CN115881582A - 基板处理装置及方法 - Google Patents

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李炫玟
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Abstract

本申请提供了一种能够通过最小化斑点的生成来提高产率的基板处理装置和方法。所述基板处理方法可以包括：通过使用多个喷嘴将墨水喷射到基板上，以在所述基板上形成彼此间隔开的多个墨水图案；计算所述多个墨水图案中的每一个的密度；以及基于所计算出的多个墨水图案中的每一个的密度，选择用于向一个像素区域中喷射墨水的至少一个喷嘴。

Description

基板处理装置及方法
技术领域
本发明涉及一种基板处理装置及方法。
背景技术
为了制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置，在基板上进行印刷工艺(例如，RGB图案化(RGB Patterning))。使用具有喷墨头的印刷设备来执行印刷工艺。
发明内容
解决的技术问题
然而，在量子点(QD)墨水中添加有用于提高性能的各种有机/无机物质。而这些各种添加剂可能因为在喷头内部未均匀地混合，从而使得在从喷头的多个喷嘴喷射出的墨水之间可能产生密度差。由此，生成斑点(mura)并降低产率。
本发明要解决的技术问题是，提供一种能够通过最小化斑点的生成来提高产率的基板处理方法。
本发明的要解决的另一技术问题是，提供一种能够通过最小化斑点的生成来提高产率的基板处理装置。
本发明的目的不限于上述目的，本领域的技术人员通过下面的描述可以清楚地理解未提及的其他目的。
解决方法
为解决上述技术问题，根据本发明的一个方面的基板处理方法包括以下步骤：使用多个喷嘴将墨水喷射到基板上，以在基板上形成彼此间隔开的多个墨水图案；计算多个墨水图案中的每一个的密度；根据所计算出的多个墨水图案中的每一个的密度，选择用于向一个像素区域中喷射墨水的至少一个喷嘴。
为解决上述另一技术问题，根据本发明的一个方面的基板处理装置可以包括：喷头，包括多个喷嘴，并且通过多个喷嘴将墨水喷射到基板上，以在基板上形成彼此间隔开的多个墨水图案；第一图像生成模块，通过拍摄多个墨水图案来生成多个墨水图案图像；以及控制模块，计算多个墨水图案图像中的每一个的灰度值，并根据所计算出的灰度值来选择用于向一个像素区域中喷射墨水的至少一个喷嘴。
为解决上述另一技术问题，根据本发明的另一个方面的基板处理装置可以包括：第一工作台；第二工作台，与第一工作台相邻；机架，横跨第一工作台和第二工作台布置；喷墨头模块，安装在机架上，并包括多个喷嘴，并且能够在第一工作台和第二工作台上喷射墨水；第一图像生成模块，安装在机架上；控制模块，控制喷墨头模块和第一图像生成模块，其中，喷墨头模块通过向第二工作台上的测试基板喷射墨水而形成多个墨水图案，第一图像生成模块通过拍摄墨水图案来生成墨水图案图像，以及控制模块根据墨水图案图像计算多个墨水图案中的每一个的密度。
其他实施例的具体事项包含在详细的说明及附图中。
附图说明
图1是用于说明根据本发明一实施例的基板处理装置的概念图。
图2是用于说明在根据本发明的一些实施例的基板处理方法中计算多个墨水图案中的每一个的密度的方法的流程图。
图3至图5是用于说明图2的方法的概念图。
图6是用于说明喷嘴混合操作的概念图。
图7是用于说明本发明另一实施例的基板处理装置的概念图。
图8和图9是用于说明测量墨水的容积的方法的图。
图10是用于说明根据本发明另一实施例的基板处理装置的操作的流程图。
图11是用于说明本发明又一实施例的基板处理装置的图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图详细描述本发明的优选实施例。参考结合附图在下文详细叙述的实施例，本发明的优点和特征以及实现优点和特征的方法将变得明确。然而，本发明并不受限于在下文中公布的实施例，而是可以以各种不同的形式实现，并且本实施例仅是为了使本发明的公开内容完整并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整告知发明的范围而提供的，并且本发明仅由权利要求的范围限定。在整个说明书中，相同的参考标号指代相同的构成要素。
