CN115637481B - 光伏电池片电镀设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光伏电池电镀技术领域,具体公开了光伏电池片电镀设备。该设备用于电镀电池片,包括设有电镀槽的内壳体及设于电镀槽内的输送模块和电镀模块;输送模块用于输送电池片;电镀模块包括旋转运动件和设于旋转运动件上的多个阴极探针组件,阴极探针组件包括贴合吸盘和阴极导电探针,贴合吸盘设有吸附腔体,阴极导电探针设于吸附腔体内,旋转运动件能带动阴极导电探针同步旋转,使贴合吸盘周期性地贴合于电池片;当贴合吸盘贴合于电池片时,贴合吸盘与电池片形成隔离空间,阴极导电探针与电池片接触并与电池片保持同步运动。该设备通过设置贴合吸盘的方式,实现了对导电探针的防护,降低了导电探针被腐蚀的风险,确保了电镀操作的顺利完成。
Description
技术领域
本发明涉及光伏电池电镀技术领域,尤其涉及光伏电池片电镀设备。
背景技术
随着光伏行业规模的不断扩大和市场的快速发展,以及相关政策的调整,市场对于光伏电池的价格要求越来越严,导致很多工序都在降低复杂程度,采用便于取得材料进行使用。目前很多企业采用电镀铜的方式来替换印刷银浆,基本原理是让电池片依次通过阴极组件和阳极组件,并对阴极组件采用通电电镀的方式。
在光伏电池片电镀设备中,电池片被输送模块传输经过电镀槽进行电镀,阴极导电探针抵接于电池片以对电池片导电;在电镀工作时,电镀槽内设置电镀液、传输组件和阳极件。然而,现有的光伏电池片电镀设备存在以下问题:
1)光伏电池片电镀设备工作过程中的振动,会引起抵接于电池片的导电探针振动,导电探针的振动可能会划伤电池片,同时可能会导致导电探针与电池片接触不良;
2)导电探针与电池片相接触的部分会被电镀,这导致电池片下料的时候,导电探针与电池片无法分离,进而导致设备停机,即使导电探针与电池片因为外力分离,也存在损坏电池片的风险,同时被电镀的导电探针也会影响后续的导电性能,后续还需要进行消镀处理;
3)导电探针与电镀液相接触的部分会被腐蚀,可能会导致导电探针损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供光伏电池片电镀设备,以解决电镀时导电探针定位困难和易被腐蚀的问题,实现对电镀液的及时补充。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
光伏电池片电镀设备,用于电镀电池片,包括内壳体、输送模块和电镀模块;所述内壳体设有电镀槽;所述输送模块设于所述电镀槽内,用于输送所述电池片;所述电镀模块至少部分设于所述电镀槽内,包括旋转运动件和设于所述旋转运动件上的多个阴极探针组件,所述阴极探针组件包括贴合吸盘和阴极导电探针,所述贴合吸盘设有吸附腔体,所述阴极导电探针设于所述吸附腔体内;所述工作状态下,所述电镀槽内装有电镀液;所述旋转运动件能带动所述阴极导电探针同步旋转,使所述贴合吸盘周期性地贴合于所述电池片;当所述贴合吸盘贴合于所述电池片时,所述贴合吸盘与所述电池片形成隔离空间,所述阴极导电探针在所述隔离空间内与所述电池片接触并与所述电池片保持同步运动。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述电镀槽的两端均设有料口,两个所述料口相对设置,所述输送模块上方设有阳极件,所述阳极件的工作面正对所述输送模块的输送面,所述阳极件的工作面和所述输送模块的输送面之间形成电镀通道;所述工作状态下,所述阳极件的工作面位于所述电镀液液面之下;所述输送模块输送所述电池片从一个所述料口向另一个所述料口移动并经过所述电镀通道。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述光伏电池片电镀设备还包括导引板;所述工作状态下,所述导引板能够推动所述阴极探针组件抵压所述电池片,压缩所述贴合吸盘与所述电池片形成的所述隔离空间内的空气,使所述电镀液排出所述隔离空间。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,部分所述输送模块位于所述电镀模块的正下方,所述旋转运动件包括至少两个传动辊和套设于所有所述传动辊上的上部输送带,沿所述上部输送带的输送方向,所述阴极探针组件间隔布设于所述上部输送带上;所述导引板设置于所述上部输送带的带间间隙内;所述工作状态下,所述阴极探针组件在经过所述导引板的下方时,与所述导引板的引导面相抵接。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述阴极探针组件还包括活动件、第一弹性件和安装管,所述安装管穿接于所述上部输送带,所述活动件的一端设有活塞柱,另一端设有活塞块,所述活塞块的侧壁与所述安装管的内壁紧密贴合,所述活塞块与所述安装管被视为所述贴合吸盘,所述阴极导电探针设于所述活塞块的中部;所述导引板通过推动所述活塞柱,驱动所述活动件朝向所述电池片移动,使所述隔离空间内的电镀液被挤出;所述第一弹性件弹性连接所述活动件与所述安装管,用于驱动所述活动件复位。