CN115816237A - 一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及石英坩埚制备技术领域，公开了一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，包括底板、套于工作台外侧的长齿筒，所述长齿筒两侧通过横向调节组件安装有调节箱，所述机架侧壁设有使工作台以及长齿筒相对转动的驱动组件，所述调节箱背侧设有用于控制所述接合套运动的换挡组件，本发明采用双侧打磨，同时在驱动组件的作用下，使石英坩埚与两侧打磨轮相对转动，充分打磨，通过设置横向调节组件，改变与石英坩埚的间距，实现一级打磨力度的调节，通过换挡组件调节拨杆的位置，进而调节打磨轮不同的输出转速，实现二级打磨力度的调节，多维度的调节可有效提高打磨精度，适应不同工况需求，给石英坩埚的制备带来了方便。

Description

一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备

技术领域

本发明涉及石英坩埚制备技术领域，具体为一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

石英坩埚在入库检验前，需要通过机加工进行处理，一件公开号为CN207629769U的专利公开了一种氮化硼坩埚打磨装置，包括：基座；旋转头，设于所述基座上，所述旋转头上设有夹紧机构；动力机构，设有基座上，所述动力机构用于驱动所述旋转头转动；

上述打磨装置可通过旋转头带动坩埚转动，再配合打磨头对坩埚表面进行打磨，然而该装置仅通过单一打磨头对其打磨，打磨效率较低，且在实际生产工况中，对于不同的打磨要求，需要调节不同的打磨力度，而现有装置无法快速调节打磨力度，无法满足工况需求。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，解决了现有坩埚打磨效率低，精度差，不能根据实际工况需求调节打磨力度的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，包括底板，所述底板上壁设有机架，所述机架顶部转动安装有工作台，所述工作台上设有定位组件，所述底板上壁设有背板，所述背板上端设有顶板，所述顶板下壁设有一对液压杆，一对所述液压杆驱动端下方设置有套于工作台外侧的长齿筒，所述长齿筒上壁设有环形卡槽，所述液压杆驱动端底部设有与所述环形卡槽滑动连接的滑球，所述长齿筒两侧通过横向调节组件安装有调节箱，所述机架侧壁设有使工作台以及长齿筒相对转动的驱动组件，所述调节箱内分别转动安装有输入轴以及输出轴，所述调节箱上壁设有与所述输入轴一端连接的打磨电机，所述输出轴下端贯穿调节箱下壁且固定设有打磨轮，所述输入轴上依次设有第一传动齿轮以及第二传动齿轮，所述输出轴上依次设有第一从动齿轮以及第二从动齿轮，所述第一传动齿轮与所述第一从动齿轮啮合，所述第二传动齿轮与所述第二从动齿轮啮合，所述输出轴上且位于第一从动齿轮以及第二从动齿轮之间处固定设有花键毂，所述花键毂上滑动套装有接合套，所述第一从动齿轮以及第二从动齿轮靠近花键毂的一侧处分别设有与所述接合套匹配的第一同步齿圈以及第二同步齿圈，所述调节箱背侧设有用于控制所述接合套运动的换挡组件。

通过采用上述技术方案，通过工作台上设置定位组件可快速固定石英坩埚，在驱动组件的作用下，使工作台上的石英坩埚以及长齿筒会产生相对运动，由于长齿轮在两侧均设置有打磨轮，因此打磨轮会在打磨电机的作用下进行自转，同时随长齿筒进行公转，且其转动方向与石英坩埚转向相反，使打磨更加充分，有效提高了打磨质量以及打磨精度，同时在横向调节组件的作用下，可调节打磨轮的水平位置，从而改变打磨轮与石英坩埚之间的间距，进而实现打磨力度的一级调节，同时，可通过换挡组件带动接合套上下运动，从而使接合套与第一同步齿圈或第二同步齿圈啮合，进而改变输入轴与输出轴之间的传动比，从而改变打磨轮的输出转速，实现打磨力度的二级调节，可有效提高装置适用性，适于多种工况需求。

优选的，所述定位组件包括工作台上壁呈环形阵列状布设的两对滑槽，所述滑槽内设有滑块，所述滑块上壁设有限位板，所述机架内转动安装有旋转座，所述旋转座上壁设有控制电机，所述控制电机驱动端安装有转板，所述转板上沿周向均匀布设有两对限位槽，所述限位槽一端位于转板边缘位置，另一端朝向转板中心位置呈圆弧状延伸，所述滑块下壁设有嵌入所述限位槽内的滑杆，所述滑杆可在限位槽内滑动。

