CN115808197A - 光栅检验装置 - Google Patents

Abstract

本申请属于编码器技术领域，具体提供一种用于分体式金属光栅编码器的光栅检验装置，包括安装座组件；检验组件，包括检验件和固定件，检验件通过固定件安装于安装座组件上；光栅固定组件，包括光栅固定板，光栅固定板用于对待检验的光栅进行固定，以便检验件对待检验的光栅进行检验，光栅固定板可转动的设于安装座组件上，以实现待检验的光栅相对于检验件的转动。当待检验的光栅被定位于光栅固定板后，通过旋转光栅固定板，即可实现检验件对光栅的检验，避免了操作人员手动旋转光栅或采用旋转显微镜的方式进行检验容易出现检验误差的问题，同时也降低了操作人员的劳动强度，提高检验效率和准确度。

Description

光栅检验装置

技术领域

本申请涉及编码器技术领域，具体而言，涉及一种用于分体式金属光栅编码器的光栅检验装置。

背景技术

分体式金属光栅角度编码器是工业上角度测量与分析的重要设备，分体式编码器金属光栅毛坯检验和金属光栅栅线的检测特别严格，栅线的质量会直接影响编码器读取精度，在检验金属光栅栅线中，物镜中心与被检测金属面的距离是需要保证一致的，若距离发生变化，则会直接影响显微镜成像效果；由于金属光栅呈圆环状，且中间镂空直径较大，在检验过程中也要使金属光栅下端面平整贴合在平面上，使其最大程度的保证金属光栅的变形量最小并同时释放金属光栅中的内应力；保证在检验过程中固定金属光栅的夹具结构稳定，使金属光栅在较高速转动检验产生向外的离心力时，仍相对于物镜中心保证一致。

由于没有专用检测设备，人手直接拿取并旋转金属光栅在光学显微镜上进行检验，或者采用转动光学显微镜的方式来检测金属光栅入厂检验与成品检验，操作不方便，操作人员劳动强度高且检验效率低，再者，检验设备占用空间大，对检验环境要求较高，检验过程易划伤金属光栅，且在检测不同直径的金属光栅需要替换不同的检测配套工装或检测设备，增加设备投资，提高检测成本，也间接地提高了意外伤害发生的可能性。

发明内容

本申请实施例提供一种光栅检验装置，通过光栅固定板对光栅进行固定定位，并将光栅固定板可转动的设于安装座组件上，通过旋转光栅固定板，即可实现检验件对光栅的检验，避免了操作人员手动旋转光栅或采用旋转显微镜的方式进行检验容易出现检验误差的问题，同时也降低了操作人员的劳动强度，提高检验效率和准确度。

本申请实施例的光栅检验装置，包括：安装座组件；检验组件，包括检验件和固定件，所述检验件通过所述固定件安装于所述安装座组件上；光栅固定组件，包括光栅固定板，所述光栅固定板用于对待检验的光栅进行固定，以便所述检验件对所述待检验的光栅进行检验，所述光栅固定板可转动的设于所述安装座组件上，以实现待检验的光栅相对于所述检验件的转动。

根据本申请的一些实施方式，所述光栅固定板包括板件、夹紧件，所述板件可转动的设于所述安装座组件上，所述板件上设有若干个调节孔，所述夹紧件通过所述调节孔设于所述板件上。

根据本申请的一些实施方式，所述板件的上端面为圆形，若干个所述调节孔分为均匀的至少两个阵列，所述至少两个阵列得调节孔将所述板件的上端面分割为均匀的至少两部分，所述夹紧件包括至少两个，所述至少两个夹紧件分别对应所述至少两个阵列的调节孔。

根据本申请的一些实施方式，所述夹紧件的一端设有第二通孔，一紧固件依次穿过所述夹紧件的所述第二通孔和所述调节孔，从而与所述板件连接，所述紧固件与所述夹紧件之间设有弹性件或所述夹紧件与所述板件之间设有弹性件，所述弹性件具有预紧力，以使所述夹紧件具有靠近所述板件的趋势。

根据本申请的一些实施方式，所述夹紧件的另一端设有支柱，所述支柱上设有柔性垫圈。

根据本申请的一些实施方式，所述光栅固定组件还包括调节件，所述调节件设于光栅固定板与安装座组件之间，用于调节所述光栅固定板在所述安装座组件上的位置，所述调节件包括第一调节件和第二调节件，所述第一调节件用于在第一方向上调节所述光栅固定板相对于所述检验件的位置，所述第二调节件用于在第二方向上调节所述光栅固定板相对于所述检验件的位置，其中所述第一方向在水平面上垂直于所述第二方向。