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述导引板的引导面包括沿所述输送模块的输送方向依次连接的第一引导面、第二引导面和第三引导面,所述第一引导面和所述第三引导面为异面的两个平面,所述第一引导面和所述第三引导面与所述输送模块的输送面平行,所述第三引导面与所述输送模块的输送面之间的距离小于所述第一引导面与所述输送模块的输送面之间的距离,沿所述输送模块的输送方向,所述第二引导面与所述输送模块的输送面之间的距离逐渐增大。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述输送模块从高到低移动所述电池片,当所述电池片的受镀面位于所述电镀液液面之上,所述贴合吸盘与所述电池片贴合。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述光伏电池片电镀设备还包括外壳体和补液模块;所述外壳体设有容纳槽,所述容纳槽内装有所述电镀液,所述内壳体置于所述容纳槽内;所述补液模块连通所述容纳槽和所述电镀槽,所述输送模块周期性地驱动所述补液模块,使所述补液模块将所述电镀液从所述容纳槽抽取至所述电镀槽。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述补液模块包括活塞盒、输送管和返流管,所述活塞盒内安装有活塞片,所述活塞盒的内壁与所述活塞片形成了活塞腔,所述活塞片能够在第一位置与第二位置之间往复滑动,所述容纳槽通过所述输送管与所述活塞腔单向连通,所述活塞腔通过所述返流管与所述电镀槽单向连通;当所述活塞片滑动时,所述活塞腔的体积随之变化,使所述容纳槽内的所述电镀液依次通过所述输送管、所述活塞腔和所述返流管流动至所述电镀槽内。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述活塞片固接有活塞杆,所述活塞片通过第二弹性件与所述活塞盒弹性连接,所述第二弹性件用于驱动所述活塞片移动至所述第二位置;所述输送模块包括驱动单元和输送单元,所述驱动单元的输出轴用于驱动所述输送单元,所述驱动单元的输出轴上同轴固接有凸轮,所述凸轮周期性地推动所述活塞杆,使位于所述第二位置的所述活塞片移动至所述第一位置。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述输送单元包括至少两个输送辊和套设于所有所述输送辊上的下部输送带,所述驱动单元的输出轴与一个所述输送辊同轴固接;所述工作状态下,所述电池片的下板面与所述下部输送带相接触,所述电池片的上板面与所述阳极件相对。
作为光伏电池片电镀设备的优选技术方案,所述料口为溢流口,所述电镀液能够从所述料口溢流到所述容纳槽内。
本发明的有益效果:
(1)该光伏电池片电镀设备通过在旋转运动件上设置阴极探针组件的方式,有助于实现阴极导电探针与电池片的同步运动,降低了电镀过程中发生位置偏移的风险,保障了对电池片进行电镀的效果,同时还确保了贴合吸盘能够周期性地贴合于电池片;多个阴极探针组件的设置能够同时完成对电池片的多处连接,降低了接触不良的风险。
(2)在该光伏电池片电镀设备中,隔离空间隔离了吸附腔体内外的电镀液,使隔离空间存在的少量电镀液无法在电镀时为阴极导电探针提供足够的金属离子,降低了阴极导电探针与电池片电镀在一起的风险;一定程度上能够避免电池片下料时阴极导电探针与电池片无法分离的情况,减少了导致设备停机的问题;降低了电镀在一起的阴极导电探针和电池片因外力分离而损坏电池片的风险;降低了阴极导电探针上的电镀量,进而减少了后续消镀的时间,提升了电池片制备的效率。
(3)在该光伏电池片电镀设备中,贴合吸盘的设置使得阴极导电探针与电池片的接触处于隔离空间内,与外部环境相隔绝,由此避免了电镀液与阴极导电探针的大范围接触,降低了阴极导电探针被腐蚀的风险,延长了阴极导电探针的使用寿命,降低了电池片损伤的风险;由于贴合吸盘与电池片的相对位置确定,大幅降低了电镀过程中电池片发生位置偏移的风险,减少了电池片遭到损伤或是接触不良的情况。
附图说明
图1是本发明实施例提供的光伏电池片电镀设备的结构示意图;
图2是本发明实施例提供的光伏电池片电镀设备和电池片的剖面示意图一;
图3是图2中A的局部放大图;
图4是本发明实施例提供的光伏电池片电镀设备和电池片的剖面示意图二;
图5是图4中B的局部放大图;
图6是本发明实施例提供的下部输送带、电池片和电镀模块的结构示意图一;
图7是本发明实施例提供的下部输送带、电池片和电镀模块的结构示意图二;
