CN116000014A - 除尘装置 - Google Patents
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- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 102
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 37
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 37
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005422 blasting Methods 0.000 claims description 18
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
在除尘装置中,有效地抑制粉尘类的飞散。一种除尘装置(1),上述除尘装置与工件的被处理面(H)相对地配置,其中,除尘装置(1)包括:设置有朝向工件(W)喷射空气流(S、T)的第一喷射口(7a)的第一喷射室(7);设置有抽吸口(9a)的抽吸室(9),上述抽吸口使第一喷射口(7a)位于其中并配置于其外侧,将附着在被处理面(H)上的粉尘类或漂浮的粉尘类与空气流(S、T)一起进行抽吸;以及设置有第二喷射口(11a)的第二喷射室(11),上述第二喷射口使抽吸口(9a)位于其中并配置于其外侧,并且朝向工件(W)喷射空气流(V),从而阻止从第一喷射口(7a)喷射的空气流(S、T)向抽吸口(9a)的外侧移动。
Description
技术领域
本发明涉及一种除尘装置。
背景技术
以往,为了去除附着于工件表面的粉尘类,从离开工件数mm至数十mm的圆形或狭缝形状的开口喷射压缩空气来将粉尘类吹飞,此时,利用罩子内的管道等对飞散的粉尘类进行集尘。
为了有效地去除被压缩空气吹飞的粉尘类,考虑在压缩空气的喷射口的周边附近设置用于集尘的抽吸口。在专利文献1中,公开了与喷射室的两侧相邻的两个抽吸室为一体结构的除尘头。
在上述专利文献1的除尘头中,在被压缩空气吹飞的粉尘类高速地飞散的情况下,会产生在与喷射口相邻的抽吸口无法彻底地捕集粉尘类的情况。另外,在为了对高速地飞散的粉尘类进行捕集而增加抽吸风量的情况下,空气的抽吸路径的抽吸阻力上升,其结果是会对粉尘类的飞散抑制效果产生限制。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特许第4191439号公报。
发明内容
本发明是鉴于上述实际情况而完成的,本发明所要解决的技术问题在于在除尘装置中有效地抑制粉尘类的飞散。
本发明的一个方面是与工件的被处理面相对地配置的除尘装置。该除尘装置包括第一喷射室、抽吸室和第二喷射室。第一喷射室设置有朝向工件喷射空气流的第一喷射口。抽吸室设置有抽吸口,上述抽吸口使第一喷射口位于上述抽吸口中并配置于上述第一喷射口外侧,并且将附着在被处理面上的粉尘类或漂浮的粉尘类与空气流一起进行抽吸。第二喷射室设置有第二喷射口,上述第二喷射口使抽吸口位于上述第二喷射口中并配置于上述抽吸口外侧,并且朝向工件喷射空气流,从而阻止从第一喷射口喷射的空气流向抽吸口的外侧移动。
从第一喷射口朝向工件喷射空气流,并且利用其外侧的抽吸口将附着在被处理面上的粉尘类或漂浮的粉尘类与空气流一起进行抽吸,进而从其外侧的第二喷射口朝向工件喷射空气流,因此,能够在防止粉尘类向外部流出的同时,抽吸粉尘类。
在本发明的一个方式中,也可以包括位于第一喷射室内且朝向第一喷射口开口的内管,并且将经过内管内的空气流和经过第一喷射室与内管之间的空气流从第一喷射口朝向工件喷射。
由于将经过内管内的空气流和经过第一喷射室与内管之间的空气流朝向工件喷射,因此,能够防止粉尘类逆流到第一喷射室。
在本发明的一个方式中,也可以是第一喷射口在供该喷射口形成的壁部的端面形成为圆形的孔,抽吸口和第二喷射口在端面形成为包围第一喷射口的环状的狭缝。
第一喷射口形成为圆形的孔,抽吸口和第二喷射口形成为包围第一喷射口的环状的狭缝,因此,能够有效地抽吸粉尘类。
在本发明的一个方式中,在第二喷射口设置有对空气流进行整流的整流部。
由于在第二喷射口设置有对空气流进行整流的整流部,因此,能够调节空气流,从而有效地防止粉尘类向外部流出。
在本发明的一个方式中,整流部是朝向工件正交地喷射空气流的环状的狭缝。
由于整流部形成为朝向工件正交地喷射空气流的环状的狭缝,因此,能够产生适当的空气流。