通过采用上述技术方案，当需要固定坩埚时，控制电机带动转板转动，由于转板上沿周向均布限位槽一端位于转板边缘位置，另一端朝向转板中心位置呈圆弧状延伸，当转板发生转动时，限位槽会同步推动滑杆滑动，两对滑杆同步带动上方滑块以及两对限位板进行同步相向运动，从而对不同规格大小的坩埚进行固定，有效提高装置的适配性。

优选的，所述驱动组件包括设于所述机架外壁的支座，所述支座上壁设有旋转电机，所述支座上壁且位于旋转电机一侧处转动安装有转轴，所述旋转电机驱动端安装有主伞齿轮，所述转轴底部设有与所述主伞齿轮啮合的副伞齿轮，顶部设有驱动齿轮，所述工作台外壁设有与所述驱动齿轮啮合的外齿圈，所述长齿筒内设有与所述驱动齿轮啮合的内齿圈。

通过采用上述技术方案，当需要打磨时，旋转电机通过主伞齿轮带动副伞齿轮以及转轴转动，转轴顶部的驱动齿轮会同步带动外齿圈以及内齿圈转动，而内齿圈与外齿圈分别位于驱动齿轮两侧，因此二者转向相反，从而使工作台以及长齿筒呈相对转动，用于提高打磨效果以及打磨效率，且内齿圈的轴向长度较长，这样可在液压杆的作用下，使长齿筒在升降的同时，内齿圈始终与驱动齿轮保持啮合状态，长齿筒上端通过环形卡槽与液压杆下端的卡球滑动连接，使得长齿筒在进行升降工作时，不会中断长齿筒的旋转。

优选的，所述横向调节组件包括横向设置的螺杆，所述螺杆贯穿长齿筒侧壁且与长齿筒旋接，所述螺杆一端与所述调节箱转动连接，另一端安装有手轮，所述长齿筒内壁且位于螺杆两侧处设有一对导向筒，所述调节箱侧壁设有一对插入所述导向筒内的导向杆。

通过采用上述技术方案，可通过转动螺杆，使螺杆相对长齿筒在横向运动，且在导向筒与导向杆的配合下，调节箱将旋转运动改为直线运动，并随螺杆同步运动，实现打磨轮的位置横向调节。

优选的，所述换挡组件包括设于所述接合套外侧的环槽，所述调节箱后壁设有条形槽，所述条形槽内滑动设有拨杆，所述条形槽两侧设有导向槽，所述拨杆两端安装有与所述导向槽滑动连接的导向块，所述拨杆一端设有与所述滑槽滑动连接的滑销，另一端开设有安装槽，所述安装槽内设有伸缩杆，所述伸缩杆一端设有卡板，所述卡板与所述安装槽之间固定设有套于伸缩杆外侧的弹簧，所述调节箱外壁且位于所述第一同步齿圈、花键毂以及第二同步齿圈一侧处均设有定位套，所述卡板两端设有与所述定位套匹配的定位杆。

通过采用上述技术方案，调节箱外壁且位于第一同步齿圈、花键毂以及第二同步齿圈一侧处设置的定位套，配合卡板两侧的定位杆可用于调节拨杆的固定位置，当调节拨杆固定在最上方的定位套处时，此时拨杆带动接合套向上运动，并使接合套两端分别与第一同步齿圈以及花键毂连接，此时第一传动齿轮可将动力输出至第一从动齿轮，由于接合套与第一同步齿圈以及花键毂同时连接，因此，第一从动齿轮会同步带动输出轴以及下端的打磨轮转动，进行打磨工作，当调节拨杆使其固定在最下方的固定套处时，此时博杆带动接合套向下运动，并使接合套两端分别与花键毂以及第二同步齿圈连接，此时，第二传动齿轮可将动力输出至第二从动齿轮，由于接合套与第二同步齿圈以及花键毂同时连接，因此，第二从动齿轮会同步带动输出轴以及下端的打磨轮转动，通过上述结构可进行调速换挡，改变打磨轮的转速，进而改变打磨力度，且可根据实际需求，在调节箱内设置多组上述结构相同且传动比不同的齿轮组，实现多挡调速。

