门，所述隔离门隔离所述过渡隔离腔体和所述测试腔体；

所述隔离门上设置有升降组件，用于控制所述隔离门的打开或者关闭；

所述过渡隔离腔体背离所述测试腔体的一侧设有取放口，所述取放口处可拆卸安装有端盖，所述端盖盖设所述取放口设置。

在一种可能的实现方式中，所述升降组件包括升降电机和转动丝杠；

所述升降电机固定安装在所述测试腔体的底部内壁上，所述升降电机的输出端朝向所述测试腔体的顶部设置；

所述转动丝杠与所述升降电机的输出端固定连接；

所述隔离门的侧壁上设置有连接部，所述连接部上设有内螺纹，所述连接部上的内螺纹与所述转动丝杠相匹配。

在一种可能的实现方式中，所述升降组件设有两个，两个所述升降组件分别设置在所述隔离门的两侧。

在一种可能的实现方式中，所述测试腔体的顶部设有安装孔，所述安装孔贯穿所述测试腔体的顶部侧壁设置；

所述安装孔设置在所述平行移载模组的顶部位置处；

所述安装孔处适用于安装电子枪。

在一种可能的实现方式中所述驱动装置与所述移动架通过铍铜锥形轴套固定连接；

所述移动装置和所述夹持件通过铍铜锥形轴套转动连接。，

本申请实施例电子枪测试平台设有测试腔体，平行移动模组和移动载具模组均安装在测试腔体内，其中，移动载具模组的顶部用于放置硅片或者硅片载盒，且移动载具模组更够在测试腔体内进行移动。平行移载模组用于夹持硅片载盒，且平行移载模组中的固定座与测试腔体固定，为驱动装置、移动架和夹持件提供了安装部件。在硅片输送至移动载具模组时，驱动装置驱动移动架进行转动，带动移动架上的夹持件向放置硅片的硅片载盒的一侧移动，并夹持件夹持硅片载体。之后驱动装置在驱动夹持有硅片载盒的夹持件向移动载具模组一侧移动，并将硅片载盒放置在移动载具模组的顶部，完成硅片的放置。本申请实施例电子枪测试平台通过上述的结构有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。

根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本申请的其它特征及方面将变得清楚。

附图说明

包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本申请的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本申请的原理。

图1示出本申请实施例的电子枪测试平台的主视图；

图2示出本申请实施例的电子枪测试平台的左视图；

图3示出本申请实施例的电子枪测试平台的俯视图；

图4示出本申请实施例的电子枪测试平台的平行移载模组的主视图；

图5示出本申请实施例的电子枪测试平台的平行移载模组的左视图。

具体实施方式

以下将参考附图详细说明本申请的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。

其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。

另外，为了更好的说明本申请，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本申请同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨。

图1示出本申请实施例的电子枪测试平台的主视图。图2示出本申请实施例的电子枪测试平台的左视图。图3示出本申请实施例的电子枪测试平台的俯视图。图4示出本申请实施例的电子枪测试平台的平行移载模组200的主视图。图5示出本申请实施例的电子枪测试平台的平行移载模组200的左视图。如图1、图2、图3、图4或图5所示，该电子枪测试平台包括：测试腔体100，测试腔体100的内部设有平行移载模组200和移动载具模组300，其中，移动载具模组300与测试腔体100的内壁固定连接，移动载具模组300的顶部放置硅片或者硅片载盒，平行移载模组200设置在移动载具模组300的旁侧。平行移载模组200包括驱动装置210、固定座220、移动架230和夹持件240，其中，固定座220固定安装在移动载具模组300的旁侧，固定座220与测试腔体100的内壁固定。驱动装置210固定安装在固定座220上，驱动装置210的输出轴与移动架230的一侧固定连接，移动架230的另一侧与夹持件240转动连接。夹持件240用于夹持硅片载盒，驱动装置210驱动夹持件240在移动载具模组300的顶部移动。

本申请实施例电子枪测试平台设有测试腔体100，平行移动模组和移动载具模组300均安装在测试腔体100内，其中，移动载具模组300的顶部用于放置硅片或者硅片载盒，且移动载具模组300更够在测试腔体100内进行移动。平行移载模组200用于夹持硅片载盒，且平行移载模组200中的固定座220与测试腔体100固定，为驱动装置210、移动架230和夹持件240提供了安装部件。在硅片输送至移动载具模组300时，驱动装置210驱动移动架230进行转动，带动移动架230上的夹持件240向放置硅片的硅片载盒的一侧移动，并夹持件240夹持硅片载体。之后驱动装置210在驱动夹持有硅片载盒的夹持件240向移动载具模组300一侧移动，并将硅片载盒放置在移动载具模组300的顶部，完成硅片的放置。本申请实施例电子枪测试平台通过上述的结构有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。