在本发明的一个方式中,第二喷射室构成向第二喷射口供给空气流的缓冲罐。
由于第二喷射室作为向第二喷射口供给空气流的缓冲罐起作用,因此,能够产生稳定的空气流。
在本发明的一个方式中,抽吸室使形成第一喷射室的壁部位于其中而形成为环状空间,并且经由在其切线方向上连接的管路与负压源连接,以在抽吸室内产生螺旋流。
由于在抽吸室内产生螺旋流,因此,能够高效地进行粉尘类的抽吸。
在本发明的一个方式,向第二喷射室供给包含由电离器生成的离子的空气。
由于向第二喷射室供给包含离子的空气,因此,能够对工件表面进行除电,从而有效地去除粉尘类。
在本发明的一个方式中,包括使激光穿过第一喷射室并对工件进行激光加工的激光源。
由于包括使激光穿过第一喷射室的激光源,因此,能够在对工件进行激光加工的同时去除加工中产生的粉尘类。
在本发明的一个方式中,在第一喷射室中插通有喷射对工件进行喷砂加工的喷砂介质的喷嘴。
由于向第一喷射室供给喷砂材料,因此,能够在对工件进行喷砂处理的同时去除处理中产生的粉尘类。
根据本发明,能够提供一种有效地抑制粉尘类的飞散的除尘装置。
附图说明
图1是本发明的实施方式的除尘装置的剖视图。
图2是本发明的实施方式的除尘装置的截面立体图。
图3是本发明的实施方式的除尘装置的透视立体图。
图4是本发明的实施方式的除尘装置的截面立体图。
图5是本发明的实施方式的除尘装置的截面立体图。
图6是本发明的实施方式的除尘装置的剖视图。
图7是本发明的实施方式的除尘装置的剖视图。
符号说明
1、10、20、30除尘装置;
5端面;
7第一喷射室;
7a第一喷射口;
9抽吸室;
9a抽吸口;
9b环状空间;
11第二喷射室;
11a第二喷射口;
13内管;
15整流部;
15a环状的狭缝;
17壁部;
19管路;
21负压源;
23电离器;
33激光源;
43喷射喷砂介质的喷嘴;
W工件;
b喷砂介质;
S、T、U、V空气流;
H工件的被处理面。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(第一实施方式)
本实施方式涉及去除在工件的表面进行各种加工等时产生的粉尘类的除尘装置。
图1是本实施方式的除尘装置1的剖视图。图2和图4是除尘装置1的截面立体图,图2是从上方观察除尘装置1的图,图4是从下方观察除尘装置1的图。图3是除尘装置1的透视立体图。除尘装置1与工件的被处理面H相对地配置,并且对附着于工件或在工件附近漂浮的粉尘类进行抽吸。此处的处理是指利用空气流将工件表面的粉尘类吹飞、如后所述那样利用激光来加工工件、利用喷砂材料来研磨工件表面等其他处理。在除尘装置1的装置主体3中包括:第一喷射室7,上述第一喷射室7设置有朝向工件W喷射空气流的第一喷射口7a;抽吸室9,上述抽吸室9设置有抽吸口9a,上述抽吸口9a使第一喷射口7a位于上述抽吸口9a中并配置于上述第一喷射口7a外侧,并且与空气流一起对附着在被处理面上的粉尘类或漂浮的粉尘类进行抽吸;以及第二喷射室11,上述第二喷射室11设置有第二喷射口11a,上述第二喷射口11a使抽吸口9a位于上述第二喷射口11a中并配置于上述抽吸口9a外侧,并且朝向工件喷射空气流,从而阻止从第一喷射口7a喷射的空气流向抽吸口9a的外侧移动。
除尘装置1还包括位于第一喷射室7内且朝向第一喷射口7a开口的内管13。然后,如图1所示,将被供给到内管13的流入口41且经过内管13内的空气流(箭头S)和被供给到第一喷射室的第一流入口35且经过第一喷射室7与内管13之间的空气流(箭头T)从第一喷射口7a朝向工件W喷射。
如图4所示,第一喷射口7a在形成有该喷射口7a的壁部的端面5(形成有第一喷射口7a和抽吸口9a的一侧的面)形成为圆形的孔。另外,内管13的喷射口13a以面向第一喷射口7a的方式开口。内管13的喷射口13a形成于前端逐渐缩小的圆锥形的前端被切断的部分。该内管13的包括喷射口13a的形状不限于上述形状,也可以是各种变形的形状。例如,也可以在前端不收缩而保持内管13的内径的状态下以面向第一喷射口7a的方式开口,还可以是前端比内径更宽地开口。抽吸口9a和第二喷射口11a在端面5形成为包围第一喷射口7a的环状的狭缝。在第二喷射口11a设置有对空气流进行整流的整流部15。在本实施方式中,整流部15是朝向工件W正交地喷射空气流(图1所示的箭头V)的环状的狭缝15a。该环状的狭缝15a在图中是从上端到下端具有相同尺寸的宽度的狭缝。
