CN115787046B - 滚轮式薄膜电镀设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种滚轮式薄膜电镀设备,包括:阴极输送带组件,阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中,阴极输送带组件与薄膜的第一表面滚动接触;阴极输送轮组件,阴极输送轮组件朝向阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中,阴极输送轮组件与薄膜的第二表面滚动接触;薄膜在阴极输送轮组件与阴极输送带组件之间输送,阴极输送轮组件上分布有多个第一导电块,一部分第一导电块与第二表面相接触,阴极输送带组件上分布有多个导电片,一部分导电片与第一表面相接触,每个第一导电块和每个导电片内经过的电流可调节。本发明具有提高薄膜表面镀层均匀性和电镀效果的优点。

Description

滚轮式薄膜电镀设备
技术领域
本发明属于电镀设备技术领域,具体涉及一种滚轮式薄膜电镀设备。
背景技术
常用的电镀设备是电镀槽,薄膜产品在电镀槽内进行电镀时存在以下问题:1、在电镀槽尺寸不变和薄膜输送速度不变的情况下,薄膜水平输送时,电镀的时间较短,电镀效果较差;2、对薄膜进行电镀时,电流无法在薄膜表面均匀分布,导致薄膜上电流聚集的地方率先被电镀,那么薄膜表面率先被电镀的位置上的金属会加剧该处的电流汇聚效应,使得该处的导电性相较于未电镀处更强,这导致了薄膜产品电镀不均匀;3、由于薄膜产品电镀时容易出现不均匀现象,这导致了薄膜产品上未被电镀的部分被电镀液腐蚀,使得薄膜产品上电镀层断开,使薄膜基材暴露在电镀液中。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此,本发明提出一种滚轮式薄膜电镀设备,该滚轮式薄膜电镀设备具有提高薄膜表面镀层均匀性和电镀效果的优点。
根据本发明实施例的滚轮式薄膜电镀设备,包括:阴极输送带组件,所述阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中,所述阴极输送带组件与薄膜的第一表面滚动接触;阴极输送轮组件,所述阴极输送轮组件朝向所述阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中,所述阴极输送轮组件与薄膜的第二表面滚动接触;所述薄膜在所述阴极输送轮组件与所述阴极输送带组件之间输送,所述阴极输送轮组件上分布有多个第一导电块,一部分所述第一导电块与所述第二表面相接触,所述阴极输送带组件上分布有多个导电片,一部分所述导电片与所述第一表面相接触,每个所述第一导电块和每个所述导电片内经过的电流可调节。
根据本发明一个实施例,所述阴极输送带组件为皮带或履带,多个所述导电片在所述阴极输送带组件的外周面上均匀间隔设置。
根据本发明一个实施例,所述阴极输送轮组件包括两个轮组单元和连接轴,两个所述轮组单元对称设置,所述连接轴与两个所述轮组单元同轴设置,所述连接轴位于两个所述轮组单元之间,所述连接轴的一端连接一所述轮组单元,所述连接轴的另一端连接另一所述轮组单元,所述阴极输送带组件的数量为两个,两个所述阴极输送带组件与两个所述轮组单元一一对应。
根据本发明一个实施例,所述轮组单元包括:轮盘,所述轮盘的一侧与所述连接轴相连,多个所述第一导电块在所述轮盘的外周面上均匀间隔设置;空心轴,所述空心轴与所述轮盘的另一侧相连;多个第三导电块,多个所述第三导电块在所述空心轴的外周面上均匀间隔设置,多个所述第三导电块与多个所述第一导电块一一对应,所述第三导电块与对应的所述第一导电块通过线缆电连接;一导电盘,一所述导电盘套设在所述空心轴上,一所述导电盘的一端与电源相连,一所述导电盘的另一端与多个所述第三导电块相连。
