CN112779578A - 一种超薄膜电镀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种超薄膜电镀装置,包括第一电镀槽、第二电镀槽和膜传送机构,所述第一电镀槽和第二电镀槽并排设置,所述膜传送机构用以传送待电镀膜依次进入所述第一电镀槽和第二电镀槽而使得待电镀膜在所述第一电镀进行正面电镀、在所述第二电镀槽内进行反面电镀。本发明提供的超薄电镀装置在进行电镀时,电镀完一面再电镀另一面,如此电镀液的浮力对电镀的影响较小,保证了电镀的均匀性;本发明提供的超薄电镀装置通过第一载体轮和第二载体轮可以使得膜能够具有承托的进入至第一电镀槽和第二电镀槽内进行电镀,不会出现起皱现象,电镀均匀;此外,本发明提供的超薄电镀设备无需夹板夹持,不会导致待电镀膜的张力不均匀,因此电镀均匀。
Description
技术领域
本发明涉及电镀技术领域,特别涉及一种超薄膜电镀装置。
背景技术
PET电镀超薄膜(厚度4微米)常常应用在锂电池负极、FPC(柔性电路板)等领域,PET电镀膜包括PET基材层、通过沉积的方式沉积在PET基材层表面的粗铜层以及电镀在粗铜层表面的电镀层,PET基材层和粗铜层电镀层合称待电镀膜,电镀层可以为电镀铜/镍/锡等等。
在生产PET电镀膜的最后步骤-电镀工序时,采用电镀设备进行电镀,传统的电镀设备通过多个滚轮将待电镀膜水平传送至电镀槽内,电镀液浸过待电镀膜进行双面电镀,当待电镀膜进入至电镀槽时,待电镀膜的两侧由夹板夹持着,以保持待电镀膜在电镀液中的平衡。
然而传统的电镀设备至少存在以下问题:
1)由于电镀膜同时进行两面电镀,而电镀液具有一定的浮力,以及会产生波动,因而会导致膜电镀不均匀。
2)在滚轮传送待电镀膜的过程中,滚轮会对待电镀膜产生拉应力,由于待导电膜特别薄,待电镀膜的后方容易出现张力不均匀现象,从而出现后方起皱的现象,甚至在前方就出现起皱的现象,进而导致电镀不均匀,继而导致电镀完成后的PET电镀膜导电不均匀。
3)由于待电镀膜的两侧分别由多个并排设置的夹板夹持,而夹板的夹持力并不均匀,会导致待电镀膜的张力不均匀,从而导致电镀不均匀,进而导致电镀完成后的PET电镀膜导电不均匀。
发明内容
为克服现有技术的不足,本发明公开了一种超薄膜电镀装置。
为实现上述目的,本发明通过以下技术方案实现:
本发明公开了一种超薄膜电镀装置,包括第一电镀槽、第二电镀槽和膜传送机构,所述第一电镀槽和第二电镀槽并排设置,所述膜传送机构用以传送待电镀膜依次进入所述第一电镀槽和第二电镀槽而使得待电镀膜在所述第一电镀进行正面电镀、在所述第二电镀槽内进行反面电镀;
所述膜传送机构包括膜释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮,所述第一载体轮和第二载体轮分别竖直设置于所述所述第一电镀槽和第二电镀槽中,且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致,所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动;
所述膜释放轮用以释放待电镀膜至所述第一电镀槽内;
所述第一载体轮用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的反面贴附其轮面转动;
所述第二载体轮用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的正面贴附其轮面转动;
所述正反面转换组件用以使得从所述第一电镀槽出来的电镀膜正反面对置后而进入至所述第二电镀槽内进行另一面的电镀。
作为本发明的优选方案之一,所述膜释放轮竖直设置,所述膜释放轮与所述第一载体轮和第二载体轮大致位于同一高度上,且所述膜释放轮靠近/位于所述第一电镀槽和第二电镀槽之间的区域。
进一步优选的,所述第一电镀槽与所述第二电镀槽相对的内侧壁以及所述第二电镀槽与所述第一电镀槽相对的内侧壁上分别设置有第一膜进出口和第二膜进出口。
更进一步优选的,所述膜传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮;
所述第一过渡轮和第二过渡轮分别位于所述第一膜进出口处,所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以过渡导引膜移入和移出所述第一电镀槽, 所述第三过渡轮和第四过渡轮分别所述第二膜进出口处,所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以过渡导引膜移入和移出所述第二电镀槽,膜经由所述第二过渡轮从所述第一电镀槽导出后斜向移动至所述第三过渡轮并经过所述第三过渡轮正反面转换后而进入所述第二电镀槽。
