CN112722817A - 一种光刻机的光刻板取料装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光刻机的光刻板取料装置，包括工作台，工作台底部设置有支座，支座顶部与工作台底部连接；支座两侧顶部均连接有垫台，两个垫台顶面均安装有第一滑轨，两个第一滑轨底部分别与两个垫台的顶面通过螺钉连接；第一滑轨上安装有取板装置，取板装置两侧底部分别与两个第一滑轨滑动连接；工作台远离光刻板存放处的一端设置有控制台，控制台背面与工作台通过连接线电性连接；操作人员将一定量光刻板放在桌体表面，整体夹持装置通过垫台滑轨移动，到光刻板存放点上方后，夹持架则会降下，伸缩杆收缩将光刻板夹紧，可运输至桌体表面任意位置，节省拿取更换光刻板的时间，矩形收缩夹持更加牢固，不会损坏光刻板表面，兼顾效率和质量。

Description

一种光刻机的光刻板取料装置

技术领域

本发明属于半导体材料生产技术领域，特别是涉及一种光刻机的光刻板取料装置。

背景技术

光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。准分子光刻技术作为当前主流的光刻技术，传统光刻技术光刻胶与曝光镜头之间的介质是空气，而浸没 式技术则是将空气 换成液体介质。实际上，由于液体介质的折射率相比空气介质更接近曝光透镜镜片材料的折射率，等效地加大了透镜口径尺寸与数值孔径，同时可以显 著提高焦深和曝光工艺的宽容度，浸没式光 刻 技 术 正 是 利 用 这 个 原 理 来提 高 其 分 辨率；提高光刻技术分辨率的传统方法是增大镜头的NA或缩 短 波 长，通常 首 先 采 用 的 方 法 是 缩 短 波长。早在80年代，极紫外光刻技术就已经开始理论的研究和初步的实 验，其原理主要是利用曝光光源极短的波长达到提高光刻技术分辨率的目的。由于所有的光学材料对该波长的光有强烈的吸收，所以只能采取反射式的光路。EUV系统主要由四部分组成，即反射式投影曝光系统、反射式光刻掩模版、极紫外光源系统和能用于极紫外的光刻涂层。其主要成像原理是光波波长为10～14nm的极端远紫外光波经过周期性多层膜反射镜投射到反射式掩模版上，通过反射式掩模版反射出的极紫外光波再通过由多面反射镜组成的缩小投影系统，将反射式掩模版上的集成电路几何图形投影成像到硅片表面的光刻胶中，形成集成电路制造所需要的光刻图形；电子束光刻技术是利用电子枪所产生的电子束，通过电子光柱的各极电磁透镜聚焦、对中、各种象差的校正、电子束斑调整、电子束流调整、电子束曝光对准标记检测、电子束偏转校正、电子扫描场畸变校正等一系列调整，最后通过扫描透镜根据电子束曝光程序的安排，在涂布有电子抗蚀剂的基片表面上扫描写出所需要的图形。

光刻技术在我国仍处于初级阶段，对该技术和设备材料的研究从未停止，在光刻作业中，光刻板必不可少，而取用更换光刻板通常为人工取用，较为浪费生产时间，且目前市场上针对光刻板的取料输送设备仍然为空白，因此我们提出一种光刻机的光刻板取料装置。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种光刻机的光刻板取料装置，包括工作台，所述工作台顶部设置有光刻板存放处，且底部设置有支座，所述支座顶部与工作台底部固定连接；所述支座两侧顶部均固定连接有垫台，两个所述垫台顶面均安装有第一滑轨，两个所述第一滑轨底部分别与两个垫台的顶面通过螺钉固定连接；所述第一滑轨上安装有取板装置，所述取板装置两侧底部分别与两个第一滑轨滑动连接；所述工作台远离光刻板存放处的一端设置有控制台，所述控制台背面与工作台通过连接线电性连接。

作为本发明的一种优选技术方案，两个所述第一滑轨表面均安装有第一滑块，两个所述第一滑块相对侧分别与两个第一滑轨表面滑动连接。

作为本发明的一种优选技术方案，两个所述第一滑块顶部均安装有支撑柱，两个所述支撑柱的底部分别与两个所述第一滑块的顶部固定连接；所述取板装置右侧安装有变频箱，所述变频箱与取板装置右侧固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案，两个所述支撑柱顶部之间设置有顶梁，所述顶梁两端分别与两个支撑柱顶部固定连接；两个所述支撑柱相对侧均设置有第二滑轨，两个所述第二滑轨相背侧分别与两个支撑柱固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案，两个所述第二滑轨表面均安装有第二滑块，两个所述第二滑块分别与两个第二滑轨表面滑动连接。

作为本发明的一种优选技术方案，两个所述第二滑块之间安装有机箱，所述机箱两侧均安装有连接架，所述连接架两端分别与机箱的一侧和第二滑块固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述机箱底部设置有四个夹持架，四个所述夹持架的顶部均与机箱底部固定连接，且呈矩形排布；四个所述夹持架内侧均安装有伸缩杆和夹块，所述伸缩杆的两端分别与夹持架和夹块固定连接。

