CN115821358B - 夹持式薄膜电镀装置 - Google Patents

夹持式薄膜电镀装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种夹持式薄膜电镀装置,包括:两个轮轴组件,两个轮轴组件对称设置,两个轮轴组件同步运动,一轮轴组件与薄膜的一侧相连,另一轮轴组件与薄膜的另一侧相连;轮轴组件包括:轮轴,轮轴与薄膜的第一表面滚动相连;多个夹持装置,多个夹持装置均匀设在轮轴上;闭夹机构,闭夹机构位于轮轴的进料端,闭夹机构用于推动夹持装置压在薄膜的第二表面上,以使夹持装置与轮轴配合夹持住薄膜;开夹机构,开夹机构位于轮轴的出料端,开夹机构用于反向推动夹持装置,以释放薄膜。本发明具有提高薄膜输送稳定性,同时提高表面镀层均匀性和电镀效果的优点。

Description

夹持式薄膜电镀装置
技术领域
本发明属于电镀装置技术领域,具体涉及一种夹持式薄膜电镀装置。
背景技术
薄膜产品通常需要在电镀槽内进行连续电镀,薄膜通常由滚轮进行导向输送,在电镀时,薄膜需要在电镀槽内保持稳定的移动速度才能保证电镀质量,然而现有电镀装置在通过滚轮对薄膜进行输送时,存在薄膜与滚轮不同步,导致薄膜表面张力不均,使得电镀效果降低;另一方面,在电镀槽尺寸不变和薄膜输送速度不变的情况下,薄膜在电镀槽内进行水平输送时,电镀的时间较短,电镀效果较差;同时电流在薄膜表面分布不均也导致了电镀层不均匀的情况发生。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此,本发明提出一种夹持式薄膜电镀装置,该夹持式薄膜电镀装置具有提高薄膜输送稳定性,同时提高表面镀层均匀性和电镀效果的优点。
根据本发明实施例的夹持式薄膜电镀装置,包括:两个轮轴组件,两个所述轮轴组件对称设置,两个所述轮轴组件同步运动,一所述轮轴组件与薄膜的一侧相连,另一所述轮轴组件与薄膜的另一侧相连;所述轮轴组件包括:轮轴,所述轮轴与所述薄膜的第一表面滚动相连;多个夹持装置,多个所述夹持装置均匀设在所述轮轴上;闭夹机构,所述闭夹机构位于所述轮轴的进料端,所述闭夹机构用于推动所述夹持装置压在所述薄膜的第二表面上,以使所述夹持装置与所述轮轴配合夹持住所述薄膜;开夹机构,所述开夹机构位于所述轮轴的出料端,所述开夹机构用于反向推动所述夹持装置,以释放所述薄膜。
根据本发明一个实施例,所述轮轴包括:滚轮,所述滚轮的外周面与所述薄膜的第一表面滚动相连,多个所述夹持装置沿圆周方向均匀分布在所述滚轮的一侧;滚轴,所述滚轴与所述滚轮同轴设置,所述滚轴的一端与所述滚轮的一侧相连。
根据本发明一个实施例,所述滚轮的外周面上开设有环形槽,所述环形槽内设置有导电圈,所述导电圈与所述薄膜的第一表面电连接,所述导电圈与第一电源的负极相连。
根据本发明一个实施例,所述夹持装置包括:安装座,所述安装座设在所述滚轮的一侧;翻转杆,所述翻转杆的中部转动安装在所述安装座上;连杆组件,所述连杆组件的一端与所述安装座转动相连,所述连杆组件的另一端与所述翻转杆的一端转动相连,所述翻转杆的另一端位于所述滚轮外周面的一侧。
根据本发明一个实施例,所述夹持装置还包括:外端子,所述外端子安装在所述翻转杆朝向所述滚轮外周面的一侧;导线,所述导线的一端与所述外端子相连;内端子,所述内端子与所述导线的另一端相连,所述滚轮的外周面上开设有圆孔,所述内端子设于所述圆孔内,所述内端子与第二电源的负极相连。
根据本发明一个实施例,所述连杆组件包括:两个第一连杆,两个所述第一连杆平行设置,两个所述第一连杆的一端均与所述翻转杆转动连接;两个第二连杆,两个所述第二连杆平行设置,两个所述第二连杆的一端均与所述安装座转动连接,一所述第二连杆的另一端与一所述第一连杆的另一端转动连接,另一所述第二连杆的另一端与另一所述第一连杆的另一端转动连接;垫块,所述垫块位于两个所述第一连杆之间,销钉依次连接一第二连杆的另一端、一第一连杆的另一端、垫块、另一第二连杆的另一端和另一第一连杆的另一端。
根据本发明一个实施例,所述闭夹机构包括:第一支架;第一气缸,所述第一气缸安装在所述第一支架上;第一连接杆,所述第一连接杆的一端与所述第一气缸的输出端相连;第一导轮,所述第一导轮安装在所述第一连接杆的另一端,所述第一导轮在所述第一气缸的驱动下,推动所述翻转杆旋转,以使所述外端子与所述薄膜的第二表面接触。
根据本发明一个实施例,所述开夹机构包括:第二支架;第二气缸,所述第二气缸安装在所述第二支架上;第二连接杆,所述第二连接杆的一端与所述第二气缸的输出端相连;第二导轮,所述第二导轮安装在所述第二连接杆的另一端,所述第二导轮在所述第二气缸的驱动下,推动所述翻转杆旋转,以使所述外端子远离所述薄膜的第二表面。
根据本发明一个实施例,在所述滚轮转动时,所述第一导轮逐一推动经过其的翻转杆旋转,所述第二导轮逐一推动经过其的翻转杆旋转,所述第一导轮和所述第二导轮的推动方向相反。
根据本发明一个实施例,该夹持式薄膜电镀装置还包括阳极组件,所述阳极组件包括第一安装板、多个第一阳极、第二安装板和多个第二阳极,所述第一安装板位于所述薄膜的上方,多个所述第一阳极均匀安装在所述第一安装板朝向所述薄膜的一侧,多个所述第一阳极均与第一电源的正极相连,所述第二安装板位于所述薄膜的下方,多个所述第二阳极均匀安装在所述第二安装板朝向所述薄膜的一侧,多个所述第二阳极均与第二电源的正极相连。
本发明的有益效果是,现有技术中薄膜水平输送时受到重力影响,中间部分下沉一方面使得张力不均,另一方面薄膜各部分与下方的阳极之间距离不同,电镀效果变差,而本发明的两个轮轴组件分别对薄膜的两侧进行固定并保持同步输送,利用多个夹持装置对薄膜进行夹持固定,使薄膜在电镀液内移动时保持与轮轴之间的同步运动,确保薄膜表面各处张力均匀,薄膜与阳极组件之间间距稳定,从而提升了电镀效果,利用轮轴带动薄膜进行圆弧运动,使得薄膜在电镀液中运动路径变长,提高了电镀时间,优化了电镀效果。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明中夹持装置打开时的结构示意图;
图3是本发明中夹持装置夹紧时的结构示意图;
图4是本发明中闭夹机构的结构示意图;
图5是本发明中开夹机构的示意图;
图6是本发明中轮轴的示意图;
图7是本发明中滑环式电极的示意图;
图8是本发明中阳极组件的结构示意图;
附图标记:
轮轴1、闭夹机构2、开夹机构3、夹持装置4、阳极组件5、薄膜6、第一电源7、滑环式电极8、第二电源9、滚轮11、滚轴12、环形槽13、圆孔14、第一支架21、第一气缸22、第一连接杆23、第一导轮24、第二支架31、第二气缸32、第二连接杆33、第二导轮34、安装座41、翻转杆42、导线43、外端子44、内端子45、第一连杆46、第二连杆47、垫块48、第一安装板51、第一阳极52、第二安装板53、第二阳极54、外环81、内环82。
具体实施方式
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面具体描述根据本发明实施例的夹持式薄膜电镀装置。
如图1至图8所示,根据本发明实施例的夹持式薄膜电镀装置,包括:两个轮轴组件,两个轮轴组件对称设置,两个轮轴组件同步运动,一轮轴组件与薄膜6的一侧相连,另一轮轴组件与薄膜6的另一侧相连;轮轴组件包括:轮轴1、多个夹持装置4、闭夹机构2和开夹机构3,轮轴1与薄膜6的第一表面滚动相连;多个夹持装置4均匀设在轮轴1上;闭夹机构2位于轮轴1的进料端,闭夹机构2用于推动夹持装置4压在薄膜6的第二表面上,以使夹持装置4与轮轴1配合夹持住薄膜6;开夹机构3位于轮轴1的出料端,开夹机构3用于反向推动夹持装置4,以释放薄膜6。
换言之,本申请两个轮轴组件的下半部分均浸泡在电镀液中,薄膜6通过外部的轮组输送至轮轴1的进料端,然后闭夹机构2控制夹持装置4将薄膜6压在轮轴1上,待薄膜6运动到轮轴1的出料端时,闭夹机构2控制夹持装置4松开薄膜6,随后薄膜6通过外部的轮组输送出去。