在一种可能的实现方式中，移动架230包括第一转动件231和第二转动件232，其中，驱动装置210的输出端与第一转动件231固定连接，第一转动件231的另一端与夹持件240铰接设置。固定架上设有铰接座，第二转动件232的一侧与铰接座铰接，第二转动件232的另一侧与夹持架铰接设置，在驱动装置210驱动第一转动件231转动时，第二转动件232与第一转动件231同步转动。本申请实施例通过将移动架230设置为第一转动件231和第二转动件232，由此使得本申请实施例的结构更加的稳定。

更进一步的，在一种可能的实现方式中，夹持件240朝向第一转动件231的一侧设有第一铰接杆260和第二铰接杆250，其中，第一铰接杆260、第二铰接杆250均与夹持件240固定，第一转动件231未与驱动装置210固定连接的一侧与第一铰接杆260铰接，第二转动件232未与与铰接部铰接的一侧与第二铰接杆250铰接。由此，进一步的优化了本申请实施例的结构。

此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，第一转动件231和第二转动件232均呈板状，铰接座呈杆状，铰接座设置在驱动装置210的上方，且第一转动件231和第二转动件232安装后，第一转动件231和第二转动件232平行设置。由此，第一转动件231、第二转动件232、夹持件240与固定座220形成一个平行四边形的平动机构，使得本申请实施例的结构更加的稳固。

此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，第二转动件232的板面和第一转动件231的板面均朝向固定座220设置，且第二转动件232邻近固定座220设置。

在一种可能的实现方式中，夹持件240包括第一部件241和第二部件242，第一部件241和第二部件242均呈板状，第一部件241和第二部件242连接呈“L”板状。第二部件242背离第一部件241的一侧板面上设有夹持部，夹持部用于夹持硅片载盒。移动架230转动连接在第一部件241背离第二部件242的一侧板面上，夹持部朝向移动载具模组300的顶部设置。由此，通过上述夹持件240的结构使用夹持件240的夹持部能够处于移动移动载具模组300的顶部位置处。

此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，夹持部呈凹槽状，夹持部相对设置的槽壁上均设有夹件，夹件呈沿夹持部的槽壁设置的板状，由此，可以通过上述的结构更够更加的稳固的夹持硅片载盒。

此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，固定座220呈“L”形的板状，由此使得驱动装置210固定安装在固定座220的一侧板面上，固定座220未固定驱动装置210的板面上与测试腔体100的内壁固定连接。

此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方法中，驱动装置210可以采用电机来实现，此处不做赘述。

在一种可能的实现方式中，移动载具模组300包括移动模组，其中，移动模组固定安装在测试枪的底部内壁上，移动模组上移动安装有移动平台，移动模组驱动移动平台，移动平台的顶部用于放置硅片或者硅片载盒。由此，通过移动平台为硅片或者硅片载盒提供了放置空间，通过移动模组能够控制移动平台移动，由此，能够使得硅片在测试腔体100内进行传输。

此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，移动模组包括第一支撑座、第二支撑座、第三支撑座、第四支撑座、第一驱动丝杠、第一稳定杠、第二驱动丝杠和第二稳定杠。第一支撑座和第二支撑座均呈板状，且第一支撑座和第二支撑座均与测试腔体100的底部内壁固定连接，且第一支撑座的板面和第二支撑座的板面相对设置，第一支撑座的板面和第二支撑座的板面间隔设置。第一驱动丝杠的两端分别转动连接在第一支撑座和第二支撑座上，且第一驱动丝杠设有伸出第一支撑座的伸出端，第一驱动丝杠的伸出端上固定安装有驱动电机，用于驱动第一驱动丝杠转动。第一稳定杠的两端分别与第一支撑座和第二支撑座固定连接，第一稳定杠和第一驱动丝杠平行设置。

第三支撑座和第四支撑座均呈板状，且第三支撑座的板面上开设有第一连接孔和第二连接孔，其中，第一连接孔为螺纹孔，第一连接孔与第一驱动丝杠相匹配，第二连接孔和第一稳定杠向匹配。第四支撑座的板面上开设有第三连接孔和第四连接孔，且第三连接孔为螺纹孔，第三连接孔与第一驱动丝杠相匹配，第四连接孔和第一稳定杠相匹配。由此，使得第三支撑座和第四支撑座平行的转动安装在第一驱动丝杠、第一稳定杠上，使得第一驱动丝杠能够驱动第三支撑座和第四支撑座移动。