可以使用“下方”、“下面”、“下部”、“上方”、“上部”等空间相对术语以便于描述如图中所示的一个元件或构成要素与其他元件或构成要素的相互关系。空间相对术语应当理解为除了图中所示的方向之外还包括元件在使用时或操作时的不同方向的术语。例如，在图中所示的元件翻转的情况下，被描述为在另一元件的“下方”或“下面”的元件可以定位成在另一元件的“上方”。因此，示例性术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以定向为另外的方向，且因此空间相对术语可以依据定向进行解释。
虽然使用了第一、第二等来叙述各种元件、构成要素和/或部分，但显然这些元件、构成要素和/或部分不受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件、构成要素或部分与其他元件、构成要素或部分区分开。因此，在本发明的技术思想内，下文中提到的第一元件、第一构成要素或第一部分显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
图1是用于说明根据本发明一实施例的基板处理装置的概念图。
参照图1，根据本发明一实施例的基板处理装置包括喷头120、第一图像生成模块130和控制模块150等。
喷头120包括多个喷嘴。喷头120通过多个喷嘴将墨水喷射到基板110上，从而在基板110上形成彼此间隔开的多个墨水图案P。
如图所示，基板110可以是能够沿一个方向(参照附图标记S)移动且具有柔性(flexible)特性的测试基板，但不限于此。基板110可以是以卷对卷(roll-to-roll)方式提供的柔性基板。或者，基板110也可以是如玻璃基板那样具有坚硬(hard)性质的基板。
通过从喷头120喷射出的墨水，在基板110上形成墨水图案P。多个墨水图案P中的每一个可以对应于喷头120的多个喷嘴中的每一个。例如，一个喷嘴可以在一个喷射区域A中喷射一次以形成一个墨水图案P，或者一个喷嘴可以在一个喷射区域A中喷射多次以形成一个墨水图案P。
第一图像生成模块130通过拍摄墨水图案P来生成墨水图案图像(参见图3的10)。例如，第一图像生成模块130可包括相机，但不限于此。可以使用能够生成墨水图案图像10的任何构件。
控制模块150基于所生成的多个墨水图案图像10来计算多个墨水图案P中的每一个的密度。如在下文中详细说明的，控制模块150计算多个墨水图案图像10中的每一个的灰度值(grayscale value)，并基于灰度值计算密度。控制模块150基于所计算出的密度来执行喷嘴混合操作。为了在一个像素区域内形成一个像素，使用多个喷嘴。即，通过从多个喷嘴向一个像素区域中喷射墨水，从而完成一个像素。喷嘴混合操作意味着：选择用于向一个像素区域内喷射墨水的至少一个喷嘴，并且使用所选择的至少一个喷嘴将墨水喷射到上述像素区域中。
此外，控制模块150可控制喷头120的操作和第一图像生成模块130的操作。另外，控制模块150还可以控制基板110的操作。
下面将描述根据本发明一实施例的基板处理装置的操作。
首先，喷头120利用多个喷嘴将墨水喷射到基板110上，从而在基板110上形成彼此间隔开的多个墨水图案P。接着，控制模块150计算多个墨水图案P中的每一个的密度。然后，控制模块150基于所计算出的多个墨水图案P中的每一个的密度选择用于向一个像素区域(参见图6中的P1、P2和P3)喷射墨水的至少一个喷嘴(参见图6中的N1至N10)(即，执行喷嘴混合操作)。
在下文中，将参照图2至图5描述计算多个墨水图案P中的每一个的密度的方法。
图2是用于说明在根据本发明的一些实施例的基板处理方法中计算多个墨水图案P中的每一个的密度的方法的流程图。图3至图5是用于说明图2的方法的概念图。
