CN115890184B - 垫块拆装装置及机械手的垫块拆装方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种垫块拆装装置及机械手的垫块拆装方法。涉及半导体技术领域。垫块拆装装置包括：本体、安装部、第一杆体和第一抵接部。安装部与本体连接，包括第一开孔和第一容置区域，第一开孔包括相对设置的第一端口和第二端口，第二端口与第一容置区域相对设置，第一容置区域用于放置机械手。第一杆体插设在第一开孔，第一杆体靠近第二端口的第一端设置有连接部。第一抵接部包括相背离设置的第一端面和第二端面，第一端面与连接部连接，第二端面用于在第一杆体的带动下与位于机械手的固定孔处的待安装的垫块的第一接触面接触，待安装的垫块的第一接触面用于固定晶圆。根据本公开的方案，可以高效完成机械手的垫块安装与拆卸。

Description

垫块拆装装置及机械手的垫块拆装方法

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种垫块拆装装置及机械手的垫块拆装方法。

背景技术

为了减少机械手在传输晶圆的过程中对晶圆损伤，机械手上会安装垫块，晶圆只与垫块接触，以实现利用垫块完成机械手对晶圆的传输过程。

发明内容

本公开提供了一种垫块拆装装置及机械手的垫块拆装方法。

根据本公开的一方面，提供了一种垫块拆装装置，应用于传输晶圆的机械手，包括：

本体；

安装部，与本体连接，包括第一开孔和第一容置区域，第一开孔包括相对设置的第一端口和第二端口，第二端口与第一容置区域相对设置，第一容置区域用于放置机械手；

第一杆体，可升降地插设在第一开孔，第一杆体靠近第二端口的第一端设置有连接部；

第一抵接部，包括相背离设置的第一端面和第二端面，第一端面与连接部连接，第二端面用于在第一杆体的带动下与位于机械手的固定孔处的待安装的垫块的第一接触面接触，待安装的垫块的第一接触面用于固定晶圆。

根据本公开的另一方面，提供了机械手的垫块拆装方法，包括：

将机械手放置于本公开任一实施方式的垫块拆装装置的第一容置区域中；

将机械手的固定孔与垫块拆装装置的第一开孔的第二端口对齐；

将待安装的垫块放置于固定孔；

控制垫块拆装装置的第一杆体的第一端朝向第一容置区域移动，以使垫块拆装装置的第一抵接部的第二端面与待安装的垫块的第一接触面接触；

在第二端面与待安装的垫块的第一接触面接触的情况下，控制第一杆体的第一端继续向第一容置区域移动，以使第二端面将待安装的垫块压入固定孔中，以完成待安装的垫块的安装。

根据本公开的实施方式，可以高效完成机械手的垫块安装与拆卸。

应当理解，发明内容部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。

附图说明

结合附图并参考以下详细说明，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：

图1是本公开实施例的垫块拆装装置的剖视图；

图2是本公开实施例的垫块拆装装置的第一杆体与第一抵接部连接的剖视图；

图3是本公开实施例的垫块拆装装置的安装部的使用状态示意图；

图4是本公开实施例的垫块拆装装置的安装部的使用状态示意图；

图5是本公开实施例的垫块拆装装置的另一示例的剖视图；

图6是本公开实施例的垫块拆装装置的立体结构示意图；

图7是本公开实施例的垫块拆装装置的第一抵接部的立体结构示意图；

图8是本公开实施例的机械手的垫块的剖视图；

图9是本公开实施例的机械手的立体结构示意图；

图10是本公开实施例的垫块拆装装置的拆卸部的使用状态示意图；

图11是本公开实施例的垫块拆装装置的拆卸部的使用状态示意图；

图12是本公开实施例的机械手的垫块拆装方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的示范性实施例做出说明，其中包括本公开实施例的各种细节以助于理解，应当将它们认为仅仅是示范性的。因此，本领域普通技术人员应当认识到，可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改，而不会背离本公开的范围和精神。同样，为了清楚和简明，以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。

如图1至图8所示，本公开实施例提供了一种垫块拆装装置，应用于传输晶圆的机械手4(如图9所示)，包括：本体1、安装部100、第一杆体15和第一抵接部6。

安装部100与本体1连接，安装部100用于将待安装的垫块7装入到机械手4的固定孔16中。安装部100包括第一开孔2和第一容置区域3。第一开孔2包括相对设置的第一端口21和第二端口22，第二端口22与第一容置区域3相对设置。第一容置区域3用于放置机械手4(如图3、图4所示)。

第一杆体15可升降地插设在第一开孔2。第一杆体15靠近第二端口22的第一端设置有连接部5。

第一抵接部6包括相背离设置的第一端面61和第二端面62。第一端面61与连接部5连接。第二端面62用于在第一杆体15的带动下与位于机械手4的固定孔16处的待安装的垫块7的第一接触面71接触(如图3、图4所示)。待安装的垫块7的第一接触面71用于在机械手4传输晶圆的过程中固定晶圆。

根据本公开实施例，需要说明的是：

定义本公开各实施例中所述的水平方向为图1中的垫块拆装装置由左到右的方向。所述的竖直方向为图1中的垫块拆装装置由上到下的方向。

安装部100的设置位置，可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。例如，如图1所示，安装部100设置在本体1左侧的一端。

第一开孔2包括相对设置的第一端口21和第二端口22，第二端口22与第一容置区域3相对设置，可以理解为：第一开孔2贯穿本体1形成有第一端口21和第二端口22，远离第一容置区域3的端口为第一端口21，靠近第一容置区域3的端口为第二端口22，第二端口22与第一容置区域3连通。

