CN115732362A - 具有安全互锁系统的接口模块、存储介质以及安全验证方法 - Google Patents

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Abstract

接口模块的例子包括具有风扇和过滤器的风机过滤器单元；围绕与过滤器相邻的空间的壳体，壳体包括门；围绕与所述风扇相邻的空间的上壳体；设置在上壳体中的第一端口；与FFU内部空间连通的第二端口，FFU内部空间是风机过滤器单元中的风扇和过滤器之间的空间；以及连接到第一端口和第二端口以检测上壳体内部和FFU内部空间之间的压差的差压计。

Description

具有安全互锁系统的接口模块、存储介质以及安全验证方法
技术领域
所描述的示例涉及具有风机过滤器单元的接口模块、存储介质以及安全验证方法。
背景技术
接口模块包括用于传输基板的基板传输装置。用N2气体填充接口模块的内部以降低氧(O2和H2O)浓度避免或抑制在要传输的基板上形成自然氧化膜。根据示例，当氧浓度为100ppm或更低时，可以抑制在基板上形成自然氧化膜。上述接口模块称为N2-设备前端模块(N2-EFEM)。
在接口模块的维护工作中，需要有人进入接口模块。但是，进入充满N2气体的接口模块是非常危险的。在人员进入接口模块之前，接口模块内的N2气体被替换为清洁干燥空气(CDA)。
例如，可以使用多个氧浓度计来确认接口模块内的N2气体已经被CDA替换。然而，在接口模块的每个位置提供氧浓度计用于安全验证使得接口模块非常昂贵。此外，它需要复杂的联锁电路。
发明内容
本文描述的一些示例可以解决上述问题。这里描述的一些示例可以提供适于降低成本的接口模块、存储介质和安全验证方法。
在一些示例中，接口模块包括具有风扇和过滤器的风机过滤器单元；围绕与过滤器相邻的空间的壳体，壳体包括门；围绕与所述风扇相邻的空间的上壳体；设置在上壳体中的第一端口；与FFU内部空间连通的第二端口，FFU内部空间是风机过滤器单元中的风扇和过滤器之间的空间；以及连接到第一端口和第二端口以检测上壳体内部和FFU内部空间之间的压差的差压计。
附图说明
图1是接口模块的示意图；
图2示出了气流；
图3示出了第一端口和第二端口的示例；
图4示出了第一端口和第二端口的另一示例；
图5示出了根据一个示例的半导体制造设备；
图6是安全验证方法的流程图；
图7示出了安全PLC的示例性功能框图；
图8A示出了专用硬件；以及
图8B示出了CPU和存储器。
具体实施方式
将参照附图描述根据一些示例的具有风机过滤器单元的接口模块、存储介质和安全验证方法。相同或对应的部件将被分配相同的附图标记并且可以省略重复的描述。
实施例
图1是根据一个示例的接口模块的示意图。接口模块可以提供为N2-EFEM。接口模块包括壳体10。在一个示例中，机械臂12设置在壳体10中用于传输基板。根据另一示例，在壳体10中提供一个或多个传输机构。在一个示例中，基板是处理之前或之后的晶片。用于测量壳体10中的压力的壳体压力传感器13连接到壳体10。根据一个示例，壳体压力传感器13是用于测量壳体10的内部压力和外部压力之间的压差的差压计(differential pressuregauge)。
接口模块包括至少一个风机过滤器单元(FFU)25。虽然在图1中示出了两个FFU25，但是FFU 25的数量可以是一个或三个以上。根据一个示例，FFU 25包括FFU壳体22、风扇24和过滤器20。FFU 25中风扇24和过滤器20之间的空间是FFU内部空间22s。与过滤器20相邻的空间被壳体10包围。根据一个示例，壳体10具有支撑FFU 25的支撑板。通过过滤器20的气体通过设置在支撑板中的多个孔，并提供到壳体10中。
与风扇24相邻的空间被上壳体26包围。根据图5的一个示例，上壳体26设置在FFU25上方。提供在上壳体26中的气体通过风扇24的旋转被引入FFU内部空间22s且被过滤器20过滤。第一端口26a设置在上壳体26中。根据一个示例，第一端口26a是允许上壳体26内部的压力感测的压力采样端口。换句话说，第一端口26a是风扇24的入口的压力采样端口。第一端口26a例如是设置与上壳体26内部连通的孔的金属管。类似地，第一端口26b位于左侧的上壳体26中。