根据本申请的一些实施方式，所述第一调节件包括第一固定部、第一调节旋钮、第一调节部，所述第一固定部设置于所述安装座组件上，且所述第一固定部的侧面设有与所述第一调节旋钮配合的第一螺纹孔，所述第一调节部可移动的设于所述第一固定部上，所述第一调节旋钮的一端穿过所述第一螺纹孔后与所述第一调节部固定连接，当所述第一调节旋钮正向或反向旋转时，能带动所述第一调节部在所述第一固定部上沿所述第一方向移动。

根据本申请的一些实施方式，所述第二调节件包括第二固定部、第二调节旋钮、第二调节部，所述第二固定部设置于所述第一调节部上，且所述第二固定部的侧面设有与所述第二调节旋钮配合的第二螺纹孔，所述第二调节部可移动的设于所述第二固定部上，所述第二调节旋钮的一端穿过所述第二螺纹孔后与所述第二调节部固定连接，当所述第二调节旋钮正向或反向旋转时，能带动所述第二调节部在所述第二固定部上沿所述第二方向移动。

根据本申请的一些实施方式，所述安装座组件包括底板、两个侧板、安装杆，所述底板水平放置，所述两个侧板安装于所述底板上，所述安装杆横设于所述两个侧板之间，使所述安装杆的轴线平行于所述底板，所述检验组件设于所述安装杆上，所述光栅固定组件设于所述底板上。

根据本申请的一些实施方式，所述侧板的顶部靠近所述安装杆的一侧设有固定支座，所述安装杆横设于两个所述侧板的所述固定支座之间;

和/或，

所述检验组件的所述固定件上设有第三通孔，所述固定件通过所述第三通孔穿设于所述安装杆上。

上述申请中的一个实施例至少具有如下优点或有益效果：

本申请实施例的光栅检验装置，通过光栅固定板对光栅进行固定定位，并将光栅固定板可转动的设于安装座组件上，通过旋转光栅固定板，即可实现检验件对光栅的检验，避免了操作人员手动旋转光栅或采用旋转显微镜的方式进行检验容易出现检验误差的问题，同时也降低了操作人员的劳动强度，提高检验效率和准确度。

附图说明

图1、图2示出的是本申请实施例光栅检验装置的示意图。

图3示出的是本申请实施例光栅固定组件A-A剖面的示意图。

图4示出的是本申请实施例转轴的示意图。

图5示出的是本申请实施例光栅固定板安装于调节件上的示意图。

图6示出的是本申请实施例夹紧件的示意图。

图7示出的是本申请实施例板件的示意图。

图8示出的是本申请实施例光栅固定组件的调节件的示意图。

图9、图10分别示出的是本申请实施例固定支座和安装杆的示意图。

图11示出的是本申请实施例检验组件的示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、安装座组件，11、底板，12、侧板，121、固定支座，1211、支座螺孔，1212、支座固定孔，13、安装杆，131、安装杆螺栓，2、检验组件，21、检验件，211、显微镜镜头，212、显微镜镜筒，213、连接线缆，22、固定件，221、第三通孔，3、光栅固定组件，31、光栅固定板，311、板件，3111、第一通孔，3112、调节孔，312、夹紧件，3121、第二通孔，3122、支柱，313、固定螺栓，32、转轴，321、凸起，33、轴承，34、旋转底座，35、调节件，351、第一调节件，3511、第一固定部，3512、第一调节部，3513、第一调节旋钮，352、第二调节件，3521、第二固定部，3522、第二调节部，3523、第二调节旋钮，X、第一方向，Y、第二方向。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本申请将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

如图1所示，图1示出的是本申请实施例光栅检验装置的示意图，本申请实施例的光栅检验装置包括安装座组件1、检验组件2和光栅固定组件3，其中光栅固定组件3与检验组件2均安装于安装座组件1上。

可以理解的是，本申请实施例中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或组件。

下文所说的“水平”为与地面平行时的状态，“竖直”为与地面垂直时的状态。

请参阅图2，安装座组件1水平置于其他设备上，例如用于光栅检验的检验平台等。检验组件2包括检验件21和固定件22，检验件21通过固定件22安装于安装座组件1上，其中固定件22可以是一用于支撑检验件21的架子或固定台，在此不做限定，只要能为检验件21起到支撑的作用即可。光栅固定组件3包括光栅固定板31，光栅固定板31用于对待检验的光栅进行固定，从而实现光栅的定位，以便所述检验件21对所述待检验的光栅进行检验，光栅固定板31可转动的设于安装座组件1上，以实现待检验的光栅相对于检验件21的转动，转动轴线与所述光栅固定板31的轴线平行。