图8是本发明实施例提供的下部输送带、电池片和电镀模块的剖面示意图;
图9是图8中C的局部放大图;
图10是本发明实施例提供的光伏电池片电镀设备和电池片的爆炸图;
图11是图10中D的局部放大图;
图12是本发明实施例提供的补液模块的爆炸图;
图13是本发明实施例提供的阴极探针组件的爆炸图;
图14是本发明实施例提供的导引板的正视图。
图中:
1、外壳体;2、电镀槽;3、传动轴;4、传动辊;5、上部输送带;7、支撑轴;8、导引板;81、第一引导面;82、第二引导面;83、第三引导面;84、第四引导面;85、第五引导面;9、连接杆;10、阳极件;11、驱动单元;12、第一传动齿轮;13、返流管;14、输送辊;15、下部输送带;16、电池片;17、输送管;18、凸轮;19、活塞盒;20、活塞片;21、活塞杆;22、第二弹性件;23、滚轮;24、料口;27、活塞管;271、止挡圈;29、弹性管;30、弹性环;31、活塞柱;32、第一弹性件;33、阴极导电探针;34、连接管;35、活塞块;36、第二传动齿轮;37、贴合吸盘;38、安装管。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中,术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置,而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
实施例一
如图1-图13所示,本实施例提供了光伏电池片电镀设备,用于电镀电池片16,包括内壳体、输送模块和电镀模块;内壳体设有电镀槽2;输送模块设于电镀槽2内,用于输送电池片16;电镀模块至少部分设于电镀槽2内,包括旋转运动件和设于旋转运动件上的多个阴极探针组件,阴极探针组件包括贴合吸盘37和阴极导电探针33,贴合吸盘37设有吸附腔体,阴极导电探针33设于吸附腔体内;工作状态下,电镀槽2内装有电镀液;旋转运动件能带动阴极导电探针33同步旋转,使贴合吸盘37周期性地贴合于电池片16;当贴合吸盘37贴合于电池片16时,贴合吸盘37与电池片16形成隔离空间,阴极导电探针33在隔离空间内与电池片16接触并与电池片16保持同步运动。
在该光伏电池片电镀设备中,隔离空间隔离了吸附腔体内外的电镀液,使隔离空间存在的少量电镀液无法在电镀时为阴极导电探针33提供足够的金属离子,降低了阴极导电探针33与电池片16电镀在一起的风险;一定程度上避免了电池片16下料时阴极导电探针33与电池片16无法分离的情况,减少了导致设备停机的问题;降低了被电镀在一起的阴极导电探针33与电池片16因为外力分离而损坏电池片16的风险;降低了阴极导电探针33上的电镀量,进而减少了后续消镀的时间,提升了电池片16制备的效率。
该光伏电池片电镀设备通过在旋转运动件上设置阴极探针组件的方式,有助于实现阴极导电探针33与电池片16的同步运动,降低了电镀过程中发生位置偏移的风险,保障了对电池片16进行电镀的效果,同时还确保了贴合吸盘37能够周期性地贴合于电池片16;多个阴极探针组件的设置能够同时完成对电池片16的多处连接,降低了接触不良的风险。
在该光伏电池片电镀设备中,贴合吸盘37的设置使得阴极导电探针33与电池片16的接触处于隔离空间内,与外部环境相隔绝,由此避免了电镀液与阴极导电探针33的大范围接触,降低了阴极导电探针33被腐蚀的风险,延长了阴极导电探针33的使用寿命,降低了电池片16损伤的风险;由于贴合吸盘37与电池片16的相对位置确定,大幅降低了电镀过程中电池片16发生位置偏移的风险,减少了电池片16遭到阴极导电探针33损伤或是与阴极导电探针33接触不良的情况。
优选地,阴极探针组件的设置数量不限,多个阴极探针组件的排布越密集,则电池片16电镀过程中,有越多数量的阴极导电探针33与电池片16接触,以使电接触性能更好。
在本实施例中,光伏电池片电镀设备还包括外壳体1和补液模块;外壳体1设有容纳槽,容纳槽内装有电镀液,内壳体置于容纳槽内;补液模块连通容纳槽和电镀槽2,输送模块周期性地驱动补液模块,使补液模块将电镀液从容纳槽抽取至电镀槽2。以上设计实现了对电镀槽2内电镀液的自动补充,避免了电镀液液面下降的情况发生,周期性的补充有助于实现电镀槽2内电镀液液面的精确调整,利用输送模块驱动补液模块的设计大幅减少了操作人员的工作量,同时还使电镀操作与补液操作同步完成,降低了因意外或疏忽而导致补液模块未能按需求运行的情况,进一步的保障了光伏电池片电镀设备的顺利运行。
进一步地,补液模块包括活塞盒19、输送管17和返流管13,活塞盒19内安装有活塞片20,活塞盒19的内壁与活塞片20形成了活塞腔,活塞片20能够在第一位置与第二位置之间往复滑动,容纳槽通过输送管17与活塞腔单向连通,活塞腔通过返流管13与电镀槽2单向连通;当活塞片20滑动时,活塞腔的体积随之变化,使容纳槽内的电镀液依次通过输送管17、活塞腔和返流管13流动至电镀槽2内。以上结构中,输送管17与返流管13的单向连通避免了电镀液的回流,确保了电镀液能够单向的从容纳槽流向电镀槽2内。通过活塞片20往复运动调整活塞腔空间的方式,能够通过压力的变化完成对电镀液的抽取动作,从而确保了补液操作的顺利完成。