第二驱动丝杠的两端分别转动连接在第三支撑座和第四支撑座上，且第二驱动丝杠设有伸出第三支撑座的伸出端，第二驱动丝杠的伸出端上固定安装有驱动电机，用于驱动第二驱动丝杠转动。第二稳定杠的两端分别与第三支撑座和第四支撑座固定连接，第二稳定杠和第二驱动丝杠平行设置。移动平台呈板状，移动平台的底部设有第五支撑座和第六支撑座，其中，第五支撑座上开设有与第二驱动丝杠相匹配的内螺纹孔，第六支撑座上开设有与第二稳定杠相匹配的通孔，由此，可以通过第二驱动丝杠的转动驱动移动平台移动，由此，通过上述的结构使得硅片能够在测试腔体100内进行移动。

此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，第一稳定杠和第二稳定杠为光杠，由此，使得硅片的移动更加的平稳。

在一种可能的实现方式中，还包括过渡隔离腔体900，过渡隔离腔体900和测试腔体100连通设置。过渡隔离腔体900的内部安装有运输模组400，运输模组400的顶部用于放置硅片或者硅片载盒。过渡隔离腔体900和测试腔体100的连通处设有隔离门500，隔离门500隔离过渡隔离腔体900和测试腔体100。隔离门500上设置有升降组件600，用于控制隔离门500的打开或者关闭，过渡隔离腔体900背离测试腔体100的一侧设有取放口，取放口处可拆卸安装有端盖700，端盖700盖设取放口设置。由此，在硅片进行放置时候，先用隔离门500将过渡隔离腔体900和测试腔体100隔离，之后拆下端盖700，将硅片或者硅片载盒放置在运输模组400上，之后安装上端盖700，使用升降组件600，将隔离门500下降，通过运输模组400将硅片或者硅片载盒运输至测试腔体100一侧，夹具件夹持将硅片或者硅片载盒，完成硅片的运输。由此，通过上述的结构可以使得测试腔体100内的真空环境不被破坏，保证了测试腔体100内部环境的洁净及保持真空度。

更进一步的，在一种可能的实现方式中，升降组件600包括升降电机610和转动丝杠620，升降电机610固定安装在测试腔体100的底部内壁上，升降电机610的输出端朝向测试腔体100的顶部设置。转动丝杠620与升降电机610的输出端固定连接，隔离门500的侧壁上设置有连接部510，连接部510上设有内螺纹，连接部510上的内螺纹与转动丝杠620相匹配。由此，方便了隔离门500进行升降。

更进一步的，在一种可能的实现方式中，升降组件600设有两个，两个升降组件600分别设置在隔离门500的两侧。由此，使得隔离门500的升降更加的稳固。

此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，过渡隔离腔体900的体积小于测试腔体100的体积。运输模组400可以采用电机丝杠的传输方式。

此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，过渡隔离腔体900伸入测试腔体100设置，过渡隔离腔体900伸入测试腔体100的一侧的底部开设有升降孔，升降孔与隔离门500相匹配。使得隔离门500能够从升降孔伸入过渡隔离腔体900。

更进一步的，在一种可能的实现方式中，测试腔体100的顶部设有安装孔，安装孔贯穿测试腔体100的顶部侧壁设置，安装孔设置在平行移载模组200的顶部位置处，安装孔处适用于安装电子枪800。由此，方便了电子枪800的安装。

在一种可能的实现方式中，驱动装置210与移动架230通过铍铜锥形轴套固定连接，移动装置和夹持件240通过铍铜锥形轴套转动连接。通过铍铜锥形轴套可以保证整体的结构的刚性及主动进一步的消除了间隙，从而实现点对点的移载并提供了定位精度。

综上所述，本申请实施例电子枪测试平台的工作流程为：打开端盖700将硅片载盒放入取放口处，并将装有硅片的硅片载盒放置在运输模组400上，并将端盖700安装上。升降电机610通过转动丝杠620带动隔离门500下降，运输模组400将硅片载盒送入测试腔体100后停止，驱动装置210驱动第一转动杆转动，第一转动杆移动带动第二转动杆移动，第一转动杆和第二转动杆带动夹持件240移动，并夹持硅片载盒，并将硅片载盒放置在移动平台上。此处，应当这次的是，移动平台上设有放置硅片载体的凹槽。移动模组向远离过渡隔离腔体900的一侧移动，将硅片载盒脱离移动平台上的凹槽，之后驱动装置210驱动夹持件240复位，此时，开设测试工作。在需要更换硅片时候，可以对上述的过程进行方向操作，完成一个完成的循环。由此本申请实施例将可实现点对点移载的平行连杆结构代替模组的直线运动，并且加入了过渡隔离腔体900使真空腔内的真空环境不被破坏，人眼可直接观察到硅片载盒定位槽，从而有效的提高了硅片的移载定位精度、真空腔内环境的洁净度及保持真空度，并且减少了能耗。