当待检验的光栅被定位于光栅固定板31后，通过旋转光栅固定板31，即可实现检验件21对光栅的检验，避免了操作人员手动旋转光栅或采用旋转显微镜的方式进行检验容易出现检验误差的问题，同时也降低了操作人员的劳动强度，提高检验效率和准确度。

请参阅图5，在本申请的一实施例中，光栅固定板31包括板件311、夹紧件312，板件311可转动的设于安装座组件1上，板件311上设有若干个调节孔3112，夹紧件312通过调节孔3112设于板件311上。

夹紧件312用于对待检验的光栅进行固定，以对光栅在板件311上的位置进行定位，板件311通过转轴32来相对于安装座组件1转动，当板件311相对安装座组件1转动时，可带动其上的待检验光栅转动，从而避免相关技术中需要依靠操作人员手动旋转光栅，提高检验效率以及检验准确性，另外，通过夹紧件312对高速旋转的光栅进行固定，防止光栅因离心力被甩出。再者，不同尺寸的光栅具有不同的直径，通过设置若干个调节孔3112来灵活调节夹紧件312在板件311上的位置，从而使得夹紧件312可以固定不同直径的光栅，提高了光栅检测装置的通用性，无需替换不同的检验配套工装或检验设备，提高检验效率的同时还能降低检验成本，另外，由于无需根据光栅的直径更换设备，所以减少了更换设备时对光栅表面的剐蹭，降低了光栅在检验过程中首损伤的可能性。

请参阅图3，板件311与安装座组件1之间还设有旋转底座34，旋转底座34设于安装座组件1上，旋转底座34上设有轴孔，转轴32通过轴承33可转动的设于旋转底座34的轴孔内，具体的，轴承33侧边与旋转底座34的轴孔依靠过盈配合方式相固定，将转轴32安装于轴承33内，依靠过盈配合方式固定并使转轴32底部与轴承33底部相持平。请参阅图3和图4，转轴32的上端设有凸台，凸台上设有螺孔，板件311上设有套设于凸台的第一通孔3111，当板件311套设于凸台后，通过螺钉旋进凸台的螺孔中并拧紧，实现转轴32与板件311的可靠连接。

优选的，凸台的外侧面部分为矩形，部分为弧形，第一通孔3111的内侧面部分为矩形，部分为弧形，从而使得凸台与第一通孔3111能更方便对接。

进一步的，请参阅图5和图7，板件311的上端面为圆形，若干个调节孔3112分为均匀的至少两个阵列，至少两个阵列的调节孔3112将板件311的上端面分割为均匀的至少部分，夹紧件312包括至少两个，至少两个夹紧件312分别对应至少两个阵列调节孔3112。

优选的，若干个调节孔3112分为均匀的三列，每列的调节孔3112至少包括两个，沿着板件311的半径排列，每列的调节孔3112优选为10个以上，以适应更多不同直径的光栅，三列调节孔3112将板件311的上端面分割为均匀的三部分，夹紧件312包括三个，三个夹紧件312分别对应三列调节孔3112。

可以理解的是，距离板件311中心相同的三个调节孔3112为一组，位于同一组的三个调节孔3112的中心连接起来可以形成一等边三角形，三个夹紧件312分别对应该三个调节孔3112，以更好的对待检验光栅进行固定。

需要说明的是，若干个调节孔3112还可以分为均匀的两列或四列，每列的调节孔3112至少包括两个，沿着板件311的半径排列，每列的调节孔3112优选为10个以上，以适应更多不同直径的光栅，两列或四列调节孔3112将板件311的上端面分割为均匀的两部分或四部分，夹紧件312包括两个或四个，两个或四个夹紧件312分别对应三列调节孔3112。距离板件311中心相同的两个或四个调节孔3112为一组，两个或四个夹紧件312分别对应该两个或四个调节孔3112，以更好的对待检验光栅进行固定。

请参阅图5和图6，在本申请的一实施例中，夹紧件312的一端设有第二通孔3121，一紧固件依次穿过夹紧件312的第二通孔3121和调节孔3112，从而与板件311连接，紧固件与夹紧件312之间设有弹性件（图中未示出）或夹紧件312与板件311之间设有弹性件（图中未示出），弹性件具有预紧力，以使夹紧件312具有靠近板件311的趋势。