优选地,活塞盒19安装于外壳体1的内壁上;输送管17和返流管13内均设有止逆阀,输送管17和返流管13利用止逆阀实现单向连通;活塞片20的外侧面与活塞盒19的内壁紧密贴合。工作时,活塞片20由第一位置向第二位置移动,使得活塞腔产生负压,输送管17上的止逆阀打开,返流管13上的止逆阀关闭,将容纳槽内的电镀液吸到活塞腔内;然后,活塞片20由第二位置向第一位置移动,压缩活塞腔内的空气或者压迫活塞腔内的电镀液,输送管17上的止逆阀关闭,返流管13上的止逆阀打开,将活塞腔内的电镀液输送到电镀槽2内。
更进一步地,活塞片20固接有活塞杆21,活塞片20通过第二弹性件22与活塞盒19弹性连接,第二弹性件22用于驱动活塞片20移动至第二位置;输送模块包括驱动单元11和输送单元,驱动单元11的输出轴用于驱动输送单元,驱动单元11的输出轴上同轴固接有凸轮18,凸轮18周期性地推动活塞杆21,使位于第二位置的活塞片20移动至第一位置。通过凸轮18对活塞杆21不断地进行挤压的方式,实现了对电镀槽2内电镀液的周期性补充。以上结构中,凸轮18的设置确保了补液操作周期性地完成,保障了补液模块的顺利工作,确保了光伏电池片电镀设备能够高效地运行。
优选地,活塞杆21固接于活塞片20远离活塞腔的板面中部,且部分伸出活塞盒19;第二弹性件22为弹簧,弹簧套设于活塞杆21,且两端分别固接于活塞盒19内壁和活塞片20远离活塞腔的板面上;凸轮18与活塞杆21伸出活塞盒19的一端相配合,凸轮18通过抵压活塞杆21的方式将活塞片20推动至第一位置;凸轮18处于容纳槽内,驱动单元11安装于外壳体1的外壁上,驱动单元11的输出轴穿过外壳体1伸入到容纳槽中;当活塞片20处于第二位置时,凸轮18与活塞杆21的抵接点与驱动单元11的输出轴轴线之间为最小距离;当活塞片20处于第一位置时,凸轮18与活塞杆21的抵接点与驱动单元11的输出轴轴线之间为最大距离。
在本实施例的其他实施方式中,补液模块可以是输送管17和返流管13之间连接提升泵的输入端和输出端,提升泵将容纳槽内的电镀液泵入电镀槽2内。
在本实施例中,电镀槽2的两端均设有料口24,两个料口24相对设置,输送模块上方设有阳极件10,阳极件10的工作面正对输送模块的输送面,阳极件10的工作面和输送模块的输送面之间形成电镀通道;工作状态下,阳极件10的工作面位于电镀液液面之下;输送模块输送电池片16从一个料口24向另一个料口24移动并经过电镀通道。以上设计确保了阳极件10和阴极探针组件都能和经过电镀通道的电池片16顺利地接触,从而保障了电镀操作的顺利完成,提升了光伏电池片电镀设备的工作稳定性。
进一步地,料口24为溢流口,电镀液能够从料口24溢流到容纳槽内。由此得以经过补液模块在回流到电镀槽2内,实现电镀液的循环。当然,电镀槽2上还可以额外设置其他溢流口。
再进一步地,输送单元包括至少两个输送辊14和套设于所有输送辊14上的下部输送带15,驱动单元11的输出轴与一个输送辊14同轴固接;工作状态下,电池片16的下板面与下部输送带15相接触,电池片16的上板面与阳极件10相对。优选地,输送辊14设有多个,例如四个,下部输送带15设有两条,且分别套接于所有输送辊14侧面的两端。以上设计简单可靠,在工作状态下不仅能够顺利地实现对电池片16的输送操作,还能有效地减少占用的空间,优化电镀槽2内的布局。
输送模块的输送面为输送模块承载电池片16的表面,即下部输送带15承载电池片16的外表面。
作为优选,光伏电池片电镀设备还包括导引板8;工作状态下,导引板8能够推动阴极探针组件抵压电池片16,压缩贴合吸盘37与电池片16形成的隔离空间内的空气,使电镀液排出隔离空间。在形成隔离空间的过程中,导引板8通过推动阴极探针组件压缩吸附腔体内空气的方式,能够在形成隔离空间的过程中,压缩吸附腔体内的空气,将吸附腔体内的电镀液全部排出或者部分排出,这会产生隔离空间内只会存在较少的电镀液或者不存在电镀液的情况,导致电池片16在电镀时无法为阴极导电探针33提供足够的金属离子,进而不会使得阴极导电探针33与电池片16电镀在一起。以上设计进一步地改善了阴极导电探针33在电镀时的环境,避免了隔离空间内的电镀液将阴极导电探针33腐蚀的情况发生,进一步地保证了电镀的效果,降低了阴极探针组件维护的频率,提高了光伏电池片电镀设备工作的效率。