根据本发明一个实施例,所述轮组单元还包括:多个第二导电块,多个所述第二导电块在所述轮盘的外周面上均匀间隔设置,所述第二导电块位于所述第一导电块靠近所述第三导电块的一侧,多个所述第二导电块与多个所述导电片一一对应,所述第二导电块与对应的所述导电片相接触;多个第四导电块,多个所述第四导电块在所述空心轴的外周面上均匀间隔设置,多个所述第四导电块与多个所述第二导电块一一对应,所述第四导电块与对应的所述第二导电块通过线缆电连接;另一导电盘,另一所述导电盘套设在所述空心轴上,另一所述导电盘的一端与电源相连,另一所述导电盘的另一端与多个所述第四导电块相连。
根据本发明一个实施例,所述线缆位于所述轮盘和所述空心轴的内部。
根据本发明一个实施例,所述导电盘包括:本体,所述本体的内周面上均匀分布有多个安装凸起,所述安装凸起内具有安装腔;多个第五导电块,多个所述第五导电块与多个所述安装凸起一一对应,所述第五导电块安装在所述安装腔内;多个弹簧,多个所述弹簧与多个所述第五导电块一一对应,所述弹簧安装在所述安装腔内,所述弹簧一端与所述安装腔的底面相抵,所述弹簧一端与所述第五导电块相抵,以使所述第五导电块凸出于所述安装凸起,所述第五导电块的一端与所述第三导电块或所述第四导电块相接触,所述第五导电块的另一端与电源相连。
根据本发明一个实施例,滚轮式薄膜电镀设备还包括阳极组件,所述阳极组件包括第一阳极安装板、多个第一阳极、第二阳极安装板和多个第二阳极,所述第一阳极安装板位于所述薄膜的正上方,多个所述第一阳极在所述第一阳极安装板朝向所述薄膜的一侧均匀间隔设置,所述第二阳极安装板位于所述薄膜的正下方,多个所述第二阳极在所述第二阳极安装板朝向所述薄膜的一侧均匀间隔设置。
根据本发明一个实施例,所述第一阳极安装板和所述第二阳极安装板均位于所述连接轴的下方,所述第一阳极安装板和所述第二阳极安装板为弧形板,所述第一阳极安装板对应的圆心、所述第二阳极安装板对应的圆心均落在所述连接轴的中心线上。
根据本发明一个实施例,滚轮式薄膜电镀设备还包括上料轮组和下料轮组,所述上料轮组位于所述阴极输送轮组件的一端,所述上料轮组用于将薄膜接驳至所述阴极输送轮组件与所述阴极输送带组件之间,所述阴极输送轮组件与所述阴极输送带组件带动所述薄膜进入电镀液中进行电镀,所述下料轮组位于所述阴极输送轮组件的另一端,所述下料轮组用于将薄膜从电镀液中接驳出来。
本发明的有益效果是,本发明结构简单,利用阴极输送带组件与薄膜的第一表面滚动接触,阴极输送轮组件与薄膜的第二表面滚动接触,使得薄膜能够在电镀液中稳定输送,同时利用多个第一导电块向薄膜的第二表面进行供电,利用多个导电片向薄膜的第一表面进行供电,一方面实现了对薄膜上两个面进行同时电镀,另一方面通过分布的多个第一导电块和多个导电片对薄膜表面各处供电,提高了电流在薄膜上分布的均匀性,避免了局部电镀的情况发生,通过对每个第一导电块和每个导电片内经过的电流进行调节,使得薄膜的两个表面被分成多块区域进行电压或电流的单独控制,使得电镀更加均匀,以达到镀层的沉积最佳质量,提高了电镀效果。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明中阴极输送轮组件的结构示意图;
图3是本发明中导电盘的结构示意图;
图4是本发明中导电盘的剖视结构示意图;
图5是本发明中阴极输送带组件为皮带时的示意图;
图6是本发明中阴极输送带组件为履带时的示意图;
图7是本发明中阳极组件的结构示意图;
附图标记:
上料轮组1、阴极输送轮组件2、阴极输送带组件3、阳极组件4、下料轮组5、薄膜6、连接轴21、轮盘22、第一导电块23、第二导电块24、第三导电块25、第四导电块26、空心轴27、导电盘28、本体281、安装凸起282、第五导电块283、弹簧284、皮带31、导电片32、履带33、第一阳极安装板41、第一阳极42、第二阳极安装板43、第二阳极44。
具体实施方式
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面具体描述根据本发明实施例的滚轮式薄膜电镀设备。
如图1至图7所示,根据本发明实施例的滚轮式薄膜电镀设备,包括:阴极输送带组件3和阴极输送轮组件2,阴极输送带组件3的一部分浸没在电镀液中,阴极输送带组件3与薄膜6的第一表面滚动接触;阴极输送轮组件2朝向阴极输送带组件3的一部分浸没在电镀液中,阴极输送轮组件2与薄膜6的第二表面滚动接触;薄膜6在阴极输送轮组件2与阴极输送带组件3之间输送,阴极输送轮组件2上分布有多个第一导电块23,一部分第一导电块23与第二表面相接触,阴极输送带组件3上分布有多个导电片32,一部分导电片32与第一表面相接触,每个第一导电块23和每个导电片32内经过的电流可调节。
就是说,本发明的滚轮式薄膜电镀设备可以安装在任何电镀槽中,只要将阴极输送带组件3和阴极输送轮组件2放置在电镀槽并浸入电镀液中,阴极输送带组件3和阴极输送轮组件2在工作时会带动薄膜6沿着弧形轨迹浸入电镀液中进行电镀,相较于直线输送而言,本发明中薄膜6的运动轨迹较长,延长了电镀时间;本发明通过多个第一导电块23向第二表面供电,通过多个导电片32向第一表面供电,使薄膜6的两个表面同时构成阴极,进行双面电镀的同时,实现了对薄膜6表面各处电流的控制,保证薄膜6表面各处能够实现均匀电镀。
需要注意的是,本申请中阴极输送带组件3和阴极输送轮组件2只有与薄膜6接触且处于通电的部分才能浸没在电镀液中,若电解液中的第一导电块23和导电片32不与薄膜6接触进行导电时,容易受到电解液侵蚀。
如图5所示,阴极输送带组件3为皮带31,如图6所示,阴极输送带组件3为履带33,多个导电片32在阴极输送带组件3的外周面上均匀间隔设置。阴极输送带组件3内部可以设置多个与滚动接触的滚轮,从而保证阴极输送带组件3稳定传动。
根据本发明一个实施例,阴极输送轮组件2包括两个轮组单元和连接轴21,两个轮组单元对称设置,连接轴21与两个轮组单元同轴设置,连接轴21位于两个轮组单元之间,连接轴21的一端连接一轮组单元,连接轴21的另一端连接另一轮组单元,阴极输送带组件3的数量为两个,两个阴极输送带组件3与两个轮组单元一一对应。
换言之,一个轮组单元和一个阴极输送带组件3相互配合,夹持住薄膜6的一侧边缘进行输送,另一个轮组单元和另一个阴极输送带组件3相互配合,夹持住薄膜6的另一侧边缘进行输送,两个轮组单元通过连接轴21实现同步运动。
进一步地,轮组单元包括:轮盘22、空心轴27、多个第三导电块25和一导电盘28,轮盘22的一侧与连接轴21相连,多个第一导电块23在轮盘22的外周面上均匀间隔设置;空心轴27与轮盘22的另一侧相连;多个第三导电块25在空心轴27的外周面上均匀间隔设置,多个第三导电块25与多个第一导电块23一一对应,第三导电块25与对应的第一导电块23通过线缆电连接;一导电盘28套设在空心轴27上,一导电盘28的一端与电源相连,一导电盘28的另一端与多个第三导电块25相连。
就是说,对于薄膜6的第二表面而言,轮组单元在旋转过程中,始终有相同数量的第一导电块23与第二表面接触,为了保证第一导电块23的导电性能,通过设置第三导电块25将通电位置引出,同时在第三导电块25上设置一导电盘28,一导电盘28向第三导电块25供电,也就是向第一导电块23供电,从而使第二表面形成为阴极。