优选的，所述接合套内壁设有与所述花键毂、第一同步齿圈以及第二同步齿圈啮合的内齿。

通过采用上述技术方案，可使接合套在花键毂上沿轴向滑动，并可与第一同步齿圈以及第二同步齿圈分别啮合连接，进而使第一从动齿轮以及第二从动齿轮将驱动力传递至输出轴上。

优选的，所述第一传动齿轮与第一从动齿轮的传动比小于第二传动齿轮与第二从动齿轮的传动比。

通过采用上述技术方案，通过设置不同传动比的齿轮组，可改变输出轴的转速，进而调节打磨力度，使装置适用于不同工况需求。

优选的，所述工作台为圆形结构，所述工作台下壁设有环形轨道，所述机架上壁设有与所述环形轨道匹配的环形槽。

通过采用上述技术方案，通过在工作台底部设置环形轨道，机架上壁设置环形槽，可使工作台在随外齿圈转动时，更为平稳，提高装置安全性。

优选的，所述环形卡槽的截面形状为：上侧为矩形结构，下层为圆形结构。

通过采用上述技术方案，下层圆形结构的宽度大于上层矩形结构的宽度，可使卡球深入至环形卡槽的下层圆形结构内，避免卡球与环形卡槽脱离。

优选的，所述限位板两侧具有弧面结构。

通过采用上述技术方案，限位板两侧设置弧面结构，可使其更加贴合坩埚侧壁，从而提高夹持固定效果。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

本装置可通过控制电机带动转板转动，并在限位槽以及滑杆的配合下，使两对限位板相向运动，进而对不同规格大小的石英坩埚进行固定，适配性较高；

本装置采用双侧打磨，提高打磨效率，同时在驱动组件的作用下，使石英坩埚与两侧打磨轮相对转动，且打磨轮在自转的同时随长齿筒进行公转，使其充分打磨，提高打磨效果；

本装置可通过液压缸带动长齿筒升降，进而改变打磨高度，且设置轴向长度较长的内齿圈可使长齿筒在升降时，内齿圈与驱动齿轮依然保持啮合，长齿筒上端通过环形卡槽与液压杆下端的卡球滑动连接，使得长齿筒在进行升降工作时，不会中断长齿筒的旋转，使装置具备较高的灵活性；

本装置通过设置横向调节组件，可对打磨轮横向位置进行调节，改变与石英坩埚的间距，实现一级打磨力度的调节，通过换挡组件调节拨杆的位置，进而调节打磨轮不同的输出转速，实现二级打磨力度的调节，通过多维度的调节可有效提高打磨精度，适应不同工况需求，给石英坩埚的制备带来了方便。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明图1的A处局部放大结构示意图。

图3为本发明图2的局部侧视剖视示意图。

图4为本发明图2的局部俯视剖视示意图。

图5为本发明工作台以及长齿筒的俯视剖视示意图。

图6为本发明的转板以及限位槽的俯视结构示意图。

图7为本发明图1的B处局部放大结构示意图。

图8为本发明横向调节组件的俯视结构示意图。

图中：1、底板；2、机架；3、工作台；4、背板；5、顶板；6、液压杆；7、长齿筒；8、环形卡槽；9、滑球；10、调节箱；11、输入轴；12、输出轴；13、打磨电机；14、打磨轮；15、第一传动齿轮；16、第二传动齿轮；17、第一从动齿轮；18、第二从动齿轮；19、花键毂；20、接合套；21、第一同步齿圈；22、第二同步齿圈；23、滑槽；24、滑块；25、限位板；26、旋转座；27、控制电机；28、转板；29、限位槽；30、滑杆；31、支座；32、旋转电机；33、转轴；34、主伞齿轮；35、副伞齿轮；36、驱动齿轮；37、外齿圈；38、内齿圈；39、螺杆；40、导向筒；41、导向杆；42、环槽；43、条形槽；44、拨杆；45、导向槽；46、导向块；47、滑销；48、伸缩杆；49、卡板；50、弹簧；51、定位套；52、定位杆；53、环形轨道。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图1-8，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1、图7，一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，包括底板1，底板1上壁设有机架2，机架2顶部转动安装有工作台3，所述工作台3为圆形结构，所述工作台3下壁设有环形轨道53，所述机架2上壁设有与所述环形轨道53匹配的环形槽，工作台3上设有定位组件，底板1上壁设有背板4，背板4上端设有顶板5，顶板5下壁设有一对液压杆6，一对液压杆6驱动端下方设置有套于工作台3外侧的长齿筒7，长齿筒7上壁设有环形卡槽8，所述环形卡槽8的截面形状为：上侧为矩形结构，下层为圆形结构，液压杆6驱动端底部设有与环形卡槽8滑动连接的滑球9，长齿筒7两侧通过横向调节组件安装有调节箱10。