在本实施例中,如图6-图9和图14所示,导引板8的引导面包括沿输送模块的输送方向依次连接的第一引导面81、第二引导面82和第三引导面83,第一引导面81和第三引导面83为异面的两个平面,第一引导面81和第三引导面83与输送模块的输送面平行,第三引导面83与输送模块的输送面之间的距离小于第一引导面81与输送模块的输送面之间的距离,沿输送模块的输送方向,第二引导面82与输送模块的输送面之间的距离逐渐增大。优选地,第二引导面82为与第一引导面81和第三引导面83呈钝角的倾斜平面。第一引导面81为阴极探针组件和电池片16的接触提供了找准的空间,避免了到位之前失利而导致偏差的情况,提高了电镀操作的准确性。通过第二引导面82过渡至第三引导面83的设计,有效地避免了导引板8在与阴极探针组件接触时发生刚性碰撞的情况,避免了光伏电池片电镀设备在运行过程中出现损伤的情况,保障了电镀模块的顺利运行,降低了光伏电池片电镀设备的维护频率。
具体实施例中,工作状态下,活塞柱31的上端抵接第一引导面81,第一引导面81引导活塞柱31移动到第二引导面82,活塞柱31从第二引导面82开始推动活塞活塞块35向下移动,不断挤出吸附腔体内的电镀液,当活塞柱31抵接活塞管27内壁上的止挡圈271时,弹性环30接触电池片16,活塞柱31继续在第二引导面82上移动,使得弹性管29和弹性环30压缩,吸附腔体体积缩小,产生负压吸附电池片16,形成密封的隔离空间,活塞柱31移动到第三引导面83上时,阴极导电探针33保持抵接在电池片16上的待电镀区域,弹性环30保持抵接在电池片16,隔离空间体对阴极导电探针33进行密封,隔离空间之内的电镀液极少,密封良好的隔离空间能够隔绝隔离空间外的电镀液的流入隔离空间,降低了阴极导电探针33上的电镀量,降低了阴极导电探针33和电池片16被电镀黏连在一起的风险。
在本实施例的其他实施方式中,可以不设置止挡圈271,吸附腔体内的电镀液能够被挤出,贴合吸盘37和电池片16之间可能无法形成良好密封,但是此时仍然可以形成隔离空间,隔离空间之内的电镀液极少,隔离空间能够限制隔离空间内外的电镀液的流动以及扩散,降低了阴极导电探针33上的电镀量,降低了阴极导电探针33和电池片16被电镀黏连在一起的风险。
在本实施例的其他实施方式中,可以在电池片16还没浸没到电镀液内时,就使贴合吸盘37就和贴合于电池片16形成密封的隔离空间,此时密封的隔离空间内没有电镀液,密封良好的隔离空间能够隔绝隔离空间外的电镀液的流入隔离空间,可以避免阴极导电探针33被电镀,避免阴极导电探针33和电池片16被电镀黏连在一起。
导引板8的引导面还包括第四引导面84和第五引导面85,第五引导面85和第一引导面81共面,沿输送模块的输送方向,第四引导面84与输送模块的输送面之间的距离逐渐减小,例如第四引导面84为与第三引导面83和第五引导面85呈钝角的倾斜平面。活塞柱31抵接在第四引导面84上,活塞柱31可以缓慢上升,避免在贴合吸盘37和电池片16分离时活塞柱31在第一弹性件32的作用下快速上升而损坏电池片16。第五引导面85可以引导活塞柱31平稳离开导引板8。当阴极探针组件跟随上部输送带5移动到向上翻转的位置时,上部输送带5拉动贴合吸盘37和电池片16分离。
继续参考图1-图13,导引板8通过支撑轴7与内壳体的内壁相固接,导引板8上固接有连接杆9,阳极件10固定设置于连接杆9上。具体地,支撑轴7设有两个,分别与导引板8侧面的两端相连接。
进一步地,部分输送模块位于电镀模块的正下方,旋转运动件包括至少两个传动辊4和套设于所有传动辊4上的上部输送带5,沿上部输送带5的输送方向,阴极探针组件间隔布设于上部输送带5上;导引板8设置于上部输送带5的带间间隙内;工作状态下,阴极探针组件在经过导引板8的下方时,与导引板8的引导面相抵接。优选地,引导面位于导引板8的底部。以上设计优化了输送模块和电镀模块的位置关系,确保了电镀操作顺利完的同时还减少了占有的空间,优化了输送模块和电镀模块的布局。
在一种优选实施例中,上部输送带5为导电金属带,电镀电源的负极电连接上部输送带5,以为上部输送带5及其上的阴极导电探针33供电,阴极导电探针33电连接电池片16上的待电镀区域;电镀电源的正极电连接阳极件10。
在另一种优选实施例中,活塞柱31、活塞块35和导引板8均为导电材料,或者活塞柱31、活塞块35和导引板8均包含导电部份;电镀电源的负极连接导引板8即可依次通过活塞柱31、活塞块35和阴极导电探针33将电流到导通到电池片16上的待电镀区域。
需要说明的是,本申请中部份结构可能没有标明是否为导体,应该根据其使用环境及本领域技术确定其是否为导体。
作为优选,旋转运动件还包括两根传动轴3,两根传动轴3与所有传动辊4中位于两端的两个传动辊4同轴固连,传动轴3穿过内壳体并在容纳槽内同轴固连有第一传动齿轮12,输送辊14中位于端部的两个穿过内壳体并在容纳槽内同轴固连有第二传动齿轮36,第一传动齿轮12与第二传动齿轮36相啮合,使输送模块和旋转运动件能够同步转动。优选地,两个第一传动齿轮12设置于电镀槽2斜对角上,对应地两个第二传动齿轮36设置于电镀槽2斜对角上。