参照图1和图2，在通过喷头120在基板110上形成彼此间隔开的多个墨水图案P之后，第一图像生成模块130通过拍摄多个墨水图案P中的第一墨水图案(表示多个墨水图案中的任意一个墨水图案)来生成第一墨水图案图像10(图2的S210)。
第一墨水图案图像10可以如图3所示。例如，第一墨水图案图像10的中心区域10C可以比边缘区域10E亮。第一墨水图案P中的聚集有添加剂(例如，无机材料)的区域在第一墨水图案图像10中看起来相对较暗(参见边缘区域10E)。相反，第一墨水图案P中的含有少量添加剂的区域在第一墨水图案图像10中看起来相对较亮(参照中心区域10C)。
第一墨水图案图像10可以用灰度来表示。即，第一墨水图案图像10可以由第一图像生成模块130以灰度级拍摄，或者可以由第一图像生成模块130以彩色拍摄，然后由控制模块150转换为灰度级。
然后，控制模块150计算第一墨水图案图像10的灰度值(图2的S220)。
更具体地，如图4所示，控制模块150将第一墨水图案图像10划分为多个部分10a至10f。例如，控制模块150可以在第一墨水图案图像10上设置彼此交叉的多个水平线和多个竖直线，并且形成由多个水平线和多个竖直线限定的区域，但是不限于此。此外，控制模块150的一个部分10a至10f具有基本矩形形状，但是不限于此。一个部分10a至10f也可以具有基本三角形形状或五边形形状。
此外，如图5所示，控制模块150确定所划分出的多个部分10a至10f中的每一个的灰度值，并生成多个部分灰度值。例如，多个部分10a、10b、10c、10d、10e和10f中的每一个的部分灰度值可以是9、10、11、6、5和6。即，位于第一墨水图案图像10的中心区域10C的部分10d、10e和10f的部分灰度值相对较小，而位于边缘区域10E的部分10a、10b和10c的部分灰度值相对较大。这些部分灰度值仅仅是示例，本申请不限于此。不同于图示，根据墨水图案P，位于中心区域10C的部分10d、10e和10f的部分灰度值可以相对较大，而位于边缘区域10E的部分10a、10b和10c的部分灰度值可以相对较小。
此外，控制模块150基于多个部分灰度值确定第一墨水图案图像10整体的灰度值。
例如，控制模块150可以通过对多个部分灰度值求平均来确定第一墨水图案图像10的灰度值(即，使用算术平均)。或者，控制模块150可以通过向特定区域分配权重(例如，通过向与边缘区域10E对应的部分灰度值分配相对高的权重)来确定第一墨水图案图像10的灰度值(即，使用加权平均)。控制模块150可以使用除算术平均和加权平均之外的其它方法来确定第一墨水图案图像10的灰度值。
然后，控制模块150基于所确定的第一墨水图案图像10的灰度值来计算第一墨水图案P的密度(图2的S230)。
具体地，控制模块150可以将第一墨水图案P的密度确定为对应于第一墨水图案图像10的灰度值。
如上所述，第一墨水图案P中的聚集有添加剂(例如，无机材料)的区域在第一墨水图案图像10中看起来相对较暗。相反，第一墨水图案P中的含有少量添加物的区域在第一墨水图案图像10中看起来相对较亮。因此，可以与第一墨水图案图像10的灰度值成比例地确定第一墨水图案P的密度。例如，如果第一墨水图案图像10的灰度值大，则可以确定第一墨水图案P的密度值大。或者，也可以将第一墨水图案图像10的灰度值确定为第一墨水图案P的密度。
在下文中，将参照图6描述基于所计算出的多个墨水图案P中的每一个的密度来选择用于向一个像素区域(例如，P1、P2和P3中的一个)喷射墨水的至少一个喷嘴(例如，N1至N10中的一个)的方法(即，喷嘴混合操作)。
图6是用于说明喷嘴混合操作的概念图。
参照图6，喷头120上设置有多个喷嘴N1至N10。在参照图1至图5所描述的方法中，测量了多个喷嘴N1至N10中的每一个的墨水密度。例如，假设从第一喷嘴N1喷射出的墨水的密度是9，从第二喷嘴N2喷射出的墨水的密度是8，从第三喷嘴N3喷射出的墨水的密度是8，从第九喷嘴N9喷射出的墨水的密度是10，从第十喷嘴N10喷射出的墨水的密度是11。