第一容置区域3的设置位置，可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。例如，如图1、图3、图4、图5和图6所示，第一容置区域3为开设在本体1上并沿水平方向向本体1内部延伸的开槽。又如，第一容置区域3为第二端口22与垫块拆装装置所放置的平面之间所夹区域，即第二端口22下方的整个空间为第一容置区域3。

第一杆体15可升降地插设在第一开孔2，可以理解为第一杆体15与第一开孔2之间可以通过任何可升降机构进行连接，以实现第一杆体15在第一开孔2中进行升降运动。例如，通过滑轨结构或者通过螺纹结构等方式实现升降运动。需要说明的是，第一杆体15在第一开孔2中的升降方向与机械手4的固定孔16的长度方向一致，以使在第一杆体15朝向固定孔16移动时，顺利将待安装的垫块7压入固定孔16。

第一杆体15靠近第二端口22的第一端设置有连接部5，可以理解为第一杆体15的第一端的端部设置有连接部5，或者靠近第一杆体15的第一端的位置设置有连接部5。连接部5的具体设置位置可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。

相背离设置的第一端面61和第二端面62，可以理解为相对设置且中心位于同一轴线上的两个端面。

第一端面61与连接部5连接，可以理解为在第一杆体15带动连接部5朝向第一容置区域3移动的情况下，连接部5带动第一抵接部6一同朝向第一容置区域3移动，且第一抵接部6保持相对静止。

待安装的垫块7的第一接触面71可以理解为在安装在机械手4中之后，用于固定晶圆的端面。如图8所示，待安装的垫块7至少包含两个相对设置的第一接触面71和第二接触面72，第二接触面72为插入固定孔16内且远离第一接触面71的一侧端面。

第二端面62用于在第一杆体15的带动下与位于机械手4的固定孔16的待安装的垫块7的第一接触面71接触，可以理解为在第一杆体15向第一容置区域3方向移动的情况下，带动第一抵接部6一同朝向第一容置区域3移动，从而实现使第二端面62与第一接触面71接触，随着第二端面62与待安装的垫块7之间的相互作用力，待安装的垫块7被挤压至机械手4的固定孔16中。

本体1的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。第一容置区域3的形状和尺寸可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。第一开孔2的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。第一端口21和第二端口22的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。第一杆体15的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。第一抵接部6的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。机械手4的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。固定孔16的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。待安装的垫块7的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定，满足与固定孔16适配即可。

本公开实施例的垫块拆装装置的工作过程为：将机械手4放置于第一容置区域3中，并将机械手4的固定孔16与垫块拆装装置的第一开孔2的第二端口22对齐。将待安装的待安装的垫块7放置于固定孔16。控制第一杆体15沿第一开孔2朝向第一容置区域3移动，以带动第一抵接部6一同朝向第一容置区域3移动，使第一抵接部6的第二端面62与待安装的垫块7的第一接触面71接触。在第二端面62与第一接触面71接触的情况下，控制第一杆体15的第一端继续向第一容置区域3移动，以使第二端面62在挤压作用力下将待安装的垫块7压入固定孔16中，以完成待安装的垫块7的安装。

根据本公开实施例，利用本公开实施例的垫块拆装装置可以高效完成机械手的垫块安装。通过第一杆体15的作用，使第一杆体15朝向第一容置区域3方向移动，带动第一抵接部6与机械手4上用于固定晶圆的待安装的垫块7的第一接触面71接触并将待安装的垫块7压入相应的固定孔16中，避免第一杆体15与第一接触面71直接接触，减少对第一接触面71的损伤。

在一个示例中，通过旋转第一杆体15使第一杆体15向第一容置区域3方向移动，在连接部5与第一杆体15同频旋转的情况下，第一抵接部6保持相对静止的向下移动，与机械手4上用于固定晶圆的待安装的垫块7的第一接触面71接触并将待安装的垫块7压入相应的固定孔中，避免第一杆体15与第一接触面71直接接触，对第一接触面71造成损伤。

在一种实施例中，如图7所示，第一端面61设置有第一开口8，连接部5通过第一开口8与第一抵接部6内部的第一腔体9可转动地连接。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第一端面61设置有第一开口8，可以理解为第一端面61对应连接部5的位置设置有第一开口8。

第一抵接部6内部的第一腔体9。可以理解为在第一开口8位置向第一抵接部6的中心处延伸有第一腔体9，用于容置连接部5。

连接部5通过第一开口8与第一抵接部6内部的第一腔体9可转动地连接，可以理解为连接部5通过第一开口8插入第一腔体9内，在第一杆体15通过相对第一开孔2进行转动的方式实现在第一开孔2中升降时，第一杆体15可以带动连接部5在第一腔体9内相对旋转。以实现，在第一杆体15在朝向第一容置区域3旋转下降时，可以带动第一抵接部6一并向第一容置区域3移动，同时在连接部5的作用下，使第一抵接部6保持静态，不随第一杆体15一同旋转，尽可能减小第一抵接部6与待安装的垫块7接触时对待安装的垫块7的第一接触面71产生磨损。

第一开口8的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定，满足连接部5可以通过并能够与第一抵接部6保持稳固连接即可。例如，第一开口8的口径可以略小于连接部5的外缘尺寸，以使连接部5可以在外力的作用下穿过第一开口8，并不会轻易从第一开口8脱出。