在本实施例中,阴极探针组件还包括活动件、第一弹性件32和安装管38,安装管38穿接于上部输送带5,活动件的一端设有活塞柱31,另一端设有活塞块35,活塞块35的侧壁与安装管38的内壁紧密贴合,活塞块35与安装管38被视为贴合吸盘37,阴极导电探针33设于活塞块35的中部;导引板8通过推动活塞柱31,驱动活动件朝向电池片16移动,使隔离空间内的电镀液被挤出;第一弹性件32弹性连接活动件与安装管38,用于驱动活动件复位。
在压缩吸附腔体内的空气时,吸附腔体的体积不变化,只有气体被排出。在活塞块35移动时,气压的变化能够使得贴合吸盘37与电池片16之间形成缝隙,并通过活塞块35的持续移动,使得吸附腔体内的电镀液从缝隙处被挤出去,进而造成吸附腔体内电镀液减少的情况,此后通过活塞块35的继续移动,会导致吸附腔体内气体被继续从缝隙中挤出,直至阴极导电探针33与电池片16接触,之后通过上部输送带5的转动,使得贴合吸盘37与电池片16之间的吸附被拉开。以上结构达成了将电镀液从隔离空间中的排出目的,保证了导引板8对阴极探针组件的顺利推动,有助于电镀液从隔离空间中顺利地排出。
作为优选,第一弹性件32为弹簧,弹簧套设于活塞柱31,且两端分别固接于安装管38和活动件设有活塞柱31的一端。
本实施例中,安装管38包括穿接于上部输送带5的连接管34以及在上部输送带5的外侧面一侧依次同轴固接的活塞管27、弹性管29和弹性环30,且连接管34、活塞管27、弹性管29、弹性环30和活塞块35形成了贴合吸盘37,活塞块35的侧壁与活塞管27的内壁紧密贴合,活塞管27为刚性材质,弹性管29和弹性环30为弹性材质。优选地,活塞块35与活塞管27之间的配合关系与注射器的结构类似,在此不多加赘述。
当阴极探针组件与电池片16相接触时,电池片16先与弹性环30接触,使得弹性环30受力变形,从而保证电池片16能在弹性环30和下部输送带15的作用下稳定的输送。
当电池片16通过导引板8的底部时,导引板8挤压活塞柱31,进而带动活塞块35在活塞管27内移动,使得气压带动电镀液向弹性环30移动,之后在压力的作用下,使得弹性环30翘起,进而排出弹性管29内的电镀液,此后活塞块35继续移动,带动阴极导电探针33与电池片16接触,之后便可对电池片16进行电镀,在电镀结束后,导引板8不再对活塞柱31挤压,借助第二弹性件22的复位,电池片16在与弹性环30逐步脱离后,活动件及设于其上的阴极导电探针33随活塞块35复位。
本实施例中,光伏电池片电镀设备还包括靠近两个料口24位置分别设置的两个驱动滚轮组,每个驱动滚轮组包括上下相对设置两个滚轮23,至少一个滚轮23为主动滚轮,以为电池片16进出电镀槽2提供动力,保证电池片16能够在下部输送带15和外部的输送机构之间转移。
本实施例中,滚轮23可以设置在电镀槽2内部,也可以设置在电镀槽2外部。优选地,两个滚轮23同时设置在电镀槽2内部。
本实施例中,驱动单元11可以为伺服电机,弹性管29可以为橡胶软管,弹性环30的材质可以为橡胶,下部输送带15可以为皮带。
实施例二
该实施例二的光伏电池片电镀设备与上述实施例一基本相同,二者的区别在于,输送模块从高到低移动电池片16,当电池片16的受镀面位于电镀液液面之上,贴合吸盘37与电池片16贴合。
通过在电镀液液面之上完成贴合吸盘37与电池片16的贴合动作,然后再进入电镀液中。以上设计能使得电镀操作在没有电镀液的隔离空间内完成,从而大幅降低了阴极导电探针33被腐蚀的风险,同时也不必再设计实施例一中排放隔离空间内电镀液的对应结构,以上设计大幅简化阴极探针组件的结构,减少了电镀模块占用的空间,还降低了光伏电池片电镀设备的生产成本,提高了电镀操作的效率。
优选地,本实施例不再设置实施例一中的活塞管27、弹性环30、活塞柱31、第二弹性件22、连接管34和活塞块35。通过将实施例一中的外壳体1和内壳体倾斜的方式,将作为入口的料口24位于上方,作为出口的料口24位于下方,从而完成对电池片16的高到低移动。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (9)
1.光伏电池片电镀设备,用于电镀电池片(16),其特征在于,包括:
内壳体,设有电镀槽(2);
输送模块,设于所述电镀槽(2)内,用于输送所述电池片(16);
电镀模块,至少部分设于所述电镀槽(2)内,包括旋转运动件和设于所述旋转运动件上的多个阴极探针组件,所述阴极探针组件包括贴合吸盘(37)和阴极导电探针(33),所述贴合吸盘(37)设有吸附腔体,所述阴极导电探针(33)设于所述吸附腔体内;
工作状态下,所述电镀槽(2)内装有电镀液;所述旋转运动件能带动所述阴极导电探针(33)同步旋转,使所述贴合吸盘(37)周期性地贴合于所述电池片(16);当所述贴合吸盘(37)贴合于所述电池片(16)时,所述贴合吸盘(37)与所述电池片(16)形成隔离空间,所述阴极导电探针(33)在所述隔离空间内与所述电池片(16)接触并与所述电池片(16)保持同步运动;