为了便于说明，假设从多个喷嘴N1至N10中的每一个喷射出的墨水的容积(volume)相同。例如，假设从多个喷嘴N1至N10中的每一个喷射出的墨水的容积为1。
例如，在基板G中限定有多个像素区域P1、P2和P3。
喷头120可以沿第一方向X(即，图中的左右方向)移动。基板110可以沿第二方向Y(即，图中的上下方向)移动。
这里，假设只有当容积为3的墨水被喷射到各个像素区域P1、P2和P3时，才形成像素。由于从一个喷嘴N1至N10喷射出的墨水的容积为1，所以在一个像素区域(例如，P1)中需要三次喷墨。
控制模块150可以选择第一喷嘴N1、第九喷嘴N9和第十喷嘴N10作为用于向像素区域P1内喷射墨水的喷嘴。所选择的三个喷嘴N1、N9和N10分别向像素区域P1内喷射墨水一次。则此时，容积达到3(即，1+1+1＝3)，并且密度达到10(即，(9+10+11)/3＝10)。
或者，为了使像素区域P2中的墨水密度达到9，控制模块150可以选择第一喷嘴N1、第三喷嘴N3和第九喷嘴N9作为用于向像素区域P2内喷射墨水的喷嘴。所选择的三个喷嘴N1、N3和N9分别向像素区域P2内喷射墨水一次。则此时，容积达到3(即，1+1+1＝3)，并且密度达到9(即，(9+8+10)/3＝9)。由于从第二喷嘴N2喷射出的墨水的密度与从第三喷嘴N3喷射出的墨水的密度相同，所以也可以选择N1、N2和N9来替代N1、N3和N9。
如上所述，可以以密度为基准选择用于向一个像素区域P1、P2和P3内喷射墨水的至少一个喷嘴N1至N10。
图7是用于说明本发明另一实施例的基板处理装置的概念图。图8和图9是用于说明测量墨水的容积的方法的图。为了便于描述，将主要描述与参照图1至图6描述的内容不同之处。
首先，参照图7，根据本发明另一实施例的基板处理装置包括喷头120、第一图像生成模块130、第二图像生成模块140和控制模块150等。
喷头120通过多个喷嘴将墨水喷射到基板110上，从而在基板110上形成彼此间隔开的多个墨水图案P。
第一图像生成模块130通过拍摄基板110上的多个墨水图案P来生成多个墨水图案图像(参见图3中的10)。
控制模块150基于多个墨水图案图像10计算相应的多个墨水图案P中的每一个的密度。如上所述，控制模块150计算多个墨水图案图像10中的每一个的灰度值，并基于灰度值计算密度。
第二图像生成模块140通过拍摄从多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水，并生成多个墨滴图像(图8中的300)。例如，第二图像生成模块140可以包括相机，但不限于此。可以使用能够生成墨滴图像300的任何构件。
此外，控制模块150基于多个墨滴图像300来计算相应的多个墨水的容积。
参照图9，图9示出了多个墨滴图像300中的第一墨滴图像(表示多个墨滴图像中的任意一个墨滴图像)的根据位置的容积。在图9中，y轴表示距喷嘴表面的距离(单位：μm)，x轴表示每像素的容积(单位：pL)。
控制模块150将墨滴图像(图8中的300)转换为根据相同位置的容积图(参照图9)，并找出主液滴301。可以使用各种方法来找出主液滴301。例如，可以基于斜率急剧增加或急剧减小的区域来找出主液滴301。
控制模块150可以基于如上所述找到的墨水的主液滴301的容积来计算从喷嘴喷射出的墨水的容积。例如，控制模块150可以将墨水的主液滴301的容积确定为墨水的总容积。这是因为墨滴中的主液滴301对总容积的贡献非常大，并且除主液滴301之外的其余部分(例如，卫星液滴302、连接液滴303等)对总容积的贡献小。
控制模块150可控制喷头120的操作以及第一图像生成模块130和第二图像生成模块140的操作。另外，控制模块150还可以控制基板110的操作。
下面将描述根据本发明另一实施例的基板处理装置的操作。参照图10，喷头120利用多个喷嘴将墨水喷射到基板110上，从而在基板110上形成彼此间隔开的多个墨水图案P。
第二图像生成模块140通过拍摄处于从多个喷嘴喷射出的状态的墨水来生成墨滴图像(参见图8的300)。然后，控制模块150从墨滴图像300计算墨水的容积(S410)。