第一腔体9的形状和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定，满足可以容置连接部5即可。

根据本公开实施例，连接部5进入第一抵接部6内部与第一腔体9连接，可以固定第一抵接部6。同时连接部5与第一腔体9的相对旋转，可以避免第一抵接部6随第一杆体15一同做旋转运动，使第一抵接部6能够在不做旋转运动保持静态的情况下，朝向第一容置区域3移动，尽可能减小第一抵接部6与待安装的垫块7接触时第二端面62对第一接触面71产生磨损，以使第一接触面71能够不受损坏，满足机械手4运输晶圆时，与晶圆的接触需求。

在一个示例中，第一开口8设置于第一端面61的中心位置。在第一杆体15对第一抵接部6下压时，第一抵接部6整体可以均匀受力，并将压力均匀的传递给第一抵接部6的第二端面62，以使第二端面62受力均匀，从而使第二端面62在挤压待安装的垫块7时，待安装的垫块7的第一接触面71可以均匀受力，保证待安装的垫块7平稳的压入固定孔16中。

在一个示例中，连接部5的外缘形状与第一腔体9的内壁形状适配。使连接部5可以在第一腔体9内保持相对旋转。

在一种实施例中，如图5所示，第一端面61还设置有槽口10，槽口10由第一端面61向第二端面62延伸且沿第一开口8的径向贯穿第一开口8。

根据本公开实施例，需要说明的是：

沿第一开口8的径向贯穿第一开口8，可以理解为槽口10沿第一开口8的直径方向向两端延伸，以贯穿第一开口8。其中，槽口10的长度可以根据需要选择和调整，例如，槽口10的长度大于第一开口8的直径，但小于第一端面61的直径。又如，槽口10的长度大于第一端面61的直径。

槽口10由第一端面61向第二端面62延伸且沿第一开口8的径向贯穿第一开口8，可以理解为槽口10分割第一开口8且向第二端面62延伸，同时分割第一腔体9。

根据本公开实施例，通过设置贯穿第一开口8的槽口10，可以使第一开口8具备更高的挤压变形能力，使尺寸略大于第一开口8的连接部5可以更容易的穿过第一开口8并插入第一腔体9。

在一种实施例中，如图1、图3、图4、图5所示，第一开孔2包括第一子导向孔11和第二子导向孔12。第一子导向孔11的第一端形成第一端口21，第一子导向孔11的第二端与第二子导向孔12的第一端连通，第二子导向孔12的第二端形成第二端口22。

第一杆体15可升降地插设在第一子导向孔11中，且第一杆体15的第一端延伸至第二子导向孔12。

第一抵接部6可滑动地设置在第二子导向孔12中，且在第一杆体15的带动下可朝向第一容置区域3延伸。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第一杆体15可升降地插设在第一子导向孔11中，可以理解为第一杆体15与第一子导向孔11之间可以通过任何可升降机构进行连接，以实现第一杆体15在第一子导向孔11中进行升降运动。例如，通过滑轨结构或者通过螺纹结构等方式实现升降运动。需要说明的是，第一杆体15在第一子导向孔11中的升降方向与机械手4的固定孔16的长度方向一致，以使在第一杆体15朝向固定孔16移动时，顺利将待安装的垫块7压入固定孔16。

第一抵接部6可滑动地设置在第二子导向孔12中，可以理解为第二子导向孔12的形状与第一抵接部6适配，在第一杆体15进行升降运动时，第一抵接部6在第一杆体15的带动下，能够在第二子导向孔12中上下滑动。具体滑动方式可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。如第一抵接部6通过滑轨结构与第二子导向孔12滑动连接。又如，第一抵接部6直接作为滑块，第二子导向孔12直接作为滑轨，第一抵接部6的外表面与第二子导向孔12的内侧壁直接接触，实现滑动连接。

根据本公开实施例，第二子导向孔12可以更好的固定第一抵接部6，防止在第一抵接部6向第一容置区域3移动的过程中发生晃动，起到导向作用。同时，在第一杆体15旋转的情况下，第二子导向孔12可以保持第一抵接部6相对处于静止状态，在第一杆体15带动连接部5转动时，使第二子导向孔12不会随之旋转，保证第一抵接部6在第一杆体15的带动下，仅能够在第二子导向孔12内做升降运动。尽可能减小第一抵接部6与待安装的垫块7接触时第二端面62对待安装的垫块7的第一接触面71产生磨损，以使第一接触面71能够不受损坏，满足机械手4运输晶圆时，与晶圆的接触需求。

在一种实施例中，连接部5的第一端的端面设置为平面。

根据本公开实施例，需要说明的是：

连接部5的第一端的端面，可以理解为第一杆体15的第一端设置有连接部5，连接部5与第一抵接部6接触的端面为连接部5的第一端的端面。或者靠近第一杆体15的第一端的位置设置有连接部5，第一杆体15与第一抵接部6接触的端面为连接部5的第一端的端面。

根据本公开实施例，将连接部5的第一端的端面设置为平面，增大了连接部5与第一抵接部6的接触面积，降低了第一杆体15的第一端与第一抵接部6的第一腔体9的内部底面接触所产生的磨损，提高使用寿命。同时，平面可以更均匀的将力传递给第一抵接部6。

在一种实施例中，如图1、图3、图4和图5所示，安装部100还包括有间隔设置的第一支臂13和第二支臂14，第一支臂13和第二支臂14之间形成第一容置区域3，第一支臂13设置有第一开孔2。第一支臂13用于承载第一杆体15和第一抵接部6。在机械手4插入第一容置区域3的情况下，第二支臂14用于承载机械手4和晶圆待安装的垫块7。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第一支臂13和第二支臂14的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。