具体的，在一种实现方式中，紧固件为固定螺栓313，弹性件为压簧，压簧套设于固定螺栓313上，其两端分别与固定螺栓313的螺帽的底面和夹紧件312的顶面抵接，压簧具有抵压夹紧件312的预紧力，使夹紧件312具有靠近板件311的趋势。

在另一种实现方式中，紧固件为固定螺栓313，弹性件为拉簧，拉簧套设于固定螺栓313上，其两端分别与夹紧件312的底面和板件311的顶面连接，拉簧具有拉住夹紧件312的预紧力，使夹紧件312具有靠近板件311的趋势。

当然，可以理解的，弹性件的作用是在无外力作用下，使夹紧件312靠近板件311，当有外力作用于夹紧件312时，可以克服弹性件的预紧力，使夹紧件312朝着远离板件311的方向移动，其他能实现该作用的弹性件也可以，在此并不限定为拉簧或压簧。

进一步的，继续参阅图6，夹紧件312的另一端且靠近板件311的端面上设有支柱3122，支柱3122的靠近板件311的端部设有柔性垫圈，以防止光栅被夹紧件312固定时被刮伤。

柔性垫圈可以是通过柔性胶水粘接在夹紧件312的支柱3122上。

需要解释的是，在使用夹紧件312对光栅进行夹紧时，支柱3122通过柔性垫圈与光栅的端面抵接，既能对光栅夹紧，又不会对光栅造成损伤。

在本申请的一实施例中，请参阅图2和图8，光栅固定组件3还包括调节件35，调节件35设于光栅固定板31与安装座组件1之间，用于调节光栅固定板31在安装座组件1上的位置。调节件35包括第一调节件351和第二调节件352，请参阅图1和图2，第一调节件351用于在第一方向X上调节光栅固定板31相对于检验件21的位置，第二调节件352用于在第二方向Y上调节光栅固定板31相对于检验件21的位置，其中第一方向X在水平面上垂直于第二方向Y。

需要说明的是，在本实施例中，第一方向X和第二方向Y均为水平的，通过第一调节件351和第二调节件352在两个相互垂直的方向上对光栅固定板31进行调节，能进一步提高光栅固定板31位置调整的灵活性，以便找到检验件的最佳检验位置。

请继续参阅图8，第一调节件351包括第一固定部3511、第一调节旋钮3513、第一调节部3512，第一固定部3511设置于安装座组件1上，且第一固定部3511的侧面设有与第一调节旋钮3513配合的第一螺纹孔，第一调节部3512可移动的设于所述第一固定部3511上，第一调节旋钮3513的一端穿过第一螺纹孔后与第一调节部3512固定连接，当第一调节旋钮3513正向或反向旋转时，能带动第一调节部3512在第一固定部3511上沿第一方向X移动。

可以理解的是，第一调节旋钮3513与第一螺纹孔螺纹配合，第一调节旋钮3513旋进第一螺纹孔后的一端与第一调节部3512连接，此时第一调节旋钮3513至少还有部分未旋进第一螺纹孔内，当第一调节旋钮3513正向（即顺时针）旋转时，第一调节旋钮3513顶住第一调节部3512向远离第一螺纹孔的方向移动，当第一调节旋钮3513反向（即逆时针）旋转时，第一调节旋钮3513带动第一调节部3512向靠近第一螺纹孔的方向移动。

进一步的，第一固定部3511上设有滑槽，第一调节部3512上设有滑块，第一固定部3511与第一调节部3512通过滑槽与滑块的配合来对移动进行导向，从而提高移动的准确性，防止偏移，进而提高光栅固定板31位置调节的准确性。当然，滑槽也可以设于第一调节部3512，滑块设于第一固定部3511，在此不做限定，当然也可以是通过导杆等类似结构进行导向。

请继续参阅图8，第二调节件352包括第二固定部3521、第二调节旋钮3523、第二调节部3522，第二固定部3521固定安装于第一调节部3512上，且第二固定部3521的侧面设有与第二调节旋钮3523配合的第二螺纹孔，第二调节部3522可移动的设于所述第二固定部3521上，第二调节旋钮3523的一端穿过第二螺纹孔后与第二调节部3522固定连接，当第二调节旋钮3523正向或反向旋转时，能带动第二调节部3522在第二固定部3521上沿第二方向Y移动。