第一图像生成模块130通过拍摄多个墨水图案P来生成墨水图案图像(参见图3中的10)。然后，控制模块150从墨水图案图像10计算墨水的密度(S420)。
然后，控制模块150可以基于多个墨水图案图像中的每一个的灰度值(即，墨水的密度)和从多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积来选择用于向一个像素区域内喷射墨水的至少一个喷嘴(即，执行喷嘴混合操作)(S430)。
在下文中，将重新参照图6详细描述喷嘴混合操作。如上所述，假设从多个喷嘴N1、N2、N3、N9和N10喷射出的墨水的密度分别为9、8、8、10和11。此外，假设从多个喷嘴N1、N2、N3、N9和N10喷射出的容积分别为1、1.2、0.8、1.2和1。
例如，为了使像素区域P3中的墨水的密度达到9，控制模块150选择第一喷嘴N1、第三喷嘴N3和第九喷嘴N9作为用于向像素区域P3内喷射墨水的喷嘴。
具体地，首先，基于密度选择可用的候选喷嘴。为了使像素区域P3中的墨水的密度达到9，可以选择N1、N2、N3和N9作为候选喷嘴。然后，基于容积，从候选喷嘴中选择最终要使用的喷嘴。由于一个像素区域P3中的墨水的容积应为3，因此N3比N2更适合。因此，最终要使用的喷嘴被选择为N1、N3和N9。
所选择的三个喷嘴N1、N3和N9分别向像素区域P2内喷射墨水一次。则此时，容积达到3(即，1+0.8+1.2＝3)，密度达到9(即，(9+8+10)/3＝9)。
图11是用于说明本发明又一实施例的基板处理装置的图。
如图11所示，根据本发明又一实施例的基板处理装置包括：第一工作台PT、第二工作台MT、机架410、喷墨头模块420、第一图像生成模块440a、440b和440c、第二图像生成模块430、测试基板JOF1、JOF2和JOF3以及基板G等。
第一工作台PT是用于支承和移动基板G的区域。在第一工作台PT上移动基板G的方法不限于特定方法。例如，夹持器(holder)可以夹持基板G并移动基板G，或者可以通过气浮方式移动基板G。基板G可以沿第二方向Y移动。例如，基板G可以是玻璃基板。
第二工作台MT可以在第一方向X上与第一工作台PT相邻地布置。多个测试基板JOF1、JOF2和JOF3可以布置在第二工作台MT上。
多个测试基板JOF1、JOF2和JOF3可以布置成沿第二方向Y以长条状延伸。多个测试基板JOF1、JOF2和JOF3沿第一方向X相邻布置。
多个测试基板JOF1、JOF2和JOF3各自具有柔性(flexible)特性，例如，可以以卷对卷(roll-to-roll)方式提供。
机架410布置在第一工作台PT和第二工作台MT上，以横跨第一工作台PT和第二工作台MT。机架410可以沿第一方向X延伸。
喷墨头模块420可以设置在机架410上，并且可以沿着机架410移动(参照附图标记W)。如图所示，喷墨头模块420可以沿第一方向X移动，但不限于此。喷墨头模块420可以包括用于喷射墨水的多个喷头，每个喷头可以包括多个喷嘴。例如，墨水可以是量子点(QD；Quantum Dot)墨水，但不限于此。
多个第一图像生成模块440a、440b和440c形成在机架410上。多个第一图像生成模块440a、440b和440c中的每一个可包括相机，但不限于此。第一图像生成模块440a、440b和440c可以布置在与测试基板JOF1、JOF2和JOF3对应的位置。
喷墨头模块420向多个测试基板JOF1、JOF2和JOF3喷射墨水，以在测试基板JOF1、JOF2和JOF3上形成多个墨水图案P。第一图像生成模块440a、440b和440c通过拍摄多个墨水图案P来生成多个墨水图案图像(参考图3中的10)。控制模块450计算多个墨水图案图像10中的每一个的灰度值，并基于灰度值来计算墨水图案的密度。
第二图像生成模块430设置在机架410上，并且与喷墨头模块420相邻布置。第二图像生成模块430可以与喷墨头模块420一起沿着机架410移动。第二图像生成模块430通过拍摄从多个喷嘴中的每一个喷射出的墨滴来生成多个墨滴图像(参考图8中的300)。控制模块450可以从多个墨滴图像300计算墨水的容积。