更进一步地,轮组单元还包括:多个第二导电块24、多个第四导电块26和另一导电盘28,多个第二导电块24在轮盘22的外周面上均匀间隔设置,第二导电块24位于第一导电块23靠近第三导电块25的一侧,多个第二导电块24与多个导电片32一一对应,第二导电块24与对应的导电片32相接触;多个第四导电块26在空心轴27的外周面上均匀间隔设置,多个第四导电块26与多个第二导电块24一一对应,第四导电块26与对应的第二导电块24通过线缆电连接;另一导电盘28套设在空心轴27上,另一导电盘28的一端与电源相连,另一导电盘28的另一端与多个第四导电块26相连。
同样的,另一导电盘28向第四导电块26供电,第四导电块26传递给第二导电块24,第二导电块24传递给导电片32,导电片32传递给薄膜6的第一表面,本申请中,薄膜6的侧边缘位于第二导电块24和第一导电块23之间。
需要说明的是,本申请中一导电盘28的一端与电源的负极相连,另一导电盘28的一端与电源的负极相连,电源的数量优选为两个,两个电源可以分别对两个导电盘28进行单独控制,进而实现对第一表面和第二表面电流或电压的单独控制,并且在其中一个损坏时,只需要更换坏的电源即可。
在此基础上,线缆位于轮盘22和空心轴27的内部。换言之,轮盘22和空心轴27内部均为空心结构,导电用的线缆设置在轮盘22和空心轴27的内部可以避免电镀液腐蚀。
其中,导电盘28包括:本体281、多个第五导电块283和多个弹簧284,本体281的内周面上均匀分布有多个安装凸起282,安装凸起282内具有安装腔;多个第五导电块283与多个安装凸起282一一对应,第五导电块283安装在安装腔内;多个弹簧284与多个第五导电块283一一对应,弹簧284安装在安装腔内,弹簧284一端与安装腔的底面相抵,弹簧284一端与第五导电块283相抵,以使第五导电块283凸出于安装凸起282,第五导电块283的一端与第三导电块25或第四导电块26相接触,第五导电块283的另一端与电源相连。
换言之,本发明在工作时,与薄膜6贴合的第一导电块23和导电片32始终在变化,为了保证向不同的第一导电块23和不同的导电片32进行供电,通过设置两个导电盘28,在旋转时,一导电盘28上的第五导电块283依次与第三导电块25接触,另一导电盘28上的第五导电块283依次与第四导电块26接触,从而实现了通电位置的切换,设置弹簧284可以确保第五导电块283与第三导电块25或第四导电块26接触良好,避免发生断触。
根据本发明一个实施例,滚轮式薄膜电镀设备还包括阳极组件4,阳极组件4包括第一阳极安装板41、多个第一阳极42、第二阳极安装板43和多个第二阳极44,第一阳极安装板41位于薄膜6的正上方,多个第一阳极42在第一阳极安装板41朝向薄膜6的一侧均匀间隔设置,第二阳极安装板43位于薄膜6的正下方,多个第二阳极44在第二阳极安装板43朝向薄膜6的一侧均匀间隔设置。其中,多个第一阳极42均与电源的正极连接,多个第二阳极44均与电源的负极连接。
进一步地,第一阳极安装板41和第二阳极安装板43均位于连接轴21的下方,第一阳极安装板41和第二阳极安装板43为弧形板,第一阳极安装板41对应的圆心、第二阳极安装板43对应的圆心均落在连接轴21的中心线上。
本申请中,第一阳极安装板41和第二阳极安装板43选用PVC、PP、UPVC等材料制成,第一阳极42和第二阳极44由钛材料制成。本申请中所用线缆为镀锡或镀银的低阻抗铜线。本申请中导电片32为铜片、不锈钢铁片、钛片等。
根据本发明一个实施例,滚轮式薄膜电镀设备还包括上料轮组1和下料轮组5,上料轮组1位于阴极输送轮组件2的一端,上料轮组1用于将薄膜6接驳至阴极输送轮组件2与阴极输送带组件3之间,阴极输送轮组件2与阴极输送带组件3带动薄膜6进入电镀液中进行电镀,下料轮组5位于阴极输送轮组件2的另一端,下料轮组5用于将薄膜6从电镀液中接驳出来。
表1:不同电流密度条件下电镀铜性能参数
本申请在适合的电流密度范围(1~6 ASD)内,高电流密度,可以得到比较细致的镀层,而且还能加快沉积速度;当电流密度过大时,容易出现烧焦的镀层,呈现疏松的海绵状,或色泽不正常的粗糙镀层。这是由于电流密度过大时,阴极附近反应太快,以致严重缺乏金属离子,造成氢的急剧析出,使该处pH值迅速升高,在阴极表面生成金属的氢氧化物或碱式盐夹附在镀层内,形成空洞、麻点、疏松和烧焦等。电流密度太小时(小于0.3ASD),当阴极电流密度过低时,阴极极化作用小,镀层的结晶晶粒较粗,由于酸性槽液的溶解,镀层金属会呈现疏松和无光泽的状态。
本发明结构简单,利用阴极输送带组件3与薄膜6的第一表面滚动接触,阴极输送轮组件2与薄膜6的第二表面滚动接触,使得薄膜6能够在电镀液中稳定输送,同时利用多个第一导电块23向薄膜6的第二表面进行供电,利用多个导电片32向薄膜6的第一表面进行供电,一方面实现了对薄膜6上两个面进行同时电镀,另一方面通过分布的多个第一导电块23和多个导电片32对薄膜6表面各处供电,提高了电流在薄膜6上分布的均匀性,避免了局部电镀的情况发生,通过对每个第一导电块23和每个导电片32内经过的电流进行调节,使得薄膜的两个表面被分成多块区域进行电压或电流的单独控制,使得电镀更加均匀,提高了电镀效果。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,包括:
阴极输送带组件(3),所述阴极输送带组件(3)的一部分浸没在电镀液中,所述阴极输送带组件(3)与薄膜(6)的第一表面滚动接触;
阴极输送轮组件(2),所述阴极输送轮组件(2)朝向所述阴极输送带组件(3)的一部分浸没在电镀液中,所述阴极输送轮组件(2)与薄膜(6)的第二表面滚动接触;
所述薄膜(6)在所述阴极输送轮组件(2)与所述阴极输送带组件(3)之间输送,所述阴极输送轮组件(2)上分布有多个第一导电块(23),一部分所述第一导电块(23)与所述第二表面相接触,所述阴极输送带组件(3)上分布有多个导电片(32),一部分所述导电片(32)与所述第一表面相接触,每个所述第一导电块(23)和每个所述导电片(32)内经过的电流可调节;
所述阴极输送轮组件(2)包括两个轮组单元和连接轴(21),两个所述轮组单元对称设置,所述连接轴(21)与两个所述轮组单元同轴设置,所述连接轴(21)位于两个所述轮组单元之间,所述连接轴(21)的一端连接一所述轮组单元,所述连接轴(21)的另一端连接另一所述轮组单元,所述阴极输送带组件(3)的数量为两个,两个所述阴极输送带组件(3)与两个所述轮组单元一一对应;
所述轮组单元包括:
轮盘(22),所述轮盘(22)的一侧与所述连接轴(21)相连,多个所述第一导电块(23)在所述轮盘(22)的外周面上均匀间隔设置;
空心轴(27),所述空心轴(27)与所述轮盘(22)的另一侧相连;
多个第三导电块(25),多个所述第三导电块(25)在所述空心轴(27)的外周面上均匀间隔设置,多个所述第三导电块(25)与多个所述第一导电块(23)一一对应,所述第三导电块(25)与对应的所述第一导电块(23)通过线缆电连接;
一导电盘(28),一所述导电盘(28)套设在所述空心轴(27)上,一所述导电盘(28)的一端与电源相连,一所述导电盘(28)的另一端与多个所述第三导电块(25)相连;
所述轮组单元还包括:
多个第二导电块(24),多个所述第二导电块(24)在所述轮盘(22)的外周面上均匀间隔设置,所述第二导电块(24)位于所述第一导电块(23)靠近所述第三导电块(25)的一侧,多个所述第二导电块(24)与多个所述导电片(32)一一对应,所述第二导电块(24)与对应的所述导电片(32)相接触;