如图3所示,从第二流入口39向第二喷射室11供给空气流。在本实施方式中,从两个第二流入口39供给空气流,第二喷射室11在装置主体3内形成为圆环状的空间,并构成向环状的狭缝15a供给空气流的缓冲罐。如图1所示,抽吸室9在排气口37与负压源等(未图示)连接并产生空气流U,从抽吸口9a对从第一喷射口7a和第二喷射口11a喷射的工件W表面状的空气流进行抽吸。如图3所示,在本实施方式中,设置有四个排气口37。在此,与排气口37连接的负压源例如也可以是集尘装置或抽吸泵、风扇等,使排气口37产生负压并产生空气流U,从抽吸口9a对工件W表面状的空气流进行抽吸。
如图3所示,除尘装置1将装置主体3的端面5以与工件W的被处理面H相对的方式配置并开始驱动。端面5与工件W之间的间隙也可以是几mm左右。理想的是2mm以下。如图1所示,对工件W喷射经由第一喷射室7来自第一喷射口7a的空气流T和经由内管13来自内管13的喷射口13a的空气流S,以将工件W上的粉尘类吹飞。空气流T是经过在第一喷射室7内配置的内管13与第一喷射室7之间的间隙而来的空气流。
如图4所示,在第一喷射口7a的周围,抽吸口9a形成为包围第一喷射口7a的环状的狭缝。在抽吸口9a的周围,第二喷射口11a形成为包围抽吸口9a的环状的狭缝。在第二喷射口11a设置有整流部15。由于该整流部15是从上端到下端具有相同尺寸的宽度的狭缝15a,因此,经过该整流部15的空气的流动被调节为一个方向,从其下端开口部向工件喷射的空气构成气帘,从而有效地抑制粉尘类向外侧飞散。如图3所示,从第二流入口39供给的空气流经过作为缓冲罐起作用的第二喷射室11,并从第二喷射口11a作为空气流V(图1)朝向工件W喷射。
从第一喷射口7a喷射的图1所示的空气流S、T、被该空气流吹飞的附着在工件W上的粉尘类或漂浮的粉尘类、以及从第二喷射口11a喷射的空气流V从形成在第一喷射口7a与第二喷射口11a之间的环状的抽吸口9a被抽吸,并作为经过抽吸室9的图1所示的空气流U从排气口37排出。
如上所述,本实施方式的除尘装置1利用从第一喷射口7a向工件W喷射的空气流S、T将工件W上的粉尘类吹飞并从抽吸口9a抽吸。由于在抽吸口9a的周围环状地设置有第二喷射口11a,并朝向工件W喷射空气流V,因此,能够通过形成为环状的气帘状的空气流V有效地抑制从工件W吹飞的粉尘类向装置外部泄漏。
从第一喷射口7a朝向工件W喷射来自内管13的空气流S和经过内管13与第一喷射室7之间的空气流T,因此,能够通过空气流T对粉尘类返回到第一喷射口7a进行抑制,从而实现效率良好的除尘。由于抽吸口9a包围第一喷射口7a并形成为环状,因此,能够可靠地抽吸被空气流S、T吹飞的粉尘类。在抽吸口9a的周围环状地形成有第二喷射口11a,并朝向工件W喷射空气流V,因此,即使为了强化粉尘类的抽吸而增加来自抽吸口9a的抽吸力,也能够妨碍工件W吸附在抽吸口9a上,从而防止工件W浮起。
由于在第二喷射口11a设置有整流部15,因此,能够使来自第二喷射口11a的空气流的矢量一致,从而得到防止粉尘类的飞散的期望的空气流。由于第二喷射室11作为缓冲罐起作用,因此,即使如本实施方式那样从个数较少的第二流入口39供给空气流,也能够使来自第二喷射口11a的空气流V的压力与位置无关地均等地喷射。如此,能够提供一种能够有效地抑制粉尘类向装置外部的泄漏并防止因抽吸导致的工件的吸附的除尘装置1。
(变形例)
在本变形例中,如图3所示,向第二喷射室11供给包含由电离器27生成的离子的空气。除此之外的部分具有与其他实施方式相同的结构,本变形例能够应用于上述实施方式以及后述的实施方式。在本变形例中,除了各个实施方式的作用效果之外,还可以从第二喷射口11a朝向工件W喷射包含离子的空气,对工件W进行除电,从而有效地去除通过静电附着的粉尘类。
(第二实施方式)
图5表示本实施方式的除尘装置10。本实施方式与上述第一实施方式的不同之处在于,第一实施方式中的设置于抽吸室9的图3所示的排气口37的部分。在本实施方式中,抽吸室9使形成第一喷射室7的壁部17位于其中而形成为环状空间9b,并且经由在其切线方向上连接的管路19与负压源21连接,以在抽吸室内9产生螺旋流。其他结构与第一实施方式相同,除了第一实施方式的作用效果之外,还能够通过在抽吸室9内产生的螺旋流从工件W高效地抽吸粉尘类。
(第三实施方式)
图6表示本实施方式的除尘装置20。本实施方式的除尘装置20包括使激光穿过第一喷射室7内的内管13并对工件W进行激光加工的激光源33。在本实施方式中,通过其他实施方式的作用效果,在对工件W进行激光加工时,能够高效地去除由激光加工产生的粉尘类。
(第四实施方式)
图7表示本实施方式的除尘装置30。在本实施方式的除尘装置30中,在第一喷射室7内的内管13中插通有喷射对工件W进行喷砂加工的喷砂介质b的喷嘴43。在本实施方式中,通过其他实施方式的作用效果,在对工件W进行喷砂加工时,能够高效地去除由喷砂加工产生的粉尘类。