控制模块450可以使用计算出的密度和容积来执行喷嘴混合操作。
另一方面，可以比计算墨水的容积的步骤更频繁地执行计算墨水的密度的步骤。由于墨水的容积主要根据喷嘴的状态而改变，所以墨水的容积相对不容易改变。相反，墨水的密度根据墨水添加剂的混合程度而变化，因此相比于墨水的容积而言可能相对容易改变。因此，如果控制模块450可以使用根据喷嘴的墨水容积数据达第一时段，则控制模块450仅可以使用根据喷嘴的墨水密度数据比第一时段短的第二时段。
例如，在从第一工作台PT卸载经工艺处理的基板G之后以及将待工艺处理的新基板G装载到第一工作台PT之前，喷墨头模块420移动到第二工作台MT，向测试基板JOF1、JOF2和JOF3喷射墨水，从而形成墨水图案。第一图像生成模块440a、440b和440c通过拍摄墨水图案来生成墨水图案图像。即，每当新基板G被装载到第一工作台PT上时，控制模块150可以生成各喷嘴的墨水的密度数据。
另一方面，第二图像生成模块430可以通过仅在预定时间段(例如，基板处理装置的设置时段或维护时段等)拍摄所喷射出的墨水来生成墨滴图像。即，控制模块450可以仅在预定时间段(或定期地)生成各喷嘴的墨水的容积数据。
控制模块450通过使用如上所述生成的墨水的密度数据和容积数据来执行喷嘴混合操作。
以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属技术领域的普通技术人员应当理解，本发明在不变更其技术思想或必要特征的情况下，能够以其他具体形态实施。因此，应理解为上述实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (20)

1.一种基板处理方法，包括以下步骤：
使用多个喷嘴将墨水喷射到基板上，以在所述基板上形成彼此间隔开的多个墨水图案；
计算所述多个墨水图案中的每一个的密度；
根据所计算出的多个墨水图案中的每一个的密度，选择用于向一个像素区域内喷射墨水的至少一个喷嘴。
2.根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，计算所述多个墨水图案中的每一个的密度的步骤包括：
通过拍摄所述多个墨水图案中的第一墨水图案来生成第一墨水图案图像；
计算所述第一墨水图案图像的灰度值；以及
基于所述灰度值，计算所述第一墨水图案的密度。
3.根据权利要求2所述的基板处理方法，其中，计算所述第一墨水图案图像的灰度值的步骤包括：
将所述第一墨水图案图像划分成多个部分；
通过确定所划分的多个部分中的每一个的灰度值来生成多个部分灰度值；以及
基于所述多个部分灰度值，确定所述第一墨水图案图像的灰度值。
4.根据权利要求3所述的基板处理方法，其中，
所述第一墨水图案图像的灰度值为所述多个部分灰度值的平均值。
5.根据权利要求1所述的基板处理方法，还包括以下步骤：
测量从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积。
6.根据权利要求5所述的基板处理方法，其中，测量从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积的步骤包括：
拍摄处于从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的状态的墨水；以及
基于所拍摄的墨水的主液滴的容积，计算从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积。
7.根据权利要求5所述的基板处理方法，其中，
基于所计算出的多个墨水图案中的每一个的密度和从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积，选择用于向所述一个像素区域内喷射墨水的所述至少一个喷嘴。
8.根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，