根据本公开实施例，设置于第一支臂13和第二支臂14之间的第一容置区域3可以使机械手4稳固的插入其中，在安装待安装的垫块7时，可以提高机械手4的稳定性，使得第一抵接部6可以准确的将待安装的垫块7压入机械手4的固定孔16中。

在一个示例中，垫块拆装装置还包括支撑部，支撑部与本体1连接。支撑部具有支撑面，支撑面用于与垫块拆装装置所放置的平面接触，以实现将本体1稳固的支撑在垫块拆装装置所放置的平面上。

根据本公开实施例，在使用垫块拆装装置安装机械手4的待安装的垫块7时，保证本体1不会产生晃动，使待安装的垫块7能够准确的压入固定孔16中。

在一种实施例中，第二支臂14沿第一杆体15的升降方向可滑动地与安装部100连接。

根据本公开实施例，需要说明的是：

可滑动地与安装部100连接。可以理解为第二支臂14整体可滑动地与安装部100连接，或者第二支臂14用于承载机械手4的部分可滑动地与安装部100连接。其中，第二支臂14的可滑动部分可以根据机械手4的厚度不同，进行选择和调整，在此不做具体限定。可滑动方式可以采用任何可滑动机构，在此不做具体限定。

根据本公开实施例，通过滑动第二支臂14可以调整第一容置区域3的空间大小，进而可以放置不同尺寸的机械手4。

在一种实施例中，第一杆体15的外侧壁设置有第一螺纹，第一开孔2的孔壁设置有第二螺纹，第一螺纹与第二螺纹适配。通过旋转第一杆体15，在第一螺纹与第二螺纹的配合下，可以使第一杆体15在第一开孔2中沿竖直方向进行升降运动。

根据本公开实施例，可以保证第一杆体15在第一开孔2中顺畅的进行升降运动，且第一抵接部6在与待安装的垫块7挤压接触时，第一杆体15不易受到反作用力而自动反向运动，保证第一抵接部6可以顺利的将待安装的垫块7压入固定孔16。

在一种实施例中，第二端面62设置为平面。第一抵接部6承受的下压力，通过第二端面62的平面将待安装的垫块7压入机械手4的固定孔16中。

根据本公开实施例，平面可以增大第二端面62与待安装的垫块7的接触面积，同时将第一抵接部6承受的下压力均匀分散至待安装的垫块7的第一接触面71，保证待安装的垫块7平稳的压入固定孔16，防止在待安装的垫块7压入过程中，因受力不均匀发生偏移无法完全压入固定孔16。

在一种实施例中，第一抵接部6可以整体由树脂材料制成，或仅第二端面62部分由树脂材料制成。

根据本公开实施例，树脂材料制成的第二端面62在与待安装的垫块7接触时，由于树脂材料具有一定的柔韧性，在与待安装的垫块7挤压接触时，可以避免在第一抵接部6压入待安装的垫块7的过程中，对第一接触面71造成损伤。

在一个示例中，树脂材料可以为尼龙材料或PEEK(聚醚醚酮，poly(ether-ether-ketone))材料。

在一种实施例中，第一杆体15的第一端环设有连接部5，连接部5的外表面为弧面，连接部5的直径大于第一开口8的直径。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第一杆体15的第一端环设有连接部5，可以理解为第一杆体15的第一端，围绕第一杆体15设置有环形的连接部5。

连接部5的外表面为弧面，可以使连接部5更顺利的在第一腔体9内实现相对旋转。同时在更换第一抵接部6时，连接部5更容易通过第一开口8进入第一腔体9内。

连接部5的直径大于第一开口8的直径，可以防止连接部5从第一开口8脱落。

根据本公开实施例，使连接部5可以在第一腔体9内更顺利的相对旋转，同时可以避免连接部5从第一开口8脱落。

在一个示例中，应用于更换新的第一抵接部6，在连接部5通过第一开口8时，槽口10带动第一开口8横向扩张，使连接部5更顺利通过第一开口8进入第一腔体9内。

在一种实施例中，垫块拆装装置还包括：

拆卸部200，与本体1连接。拆卸部200用于将机械手4的固定孔16中已安装的垫块7取出。拆卸部200包括第二开孔202和第二容置区域201。第二开孔202包括相对设置的第三端口213和第四端口214。第四端口214与第二容置区域201相对设置。第二容置区域201用于放置机械手4。

第二杆体152，可升降地插设在第二开孔202。

第二抵接部60，包括相背离的第三端面603和第四端面604，第三端面603与第二杆体152靠近第四端口214的第三端连接，第四端面604用于在第二杆体152的带动下与位于固定孔16内的已安装的垫块7的第二接触面72接触(如图10所示)。

根据本公开实施例，需要说明的是：

拆卸部200的设置位置，可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。例如，如图1、图5所示，拆卸部200设置在本体1右侧的一端。安装部100和拆卸部200在本体1上的相对设置位置，可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定，保证两者分别处于工作状态时，相互间无干涉即可。

第二开孔202包括相对设置的第三端口213和第四端口214，第四端口214与第二容置区域201相对设置，可以理解为：第二开孔202贯穿本体1形成有第三端口213和第四端口214，远离第二容置区域201的端口为第三端口213，靠近第二容置区域201的端口为第四端口214，第四端口214与第二容置区域201连通。