所述光伏电池片电镀设备还包括导引板(8);所述工作状态下,所述导引板(8)能够推动所述阴极探针组件抵压所述电池片(16),压缩所述贴合吸盘(37)与所述电池片(16)形成的所述隔离空间内的空气,使所述电镀液排出所述隔离空间;
部分所述输送模块位于所述电镀模块的正下方,所述旋转运动件包括至少两个传动辊(4)和套设于所有所述传动辊(4)上的上部输送带(5),沿所述上部输送带(5)的输送方向,所述阴极探针组件间隔布设于所述上部输送带(5)上;所述导引板(8)设置于所述上部输送带(5)的带间间隙内;所述工作状态下,所述阴极探针组件在经过所述导引板(8)的下方时,与所述导引板(8)的引导面相抵接;
所述阴极探针组件还包括活动件、第一弹性件(32)和安装管(38),所述安装管(38)穿接于所述上部输送带(5),所述活动件的一端设有活塞柱(31),另一端设有活塞块(35),所述活塞块(35)的侧壁与所述安装管(38)的内壁紧密贴合,所述活塞块(35)与所述安装管(38)被视为所述贴合吸盘(37),所述阴极导电探针(33)设于所述活塞块(35)的中部;所述导引板(8)通过推动所述活塞柱(31),驱动所述活动件朝向所述电池片(16)移动,使所述隔离空间内的电镀液被挤出;所述第一弹性件(32)弹性连接所述活动件与所述安装管(38),用于驱动所述活动件复位。
2.根据权利要求1所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述电镀槽(2)的两端均设有料口(24),两个所述料口(24)相对设置,所述输送模块上方设有阳极件(10),所述阳极件(10)的工作面正对所述输送模块的输送面,所述阳极件(10)的工作面和所述输送模块的输送面之间形成电镀通道;
所述工作状态下,所述阳极件(10)的工作面位于所述电镀液液面之下;所述输送模块输送所述电池片(16)从一个所述料口(24)向另一个所述料口(24)移动并经过所述电镀通道。
3.根据权利要求1所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述导引板(8)的引导面包括沿所述输送模块的输送方向依次连接的第一引导面(81)、第二引导面(82)和第三引导面(83),所述第一引导面(81)和所述第三引导面(83)为异面的两个平面,所述第一引导面(81)和所述第三引导面(83)与所述输送模块的输送面平行,所述第三引导面(83)与所述输送模块的输送面之间的距离小于所述第一引导面(81)与所述输送模块的输送面之间的距离,沿所述输送模块的输送方向,所述第二引导面(82)与所述输送模块的输送面之间的距离逐渐增大。
4.根据权利要求2所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述输送模块从高到低移动所述电池片(16),当所述电池片(16)的受镀面位于所述电镀液液面之上,所述贴合吸盘(37)与所述电池片(16)贴合。
5.根据权利要求2所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述光伏电池片电镀设备还包括:
外壳体(1),设有容纳槽,所述容纳槽内装有所述电镀液,所述内壳体置于所述容纳槽内;
补液模块,连通所述容纳槽和所述电镀槽(2),所述输送模块周期性地驱动所述补液模块,使所述补液模块将所述电镀液从所述容纳槽抽取至所述电镀槽(2)。
6.根据权利要求5所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述补液模块包括活塞盒(19)、输送管(17)和返流管(13),所述活塞盒(19)内安装有活塞片(20),所述活塞盒(19)的内壁与所述活塞片(20)形成了活塞腔,所述活塞片(20)能够在第一位置与第二位置之间往复滑动,所述容纳槽通过所述输送管(17)与所述活塞腔单向连通,所述活塞腔通过所述返流管(13)与所述电镀槽(2)单向连通;当所述活塞片(20)滑动时,所述活塞腔的体积随之变化,使所述容纳槽内的所述电镀液依次通过所述输送管(17)、所述活塞腔和所述返流管(13)流动至所述电镀槽(2)内。
7.根据权利要求6所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述活塞片(20)固接有活塞杆(21),所述活塞片(20)通过第二弹性件(22)与所述活塞盒(19)弹性连接,所述第二弹性件(22)用于驱动所述活塞片(20)移动至所述第二位置;所述输送模块包括驱动单元(11)和输送单元,所述驱动单元(11)的输出轴用于驱动所述输送单元,所述驱动单元(11)的输出轴上同轴固接有凸轮(18),所述凸轮(18)周期性地推动所述活塞杆(21),使位于所述第二位置的所述活塞片(20)移动至所述第一位置。
8.根据权利要求7所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述输送单元包括至少两个输送辊(14)和套设于所有所述输送辊(14)上的下部输送带(15),所述驱动单元(11)的输出轴与一个所述输送辊(14)同轴固接;所述工作状态下,所述电池片(16)的下板面与所述下部输送带(15)相接触,所述电池片(16)的上板面与所述阳极件(10)相对。
9.根据权利要求6所述的光伏电池片电镀设备,其特征在于,所述料口(24)为溢流口,所述电镀液能够从所述料口(24)溢流到所述容纳槽内。
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Citations (8)
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---|---|---|---|---|
CN1621572A (zh) * | 2003-11-26 | 2005-06-01 | 新光电气工业株式会社 | 电子零件用电镀夹具以及电解电镀装置 |
CN103134962A (zh) * | 2011-12-05 | 2013-06-05 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置 |
CN105350059A (zh) * | 2015-11-28 | 2016-02-24 | 石家庄海科电子科技有限公司 | 一种基片单面电镀的夹具及方法 |
CN111560638A (zh) * | 2020-07-06 | 2020-08-21 | 苏州清飙科技有限公司 | 晶圆电镀设备 |
CN111826692A (zh) * | 2020-07-08 | 2020-10-27 | 苏州太阳井新能源有限公司 | 一种光伏电池光诱导或光辅助电镀的方法 |
CN112853441A (zh) * | 2021-01-08 | 2021-05-28 | 上海戴丰科技有限公司 | 一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法 |
CN113930831A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-01-14 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | 一种光伏电池片水平电镀设备及方法 |
CN217733298U (zh) * | 2022-03-25 | 2022-11-04 | 苏州太阳井新能源有限公司 | 一种电池片水平电镀装置 |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1621572A (zh) * | 2003-11-26 | 2005-06-01 | 新光电气工业株式会社 | 电子零件用电镀夹具以及电解电镀装置 |
CN103134962A (zh) * | 2011-12-05 | 2013-06-05 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置 |
CN105350059A (zh) * | 2015-11-28 | 2016-02-24 | 石家庄海科电子科技有限公司 | 一种基片单面电镀的夹具及方法 |
CN111560638A (zh) * | 2020-07-06 | 2020-08-21 | 苏州清飙科技有限公司 | 晶圆电镀设备 |
CN111826692A (zh) * | 2020-07-08 | 2020-10-27 | 苏州太阳井新能源有限公司 | 一种光伏电池光诱导或光辅助电镀的方法 |
CN112853441A (zh) * | 2021-01-08 | 2021-05-28 | 上海戴丰科技有限公司 | 一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法 |
CN113930831A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-01-14 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | 一种光伏电池片水平电镀设备及方法 |
CN217733298U (zh) * | 2022-03-25 | 2022-11-04 | 苏州太阳井新能源有限公司 | 一种电池片水平电镀装置 |
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