作为本发明的优选方案之一,还包括第一导电机构和第二导电机构,所述第一导电机构和第二导电机构分别用以通过导电方式吸引离子沉积在膜上。
进一步优选的,所述第一导电机构包括循环转动的第一导电同步带和与所述第一导电同步带配合的多个第一同步轮,所述第一导电同步带在循环转动的过程一部分位于所述第一电镀槽内而另一部分位于所述第一电镀槽之外,所述第一导电同步带位于所述第一电镀槽内的部分围绕并靠近所述第一载体轮的部分轮周,所述第一导电同步带随所述第一载体轮的转动而循环转动;
所述第二导电机构包括循环转动的第二导电同步带和与所述第二导电同步带配合的多个第二同步轮,所述第一导电同步带在循环转动的过程一部分位于所述第二电镀槽内而另一部分位于所述第二电镀槽之外,所述第二导电同步带位于所述第二电镀槽内的部分围绕并靠近所述第二载体轮的部分轮周,所述第二导电同步带随所述第二载体轮的转动而循环转动。
更进一步优选的,所述第一导电同步带和第二导电同步带分别设置两个,两个所述第一导电同步带分别用以与膜的上下边接触导电;两个所述第二导电同步带分别用以与膜的上下边接触导电。
优选的,所述第一电镀槽和第二电镀槽内分别设置有作为阳极的导电铜块。
进一步优选的,所述第一电镀槽的内壁环绕所述第一载体轮设置有多个所述导电铜块,所述第二电镀槽的内壁环绕所述第二载体轮设置有多个所述导电铜块。
进一步优选的,所述第一电镀槽和第二电镀槽内还分别设置有喷淋管,所述喷淋管上设置有喷淋头。
与现有技术相比,本发明的至少具有以下优点:
本发明提供的超薄电镀装置在进行电镀时,电镀完一面再电镀另一面,如此电镀液的浮力对电镀的影响较小,保证了电镀的均匀性。
本发明提供的超薄电镀装置通过第一载体轮和第二载体轮可以使得膜能够具有承托的进入至第一电镀槽和第二电镀槽内进行电镀,不会出现起皱现象,电镀均匀。
此外,本发明提供的超薄电镀设备无需夹板夹持,不会导致待电镀膜的张力不均匀,因此电镀均匀。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本发明实施例所公开的一种超薄膜电镀装置的结构示意图;
图2为本发明实施例所公开的第一导电机构和第二导电机构的结构示意图;
图3为本发明实施例所公开的膜传送机构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本发明做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
参见图1-3所示,本发明实施例公开了一种超薄膜电镀装置,包括第一电镀槽1、第二电镀槽2和膜传送机构3,第一电镀槽1和第二电镀槽2并排设置,膜传送机构3用以传送待电镀膜依次进入第一电镀槽1和第二电镀槽2而使得待电镀膜在第一电镀进行正面电镀、在第二电镀槽2内进行反面电镀;
膜传送机构3包括膜释放轮31、第一载体轮32、正反面转换组件和第二载体轮33,第一载体轮32和第二载体轮33分别竖直设置于第一电镀槽1和第二电镀槽2中,且第一载体轮32和第二载体轮33的转动方向一致,第一载体轮32和第二载体轮33分别由电机驱动转动;
膜释放轮31用以释放待电镀膜至第一电镀槽1内;
第一载体轮32用以提供待电镀膜K承载而使得待电镀膜的反面贴附其轮面转动;
第二载体轮33用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的正面贴附其轮面转动;
正反面转换组件用以使得从第一电镀槽1出来的电镀膜正反面对置后而进入至第二电镀槽2内进行另一面的电镀。
膜释放轮31竖直设置,膜释放轮31与第一载体轮32和第二载体轮33大致位于同一高度上,且膜释放轮31靠近/位于第一电镀槽1和第二电镀槽2之间的区域。将膜释放轮31设置在靠近/位于第一电镀槽1和第二电镀槽2之间的区域可以节约,膜进入至第一电镀槽1的路径,减少膜输送路径过长而导致变形起皱,减少了膜在空气中暴露的时间,减少了氧化。
第一电镀槽1与第二电镀槽2相对的内侧壁以及第二电镀槽2与第一电镀槽1相对的内侧壁上分别设置有第一膜进出口和第二膜进出口。当然膜进出口可以分为进口和出口,并且进口和出口分开设置。第一膜进出口和第二膜进出口相对设置,可以减少膜行走的路径,从而减少变形起皱。
膜传送机构3还包括第一过渡轮34、第二过渡轮35、第三过渡轮36和第四过渡轮37,第一过渡轮34和第二过渡轮35分别位于第一膜进出口处,第一过渡轮34和第二过渡轮35分别用以过渡导引膜移入和移出第一电镀槽1,第三过渡轮36和第四过渡轮37分别第二膜进出口处,第三过渡轮36和第四过渡轮37分别用以过渡导引膜移入和移出第二电镀槽2,第三过渡轮36可以设计两个,膜由两个第三过渡轮6之间的孔隙穿过,膜经由第二过渡轮35从第一电镀槽1导出后斜向移动至第三过渡轮36并经过第三过渡轮36正反面转换后而进入第二电镀槽2。过渡轮起到过渡作用,以及使得膜的正反面对置的目的,如此就可以实现在第一电镀槽1和第二电镀槽2内分别进行不同面的电镀。此外,还可以设计相对设置的两个第五过渡轮38,两个第五过渡轮38设置在第四过渡轮37的后,两个第五过渡轮38之间形成容许膜通过的孔隙,用于进一步将膜从第二电镀槽2内导出,以便于收卷。
该超薄膜电镀装置还包括第一导电机构4和第二导电机构5,第一导电机构4和第二导电机构5分别用以通过导电方式吸引离子沉积在膜上。
第一导电机构4包括两个循环转动的第一导电同步带41和与第一导电同步带41配合的多个第一同步轮42,第一导电同步带41在循环转动的过程一部分位于第一电镀槽1内而另一部分位于第一电镀槽1之外,第一导电同步带41位于第一电镀槽1内的部分围绕并靠近第一载体轮32的部分轮周,第一导电同步带42随第一载体轮32的转动而循环转动,设计两个第一导电同步带41,分别用以与膜的上下边接触导电;
第二导电机构5包括两个循环转动的第二导电同步带51和与第二导电同步带51配合的多个第二同步轮52,第一导电同步带41在循环转动的过程一部分位于第二电镀槽2内而另一部分位于第二电镀槽2之外,第二导电同步带51位于第二电镀槽2内的部分围绕并靠近第二载体轮33的部分轮周,第二导电同步带51随第二载体轮33的转动而循环转动,设计两个第二导电同步带51,分别用以与膜的上下边接触导电。
第一电镀槽1和第二电镀槽2内分别设置有作为阳极的导电铜块6,其中,第一电镀槽1的内壁环绕第一载体轮32设置有多个导电铜块6,第二电镀槽2的内壁环绕第二载体轮33设置有多个导电铜块6。
第一电镀槽1和第二电镀槽2内还分别设置有多个喷淋管7,喷淋管7上设置有喷淋头。喷淋管7可以选择设置在相邻的两个导电铜块6之间,多个喷淋管7也围绕着载体轮设置。通过喷淋管7喷淋可以扰动电解液,从而使得电镀效果更加。
本发明实施例所提供的超薄电镀设备在工作时,膜释放轮31上装有料卷,电机带动载体轮转动,膜释放轮31上的料卷上的膜释放至第一电镀槽1内,膜附着在第一载体轮32上,随着第一载体轮32转动而移动直至从第一电镀槽1内移出,从第一电镀槽1内移出后,膜反向折回至第一转换轮、第二转换轮和第三转换轮,再进入至第二电镀槽2内,此时膜的另一面附着在第二载体轮33上,随着第二载体轮33转动而移动直至从第二电镀槽2内移出,在膜移动的过程中,第一导电同步带41和第二导电同步带51分别在第一载体轮32和第二载体轮33的带动下一起循环转动,导电同步带贴着膜,并且导电同步带与载体轮一起起到共同夹持膜的作用,进一步提高了对膜的支撑效果;此外由于导电同步带的导电性,可以吸引铜离子/镍离子等至膜上,从而完成电镀,而膜与导电同步带接触的部分在完成电镀后切除,此为工艺边。
通过以上技术方案,本发明实施例提供的超薄电镀设备设有两个电镀槽,在进行电镀时,通过两个电镀槽对膜的两面分别进行电镀处理,如此电镀液的浮力对电镀的影响较小,保证了电镀的均匀性。
超薄电镀设备通过第一载体轮32和第二载体轮33,可以使得膜的非电镀面附着在相应的载体轮上,因而膜在电镀时具有一定的承托力,不会在电镀液内晃动荡漾,如此提高了电镀的均匀性,保证了最终产品的导电均匀性。
对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种超薄膜电镀装置,其特征在于:包括第一电镀槽、第二电镀槽和膜传送机构,所述第一电镀槽和第二电镀槽并排设置,所述膜传送机构用以传送待电镀膜依次进入所述第一电镀槽和第二电镀槽而使得待电镀膜在所述第一电镀进行正面电镀、在所述第二电镀槽内进行反面电镀;
所述膜传送机构包括膜释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮,所述第一载体轮和第二载体轮分别竖直设置于所述所述第一电镀槽和第二电镀槽中,且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致,所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动;
所述膜释放轮用以释放待电镀膜至所述第一电镀槽内;
所述第一载体轮用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的反面贴附其轮面转动;
所述第二载体轮用以提供待电镀膜承载而使得待电镀膜的正面贴附其轮面转动;