第二容置区域201的设置位置，可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。例如，如图1、图3、图4、图5所示，第二容置区域201为开设在本体1上并沿水平方向向本体1内部延伸的开槽。又如，第二容置区域201为第四端口214与垫块拆装装置所放置的平面之间所夹区域，即第四端口214下方的整个空间为第二容置区域201。

第二杆体152可升降地插设在第二开孔202，可以理解为第二杆体152与第二开孔202之间可以通过任何可升降机构进行连接，以实现第二杆体152在第二开孔202中进行升降运动。例如，通过滑轨结构或者通过螺纹结构等方式实现升降运动。需要说明的是，第二杆体152在第二开孔202中的升降方向与机械手4的固定孔16的长度方向一致，以使在第二杆体152朝向固定孔16移动时，顺利将已安装的垫块7压出固定孔16(如图11所示)。

相背离设置的第三端面603和第四端面604，可以理解为相对设置且中心位于同一轴线上的两个端面。

第四端面604用于在第二杆体152的带动下与位于机械手4的固定孔16的已安装的垫块7的第二接触面72接触，可以理解为在第二杆体152向第二容置区域201方向移动的情况下，带动第二抵接部60一同朝向第二容置区域201移动，从而实现使第四端面604与垫块7的第二接触面72接触，随着第四端面604与已安装的垫块7之间的相互作用力，已安装的垫块7从机械手4的固定孔16中被挤压脱落，从而实现将已安装的垫块7从固定孔16中取出(如图10、图11所示)。

第二容置区域201的形状和尺寸可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。第二开孔202的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。第三端口213和第四端口214的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定。第二杆体152的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。第二抵接部60的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。

根据本公开实施例，通过第二杆体152的作用，使第二杆体152朝向第二容置区域201方向移动，带动第二抵接部60与第二接触面72接触并将已安装的垫块7从相应的固定孔16中挤压出去，避免了第二杆体152与第二接触面72的直接接触，减少对第二接触面72的损伤。

在一种实施例中，第二开孔202包括第三子导向孔203和第四子导向孔204，第三子导向孔203的第一端形成第三端口213，第三子导向孔203的第二端与第四子导向孔204的第一端连通，第四子导向孔204的第二端形成第四端口214。

第二杆体152可升降地插设在第三子导向孔203中，且第二杆体152的第三端延伸至第四子导向孔204。

第二抵接部60可滑动地设置在第四子导向孔204中，且在第二杆体152的带动下朝向第二容置区域201延伸。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第二杆体152可升降地插设在第三子导向孔203中，可以理解为第二杆体152与第三子导向孔203之间可以通过任何可升降机构进行连接，以实现第二杆体152在第三子导向孔203中进行升降运动。例如，通过滑轨结构或者通过螺纹结构等方式实现升降运动。需要说明的是，第二杆体152在第三子导向孔203中的升降方向与机械手4的固定孔16的长度方向一致，以使在第二杆体152朝向固定孔16移动时，顺利将已安装的垫块7压出固定孔16。

第二抵接部60可滑动地设置在第四子导向孔204中，可以理解为第四子导向孔204的形状与第二抵接部60适配，在第二杆体152进行升降运动时，第二抵接部60在第二杆体152的带动下，能够在第四子导向孔204中上下滑动。具体滑动方式可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。如第二抵接部60通过滑轨结构与第四子导向孔204滑动连接。又如，第二抵接部60直接作为滑块，第四子导向孔204直接作为滑轨，第二抵接部60的外表面与第四子导向孔204的内侧壁直接接触，实现滑动连接。

根据本公开实施例，第四子导向孔204可以固定第二抵接部60，防止在第二抵接部60向第二容置区域201移动的过程中发生晃动，起到导向作用。同时，在第二杆体152旋转的情况下，第四子导向孔204可以保持第二抵接部60相对处于静止状态，保证第二抵接部60在第二杆体152的带动下，仅能够在第四子导向孔204内做升降运动。减小第二抵接部60与垫块7接触时第二端面62对已安装的垫块7的第二接触面72产生磨损。

在一个示例中，如图5、图10、图11所示，第二杆体152可升降地插设在第二开孔202中，且第二杆体152的第三端延伸至第二容置区域201，第二抵接部60悬置于第二容置区域201中与第三端连接，第二抵接部60在第二杆体152的带动下向垫块7的第二接触面72移动，在第四端面604与第二接触面72接触后，继续移动第二杆体152将垫块7从固定孔16中挤压出去。

根据本公开的示例，第二抵接部60悬置于第二容置区域201中，增加了第二容置区域201的空间，便于放置不同厚度的机械手4。

在一种实施例中，第三端面603设置有第二开口82，第二杆体152的第三端通过第二开口82与第二抵接部60内部的第二腔体92可拆卸地连接。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第三端面603设置有第二开口82，可以理解为第三端面603对应第三端的位置设置有第二开口82。

第二开口82的口径大小和形状可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定，满足第三端可以通过并能够与第二抵接部60保持稳固连接即可。例如，第二开口82的直径可以略小于第三端的直径，以使第三端可以在外力的作用下穿过第二开口82，并不会轻易从第二开口82脱出。

第二抵接部60内部的第二腔体92。可以理解为在第二开口82位置向第二抵接部60的中心处延伸有第二腔体92，第二腔体92的内壁与第三端的形状适配，防止第二抵接部60脱落。