可以理解的是，第二调节旋钮3523与第二螺纹孔螺纹配合，第二调节旋钮3523旋进第二螺纹孔后的一端与第二调节部3522连接，此时第二调节旋钮3523至少还有部分未旋进第一螺纹孔内，当第二调节旋钮3523正向（即顺时针）旋转时，第二调节旋钮3523顶住第二调节部3522向远离第二螺纹孔的方向移动，当第二调节旋钮3523反向（即逆时针）旋转时，第二调节旋钮3523带动第二调节部3522向靠近第二螺纹孔的方向移动。

进一步的，第二固定部3521上设有滑槽，第二调节部3522上设有滑块，第二固定部3521与第二调节部3522通过滑槽与滑块的配合来对移动进行导向，从而提高移动的准确性，防止偏移，进而提高光栅固定板31位置调节的准确性。当然，滑槽也可以设于第二调节部3522，滑块设于第二固定部3521，在此不做限定，当然也可以是通过导杆等类似结构进行导向。

可以理解的是，第一固定部3511安装第一螺纹孔的侧面与第二固定部3521安装第二螺纹孔的侧面垂直，从而使得第一调节部3512与第二调节部3522的移动方向垂直，实现二维调节。

请参阅图1，在本申请的一实施例中，安装座组件1包括底板11、两个侧板12、安装杆13。底板11水平放置与其他设备上，例如用于光栅检验的检验平台，优选的，底板11为防滑静电板，从而避免静电对检验设备造成干扰或对待检验的光栅造成损害。两个侧板12安装于底板11上，优选的，两个侧板12分别竖直设于底板11的两端，侧板12与底板11之间可以是焊接，也可以是通过紧固件连接，在此不做限定。安装杆13横设于两个侧板12之间，使安装杆13的轴线平行于底板11。检验组件2设于安装杆13上，光栅固定组件3设于底板11上。

进一步的，请参阅图2和图9，两个侧板12的顶部靠近安装杆13的一侧设有固定支座121，安装杆13横设于两个侧板12的固定支座121之间。优选的，两个侧板12的竖直截面呈三角形，固定支座121设于三角形的顶角处。

继续参阅图9和图10，固定支座121靠近侧板12的一侧设有支座固定孔1212，用于通过螺钉等紧固件与侧板12连接，固定支座121远离侧板12的一侧设有支座螺孔1211，安装杆13的两端设有与支座螺孔1211配合的安装杆螺栓131。可以想到的是，也可以是固定支座121远离侧板12的一侧设有支座螺栓，安装杆13的两端设有与支座螺栓配合的安装杆螺孔，只要能实现固定支座121与安装杆13之间的连接即可，在此不做限定。

请参阅图11，检验组件2的固定件22上设有第三通孔221，固定件22通过第三通孔221穿设于安装杆13上。优选的，检验件21为光学显微镜，显微镜镜筒212与固定件22连接，显微镜镜头211设于显微镜镜筒212内，并朝向光栅固定组件3，显微镜镜筒212与显微镜镜头211的轴线均与安装杆13的轴线平行。

优选的，显微镜镜筒212的轴线与安装杆13的轴线和第一调节旋钮3513或第二调节旋钮3523的轴线平行。

进一步的显微镜镜筒212上还设有连接线缆213，用于与外部显示器连接，以使检验人员能通过外部显示器观察检验情况。

将本实施例中的光栅检验装置安装好后放置在检验平台上，抬起夹紧件312，将刻划后的光栅放置在板件311上方，光栅与板件311同心放置后，放下夹紧件312，并使夹紧件312的支柱3122与在光栅端面抵接，使光栅完全固定；在检测不同直径的光栅时，调整夹紧件312与合适的调节孔3112连接，然后通过调节件35调整板件311在第一、第二方向Y的位置，找到光学显微镜最佳成像距离，将光学显微镜通过连接线缆213连接在显示器上，通过缓慢旋转板件311，可在显示器上看到金属光栅栅线刻划情况。

利用本申请实施例提供的光栅检验装置，能更好的提高工作效率，节约了生产时间，改善了传统设备空间利用率低等缺点；并且，通过调整夹紧件312在板件311上的位置，便可实现不同直径金属光栅的放置需求，通用性强，提高了检验装置的利用率，降低检验成本，减轻得操作人员得劳动强度，同时也避免因人工操作不当意外对光栅造成损伤得可能性。