所述基板是以卷对卷方式提供的柔性基板。
9.一种基板处理装置，包括：
喷头，包括多个喷嘴，并且通过所述多个喷嘴将墨水喷射到基板上，以在所述基板上形成彼此间隔开的多个墨水图案；
第一图像生成模块，通过拍摄所述多个墨水图案来生成多个墨水图案图像；以及
控制模块，计算所述多个墨水图案图像中的每一个的灰度值，并根据所计算出的灰度值来选择用于向一个像素区域内喷射墨水的至少一个喷嘴。
10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述控制模块计算所述多个墨水图案图像中的每一个的灰度值包括：
将所述多个墨水图案图像中的第一墨水图案图像划分为多个部分，
通过确定所划分出的多个部分中的每一个的灰度值来生成多个部分灰度值，以及
基于所述多个部分灰度值，确定所述第一墨水图案图像的灰度值。
11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其中，
所述第一墨水图案图像的灰度值为所述多个部分灰度值的平均值。
12.根据权利要求9所述的基板处理装置，还包括：
第二图像生成模块，通过拍摄处于从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的状态的墨水来生成多个墨滴图像。
13.根据权利要求12所述的基板处理装置，其中，
所述控制模块基于所述多个墨滴图像中的墨水的主液滴的容积来计算从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积。
14.根据权利要求13的基板处理装置，其中，
所述控制模块基于所述多个墨水图案图像中的每一个的灰度值和从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积来选择用于向所述一个像素区域内喷射墨水的所述至少一个喷嘴。
15.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，
所述基板是以卷对卷方式提供的柔性基板。
16.一种基板处理装置，包括：
第一工作台；
第二工作台，与所述第一工作台相邻；
机架，横跨所述第一工作台和所述第二工作台布置；
喷墨头模块，安装在所述机架上，并包括多个喷嘴，并且能够在所述第一工作台和所述第二工作台上喷射墨水；
第一图像生成模块，安装在所述机架上；
控制模块，控制所述喷墨头模块和所述第一图像生成模块，
其中，所述喷墨头模块通过向所述第二工作台上的测试基板喷射墨水而形成多个墨水图案，
所述第一图像生成模块通过拍摄所述墨水图案来生成墨水图案图像，以及
所述控制模块根据所述墨水图案图像计算所述多个墨水图案中的每一个的密度。
17.根据权利要求16所述的基板处理装置，其中，
在经工艺处理的基板从所述第一工作台卸载之后，且待工艺处理的新基板被装载到所述第一工作台之前：
所述喷墨头模块移动到所述第二工作台，并通过向所述测试基板喷射墨水而形成墨水图案，所述第一图像生成模块拍摄所述墨水图案。
18.根据权利要求16所述的基板处理装置，还包括：
第二图像生成模块，安装在所述机架上，
其中，所述第二图像生成模块通过拍摄处于从所述喷墨头模块的多个喷嘴喷射出的状态的墨水来生成墨滴图像，以及
所述控制模块根据所述墨滴图像计算从所述多个喷嘴中的每一个喷射出的墨水的容积。
19.根据权利要求18所述的基板处理装置，其中，
在维护期间，所述喷墨头模块向所述测试基板喷射墨水，且所述第二图像生成模块拍摄处于被喷射出的状态的墨水。
20.根据权利要求16所述的基板处理装置，其中，所述控制模块计算所述多个墨水图案中的每一个的密度包括：
将所述墨水图案图像中的第一墨水图案图像划分成多个部分；
通过确定所划分出的多个部分中的每一个的灰度值来生成多个部分灰度值；以及
基于所述多个部分灰度值，确定所述第一墨水图案图像的灰度值。
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