第三端与第二腔体92的拆卸方式，可以根据需要进行选择和调整，在此不做具体限定，满足在需要更换第二抵接部60时，可以将第三端从第二腔体92中脱离即可。

第二腔体92的形状和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定，满足可以容置第三端即可。

根据本公开实施例，第三端进入第二抵接部60内部与第二腔体92连接，可以固定第二抵接部60。同时可以更换不同尺寸的第二抵接部60，用于拆卸不同规格的已安装的垫块7。

在一种实施例中，如图1、图5、图10、图11所示第二抵接部60的第四端面604朝向第二容置区域201方向延伸有凸起结构605，凸起结构605用于在第二杆体152的带动下与位于固定孔16内的垫块7的第二接触面72接触。

根据本公开实施例，需要说明的是：

凸起结构605的形状在此不做具体限定，满足凸起结构605与第二接触面72的接触部分的直径小于等于第二接触面72的直径即可。例如，凸起结构605为柱体或者椎体等。

根据本公开实施例，通过设置较小接触面的凸起结构605，可以将第二抵接部60的受力集中转压到第二接触面72上，使已安装的垫块7承受更大压力，可以快速从固定孔16中脱离。

在一个示例中，第四端面604的中心朝向第二容置区域201方向延伸有凸起结构605，凸起结构605在第二杆体152的带动下与已安装的垫块7的第二接触面72的中心位置接触。可以使已安装的垫块7受力更均匀，更容易从固定孔16中脱离。

在一种实施例中，如图1、图5、图10、图11所示，拆卸部200还包括有间隔设置的第三支臂133和第四支臂144，第三支臂133和第四支臂144之间形成第二容置区域201，第三支臂133设置有第二开孔202，第四支臂144设置有第四开孔145。

根据本公开实施例，需要说明的是：

第三支臂133和第四支臂144的形状、材质和尺寸，可以根据需要选择和调整，在此不做具体限定。

第四支臂144设置有第四开孔145，可以理解为：第四开孔145相对第二开孔202的第四端设置。第四开孔145与垫块7的第一接触面71的形状适配。在第二杆体152的带动下，第二抵接部60与已安装的垫块7的第二接触面72接触后，在第二杆体152继续向下移动的情况下，已安装的垫块7的第一接触面71延伸进入第四开孔145中，以保证第二接触面72可以完全从固定孔16中脱离出来，保证已安装的垫块7的拆卸。

根据本公开实施例，设置于第三支臂133和第四支臂144之间的第二容置区域201可以使机械手4稳固的插入其中，在拆卸垫块7时，可以提高机械手4的稳定性，使得第二抵接部60可以准确的将垫块7从机械手4的固定孔16中压出。

在一个示例中，垫块拆装装置包括安装部100和拆卸部200。安装部100包括间隔设置的第一支臂13和第二支臂14，第一支臂13和第二支臂14之间形成第一容置区域3，第一支臂13设置有第一开孔2。第一支臂13用于承载第一杆体15和第一抵接部6。在机械手4插入第一容置区域3的情况下，第二支臂14用于承载机械手4。以及，安装部100还包括间隔设置的第五支臂和第六支臂，第五支臂与第一支臂13相对设置，第六支臂与第二支臂14相对设置，第五支臂和第六支臂之间形成第一容置区域3，第五支臂设置有第一开孔2。第五支臂用于承载第一杆体15和第一抵接部6。在机械手4插入第一容置区域3的情况下，第六支臂用于承载机械手4。两个第一容置区域3相对设置，在安装机械手4的待安装的垫块7时，将机械手4同时插入两个第一容置区域3中。

拆卸部200包括间隔设置的第三支臂133和第四支臂144，第三支臂133和第四支臂144之间形成第二容置区域201，第三支臂133设置有第二开孔202。第三支臂133用于承载第二杆体152和第二抵接部60。在机械手4插入第二容置区域201的情况下，第四支臂144用于承载机械手4。以及，拆卸部200还包括间隔设置的第七支臂和第八支臂，第七支臂与第三支臂133相对设置，第八支臂与第四支臂144相对设置，第七支臂和第八支臂之间形成第二容置区域201，第七支臂设置有第二开孔202。第七支臂用于承载第二杆体152和第二抵接部60。在机械手4插入第二容置区域201的情况下，第八支臂用于承载机械手4。两个第二容置区域201相对设置，在拆卸机械手4的已安装的垫块7时，将机械手4同时插入两个第二容置区域201中。

根据本公开示例，在第一支臂13、第二支臂14、第三支臂133、第四支臂144、第五支臂、第六支臂、第七支臂和第八支臂的共同作用下，机械手4可以更稳固的放置在垫块拆装装置上。

在一种实施例中，第二抵接部60由树脂材料制成，或凸起结构605由树脂材料制成。

根据本公开实施例，树脂材料制成的第二抵接部60或树脂材料制成的凸起结构605在与已安装的垫块7接触时，由于树脂材料具有一定的柔韧性，在与已安装的垫块7挤压接触时，可以避免在第二抵接部60压出已安装的垫块7的过程中，对已安装的垫块7的第二接触面72造成损伤。

在一个示例中，第二杆体152的第三端设置为平面。增大了第二杆体152与第二抵接部60的接触面积，降低了第三端与第二腔体92的内部底面接触所产生的的磨损，提高使用寿命。同时，平面可以更均匀的将力传递给第二抵接部60。