此外，FFU 25设置有第二端口22a。根据一个示例，第二端口22a是允许FFU内部空间22s的压力感测的压力采样端口。换言之，第二端口22a是风扇24的出口的压力采样端口。第二端口22a例如是设置与FFU壳体22内部连通的孔的金属管。类似地，左侧所示的FFU 25设置有第二端口22b。
图1的接口模块图1包括差压计35。差压计35被配置为检测上壳体26内的压力与FFU内部空间22s的压力之间的压力差。根据一个示例，差压计35经由管34a连接到第一端口26a并且经由管34b连接到第二端口22a。通过该结构，上壳体26内的压力和FFU内部空间22s的压力反映在差压计35中。因此，差压计35能够检测上壳体26内的压力与FFU内部空间22s的压力之间的压力差。
图1的接口模块图1还包括差压计37，以检测左侧的上壳体26内的压力与左侧的FFU内部空间22s的压力之间的压力差。根据一个示例，差压计37经由管36a连接到第一端口26b并且经由管36b连接到第二端口22b。通过该结构，左侧的上壳体26内的压力和左侧的FFU内部空间22s的压力反映在差压计37中。因此，差压计37能够检测左侧的上壳体26内的压力和左侧的FFU内部空间22s的压力之间的压力差。
如果风扇24旋转，上壳体26内部的压力将小于FFU内部空间22s的压力。另一方面，如果风扇24不旋转，则上部壳体26内部的压力基本上等于FFU内部空间22s的压力。因此，可以通过监测压差来确定风扇24是否正在旋转。
根据一个示例，循环导管30连接到上壳体26和壳体10。循环导管30的一部分延伸到壳体10的内部，并被称为内部导管30a。在内部导管30a中钻出孔，以允许循环导管30与壳体10的内部连通。根据一个示例，氧气传感器31、32和H2O传感器33附接到循环管道30，以检测O2浓度和H2O浓度。在该示例中，冷却台14被提供用于在壳体10中临时存储晶片。冷却台14连接到壳体10的内部，并且还连接到循环导管30。
随着FFU 25的风扇24旋转，上壳体26中的气体被排放到壳体10的内部。根据一个示例，气体从氮气源40或CDA源50提供给上壳体26。
氮气源40和上壳体26通过氮气供应管48连接。电磁阀(SV)42连接到氮气供应管48。SV 42根据指令打开和关闭氮气供应管48。限位开关44连接到SV 42上，以监控SV 42的操作。具体地，限位开关44基于检测输入信号和实际位置的功能来检测SV 42的输入信号和SV 42的阀的实际位置之间的差异。在另一个例子中，SV 42和限位开关44可以由其他构造代替。
CDA源50和上壳体26通过CDA供应管51连接。阀54和流量计52连接到CDA供应管51。提供阀54用于打开和关闭CDA供应管51。提供流量计52用于检测流过CDA供应管51的CDA的量。
氮气供应管48靠近氮气源40的部分和CDA供应管51靠近CDA源50的部分是分开的管。然而，在一个示例中，氮气供应管48靠近上壳体26的一部分和CDA供应管51靠近上壳体26的一部分具有公共管路。根据一个示例，质量流量控制器(MFC)46附接到公共管路以调节气体的流速。
排气管60连接到壳体10上。根据一个示例，压力控制阀62被配置为调节流经排气管60的排气的流速。排气压力传感器64附接到排气管60，以测量排气管60中的压力。根据一个示例，排气压力传感器64是用于测量排气管60的内部压力和外部压力之间的压差的差压计。
图2是示出接口模块中的气流的示例的图。图2中的箭头表示由风扇24形成的气流。首先，上壳体26被提供有N2气体或CDA。上壳体26中的气体通过风扇24的旋转被引入到FFU内部空间22s中，并且通过过滤器20被提供到壳体10中。提供到壳体10中的气体的一部分经由循环导管30返回到上壳体26中，另一部分从排气管60排出。
图3是示出差压计35的连接位置的示例的图。在FFU壳体22的顶面上，有两个圆柱形突起，风扇24存放在其中。两个突起共同被上壳体26覆盖。在图3的示例中，仅提供了一个上壳体26，因为上壳体26向两个FFU25提供气体。为了便于说明，上壳体26被示出成透明的。在这个例子中，第一端口26a在上壳体26的顶面上。第二端口22a位于FFU壳体22的顶面上。
