CN116001387A - 一种dcb增加铜厚的方法 - Google Patents
一种dcb增加铜厚的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116001387A CN116001387A CN202211735117.5A CN202211735117A CN116001387A CN 116001387 A CN116001387 A CN 116001387A CN 202211735117 A CN202211735117 A CN 202211735117A CN 116001387 A CN116001387 A CN 116001387A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thickness
- copper
- dcb
- copper sheet
- increasing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims abstract description 125
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 119
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 117
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000009279 wet oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 6
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(I) oxide Inorganic materials [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229940112669 cuprous oxide Drugs 0.000 claims description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 15
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 14
- KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N cuprous oxide Chemical compound [O-2].[Cu+].[Cu+] KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
本发明公开了一种DCB增加铜厚的方法,涉及陶瓷覆铜基板加工领域,旨在解决增加DCB铜厚的问题,其技术方案要点是:一种DCB增加铜厚的方法,包括以下步骤:1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;4)氧化完成后进行水洗、烘干;5)堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。本发明的一种DCB增加铜厚的方法,有效增加了DCB的铜厚,并且厚度精度值高,工艺简单无污染。
Description
技术领域
本发明涉及陶瓷覆铜基板制备的技术领域,更具体地说,它涉及一种DCB增加铜厚的方法。
背景技术
申请人于2022年07月19日申请了一篇增加DCB铜厚的方法,其专利号为202210845532X。
上述专利提供了一种增加DCB铜厚的方法,通过采用干法热氧化烧结的方式对铜片底面进行氧化烧结,得到增厚的覆铜陶瓷基板。
本发明提供另一种方法来增加DCB的铜厚。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种DCB增加铜厚的方法,通过湿法氧化铜片后与陶瓷覆铜基板进行烧结,稳定性高,工艺环保。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种DCB增加铜厚的方法,包括以下步骤:
1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;
2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;
3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;
4)氧化完成后进行水洗、烘干;
堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。
本发明进一步设置为:在步骤3中,湿法氧化后在铜片表面形成均匀的氧化亚铜层,其反应过程为:4Cu+2KMnO4→2Cu2O+K2MnO4+MnO2。
本发明进一步设置为:在步骤5中,将具有氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上加热,氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜-氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,并形成镶嵌结构。
本发明进一步设置为:在加热完成后放入振动盘中进行机械振动,振动完成后进行降温冷却,在降温的过程中,铜-氧化亚铜共晶液逐渐凝固,在铜-陶瓷的界面上形成了Cu-CuAlO2的结合面、Al2O3-CuAlO2的结合面以及Cu2O-CuAlO2的结合面。
本发明进一步设置为:振动时间为5-10s;并且降温至零下20-零下60℃,降温时间为3-5min,然后恢复至常温。
本发明进一步设置为:该反应过程包括:Cu2O+Al2O3→2CuAlO2。
本发明进一步设置为:在湿法氧化工艺中,高锰酸钾浓度为25g/L,氧化液浓度控制在0.14-0.17mol/L,PH控制在2.5-3.5;氧化液密度控制在1.09-1.11g/cm3,氧化液温度控制在65-70℃,氧化时间30s。
本发明进一步设置为:在步骤1中,当DCB铜片厚度为0.4mm时,厚度组合方式为两片0.2mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.45mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.5mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.3mm铜片堆叠复合或两片0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.55mm时,厚度组合方式为0.25mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.6mm时,厚度组合方式为两片0.3mm铜片堆叠复合。
本发明进一步设置为:在步骤2中,清洗工艺包括除油-水洗-微蚀-水洗-酸洗-热水洗-超声波水洗-烘干-冷却。
本发明进一步设置为:其中微蚀的控制条件包括:H2SO4浓度2-4%;过硫酸钠40-80g/L;温度为25±5℃。
综上所述,本发明具有以下有益效果:
1、根据需求将铜厚进行分解,例如0.4mm=0.2mm+0.2mm、0.45mm=0.2mm+0.25mm、0.5mm=0.2mm+0.3mm或0.25mm+0.25mm,0.55mm=0.25mm+0.3mm;
2、将所需求的铜片进行湿法氧化预处理,将铜片的进行氧化,形成氧化层;
3、利用烧结工艺将两层铜片和瓷片进行堆叠烧结,最终形成特定铜厚的DCB产品。
具体实施方式
下面结合实施例,对本发明进行详细描述。
一种DCB增加铜厚的方法,主要包括以下步骤:
1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;
2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;
3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;
4)氧化完成后进行水洗、烘干;
堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。