如图12所示，本公开实施例提供了一种机械手的垫块的安装方法，包括：

步骤S1201：将机械手4放置于本公开任一实施例的垫块拆装装置的第一容置区域3中。

步骤S1202：将机械手4的固定孔16与垫块拆装装置的第一开孔2的第二端口22对齐。

步骤S1203：将待安装的垫块7放置于固定孔16。

步骤S1204：控制垫块拆装装置的第一杆体15的第一端朝向第一容置区域3移动，以使垫块拆装装置的第一抵接部6的第二端面62与待安装的垫块7接触。

步骤S1205：在第二端面62与待安装的垫块7接触的情况下，控制第一杆体15的第一端继续向第一容置区域3移动，以使第二端面62将待安装的垫块7压入固定孔16中，以完成待安装的垫块7的安装。

根据本公开实施例，需要说明的是：

步骤S1201至步骤S1204的安装图示，可以参考图3。步骤S1205的安装图示，可以参考图4。

根据本公开实施例，使用上述任一实施例中的垫块拆装装置可以实现快速准确且高效的将待安装的垫块7压入机械手4的固定孔16。同时还能够避免待安装的垫块7在安装过程与第一抵接部6接触所产生的磨损。

在一种实施例中，控制垫块拆装装置的第一杆体15的第一端朝向第一容置区域3移动，以使垫块拆装装置的第一抵接部6的第二端面62与待安装的垫块7接触，包括：

旋转第一杆体15，在第一杆体15与第一子导向孔11的螺纹配合作用下，以及在第一杆体15的连接部5相对垫块拆装装置的第一抵接部6旋转作用下，第一杆体15的第一端带动第一抵接部6沿第二子导向孔12朝向第一容置区域3移动，以使第一抵接部6的第二端面62与待安装的垫块7接触。

根据本公开实施例，第一子导向孔11中与第一杆体15设置有相互适配的螺纹，在转动第一杆体15的情况下，可以使第一杆体15向第一容置区域3移动。第二子导向孔12的形状与第一抵接部6适配，在第一杆体15旋转且向第一容置区域3移动的情况下，第一抵接部6的第一腔体9抵消第一杆体15的旋转，并将受力均匀传递到第二端面62，第二端面62挤压待安装的垫块7并将其压入机械手4的固定孔16中，完成待安装的垫块7的安装。其中，通过第一杆体15与第一子导向孔11相互适配的螺纹结构，可以减少外部能源的消耗。同时，第二子导向孔12可以固定第一抵接部6，防止在压入待安装的垫块7过程中，因旋转对待安装的垫块7造成损伤。

在一个示例中，第一支臂13的第一子导向孔11与第一杆体15设置有相互适配的螺纹。第二支臂14承载机械手4。在转动第一杆体15的情况下，使第一杆体15向第一容置区域3移动。第二子导向孔12的形状与第一抵接部6适配，在第一杆体15旋转且向第一容置区域3移动的情况下，第一抵接部6的第一腔体9抵消第一杆体15的旋转，并将受力均匀传递到第二端面62，第二端面62挤压垫块7并将其压入机械手4的固定孔16中，完成待安装的垫块7的安装。

在一种实施例中，机械手的垫块7安装方法还包括：

将机械手放置于垫块拆装装置的第二容置区域201中。

将固定孔16内的已安装的垫块7的第二接触面72与垫块拆装装置的第二开孔202的第四端口214对齐。

控制垫块拆装装置的第二杆体152的第三端朝向第二容置区域201移动，以使垫块拆装装置的第二抵接部60的第四端面604与已安装的垫块7的第二接触面72接触。

在第四端面604与第二接触面72接触的情况下，控制第二杆体152的第三端继续向第二容置区域201移动，以使第四端面604将垫块7压出固定孔16，完成已安装的垫块7的拆卸。

根据本公开实施例，可以快速的将已安装的垫块7从机械手4的固定孔16中压出。同时还能避免已安装的垫块7在压出过程中与第二抵接部60接触产生磨损。

在一种示例中，第三支臂133承载第二杆体152和第二抵接部60，第四支臂144承载机械手4，第三支臂133的第三子导向孔203与第二杆体152设置有相互适配的螺纹，旋转第二杆体152使第二杆体152的第三端向第二容置区域201方向移动，在第二杆体152的带动下，第二抵接部60的凸起结构605与已安装的垫块7的第二接触面72接触，继续旋转第二杆体152，使已安装的垫块7的第一接触面71延伸至第四支臂144的第四开孔145中，直至第二接触面72从固定孔16中完全脱离，完成已安装的垫块7的拆卸。

在本说明书的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

上文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本公开的不同结构。为了简化本公开的公开，上文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本公开。此外，本公开可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

上述具体实施方式，并不构成对本公开保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本公开的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本公开保护范围之内。

Claims (19)

1.一种垫块拆装装置，应用于传输晶圆的机械手，其特征在于，包括：

本体；

安装部，与所述本体连接，包括第一开孔和第一容置区域，所述第一开孔包括相对设置的第一端口和第二端口，所述第二端口与所述第一容置区域相对设置，所述第一容置区域用于放置所述机械手；

第一杆体，可升降地插设在所述第一开孔，所述第一杆体靠近所述第二端口的第一端设置有连接部；

第一抵接部，包括相背离设置的第一端面和第二端面，所述第一端面与所述连接部连接，所述第二端面用于在所述第一杆体的带动下与位于所述机械手的固定孔处的待安装的垫块的第一接触面接触，所述待安装的垫块的第一接触面用于固定所述晶圆；

拆卸部，与所述本体连接，包括第二开孔和第二容置区域，所述第二开孔包括相对设置的第三端口和第四端口，所述第四端口与所述第二容置区域相对设置，所述第二容置区域用于放置所述机械手；