所述正反面转换组件用以使得从所述第一电镀槽出来的电镀膜正反面对置后而进入至所述第二电镀槽内进行另一面的电镀。
2.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述膜释放轮竖直设置,所述膜释放轮与所述第一载体轮和第二载体轮大致位于同一高度上,且所述膜释放轮靠近/位于所述第一电镀槽和第二电镀槽之间的区域。
3.根据权利要求2所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述第一电镀槽与所述第二电镀槽相对的内侧壁以及所述第二电镀槽与所述第一电镀槽相对的内侧壁上分别设置有第一膜进出口和第二膜进出口。
4.根据权利要求3所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述膜传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮;
所述第一过渡轮和第二过渡轮分别位于所述第一膜进出口处,所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以过渡导引膜移入和移出所述第一电镀槽,所述第三过渡轮和第四过渡轮分别所述第二膜进出口处,所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以过渡导引膜移入和移出所述第二电镀槽,膜经由所述第二过渡轮从所述第一电镀槽导出后斜向移动至所述第三过渡轮并经过所述第三过渡轮正反面转换后而进入所述第二电镀槽。
5.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:还包括第一导电机构和第二导电机构,所述第一导电机构和第二导电机构分别用以通过导电方式吸引离子沉积在膜上。
6.根据权利要求5所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述第一导电机构包括循环转动的第一导电同步带和与所述第一导电同步带配合的多个第一同步轮,所述第一导电同步带在循环转动的过程一部分位于所述第一电镀槽内而另一部分位于所述第一电镀槽之外,所述第一导电同步带位于所述第一电镀槽内的部分围绕并靠近所述第一载体轮的部分轮周,所述第一导电同步带随所述第一载体轮的转动而循环转动;
所述第二导电机构包括循环转动的第二导电同步带和与所述第二导电同步带配合的多个第二同步轮,所述第一导电同步带在循环转动的过程一部分位于所述第二电镀槽内而另一部分位于所述第二电镀槽之外,所述第二导电同步带位于所述第二电镀槽内的部分围绕并靠近所述第二载体轮的部分轮周,所述第二导电同步带随所述第二载体轮的转动而循环转动。
7.根据权利要求6所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述第一导电同步带和第二导电同步带分别设置两个,两个所述第一导电同步带分别用以与膜的上下边接触导电,两个所述第二导电同步带分别用以与膜的上下边接触导电。
8.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述第一电镀槽和第二电镀槽内分别设置有作为阳极的导电铜块。
9.根据权利要求8所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述第一电镀槽的内壁环绕所述第一载体轮设置有多个所述导电铜块,所述第二电镀槽的内壁环绕所述第二载体轮设置有多个所述导电铜块。
10.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀装置,其特征在于:所述第一电镀槽和第二电镀槽内还分别设置有喷淋管,所述喷淋管上设置有喷淋头。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115821358A (zh) * | 2023-02-13 | 2023-03-21 | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 | 夹持式薄膜电镀装置 |
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2021
- 2021-03-16 CN CN202110279402.XA patent/CN112779578A/zh active Pending
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