以上已经描述了本申请的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (10)

1.一种电子枪测试平台，其特征在于，包括测试腔体；

所述测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；

所述移动载具模组与所述测试腔体的内壁固定，所述移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，所述平行移载模组设置在所述移动载具模组的旁侧；

所述平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件；

其中，所述固定座固定安装在所述移动载具模组旁侧，所述固定座与所述测试腔体的内壁固定；

所述驱动装置固定在所述固定座上，所述驱动装置的输出端与所述移动架的一侧固定连接，所述移动架的另一侧与所述夹持件转动连接；

所述夹持件适用于夹持所述硅片载盒，所述驱动装置驱动所述夹持件在所述移动载具模组的顶部移动。

2.根据权利要求1所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述移动架包括第一转动件和第二转动件；

其中，所述驱动装置的输出端与所述第一转动件固定连接，所述第一转动件的另一端与所述夹持件铰接；

所述固定架上设有铰接座，所述第二转动件的一侧与所述铰接座铰接，所述第二转动件的另一侧与所述夹持件铰接；

所述第二转动件与所述第一转动件同步转动。

3.根据权利要求2所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述夹持件朝向所述第一转动件的一侧设有第一铰接杆和第二铰接杆；

所述第一铰接杆和所述第二铰接杆均与所述夹持件固定，所述第一转动件未与所述驱动装置固定连接的一侧与所述第一铰接杆铰接，所述第二转动件未与所述铰接部铰接的一侧与所述第二铰接杆铰接。

4.根据权利要求1所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述夹持件包括第一部件和第二部件，所述第一部件和所述第二部件均呈板状，所述第一部件和所述第二部件呈“L”连接，所述第二部件背离所述第一部件的一侧板面上设有夹持部，用于夹持所述硅片载盒；

所述移动架组转动连接在所述第一部件背离所述第二部件的一侧板面上，所述夹持部朝向所述移动载具模组的顶部设置。

5.根据权利要求1所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述移动载具模组包括移动模组；

所述移动模组固定安装在所述测试腔体的底部内壁上，所述移动模组上移动安装有移动平台，所述移动模组驱动所述移动平台移动，所述移动平台的顶部适用于放置所述硅片或者所述硅片载盒。

6.根据权利要求1所述的电子枪测试平台，其特征在于，还包括过渡隔离腔体，所述过渡隔离腔体与所述测试腔体连通设置；

所述过渡隔离腔体的内部安装有运输模组，所述运输模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒；

所述过渡隔离腔体和所述测试腔体连通处设有隔离门，所述隔离门隔离所述过渡隔离腔体和所述测试腔体；

所述隔离门上设置有升降组件，用于控制所述隔离门的打开或者关闭；

所述过渡隔离腔体背离所述测试腔体的一侧设有取放口，所述取放口处可拆卸安装有端盖，所述端盖盖设所述取放口设置。

7.根据权利要求6所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述升降组件包括升降电机和转动丝杠；

所述升降电机固定安装在所述测试腔体的底部内壁上，所述升降电机的输出端朝向所述测试腔体的顶部设置；

所述转动丝杠与所述升降电机的输出端固定连接；

所述隔离门的侧壁上设置有连接部，所述连接部上设有内螺纹，所述连接部上的内螺纹与所述转动丝杠相匹配。

8.根据权利要求6所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述升降组件设有两个，两个所述升降组件分别设置在所述隔离门的两侧。

9.根据权利要求1至8任一项所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述测试腔体的顶部设有安装孔，所述安装孔贯穿所述测试腔体的顶部侧壁设置；

所述安装孔设置在所述平行移载模组的顶部位置处；

所述安装孔处适用于安装电子枪。

10.根据权利要求1至8任一项所述的电子枪测试平台，其特征在于，所述驱动装置与所述移动架通过铍铜锥形轴套固定连接；

所述移动装置和所述夹持件通过铍铜锥形轴套转动连接。

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