第二杆体，可升降地插设在所述第二开孔；

第二抵接部，包括相背离的第三端面和第四端面，所述第三端面与所述第二杆体靠近所述第四端口的第三端连接，所述第四端面用于在所述第二杆体的带动下与位于所述固定孔内的已安装的垫块的第二接触面接触。

2.根据权利要求1所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第一端面设置有第一开口，所述连接部通过所述第一开口与所述第一抵接部内部的第一腔体可转动地连接。

3.根据权利要求2所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第一端面还设置有槽口，所述槽口由所述第一端面向所述第二端面延伸且沿所述第一开口的径向贯穿所述第一开口。

4.根据权利要求1所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第一开孔包括第一子导向孔和第二子导向孔，所述第一子导向孔的第一端形成所述第一端口，所述第一子导向孔的第二端与所述第二子导向孔的第一端连通，所述第二子导向孔的第二端形成所述第二端口；

所述第一杆体可升降地插设在所述第一子导向孔中，且所述第一杆体的第一端延伸至所述第二子导向孔；

所述第一抵接部可滑动地设置在所述第二子导向孔中，且在所述第一杆体的带动下可朝向所述第一容置区域延伸。

5.根据权利要求1至4任一项所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述连接部的第一端的端面设置为平面。

6.根据权利要求1至4任一项所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述安装部还包括有间隔设置的第一支臂和第二支臂，所述第一支臂和所述第二支臂之间形成所述第一容置区域，所述第一支臂设置有所述第一开孔。

7.根据权利要求6所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第二支臂沿所述第一杆体的升降方向可滑动地与所述安装部连接。

8.根据权利要求1至4任一项所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第一杆体的外侧壁设置有第一螺纹，所述第一开孔的孔壁设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹适配。

9.根据权利要求1至4任一项所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第二端面设置为平面。

10.根据权利要求1至4任一项所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第一抵接部由树脂材料制成，或所述第二端面由树脂材料制成。

11.根据权利要求2或3所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第一杆体的第一端环设有所述连接部，所述连接部的外表面为弧面，所述连接部的直径大于所述第一开口的直径。

12.根据权利要求1所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第二开孔包括第三子导向孔和第四子导向孔，所述第三子导向孔的第一端形成所述第三端口，所述第三子导向孔的第二端与所述第四子导向孔的第一端连通，所述第四子导向孔的第二端形成所述第四端口；

所述第二杆体可升降地插设在所述第三子导向孔中，且所述第二杆体的第三端延伸至所述第四子导向孔；

所述第二抵接部可滑动地设置在所述第四子导向孔中，且在所述第二杆体的带动下朝向所述第二容置区域延伸。

13.根据权利要求1所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第三端面设置有第二开口，所述第二杆体的第三端通过所述第二开口与所述第二抵接部内部的第二腔体可拆卸地连接。

14.根据权利要求1所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第二抵接部的第四端面朝向所述第二容置区域方向延伸有凸起结构，所述凸起结构用于在所述第二杆体的带动下与所述已安装的垫块的第二接触面接触。

15.根据权利要求1所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述拆卸部还包括有间隔设置的第三支臂和第四支臂，所述第三支臂和所述第四支臂之间形成所述第二容置区域，所述第三支臂设置有所述第二开孔，所述第四支臂设置有第四开孔。

16.根据权利要求14所述的垫块拆装装置，其特征在于，所述第二抵接部由树脂材料制成，或所述凸起结构由树脂材料制成。

17.一种机械手的垫块拆装方法，包括：

将机械手放置于如权利要求1至16任一项所述垫块拆装装置的第一容置区域中；

将所述机械手的固定孔与所述垫块拆装装置的第一开孔的第二端口对齐；

将待安装的垫块放置于所述固定孔；

控制所述垫块拆装装置的第一杆体的第一端朝向所述第一容置区域移动，以使所述垫块拆装装置的第一抵接部的第二端面与所述待安装的垫块的第一接触面接触；

在所述第二端面与所述待安装的垫块的第一接触面接触的情况下，控制所述第一杆体的第一端继续向所述第一容置区域移动，以使所述第二端面将所述待安装的垫块压入所述固定孔中，以完成所述待安装的垫块的安装。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述控制所述垫块拆装装置的第一杆体的第一端朝向所述第一容置区域移动，以使所述垫块拆装装置的第一抵接部的第二端面与所述待安装的垫块的第一接触面接触，包括：

旋转所述第一杆体，在所述第一杆体与所述第一开孔的第一子导向孔的螺纹配合作用下，以及在所述第一杆体的连接部相对所述垫块拆装装置的第一抵接部旋转作用下，所述第一杆体的第一端带动所述第一抵接部沿所述第一开孔的第二子导向孔朝向所述第一容置区域移动，以使所述第一抵接部的第二端面与所述待安装的垫块的第一接触面接触。

19.根据权利要求17所述的方法，还包括：

将所述机械手放置于所述垫块拆装装置的第二容置区域中；

将所述固定孔内的已安装的垫块的第二接触面与所述垫块拆装装置的第二开孔的第四端口对齐；

控制所述垫块拆装装置的第二杆体的第三端朝向所述第二容置区域移动，以使所述垫块拆装装置的第二抵接部的第四端面与所述固定孔内的已安装的垫块的第二接触面接触；

在所述第四端面与所述第二接触面接触的情况下，控制所述第二杆体的第三端继续向所述第二容置区域移动，以使所述第四端面将所述已安装的垫块压出所述固定孔，完成所述已安装的垫块的拆卸。