利用本申请实施例提供的光栅检验装置，通过夹紧件312对光栅进行准确定位，使其既不会对光栅表面造成损伤，又会使光栅相对于光学显微镜的物镜距离始终为定值，这样就保证了光栅在检验过程中的安全性与准确性，从而保证了光栅的产品质量，减少了缺陷产品的流出。

可以理解的是，本申请提供的各个实施例/实施方式在不产生矛盾的情况下可以相互组合，此处不再一一举例说明。

在本申请实施例中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

本申请实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本申请实施例的限制。

Claims (10)

1.一种光栅检验装置，其特征在于，包括：

安装座组件；

检验组件，包括检验件和固定件，所述检验件通过所述固定件安装于所述安装座组件上；

光栅固定组件，包括光栅固定板，所述光栅固定板用于对待检验的光栅进行固定，以便所述检验件对所述待检验的光栅进行检验，所述光栅固定板可转动的设于所述安装座组件上，以实现待检验的光栅相对于所述检验件的转动。

2.根据权利要求1所述的光栅检验装置，其特征在于，所述光栅固定板包括板件、夹紧件，所述板件可转动的设于所述安装座组件上，所述板件上设有若干个调节孔，所述夹紧件通过所述调节孔设于所述板件上。

3.根据权利要求2所述的光栅检验装置，其特征在于，所述板件的上端面为圆形，若干个所述调节孔分为均匀的至少两个阵列，所述至少两个阵列的调节孔将所述板件的上端面分割为均匀的至少两部分，所述夹紧件包括至少两个，所述至少两个夹紧件分别对应所述至少两个阵列的调节孔。

4.根据权利要求3所述的光栅检验装置，其特征在于，所述夹紧件的一端设有第二通孔，一紧固件依次穿过所述夹紧件的所述第二通孔和所述调节孔，从而与所述板件连接，所述紧固件与所述夹紧件之间设有弹性件或所述夹紧件与所述板件之间设有弹性件，所述弹性件具有预紧力，以使所述夹紧件具有靠近所述板件的趋势。

5.根据权利要求4所述的光栅检验装置，其特征在于，所述夹紧件的另一端设有支柱，所述支柱上设有柔性垫圈。

6.根据权利要求1-5任一项所述的光栅检验装置，其特征在于，所述光栅固定组件还包括调节件，所述调节件设于光栅固定板与安装座组件之间，用于调节所述光栅固定板在所述安装座组件上的位置，所述调节件包括第一调节件和第二调节件，所述第一调节件用于在第一方向上调节所述光栅固定板相对于所述检验件的位置，所述第二调节件用于在第二方向上调节所述光栅固定板相对于所述检验件的位置，其中所述第一方向在水平面上垂直于所述第二方向。

7.根据权利要求6所述的光栅检验装置，其特征在于，所述第一调节件包括第一固定部、第一调节旋钮、第一调节部，所述第一固定部设置于所述安装座组件上，且所述第一固定部的侧面设有与所述第一调节旋钮配合的第一螺纹孔，所述第一调节部可移动的设于所述第一固定部上，所述第一调节旋钮的一端穿过所述第一螺纹孔后与所述第一调节部固定连接，当所述第一调节旋钮正向或反向旋转时，能带动所述第一调节部在所述第一固定部上沿所述第一方向移动。

8.根据权利要求7所述的光栅检验装置，其特征在于，所述第二调节件包括第二固定部、第二调节旋钮、第二调节部，所述第二固定部设置于所述第一调节部上，且所述第二固定部的侧面设有与所述第二调节旋钮配合的第二螺纹孔，所述第二调节部可移动的设于所述第二固定部上，所述第二调节旋钮的一端穿过所述第二螺纹孔后与所述第二调节部固定连接，当所述第二调节旋钮正向或反向旋转时，能带动所述第二调节部在所述第二固定部上沿所述第二方向移动。

9.根据权利要求1-5任一项所述的光栅检验装置，其特征在于，所述安装座组件包括底板、两个侧板、安装杆，所述底板水平放置，所述两个侧板安装于所述底板上，所述安装杆横设于所述两个侧板之间，使所述安装杆的轴线平行于所述底板，所述检验组件设于所述安装杆上，所述光栅固定组件设于所述底板上。

10.根据权利要求9所述的光栅检验装置，其特征在于，所述侧板的顶部靠近所述安装杆的一侧设有固定支座，所述安装杆横设于两个所述侧板的所述固定支座之间；

和/或，

所述检验组件的所述固定件上设有第三通孔，所述固定件通过所述第三通孔穿设于所述安装杆上。

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