多个第四导电块(26),多个所述第四导电块(26)在所述空心轴(27)的外周面上均匀间隔设置,多个所述第四导电块(26)与多个所述第二导电块(24)一一对应,所述第四导电块(26)与对应的所述第二导电块(24)通过线缆电连接;
另一导电盘(28),另一所述导电盘(28)套设在所述空心轴(27)上,另一所述导电盘(28)的一端与电源相连,另一所述导电盘(28)的另一端与多个所述第四导电块(26)相连。
2.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,所述阴极输送带组件(3)为皮带(31)或履带(33),多个所述导电片(32)在所述阴极输送带组件(3)的外周面上均匀间隔设置。
3.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,所述线缆位于所述轮盘(22)和所述空心轴(27)的内部。
4.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,所述导电盘(28)包括:
本体(281),所述本体(281)的内周面上均匀分布有多个安装凸起(282),所述安装凸起(282)内具有安装腔;
多个第五导电块(283),多个所述第五导电块(283)与多个所述安装凸起(282)一一对应,所述第五导电块(283)安装在所述安装腔内;
多个弹簧(284),多个所述弹簧(284)与多个所述第五导电块(283)一一对应,所述弹簧(284)安装在所述安装腔内,所述弹簧(284)一端与所述安装腔的底面相抵,所述弹簧(284)一端与所述第五导电块(283)相抵,以使所述第五导电块(283)凸出于所述安装凸起(282),所述第五导电块(283)的一端与所述第三导电块(25)或所述第四导电块(26)相接触,所述第五导电块(283)的另一端与电源相连。
5.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,还包括阳极组件(4),所述阳极组件(4)包括第一阳极安装板(41)、多个第一阳极(42)、第二阳极安装板(43)和多个第二阳极(44),所述第一阳极安装板(41)位于所述薄膜(6)的正上方,多个所述第一阳极(42)在所述第一阳极安装板(41)朝向所述薄膜(6)的一侧均匀间隔设置,所述第二阳极安装板(43)位于所述薄膜(6)的正下方,多个所述第二阳极(44)在所述第二阳极安装板(43)朝向所述薄膜(6)的一侧均匀间隔设置。
6.根据权利要求5所述的滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,所述第一阳极安装板(41)和所述第二阳极安装板(43)均位于所述连接轴(21)的下方,所述第一阳极安装板(41)和所述第二阳极安装板(43)为弧形板,所述第一阳极安装板(41)对应的圆心、所述第二阳极安装板(43)对应的圆心均落在所述连接轴(21)的中心线上。
7.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备,其特征在于,还包括上料轮组(1)和下料轮组(5),所述上料轮组(1)位于所述阴极输送轮组件(2)的一端,所述上料轮组(1)用于将薄膜(6)接驳至所述阴极输送轮组件(2)与所述阴极输送带组件(3)之间,所述阴极输送轮组件(2)与所述阴极输送带组件(3)带动所述薄膜(6)进入电镀液中进行电镀,所述下料轮组(5)位于所述阴极输送轮组件(2)的另一端,所述下料轮组(5)用于将薄膜(6)从电镀液中接驳出来。
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