由此,本发明的两个轮轴组件分别对薄膜6的两侧进行固定并保持同步输送,利用多个夹持装置4对薄膜6进行夹持固定,使薄膜6在电镀液内移动时保持与轮轴1之间的同步运动,确保薄膜6表面各处张力均匀,薄膜与阳极组件5之间间距稳定,从而提升了电镀效果,利用轮轴1带动薄膜6进行圆弧运动,使得薄膜6在电镀液中运动路径变长,提高了电镀时间,优化了电镀效果。
结合图6,轮轴1包括:滚轮11和滚轴12,滚轮11的外周面与薄膜6的第一表面滚动相连,多个夹持装置4沿圆周方向均匀分布在滚轮11的一侧;滚轴12与滚轮11同轴设置,滚轴12的一端与滚轮11的一侧相连。本实施例中两个滚轮11同轴设置,并且两个滚轮11相对的一侧通过连接轴相连,以使两个滚轮11保持同步运动。
进一步地,滚轮11的外周面上开设有环形槽13,环形槽13内设置有导电圈,导电圈与薄膜6的第一表面电连接,导电圈与第一电源7的负极相连。
本实施例中滚轴12的另一端安装有滑环式电极8,滑环式电极8包括外环81和转动设置在外环81内部的内环82,外环81与内环82两者在旋转的同时保持电连接。内环82与导电圈和内端子45通过线缆相连,滚轮11和滚轴12均为中空件,线缆位于滚轮11和滚轴12的内部,这样可以避免线缆与电镀液接触,外环81与第一电源7的负极相连。
结合图2和图3,夹持装置4包括:安装座41、翻转杆42和连杆组件,安装座41设在滚轮11的一侧;翻转杆42的中部转动安装在安装座41上;连杆组件的一端与安装座41转动相连,连杆组件的另一端与翻转杆42的一端转动相连,翻转杆42的另一端位于滚轮11外周面的一侧。
也就是说,翻转杆42转动安装在安装座41上,形成跷跷板结构,翻转杆42向不同方向旋转能够实现对薄膜6的压紧和释放。
进一步地,夹持装置4还包括:外端子44、导线43和内端子45,外端子44安装在翻转杆42朝向滚轮11外周面的一侧;导线43的中部安装在翻转杆42上,导线43的一端与外端子44相连;内端子45与导线43的另一端相连,滚轮11的外周面上开设有圆孔14,内端子45设于圆孔14内,内端子45与第二电源9的负极相连。
换言之,多个夹持装置4分别对薄膜6进行压紧固定,薄膜6被压在滚轮11的外周面上,此时薄膜6的第一表面与导电圈接触,薄膜6的第二表面与外端子44相接触,本实施例中,外端子44与第二表面接触的部分为金属,其余部分均绝缘,这样可以避免浸泡在电镀液中时被腐蚀,并且本实施例中电镀液的液面高度低于闭夹机构2和开夹机构3,这样的话,夹持装置4压紧薄膜6后才会进入电镀液中,这样的话,导电圈和外端子44在电镀液中保持与薄膜6接触,不与电镀液接触,有效防止被腐蚀。
更进一步地,连杆组件包括:两个第一连杆46、两个第二连杆47和垫块48,两个第一连杆46平行设置,两个第一连杆46的一端均与翻转杆42转动连接;两个第二连杆47平行设置,两个第二连杆47的一端均与安装座41转动连接,一第二连杆47的另一端与一第一连杆46的另一端转动连接,另一第二连杆47的另一端与另一第一连杆46的另一端转动连接;垫块48位于两个第一连杆46之间,销钉依次连接一第二连杆47的另一端、一第一连杆46的另一端、垫块48、另一第二连杆47的另一端和另一第一连杆46的另一端。
也即,在夹持装置4进行压紧时,第一连杆46和第二连杆47之间的夹角逐渐变大,在夹持装置4进行释放时,第一连杆46和第二连杆47之间的夹角逐渐变小,在本实施例中,当夹持装置4处于压紧状态时,即薄膜6的第二表面与外端子44压紧接触时,第一连杆46和第二连杆47之间夹角为180°,为了使连杆组件提供一定支撑力,通过设置垫块48,通过垫块48的挤压作用,使第二连杆47的另一端与第一连杆46的另一端之间存在一定的压力,由于两者间摩擦力的作用使第一连杆46和第二连杆47在角度变化的同时能够保持稳定,并提供夹持装置4处于压紧状态时的支撑力。
结合图4,闭夹机构2包括:第一支架21、第一气缸22、第一连接杆23和第一导轮24,第一气缸22安装在第一支架21上;第一连接杆23的一端与第一气缸22的输出端相连;第一导轮24安装在第一连接杆23的另一端,第一导轮24在第一气缸22的驱动下,推动翻转杆42旋转,以使外端子44与薄膜6的第二表面接触。
结合图5,开夹机构3包括:第二支架31、第二气缸32、第二连接杆33和第二导轮34,第二气缸32安装在第二支架31上;第二连接杆33的一端与第二气缸32的输出端相连;第二导轮34安装在第二连接杆33的另一端,第二导轮34在第二气缸32的驱动下,推动翻转杆42旋转,以使外端子44远离薄膜6的第二表面。
在此基础上,在滚轮11转动时,第一导轮24逐一推动经过其的翻转杆42旋转,第二导轮34逐一推动经过其的翻转杆42旋转,第一导轮24和第二导轮34的推动方向相反。
换言之,闭夹机构2用于推动翻转杆42进入图3的状态,而开夹机构3用于推动翻转杆42进入图2的状态,由于夹持装置4跟随滚轮11在转动,将与翻转杆42接触的部分设计成为第一导轮24和第二导轮34,翻转杆42在移动时能保持与第一导轮24或第二导轮34外周面的接触,这样即使夹持装置4在转动,仍然能够被推动。
根据本发明一个实施例,该夹持式薄膜电镀装置还包括阳极组件5,阳极组件5包括第一安装板51、多个第一阳极52、第二安装板53和多个第二阳极54,第一安装板51位于薄膜6的上方,多个第一阳极52均匀安装在第一安装板51朝向薄膜6的一侧,多个第一阳极52均与第一电源7的正极相连,第二安装板53位于薄膜6的下方,多个第二阳极54均匀安装在第二安装板53朝向薄膜6的一侧,多个第二阳极54均与第二电源9的正极相连。
通过导电圈与薄膜6的第一表面电连接,多个第一阳极52朝向第一表面,第一电源7负极连接第一表面,第一电源7正极连接多个第一阳极52;外端子44与薄膜6的第二表面电连接,多个第二阳极54朝向第二表面,第二电源9负极连接第二表面,第二电源9正极连接多个第二阳极54,这样实现了对薄膜6的双面同时电镀,提高了电镀效率。在本实施例中,每个第一阳极52和每个第二阳极54上的电流可调,即每个第一阳极52和每个第二阳极54的电流能够被单独控制大小,那么薄膜6上与第一阳极52或第二阳极54对应的部分的电流也会产生相应变化,通过对每个第一阳极52和每个第二阳极54进行单独控制,使得薄膜6电流分布均匀,避免了电镀时镀层集中在高电流处,进而提高了电镀的均匀性。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,包括:
两个轮轴组件,两个所述轮轴组件对称设置,两个所述轮轴组件同步运动,一所述轮轴组件与薄膜(6)的一侧相连,另一所述轮轴组件与薄膜(6)的另一侧相连;所述轮轴组件包括:
轮轴(1),所述轮轴(1)与所述薄膜(6)的第一表面滚动相连;
多个夹持装置(4),多个所述夹持装置(4)均匀设在所述轮轴(1)上;
闭夹机构(2),所述闭夹机构(2)位于所述轮轴(1)的进料端,所述闭夹机构(2)用于推动所述夹持装置(4)压在所述薄膜(6)的第二表面上,以使所述夹持装置(4)与所述轮轴(1)配合夹持住所述薄膜(6);
开夹机构(3),所述开夹机构(3)位于所述轮轴(1)的出料端,所述开夹机构(3)用于反向推动所述夹持装置(4),以释放所述薄膜(6);
所述轮轴(1)包括:
滚轮(11),所述滚轮(11)的外周面与所述薄膜(6)的第一表面滚动相连,多个所述夹持装置(4)沿圆周方向均匀分布在所述滚轮(11)的一侧;
滚轴(12),所述滚轴(12)与所述滚轮(11)同轴设置,所述滚轴(12)的一端与所述滚轮(11)的一侧相连;
所述夹持装置(4)包括:
安装座(41),所述安装座(41)设在所述滚轮(11)的一侧;
翻转杆(42),所述翻转杆(42)的中部转动安装在所述安装座(41)上;
连杆组件,所述连杆组件的一端与所述安装座(41)转动相连,所述连杆组件的另一端与所述翻转杆(42)的一端转动相连,所述翻转杆(42)的另一端位于所述滚轮(11)外周面的一侧;
外端子(44),所述外端子(44)安装在所述翻转杆(42)朝向所述滚轮(11)外周面的一侧;
导线(43),所述导线(43)的一端与所述外端子(44)相连;
内端子(45),所述内端子(45)与所述导线(43)的另一端相连,所述滚轮(11)的外周面上开设有圆孔(14),所述内端子(45)设于所述圆孔(14)内,所述内端子(45)与第二电源(9)的负极相连。
2.根据权利要求1所述的夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,所述滚轮(11)的外周面上开设有环形槽(13),所述环形槽(13)内设置有导电圈,所述导电圈与所述薄膜(6)的第一表面电连接,所述导电圈与第一电源(7)的负极相连。
3.根据权利要求1所述的夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,所述连杆组件包括:
两个第一连杆(46),两个所述第一连杆(46)平行设置,两个所述第一连杆(46)的一端均与所述翻转杆(42)转动连接;
两个第二连杆(47),两个所述第二连杆(47)平行设置,两个所述第二连杆(47)的一端均与所述安装座(41)转动连接,一所述第二连杆(47)的另一端与一所述第一连杆(46)的另一端转动连接,另一所述第二连杆(47)的另一端与另一所述第一连杆(46)的另一端转动连接;
垫块(48),所述垫块(48)位于两个所述第一连杆(46)之间,销钉依次连接一第二连杆(47)的另一端、一第一连杆(46)的另一端、垫块(48)、另一第二连杆(47)的另一端和另一第一连杆(46)的另一端。
4.根据权利要求1所述的夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,所述闭夹机构(2)包括:
第一支架(21);
第一气缸(22),所述第一气缸(22)安装在所述第一支架(21)上;
第一连接杆(23),所述第一连接杆(23)的一端与所述第一气缸(22)的输出端相连;
第一导轮(24),所述第一导轮(24)安装在所述第一连接杆(23)的另一端,所述第一导轮(24)在所述第一气缸(22)的驱动下,推动所述翻转杆(42)旋转,以使所述外端子(44)与所述薄膜(6)的第二表面接触。
5.根据权利要求4所述的夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,所述开夹机构(3)包括:
第二支架(31);
第二气缸(32),所述第二气缸(32)安装在所述第二支架(31)上;
第二连接杆(33),所述第二连接杆(33)的一端与所述第二气缸(32)的输出端相连;
第二导轮(34),所述第二导轮(34)安装在所述第二连接杆(33)的另一端,所述第二导轮(34)在所述第二气缸(32)的驱动下,推动所述翻转杆(42)旋转,以使所述外端子(44)远离所述薄膜(6)的第二表面。
6.根据权利要求5所述的夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,在所述滚轮(11)转动时,所述第一导轮(24)逐一推动经过其的翻转杆(42)旋转,所述第二导轮(34)逐一推动经过其的翻转杆(42)旋转,所述第一导轮(24)和所述第二导轮(34)的推动方向相反。
7.根据权利要求1所述的夹持式薄膜电镀装置,其特征在于,该夹持式薄膜电镀装置还包括阳极组件(5),所述阳极组件(5)包括第一安装板(51)、多个第一阳极(52)、第二安装板(53)和多个第二阳极(54),所述第一安装板(51)位于所述薄膜(6)的上方,多个所述第一阳极(52)均匀安装在所述第一安装板(51)朝向所述薄膜(6)的一侧,多个所述第一阳极(52)均与第一电源(7)的正极相连,所述第二安装板(53)位于所述薄膜(6)的下方,多个所述第二阳极(54)均匀安装在所述第二安装板(53)朝向所述薄膜(6)的一侧,多个所述第二阳极(54)均与第二电源(9)的正极相连。
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