请参阅图2-4，调节箱10内分别转动安装有输入轴11以及输出轴12，调节箱10上壁设有与输入轴11一端连接的打磨电机13，输出轴12下端贯穿调节箱10下壁且固定设有打磨轮14，输入轴11上依次设有第一传动齿轮15以及第二传动齿轮16，输出轴12上依次设有第一从动齿轮17以及第二从动齿轮18，第一传动齿轮15与第一从动齿轮17啮合，第二传动齿轮16与第二从动齿轮18啮合，输出轴12上且位于第一从动齿轮17以及第二从动齿轮18之间处固定设有花键毂19，花键毂19上滑动套装有接合套20，第一从动齿轮17以及第二从动齿轮18靠近花键毂19的一侧处分别设有与接合套20匹配的第一同步齿圈21以及第二同步齿圈22，调节箱10背侧设有用于控制接合套20运动的换挡组件；

换挡组件可带动接合套20上下运动，从而使接合套20与第一同步齿圈21或第二同步齿圈22啮合，进而使输入轴11的动力以不同传动比传递至输出轴12上，实现打磨轮14的转速调节，进而调节打磨力度。

换挡组件包括设于接合套20外侧的环槽42，调节箱10后壁设有条形槽43，条形槽43内滑动设有拨杆44，条形槽43两侧设有导向槽45，拨杆44两端安装有与导向槽45滑动连接的导向块46，拨杆44一端设有与滑槽23滑动连接的滑销47，另一端开设有安装槽，安装槽内设有伸缩杆48，伸缩杆48一端设有卡板49，卡板49与安装槽之间固定设有套于伸缩杆48外侧的弹簧50，调节箱10外壁且位于第一同步齿圈21、花键毂19以及第二同步齿圈22一侧处均设有定位套51，卡板49两端设有与定位套51匹配的定位杆52，其中，接合套20内壁设有与所述花键毂19、第一同步齿圈21以及第二同步齿圈22啮合的内齿，第一传动齿轮15与第一从动齿轮17的传动比小于第二传动齿轮16与第二从动齿轮18的传动比；

在换挡时，向外侧拉动卡板49，使伸缩杆48以及弹簧50伸长，并使定位杆52脱离定位套51，此时拨杆44可在条形槽43内上下滑动，可根据所需的打磨力度，调节对应的打磨轮14的转速，使拨杆44运动至对应传动齿轮一侧处，松开卡板49，伸缩杆48以及弹簧50复位，并使定位杆52重新插入对应的定位套51内，完成换挡工作。

请参阅图1、图5，机架2侧壁设有使工作台3以及长齿筒7相对转动的驱动组件，驱动组件包括设于机架2外壁的支座31，支座31上壁设有旋转电机32，支座31上壁且位于旋转电机32一侧处转动安装有转轴33，旋转电机32驱动端安装有主伞齿轮34，转轴33底部设有与主伞齿轮34啮合的副伞齿轮35，顶部设有驱动齿轮36，工作台3外壁设有与驱动齿轮36啮合的外齿圈37，长齿筒7内设有与驱动齿轮36啮合的内齿圈38。

旋转电机32可带动转轴33运动，使其上端的驱动齿轮36带动两侧的外齿圈37以及内齿圈38运动，进而使工作台3以及长齿筒7相对转动。

请参阅图1、图5、图6，定位组件包括工作台3上壁呈环形阵列状布设的两对滑槽23，滑槽23内设有滑块24，滑块24上壁设有限位板25，限位板25两侧具有弧面结构，机架2内转动安装有旋转座26，旋转座26上壁设有控制电机27，控制电机27驱动端安装有转板28，转板28上沿周向均布设有两对限位槽29，限位槽29一端位于转板28边缘位置，另一端朝向转板28中心位置呈圆弧状延伸，滑块24下壁设有嵌入限位槽29内的滑杆30，滑杆30可在限位槽29内滑动。