图3示出了操作盒80。根据一个示例，差压计35、报警装置82和安全PLC 83存储在操作箱80中。报警装置82被提供而用于检测风扇24的故障。报警装置82例如被配置为当风扇24不旋转时发出警报，即使FFU 25已经接收到旋转风扇24的命令。安全PLC 83是负责确保安全的PLC。根据一个示例，安全PLC 83是在确认已经确保安全之后允许打开壳体10的门的开口的PLC。
根据一个示例，操作盒80的前表面是设定面板84，该设定面板84具有操作者在控制FFU 25时使用的触摸面板。设定面板84也可以由操作者使用，例如，发出命令以用N2气体填充壳体10用于基板传输，或者用CDA替换壳体10中的N2气体。
图4是图示FFU 25等的配置示例的图。根据一个示例，上壳体26仅覆盖FFU壳体22的顶面的一部分，使得FFU壳体22的顶面的一部分暴露于外部。通过在FFU壳体22的顶面中提供第二端口22a，第二端口22a被提供而不增加接口模块的占用空间。
图5是示出包括接口模块的半导体制造设备的构造示例的图。用于人员进出的门10a附接到壳体10。门10a被称为EFEM门。根据一个示例，门10a由电磁锁开关打开和关闭。根据一个示例，门10a的打开和关闭由安全PLC 83控制。至少一个装载端口90靠近壳体10设置。此外，负载锁定模块(LLM)92通过闸阀(gate valve)91邻近壳体10。晶片处理室(WHC)94通过闸阀93连接到LLM 92。WHC 94连接到用于处理基板的四个室模块95a、95b、95c、95d。在这个例子中，接口模块用作将基板从LLM 92和装载端口90之一传送到另一个的接口。根据一个示例，包括接口模块的半导体制造设备由控制器96控制。
图6是使用接口模块的安全验证方法的流程图。在传送基板通过壳体10的正常操作期间，氮气从氮气源40经由氮气供应管48、上壳体26和FFU 25提供到壳体10中。也就是说，壳体10的内部是氮气气氛。根据一个示例，为了抑制基板的氧化，壳体10中的O2/H2O浓度被设定为100ppm或更低。
另一方面，在接口模块的定期或突然维护之前，壳体10中的N2气体被CDA替换，以允许人进入壳体10。参考图6，将描述维护准备。首先，接口模块的控制器96被命令以用用于维护的CDA替换壳体10中的N2气体。根据一个示例，该命令由操作员通过触摸面板发出。根据另一示例，该命令由例如包含在控制器96中的过程控制模块(PCM)自动发出。当控制器96在步骤S1接收到该命令时，过程进行到步骤S2。
在步骤S2中，已经接收到命令的控制器96开始气体置换操作。气体置换操作是用CDA置换壳体10中的N2气体的操作。根据一个示例，气体置换操作包括禁用向壳体10供应N2气体，向壳体10提供CDA，排出壳体10中的气体，以及旋转风扇24。在图1的配置示例中，气体置换操作包括以下操作：
关闭SV 42以停止向壳体10提供N2气体，
打开阀54以向壳体10提供CDA，
驱动连接到排气管60的泵，以排出壳体10中的气体，以及
旋转风扇24，以向壳体10供应CDA。
随着气体置换操作，壳体10中的N2气体逐渐被CDA替换。N2气体被CDA充分置换以及壳体10中的氧气浓度达到对人安全的水平需要一定的时间。
根据一个实例，气体置换操作保持大约30分钟，使得壳体10中每个位置处的氧气浓度可以充分增加。在这个例子中，气体置换操作可以持续大约一个小时，安全系数为2。
然后，在步骤S3中，安全PLC 83核实气体置换操作已经持续了预定的持续时间。换句话说，安全PLC 83证明设备已经运行了预定的时间周期。根据一个示例，安全PLC 83核实以下四个条件已经持续了预定周期。
第一条件：SV 42是关闭的(没有N2气体提供到壳体10中)。
第二条件：CDA以预定的流速提供给壳体10。
第三条件：从壳体10执行预定的排气。
第四条件：风扇24正常旋转。
根据一个示例，对这四个条件中的每个执行共同监控。共同监控的示例如下。