(附记事项)
本发明不限定于上述各实施方式,在权利要求所示的范围内能够进行各种变更,将不同实施方式中分别公开的技术手段适当组合而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。
Claims (10)
1.一种除尘装置,
所述除尘装置与工件的被处理面相对地配置,其中,
所述除尘装置包括:
第一喷射室,所述第一喷射室设置有朝向所述工件喷射空气流的第一喷射口;
抽吸室,所述抽吸室设置有抽吸口,所述抽吸口使所述第一喷射口位于所述抽吸口中并配置于所述第一喷射口的外侧,将附着在所述被处理面上的粉尘类或漂浮的粉尘类与所述空气流一起进行抽吸;以及
第二喷射室,所述第二喷射室设置有第二喷射口,所述第二喷射口使所述抽吸口位于所述第二喷射口中并配置于所述抽吸口的外侧,并且朝向所述工件喷射空气流,从而阻止从所述第一喷射口喷射的空气流向所述抽吸口的外侧移动。
2.如权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,
所述除尘装置包括位于所述第一喷射室内且朝向所述第一喷射口开口的内管,将经过所述内管内的空气流和经过所述第一喷射室与所述内管之间的空气流从所述第一喷射口朝向所述工件喷射。
3.如权利要求1或2所述的除尘装置,其特征在于,
所述第一喷射口在供该第一喷射口形成的壁部的端面形成为圆形的孔,所述抽吸口和所述第二喷射口在所述端面形成为包围所述第一喷射口的环状的狭缝。
4.如权利要求1至3中任一项所述的除尘装置,其特征在于,
在所述第二喷射口设置有对空气流进行整流的整流部。
5.如权利要求4所述的除尘装置,其特征在于,
所述整流部形成为朝向所述工件正交地喷射所述空气流的环状的狭缝。
6.如权利要求1至5中任一项所述的除尘装置,其特征在于,
所述第二喷射室构成向所述第二喷射口供给空气流的缓冲罐。
7.如权利要求3至6中任一项所述的除尘装置,其特征在于,
所述抽吸室使形成所述第一喷射室的壁部位于所述抽吸室中而形成为环状空间,并且经由在其切线方向上连接的管路与负压源连接,以在所述抽吸室内产生螺旋流。
8.如权利要求1至7中任一项所述的除尘装置,其特征在于,
向所述第二喷射室供给包含由电离器生成的离子的空气。
9.如权利要求1至8中任一项所述的除尘装置,其特征在于,
所述除尘装置包括使激光穿过所述第一喷射室并对所述工件进行激光加工的激光源。
10.如权利要求1至8中任一项所述的除尘装置,其特征在于,
在所述第一喷射室中插通有喷射对所述工件进行喷砂加工的喷砂介质的喷嘴。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021-172908 | 2021-10-22 | ||
JP2021172908A JP2023062801A (ja) | 2021-10-22 | 2021-10-22 | 除塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116000014A true CN116000014A (zh) | 2023-04-25 |
Family
ID=86021807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211272028.1A Pending CN116000014A (zh) | 2021-10-22 | 2022-10-18 | 除尘装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023062801A (zh) |
CN (1) | CN116000014A (zh) |
-
2021
- 2021-10-22 JP JP2021172908A patent/JP2023062801A/ja active Pending
-
2022
- 2022-10-18 CN CN202211272028.1A patent/CN116000014A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023062801A (ja) | 2023-05-09 |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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