控制电机27可带动转板28转动，并在周向分布且呈弧形设置的限位槽29的作用下，使滑杆30带动滑块24以及限位板25进行同步相向运动，进而实现石英坩埚的固定。

请参阅图8，横向调节组件包括横向设置的螺杆39，螺杆39贯穿长齿筒7侧壁且与长齿筒7旋接，螺杆39一端与调节箱10转动连接，另一端安装有手轮，长齿筒7内壁且位于螺杆39两侧处设有一对导向筒40，调节箱10侧壁设有一对插入导向筒40内的导向杆41。

螺杆39转动可在长齿筒7上作直线运动，通过导向杆41与导向筒40的配合，使调节箱10随螺杆39同步运动，进而实现打磨轮14的横向位置调节，改变打磨力度。

通过本领域技术人员，将本案中的零部件依次进行连接，具体连接以及操作顺序，应参考下述工作原理，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程。

实施例：当需要打磨时，将石英坩埚放置于工作台3上，启动控制电机27，控制电机27带动转板28转动，限位槽29随转板28转动的同时会带动两对滑杆30相向运动，进而使滑块24带动两对限位板25对坩埚进行快速固定，然后根据工况需求调节打磨轮14与石英坩埚间的距离，转动螺杆39，使螺杆39带动调节箱10在长齿筒7上作横向运动，从而调节长齿筒7下方的打磨轮14与石英坩埚外壁之间的距离，根据实际工况需求调节打磨轮14转速，可向外侧拉动卡板49，使定位杆52脱离定位套51，此时拨杆44可在条形槽43内滑动，拨杆44运动时会带动接合套20同步运动，从而使接合套20一端与花键毂19连接，另一端与第一从动齿轮17或第二从动齿轮18连接，这样在打磨电机13的驱动下，输入轴11上的第一传动齿轮15或第二传动齿轮16可将动力传递至第一从动齿轮17或第二从动齿轮18，进而改变输出轴12以及打磨轮14的转速，从而实现打磨力度的调节，调节完毕后，启动打磨电机13以及旋转电机32，旋转电机32会带动主伞齿轮34转动，与其啮合的副伞齿轮35带动转轴33及其上端的驱动齿轮36同步转动，外齿圈37以及内齿圈38分别啮合于驱动齿轮36两侧，因此长齿筒7与工作台3会发生相对转动，打磨轮14也在自转的同时随长齿筒7公转并与反向旋转的石英坩埚接触进行打磨工作，液压杆6驱动端的伸缩可带动长齿筒7上下运动，进而调节打磨轮14的高度位置，对石英坩埚不同高度的位置进行打磨，且内齿圈38的轴向长度较长，这样可在液压杆6的作用下，使长齿筒7在升降的同时，内齿圈38始终与驱动齿轮36保持啮合状态，长齿筒7上端通过环形卡槽8与液压杆6下端的卡球滑动连接，使得长齿筒7在进行升降工作时，不会中断长齿筒7的旋转，精准完成打磨工序。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，包括底板(1)，所述底板(1)上壁设有机架(2)，其特征在于，所述机架(2)顶部转动安装有工作台(3)，所述工作台(3)上设有定位组件，所述底板(1)上壁设有背板(4)，所述背板(4)上端设有顶板(5)，所述顶板(5)下壁设有一对液压杆(6)，一对所述液压杆(6)驱动端下方设置有套于工作台(3)外侧的长齿筒(7)，所述长齿筒(7)上壁设有环形卡槽(8)，所述液压杆(6)驱动端底部设有与所述环形卡槽(8)滑动连接的滑球(9)，所述长齿筒(7)两侧通过横向调节组件安装有调节箱(10)，所述机架(2)侧壁设有使工作台(3)以及长齿筒(7)相对转动的驱动组件，所述调节箱(10)内分别转动安装有输入轴(11)以及输出轴(12)，所述调节箱(10)上壁设有与所述输入轴(11)一端连接的打磨电机(13)，所述输出轴(12)下端贯穿调节箱(10)下壁且固定设有打磨轮(14)，所述输入轴(11)上依次设有第一传动齿轮(15)以及第二传动齿轮(16)，所述输出轴(12)上依次设有第一从动齿轮(17)以及第二从动齿轮(18)，所述第一传动齿轮(15)与所述第一从动齿轮(17)啮合，所述第二传动齿轮(16)与所述第二从动齿轮(18)啮合，所述输出轴(12)上且位于第一从动齿轮(17)以及第二从动齿轮(18)之间处固定设有花键毂(19)，所述花键毂(19)上滑动套装有接合套(20)，所述第一从动齿轮(17)以及第二从动齿轮(18)靠近花键毂(19)的一侧处分别设有与所述接合套(20)匹配的第一同步齿圈(21)以及第二同步齿圈(22)，所述调节箱(10)背侧设有用于控制所述接合套(20)运动的换挡组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述定位组件包括工作台(3)上壁呈环形阵列状布设的两对滑槽(23)，所述滑槽(23)内设有滑块(24)，所述滑块(24)上壁设有限位板(25)，所述机架(2)内转动安装有旋转座(26)，所述旋转座(26)上壁设有控制电机(27)，所述控制电机(27)驱动端安装有转板(28)，所述转板(28)上沿周向均匀布设有两对限位槽(29)，所述限位槽(29)一端位于转板(28)边缘位置，另一端朝向转板(28)中心位置呈圆弧状延伸，所述滑块(24)下壁设有嵌入所述限位槽(29)内的滑杆(30)，所述滑杆(30)可在限位槽(29)内滑动。