其中,在步骤3中,湿法氧化后在铜片表面形成均匀的氧化亚铜层,其反应过程为:4Cu+2KMnO4→2Cu2O+K2MnO4+MnO2;其中高锰酸钾浓度为25g/L,氧化时间:30s。
在步骤5中,将具有氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上加热,氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜-氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,并形成镶嵌结构。
在加热完成后进行机械振动,机械振动可以采用振动盘,将加热完成后的瓷片放置在振动盘上振动5-10s,使内部结构充分接触,然后迅速进行降温,在短时间3-5min之内降温冷却,使其迅速至于零下20-零下60℃,在降温的过程中,铜-氧化亚铜共晶液迅速凝固,在铜-陶瓷的界面上形成了具有更加稳定结构的Cu-CuAlO2、Al2O3-CuAlO2、Cu2O-CuAlO2的三种结合面,该反应过程包括:Cu2O+Al2O3→2CuAlO2。
在步骤1中,当DCB铜片厚度为0.4mm时,厚度组合方式为两片0.2mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.45mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.5mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.3mm铜片堆叠复合或两片0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.55mm时,厚度组合方式为0.25mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.6mm时,厚度组合方式为两片0.3mm铜片堆叠复合。
在步骤2中,清洗工艺包括除油-水洗-微蚀-水洗-酸洗-热水洗-超声波水洗-烘干-冷却;其中微蚀的控制条件包括:H2SO4浓度2-4%;过硫酸钠40-80g/L;温度为25±5℃。
以下以0.4mm铜厚进行举例。
工艺流程包括:上料—铜片清洗—铜片湿法氧化—水洗—水洗—水洗—烘干—下料。
其中,铜片清洗:除油—水洗—微蚀—水洗—酸洗—热水洗—超声波水洗—烘干—冷却;
目的:去除表面油污,去除铜片上的油渍、污渍、氧化物。
铜片湿法氧化:在铜片表面形成一定的氧化层。
湿法氧化工艺是一种化学氧化工艺,它的机理是使用氧化剂在溶液中对铜片进行化学氧化。湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂,在溶液中氧化剂与铜发生如下化学反应:
4Cu+2KMnO4→2Cu2O+K2MnO4+MnO2
在溶液中氧化反应能在铜的表面形成均匀的氧化亚铜层;与此同时,氧化亚铜层上引入二氧化锰。
其中铜片的清洗工艺参数:
铜片湿法氧化的工艺参数:高温酸钾浓度:25g/L,氧化时间:30s;
将氧化好的铜片进行堆叠烧结,氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上,在高温的条件下氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜-氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,在机械振动的作用下并结合迅速降温,使其形成了一定的镶嵌结构,提供了机械互锁作用。在降温的过程中,铜-氧化亚铜共晶液逐渐凝固,在铜-陶瓷的界面上形成了结合强度较高的Cu-CuAlO2、Al2O3-CuAlO2、Cu2O-CuAlO2的三种结合面;
其反应式为:Cu2O+Al2O3→2CuAlO2;
通过上述反应,在金属Cu和Al2O3之间形成牢固连接。
本发明提供了一种新的氧化铝陶瓷基板的增加铜厚的方法,使用化学氧化工艺代替在热氧化铜片的同时,在氧化层中引入MnO2,烧结后形成含锰的尖晶石的界面结构,大大改善覆铜陶瓷基板抗弯强度、冷热循环寿命、进而调高了现有产品的可靠性及使用寿命。湿法氧化的均匀性主要由浓度和反应温度决定,对比热氧化工艺,湿法氧化工艺的可控性更好,良品率更高。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;
2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;
3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;
4)氧化完成后进行水洗、烘干;
5)堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。
2.根据权利要求1所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在步骤3中,湿法氧化后在铜片表面形成均匀的氧化亚铜层,其反应过程为:4Cu+2KMnO4→2Cu2O+K2MnO4+MnO2。
3.根据权利要求1所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在步骤5中,将具有氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上加热,氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜-氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,并形成镶嵌结构。
4.根据权利要求3所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在加热完成后放入振动盘中进行机械振动,振动完成后进行降温冷却,在降温的过程中,铜-氧化亚铜共晶液逐渐凝固,在铜-陶瓷的界面上形成了Cu-CuAlO2的结合面、Al2O3-CuAlO2的结合面以及Cu2O-CuAlO2的结合面。
5.根据权利要求4所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:振动时间为5-10s;并且降温至零下20-零下60℃,降温时间为3-5min,然后恢复至常温。
6.根据权利要求4所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:该反应过程包括:Cu2O+Al2O3→2CuAlO2。
7.根据权利要求2所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在湿法氧化工艺中,高锰酸钾浓度为25g/L,氧化液浓度控制在0.14-0.17mol/L,PH控制在2.5-3.5,氧化液密度控制在1.09-1.11g/cm3,氧化液温度控制在65-70℃,氧化时间30s。
8.根据权利要求1所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在步骤1中,当DCB铜片厚度为0.4mm时,厚度组合方式为两片0.2mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.45mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.5mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.3mm铜片堆叠复合或两片0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.55mm时,厚度组合方式为0.25mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.6mm时,厚度组合方式为两片0.3mm铜片堆叠复合。
9.根据权利要求1所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在步骤2中,清洗工艺包括除油-水洗-微蚀-水洗-酸洗-热水洗-超声波水洗-烘干-冷却。