通过共同监控SV 42的打开/关闭以及限位开关44的输出，满足第一条件的事实被检测。也就是说，即使SV 42发生故障，也可以通过限位开关44检测到故障。
通过共同监控流量计52的值和壳体压力传感器13的值，满足第二条件的事实被检测。也就是说，即使流量计52发生故障，也可以通过壳体压力传感器13的值的异常来检测故障。
通过共同监控排气压力传感器64的值和壳体压力传感器13的值，满足第三条件的事实被检测。也就是说，即使排气压力传感器64发生故障，也可以通过壳体压力传感器13的值的异常来检测故障。
通过共同监控报警装置82的输出和差压计35、37的值，满足第四条件的事实被检测。也就是说，如果报警装置82发生故障，风扇24的故障不能被报警装置82检测到。然而，如果风扇24不旋转，差压计35、37的值的至少之一实质上变为0。因此，可以从差压计35、37检测风扇24的故障。即使风扇24发生故障，报警装置82的故障也可以被检测到，因为报警装置82不工作。因此，复用每个条件的检测提高了安全性。根据另一个例子，可以采用另一种复用方法。也就是说，通过用两种不同的方法检测一个条件被满足，即使在一种方法中出现异常，也可以用另一种方法检测异常。
通过采用共同监控，可以可靠地检测每个条件是否得到满足。在步骤S3中，如果确认第一至第四条件已经持续了预定时间周期，则过程进行到步骤S4。在步骤S4中，安全PLC83允许打开壳体10的门10a。根据一个示例，通过例如LED灯的点亮、屏幕上的显示或语音来向操作者通知允许打开门10a。根据一个示例，当允许打开壳体10的门10a时，壳体10中的氧气浓度为19.5％或更高。然后，在步骤S5中，操作者打开壳体10的门10a，并进入壳体10以执行必要的维护。
另一方面，如果在步骤S3中确定在预定时间周期逝去之前不满足第一至第四条件中的至少一个，则安全PLC 83不允许门10a打开。在这种情况下，识别第一至第四条件中的任何之一的故障原因，并且消除该原因。例如，故障SV 42可被修复，故障阀54可被修复，各种压力传感器可被修复，风扇24可被修复。然后，重置气体置换操作的持续时间，并再次执行气体置换操作。例如，当风扇24暂时停止时，风扇24的运行被重新启动，并且从那时起逝去时间被计数。
在该示例中，通过相互监测未检测到风扇24的故障并且检测到风扇24的进气侧和排气侧之间的压差，来证明风扇24的持续操作。上述安全验证方法不需要多个氧浓度计，并且可以通过简单的配置来实现。因此，可以提供适于降低成本的接口模块。
这里，人被设想进入接口模块所需的互锁的所需性能水平PLr是c(S2，F1，P1)。S2是一种混乱的严重程度被定义为严重(不可恢复/死亡)的水平。F1被定义为暴露于“罕见的低频率/短时间暴露”危险的频率/时间。P1意味着，避免或限制危险的可能性是“在某些条件下是可以避免的”。根据ISO13849-1，(S2，F1，P1)的PLr是“c”。互锁类别(类别.)要求实现PLr＝c是1到3，但安全类别必须设计如下，因为互锁中使用的设备不符合(不能符合)要求的规范。
类别.＝3(即PL＝3)
DC平均值＝中间
MTTFd＝低
在安全类别3的互锁电路中，需要共同监控以证明每个条件被满足。此外，要求安全功能不会因单一故障而受损。此外，要求检测单个故障等。ISO13849-2对这些要求进行了描述。ISO13849-1中还显示了类别3电路的框图。在一个例子中，安全PLC 83和控制器96可以被构造成满足这些要求。
图7示出了安全PLC 83的示例性功能框图。安全PLC 83基于接收到的用于上述安全检查的数据进行操作。根据一个示例，安全PLC 83具有以下端子：
SV42的电状态被输入到其中的SV端子83a，
连接到限位开关44的LS端子83b，
连接到流量计52的FM端子83c，
连接到壳体压力传感器13的HP端子83d
连接到排气压力传感器64的EP端子83e，
连接到报警装置82的AL端子83f，以及
连接到差压计35、37的DP端子83g。
共同监控单元83A被配置为基于通过各个端子获得的信息来确定所有上述第一至第四条件被满足。在一个示例中，相互监测单元83A确认SV 42关闭，限位开关44没有检测到SV 42的输入信号和SV 42的阀的实际位置之间的差异，流量计52显示预定量的CDA流量，壳体压力传感器13显示预定压力，排气压力传感器64显示预定压力，报警装置没有发出警报，并且差压计35、37显示预定值。如果所有这些都被确认，则共同监控单元83A向时间管理单元83B通知该确认。时间管理单元83B接收来自共同监控单元83A的信号，并对满足第一至第四条件的时间进行计数。当累计时间超过例如1小时时，时间管理单元83B向设定单元83C发出打开壳体10的门10a的许可信号。已经接收到许可信号的设定单元83C改变第一继电器97A的连接状态，以允许给门10a的电磁锁开关通电。
根据一个示例，安全PLC 83包括故障检测器83E。故障检测器83E被配置为改变第二继电器97B的连接状态，以允许或禁止门10a的电磁锁开关的通电。例如，当在共同监控单元83A中检测到一些异常时，或者当在门10a中出现一些异常时，故障检测器83E改变或保持第二继电器97B的状态，以禁止门10a的电磁锁开关被通电。故障检测器83E检测到的异常现象的例子是信息不能从端子获得或者信息无效。
因此，当满足第一至第四条件的累积时间达到预定时间时，安全PLC 83解除用于打开门的互锁，即，第一继电器97A和第二继电器97B。即，当将壳体10中的气体从N2气体20替换为CDA时，可以实现所需的条件(PLr＝c，PL＝3)，而不依赖于O2传感器。
图8A和8B是示出安全PLC 83的配置示例的图。安全PLC 83具有处理电路100。在安全PLC 83中执行的每个上述功能由处理电路100实现。也就是说，处理电路100证明气体置换操作已经持续了预定的时间量，并且解除EFEM门的互锁。处理电路100可以作为专用硬件(专用电路)来提供，或者可以是执行存储在存储器中的程序的CPU(中央处理单元、处理装置、运算装置、微处理器、微型计算机、处理器或DSP)。如果处理电路100是专用硬件，则处理电路30可以是例如单个电路、复合电路、编程处理器、并行编程处理器、ASIC、FPGA或其组合。
图8B示出了在处理电路是CPU的情况下安全PLC 83的配置示例。在这种情况下，安全PLC 83的每个功能由软件或软件和固件的组合来实现。软件或固件被描述为程序，并存储在存储器104中。处理器102读出并执行存储在存储器104中的程序，从而实现每个功能。换句话说，安全PLC 83包括存储程序的存储器104，当程序由处理电路执行时，该程序导致执行每个上述步骤。也可以说，这些程序使计算机执行证实气体置换操作已经持续了预定时间周期的程序和方法。
根据一个示例，存储在计算机可读存储介质中的程序使得计算机执行以下操作：
通过共同监控SV 42的打开/关闭和限位开关44的输出来证明N2气体没有被提供给壳体10，
通过共同监控流量计52的值和壳体压力传感器13的值来证明CDA被提供给壳体10，
通过共同监控排气压力传感器64的值和壳体压力传感器13的值来证明壳体中的气体被排出，
通过共同监控报警装置82的输出和差压计35、37的值来证明风扇24旋转，以及
当第一至第四条件已经满足预定持续时间时，解除壳体10的门10a的互锁。
根据一个示例，互锁的解除通过向门10a的电磁锁开关发出命令来执行。这里，存储器对应于例如非易失性或易失性半导体存储器，诸如RAM、ROM、闪存、EPROM和EEPROM；磁盘；软盘；光盘；高密度磁盘；迷你盘；或者DVD。当然，也可以通过硬件来实现上述每个功能的一部分，并且通过软件或固件来实现一部分功能。在一个示例中，控制器96还包括参考图8A、8B解释的处理电路。
前面的描述不是限制性的，而仅仅是示例性的。因此，假设了各种修改。

Claims (19)

1.一种接口模块，包括:
风机过滤器单元，具有风扇和过滤器；
壳体，围绕邻近所述过滤器的空间，且该壳体包括门；
上壳体，围绕邻近所述风扇的空间；
第一端口，设置在所述上壳体中；
第二端口，与FFU内部空间连通，该FFU内部空间是所述风机过滤器单元中的所述风扇和所述过滤器之间的空间；以及
差压计，连接到所述第一端口和所述第二端口，以检测所述上壳体的内部和所述FFU内部空间之间的压差。
2.根据权利要求1所述的接口模块，其中所述风机过滤器单元包括用于检测所述风扇的故障的报警设备。
3.根据权利要求2所述的接口模块，包括:
氮气源；
氮气供应管，将所述氮气源连接到所述上壳体；
电磁阀，附接到所述氮气供应管；
限位开关，安装到所述电磁阀；
清洁干燥空气源；
清洁干燥空气供应管，将所述清洁干燥空气源连接到所述上壳体；
阀，附接到所述清洁干燥空气供应管；以及
流量计，安装到所述清洁干燥空气供应管。
4.根据权利要求3所述的接口模块，包括:
壳体压力传感器，构造为测量所述壳体中的压力；
排气管，附接到所述壳体；以及
排气压力传感器，构造为测量所述排气管中的压力。
5.根据权利要求4所述的接口模块，包括安全PLC，所述安全PLC包括处理器和存储器，被配置成使处理器执行存储在存储器中的程序，或者包括专用电路，以通过共同监控所述报警装置的输出和由所述差压计检测的压力来证实所述风扇正在旋转。
6.根据权利要求4所述的接口模块，包括安全PLC，所述安全PLC包括处理器和存储器，被配置成使处理器执行存储在存储器中的程序，或者包括专用电路，以在预定气体置换操作已经持续预定持续时间时释放用于打开所述门的互锁。
7.根据权利要求4所述的接口模块，包括安全PLC，该安全PLC具有:
处理器和存储器，被配置为使所述处理器执行存储在所述存储器中的程序，或者专用电路；
连接到所述电磁阀的SV端子；
连接到所述限位开关的LS端子；
连接到所述流量计的FM端子；
连接到所述壳体压力传感器的HP端子；
连接到所述排气压力传感器的EP端子；
连接到所述报警设备的AL端子；以及
连接到所述差压计的DP端子。
8.根据权利要求5所述的接口模块，包括具有设置面板的操作盒，其中所述安全PLC和所述差压计容纳在是是是操作盒中。
9.根据权利要求1所述的接口模块，包括:
邻近所述壳体的装载端口；
负载锁定模块，通过闸阀邻近所述壳体；以及
所述壳体中的机械臂。
10.一种其中记录有程序的计算机可读存储介质，该程序使计算机执行:
通过共同监控安装到氮气供应管的电磁阀和安装到所述电磁阀的限位开关来证明N2气体没有被提供给壳体；
通过共同监控CDA的流量计和壳体压力传感器来证明CDA被提供给壳体；
通过共同监控排气压力传感器和所述壳体压力传感器来证明壳体中的气体被排出；
通过共同监控所述风扇的报警装置和所述风扇的入口和出口之间的压差来证明向所述壳体提供气流的风扇旋转；以及
当壳体充满CDA时，释放壳体的门的互锁。
11.根据权利要求10所述的计算机可读存储介质，其中所述互锁包括所述门的电磁锁开关。
12.根据权利要求10所述的计算机可读存储介质，其中所述计算机可读存储介质是安全PLC的一部分。
13.一种安全验证方法，包括:
接收命令，以用CDA替换壳体中的N2气体；
进行气体置换操作，该气体置换操作包括停止向所述壳体供应N2气体，向所述壳体提供CDA，排出所述壳体中的气体，以及旋转所述风扇用于向所述壳体供应CDA；
证实所述气体置换操作已经持续了预定的时间周期；
允许在所述证实后打开所述壳体的门。
14.根据权利要求13所述的安全验证方法，其中通过共同监控所述风扇的故障和所述风扇的入口和出口之间的压差来验证风扇的旋转。
15.根据权利要求13所述的安全验证方法，其中通过共同监控用于调节N2气体供应的电磁阀和安装到所述电磁阀的限位开关来验证没有供应N2气体。
16.根据权利要求13所述的安全验证方法，其中通过共同监控设置在所述CDA的供应路径中的流量计和壳体压力传感器来验证对所述壳体的CDA供应。
17.根据权利要求13所述的安全验证方法，其中通过共同监控排气压力传感器和壳体压力传感器来验证气体的排出。
18.根据权利要求13所述的安全验证方法，其中当所述气体置换操作已经持续了预定时间周期时，所述壳体中的氧气浓度大于或等于19.5％。
19.根据权利要求13所述的安全验证方法，其中通过LED灯、显示器或语音向操作者通知所述允许。
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