本发明具有以下有益效果：

该设备能够稳定轻缓的夹取光刻板，光刻作业过程较为缓慢，故夹持取板方式更为合适，操作人员将一定量光刻板放在桌体表面，桌体两侧垫台安装有滑轨，整体夹持装置通过该滑轨移动，移动至光刻板存放点上方后，矩形夹持架则会通过装置支柱上的第二滑轨降下，当夹持架将光刻板覆盖后，伸缩杆运转，夹块收缩将光刻板夹紧，随后通过滑轨将光刻板运输至桌体表面靠近技术人员工位的位置，节奏速度与光刻作业相匹配，节省了人员拿取更换光刻板的时间，矩形液压收缩夹持块更加牢固，且夹持位置为光刻板边缘，不会损坏光刻板表面，兼顾取料效率和质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的侧面结构示意图；

图3为本发明的A处放大结构示意图。

图中：1、工作台；2、支座；3、取板装置；4、垫台；5、光刻板存放处；61、第一滑轨；62、第二滑轨；7、控制台；81、第一滑块；82、第二滑块；9、支撑柱；10、变频箱；11、顶梁；12、连接架；13、机箱；14、夹持架；15、伸缩杆；16、夹块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明为一种光刻机的光刻板取料装置，包括工作台1，工作台1顶部设置有光刻板存放处5，且底部设置有支座2，支座2顶部与工作台1底部固定连接；支座2两侧顶部均固定连接有垫台4，两个垫台4顶面均安装有第一滑轨61，两个第一滑轨61底部分别与两个垫台4的顶面通过螺钉固定连接；第一滑轨61上安装有取板装置3，取板装置3两侧底部分别与两个第一滑轨61滑动连接；工作台1远离光刻板存放处5的一端设置有控制台7，控制台7背面与工作台1通过连接线电性连接。

如图2所示，两个第一滑轨61表面均安装有第一滑块81，两个第一滑块81相对侧分别与两个第一滑轨61表面滑动连接。

两个第一滑块81顶部均安装有支撑柱9，两个支撑柱9的底部分别与两个第一滑块81的顶部固定连接；取板装置3右侧安装有变频箱10，变频箱10与取板装置3右侧固定连接；两个支撑柱9顶部之间设置有顶梁11，顶梁11两端分别与两个支撑柱9顶部固定连接；两个支撑柱9相对侧均设置有第二滑轨62，两个第二滑轨62相背侧分别与两个支撑柱9固定连接；两个第二滑轨62表面均安装有第二滑块82，两个第二滑块82分别与两个第二滑轨62表面滑动连接；两个第二滑块82之间安装有机箱13，机箱13两侧均安装有连接架12，连接架12两端分别与机箱13的一侧和第二滑块82固定连接。

如图3所示，机箱13底部设置有四个夹持架14，四个夹持架14的顶部均与机箱13底部固定连接，且呈矩形排布；四个夹持架14内侧均安装有伸缩杆15和夹块16，伸缩杆15的两端分别与夹持架14和夹块16固定连接。

最后应说明的是：在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (7)

1.一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，包括工作台（1），所述工作台（1）顶部设置有光刻板存放处（5），且底部设置有支座（2），所述支座（2）顶部与工作台（1）底部固定连接；所述支座（2）两侧顶部均固定连接有垫台（4），两个所述垫台（4）顶面均安装有第一滑轨（61），两个所述第一滑轨（61）底部分别与两个垫台（4）的顶面通过螺钉固定连接；所述第一滑轨（61）上安装有取板装置（3），所述取板装置（3）两侧底部分别与两个第一滑轨（61）滑动连接；所述工作台（1）远离光刻板存放处（5）的一端设置有控制台（7），所述控制台（7）背面与工作台（1）通过连接线电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，两个所述第一滑轨（61）表面均安装有第一滑块（81），两个所述第一滑块（81）相对侧分别与两个第一滑轨（61）表面滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，两个所述第一滑块（81）顶部均安装有支撑柱（9），两个所述支撑柱（9）的底部分别与两个所述第一滑块（81）的顶部固定连接；所述取板装置（3）右侧安装有变频箱（10），所述变频箱（10）与取板装置（3）右侧固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，两个所述支撑柱（9）顶部之间设置有顶梁（11），所述顶梁（11）两端分别与两个支撑柱（9）顶部固定连接；两个所述支撑柱（9）相对侧均设置有第二滑轨（62），两个所述第二滑轨（62）相背侧分别与两个支撑柱（9）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，两个所述第二滑轨（62）表面均安装有第二滑块（82），两个所述第二滑块（82）分别与两个第二滑轨（62）表面滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，两个所述第二滑块（82）之间安装有机箱（13），所述机箱（13）两侧均安装有连接架（12），所述连接架（12）两端分别与机箱（13）的一侧和第二滑块（82）固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机的光刻板取料装置，其特征在于，所述机箱（13）底部设置有四个夹持架（14），四个所述夹持架（14）的顶部均与机箱（13）底部固定连接，且呈矩形排布；四个所述夹持架（14）内侧均安装有伸缩杆（15）和夹块（16），所述伸缩杆（15）的两端分别与夹持架（14）和夹块（16）固定连接。

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