3.根据权利要求2所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述驱动组件包括设于所述机架(2)外壁的支座(31)，所述支座(31)上壁设有旋转电机(32)，所述支座(31)上壁且位于旋转电机(32)一侧处转动安装有转轴(33)，所述旋转电机(32)驱动端安装有主伞齿轮(34)，所述转轴(33)底部设有与所述主伞齿轮(34)啮合的副伞齿轮(35)，顶部设有驱动齿轮(36)，所述工作台(3)外壁设有与所述驱动齿轮(36)啮合的外齿圈(37)，所述长齿筒(7)内设有与所述驱动齿轮(36)啮合的内齿圈(38)。

4.根据权利要求3所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述横向调节组件包括横向设置的螺杆(39)，所述螺杆(39)贯穿长齿筒(7)侧壁且与长齿筒(7)旋接，所述螺杆(39)一端与所述调节箱(10)转动连接，另一端安装有手轮，所述长齿筒(7)内壁且位于螺杆(39)两侧处设有一对导向筒(40)，所述调节箱(10)侧壁设有一对插入所述导向筒(40)内的导向杆(41)。

5.根据权利要求4所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述换挡组件包括设于所述接合套(20)外侧的环槽(42)，所述调节箱(10)后壁设有条形槽(43)，所述条形槽(43)内滑动设有拨杆(44)，所述条形槽(43)两侧设有导向槽(45)，所述拨杆(44)两端安装有与所述导向槽(45)滑动连接的导向块(46)，所述拨杆(44)一端设有与所述滑槽(23)滑动连接的滑销(47)，另一端开设有安装槽，所述安装槽内设有伸缩杆(48)，所述伸缩杆(48)一端设有卡板(49)，所述卡板(49)与所述安装槽之间固定设有套于伸缩杆(48)外侧的弹簧(50)，所述调节箱(10)外壁且位于所述第一同步齿圈(21)、花键毂(19)以及第二同步齿圈(22)一侧处均设有定位套(51)，所述卡板(49)两端设有与所述定位套(51)匹配的定位杆(52)。

6.根据权利要求2所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述接合套(20)内壁设有与所述花键毂(19)、第一同步齿圈(21)以及第二同步齿圈(22)啮合的内齿。

7.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述第一传动齿轮(15)与第一从动齿轮(17)的传动比小于第二传动齿轮(16)与第二从动齿轮(18)的传动比。

8.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述工作台(3)为圆形结构，所述工作台(3)下壁设有环形轨道(53)，所述机架(2)上壁设有与所述环形轨道(53)匹配的环形槽。

9.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述环形卡槽(8)的截面形状为：上侧为矩形结构，下层为圆形结构。

10.根据权利要求2所述的一种用于石英坩埚加工的多维度调节打磨设备，其特征在于，所述限位板(25)两侧具有弧面结构。

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