10.根据权利要求9所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:其中微蚀的控制条件包括:H2SO4浓度2-4%;过硫酸钠40-80g/L;温度为25±5℃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211735117.5A CN116001387A (zh) | 2022-12-31 | 2022-12-31 | 一种dcb增加铜厚的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211735117.5A CN116001387A (zh) | 2022-12-31 | 2022-12-31 | 一种dcb增加铜厚的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116001387A true CN116001387A (zh) | 2023-04-25 |
Family
ID=86029798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211735117.5A Pending CN116001387A (zh) | 2022-12-31 | 2022-12-31 | 一种dcb增加铜厚的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116001387A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116589298A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-08-15 | 福建华清电子材料科技有限公司 | 改善翘曲的覆厚铜陶瓷基板制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103113126A (zh) * | 2011-11-17 | 2013-05-22 | 上海申和热磁电子有限公司 | 湿法氧化铜片烧结直接敷铜的方法 |
CN109302809A (zh) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 王家富 | 一种印刷电路板表面处理工艺 |
WO2022001983A1 (zh) * | 2020-06-29 | 2022-01-06 | 比亚迪股份有限公司 | 陶瓷覆铜板及制备陶瓷覆铜板的方法 |
CN114230359A (zh) * | 2020-09-09 | 2022-03-25 | 比亚迪股份有限公司 | 一种陶瓷覆铜板及其制备方法 |
CN115107324A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-09-27 | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 | 一种增加dcb铜厚的方法 |
-
2022
- 2022-12-31 CN CN202211735117.5A patent/CN116001387A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103113126A (zh) * | 2011-11-17 | 2013-05-22 | 上海申和热磁电子有限公司 | 湿法氧化铜片烧结直接敷铜的方法 |
CN109302809A (zh) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 王家富 | 一种印刷电路板表面处理工艺 |
WO2022001983A1 (zh) * | 2020-06-29 | 2022-01-06 | 比亚迪股份有限公司 | 陶瓷覆铜板及制备陶瓷覆铜板的方法 |
CN114230359A (zh) * | 2020-09-09 | 2022-03-25 | 比亚迪股份有限公司 | 一种陶瓷覆铜板及其制备方法 |
CN115107324A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-09-27 | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 | 一种增加dcb铜厚的方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
陈亚主编: "《现代实用电镀技术》", 国防工业出版社, pages: 422 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116589298A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-08-15 | 福建华清电子材料科技有限公司 | 改善翘曲的覆厚铜陶瓷基板制备方法 |
CN116589298B (zh) * | 2023-05-23 | 2024-06-07 | 福建华清电子材料科技有限公司 | 改善翘曲的覆厚铜陶瓷基板制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101548091B1 (ko) | 산화물계 세라믹스 회로 기판의 제조 방법 및 산화물계 세라믹스 회로 기판 | |
CN116001387A (zh) | 一种dcb增加铜厚的方法 | |
JP7512507B2 (ja) | セラミック銅被覆積層体及びセラミック銅被覆積層体の製造方法 | |
WO2005075382A1 (ja) | メタライズドセラミックス成形体、その製法およびペルチェ素子 | |
TWI345938B (en) | Multi-layered ceramic substrate and its production method, and electronic device comprising same | |
CN110937913B (zh) | 一种氮化铝陶瓷覆铜基板及其制备方法 | |
CN110999553A (zh) | 陶瓷电路基板的制造方法 | |
US20140338162A1 (en) | Process for producing dcb substrates | |
US6066219A (en) | Process for producing a ceramic substrate and a ceramic substrate | |
CN115557798B (zh) | 一种铜层与陶瓷基板结合牢固的AlN陶瓷覆铜基板及其制备方法 | |
EP3683335A1 (en) | Etching liquid for active metal brazing materials and method for producing ceramic circuit board using same | |
CN102762037B (zh) | 一种陶瓷电路板及其制造方法 | |
JP2003243742A (ja) | セラミック積層体とその製造方法 | |
CN115107324A (zh) | 一种增加dcb铜厚的方法 | |
JP4018264B2 (ja) | アルミニウム−窒化アルミニウム絶縁基板の製造方法 | |
JP3585338B2 (ja) | 窒化アルミニウム基板及びその用途 | |
CN108191449B (zh) | 一种铜-氧化铝陶瓷基板及其制备方法 | |
CN111235420A (zh) | 一种添加镀铜铝片改善鳞片石墨铝基复合材料层间排布均匀性的方法 | |
CN106636719B (zh) | 一种碳化硅增强铝基复合材料的制备方法 | |
CN115073166B (zh) | 一种高温压电织构陶瓷、模板及其制备方法 | |
JP4761595B2 (ja) | メタライズ基板 | |
CN115611659A (zh) | 一种在氮化铝基片表面制备氧化铝和铜镍铝氧复合薄膜的方法 | |
WO2024174802A1 (zh) | 活性金属焊接陶瓷基板的制备方法 | |
Lee et al. | Cu Blackening through CuO Oxidation for the Application of Camera Lens Spacers in Mobile Phones | |
CN110582166A (zh) | 一种dbc与dpc结合的陶瓷板加工方法及陶瓷基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20230425 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |