CN115477424A - 液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法 - Google Patents

液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法。超纯水供给系统(10)具备：纯水槽(16)，所述纯水槽设置在比使用点(30)靠铅垂方向下方侧的位置；返回配管(32)，所述返回配管使超纯水从使用点(30)返回至纯水槽(16)；第一压力调整阀(40)，所述第一压力调整阀设置在返回配管(32)的第一位置(H1)处，并调整比第一位置(H1)靠上游侧的第一压力；第二压力调整阀(42)，所述第二压力调整阀设置在返回配管(32)的、比第一位置(H1)靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置(H2)处，并调整比第一位置(H1)靠下游侧且比第二位置(H2)靠上游侧的第二压力。

Description

液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2021年6月16日提交日本专利局的、申请号为2021-100415的日本专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。
技术领域
本公开涉及一种液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法。
背景技术
在超纯水制造系统中，提出了如下的技术：将制造出的超纯水供给到使用点，并使在使用场所(以下称为使用点)未被使用的超纯水回流到纯水槽。在日本特开2019-162569号公报中，使超纯水回流到纯水槽，并在将纯水从使用点送回到槽的返回配管内设置压力调整单元。而且，基于返回配管中的流量和返回压力，来控制压力调节阀等压力调整单元，抑制使用点处的压力偏离期望的压力。
一般来说，各种制造工厂的作为公用设施的纯水或超纯水制造装置等多数情况下设置在工厂的低楼层。另一方面，使用超纯水等的制造设备等大多设置在工厂的高楼层。因而，制造出的纯水或超纯水等通过泵施加压力而供给到高楼层部处的使用点。特别是，近年来，在半导体制造、液晶制造工厂的情况下，由于工厂本身的规模日趋大型化，因此工厂本身也大多高楼层化，在这种情况下，纯水制造装置等与使用点之间的高低差进一步变大。
另外，在使用点设置有多种生产设备，需要以最适合的压力向该设备供给超纯水。同样地，在使用场所(使用点)未被使用的纯水或超纯水等向超纯水制造装置等回流时，高低差也变大。
如上所述，使用点位于比超纯水制造装置内的纯水槽高的位置处，在使用点与槽位置之间的高低差变大的情况下，配管的上游侧与下游侧的压力差变大，存在压力调整困难的情况。另外，已知：在将紧接在使用点之后设置的压力调整阀等和槽连接的配管中会产生负压，导致配管变形，或者大气从配管的接缝(例如凸缘部分等)进入配管内。另外，在功能水的情况下，存在如下的担忧：由于负压而产生气泡，使得作为功能水的性能降低，或者由于气泡而引起泵的故障、动作不良。在如超纯水制造装置那样需要长时间持续通水的装置的情况下，由于持续通水而引起上述问题的可能性变大。
发明内容
本公开考虑到上述事实，提供一种能够简易地调整使用点的压力、并且能够抑制大气混入流向槽中的液体的技术。
解决课题的手段
第一方式的液体回收系统具备：槽，所述槽设置在比使用液体的使用点靠铅垂方向下方侧的位置，并贮存所述液体；配管，所述配管将所述使用点和所述槽连接，使所述液体从所述使用点返回至所述槽；第一压力调整部，所述第一压力调整部设置在所述配管的第一位置处，并调整比所述第一位置靠上游侧的第一压力；以及第二压力调整部，所述第二压力调整部设置在所述配管的比所述第一位置靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置处，并调整比所述第一位置靠下游侧且比所述第二位置靠上游侧的第二压力。
在第一方式的液体回收系统中，槽设置在比使用点靠铅垂方向下方侧的位置，在使液体从使用点返回至槽的配管上设置有第一压力调整部和第二压力调整部。第一压力调整部设置在配管的第一位置处，调整比第一位置靠上游侧的第一压力。第二压力调整部设置在配管的比第一位置靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置处，调整比第一位置靠下游侧且比第二位置靠上游侧的第二压力。
如此，通过设置第一压力调整部和第二压力调整部，与压力调整部为一个的情况相比，能够分阶段地控制因配管的高低差而引起的压力差。即，将第一位置设定在易于进行使用点的压力调整的位置处，能够简易地调整被要求为预定的压力的、比第一位置靠上游侧的使用点的压力。
另外，通过将第二位置设定在比第一位置低的位置处，能够减小第二压力调整部下游侧的配管到槽的高低差，并能够抑制因高低差所引起的压力差而导致负压作用于配管内，从而引起配管发生变形、大气流入配管内。
关于第二方式的液体回收系统，将所述第一位置设定于比所述配管的铅垂方向上的中央部靠上侧的位置，将所述第二位置设定于比所述中央部靠下侧的位置。
根据第二方式的液体回收系统，通过将第一压力调整部设置在靠近使用点的位置处，易于将使用点的压力调整为适当的压力，并且通过将第二压力调整部设置在靠近槽的位置处，能够减小从第二位置到槽的配管内的高低差，并降低因高低差引起的配管内的压力差，能够抑制由于负压作用于配管内而发生配管变形、异物流入配管内。
此外，所述第二位置与所述槽的水位之间的高低差优选为4m以内。
在第三方式的液体回收系统中，将所述第二位置设定于在铅垂方向上与所述槽的水位相同的高度、或者比所述槽的水位低的高度。
根据第三方式的液体回收系统，比第二位置靠下游侧的配管的压力为槽的水面处的压力以上，因此能够抑制由于负压作用于配管而引起的配管变形、异物流入配管内。
在第四方式的液体回收系统中，将所述第二位置设定于下游侧的压力恒常是正压的高度。
根据第四方式的液体回收系统，能够抑制比第二位置靠下游侧的配管内的压力成为负压，并能够抑制由于负压作用于配管而引起的配管变形、异物流入配管内。
关于第五方式的液体回收系统，所述第一压力调整部调整所述第一压力，以使所述第一压力为预定的上游压。
根据第五方式的液体回收系统，能够将第一压力维持为预定的上游压。
关于第六方式的液体回收系统，所述第二压力调整部调整所述第二压力，以使所述第二压力为预定的中间压。
根据第六方式的液体回收系统，能够将第二压力维持为预定的中间压。
关于第七方式的液体回收系统，所述第二压力调整部调整所述第二压力，以使所述第二压力与大气压之差为预定值。
根据第七方式的液体回收系统，能够将第二压力与大气压之差维持为预定值。
第八方式的液体供给系统具备：根据前述的液体回收系统；处理部，所述处理部对贮存在所述槽中的所述液体进行处理；以及使用供给路径，所述使用供给路径向所述使用点供给已由所述处理部处理的所述液体。
根据第八方式的液体供给系统，能够将从使用点回收的液体经由处理部再供给至使用点，并使其循环。
第九方式的液体供给系统具备：一次处理部，所述一次处理部对原水进行一次处理；以及一次供给路径，所述一次供给路径向所述槽供给已由所述一次处理部进行了一次处理的一次处理液。
根据第九方式的液体供给系统，能够将已由一次处理部进行了一次处理的原水和从使用点返回的液体从槽经由处理部供给至使用点。
第十方式的压力调整方法调整配管的压力，所述配管将使用液体的使用点和贮存所述液体的槽连接，使所述液体从所述使用点返回至所述槽，所述槽设置在比所述使用点靠铅垂方向下方侧的位置，在所述压力调整方法中，将所述配管的第一位置处的第一压力调整为预定的上游压，并且将所述配管的比所述第一位置靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置处的第二压力调整为预定的中间压。
在第十方式的压力调整方法中，如此，通过在第一位置和第二位置调整压力，与在一处进行压力调整的情况相比，能够分阶段地控制因配管的高低差而引起的压力差。即，将第一位置设定在易于进行使用点的压力调整的位置处，能够简易地调整被要求为预定压力的、比第一位置靠上游侧的使用点的压力。另外，通过将第二位置设定在比第一位置低的位置处，能够减小从第二位置下游侧的配管到槽的高低差，并能够抑制因高低差所引起的压力差而导致负压作用于配管内，从而引起配管发生变形、异物流入配管内。
发明的效果
通过本申请，能够简易地调整使用点的压力、并且能够抑制大气混入流向槽中的液体。
附图说明
下面，基于以下附图来对本公开的示例性实施方式进行详细地说明，其中：
图1是表示第一实施方式的超纯水供给系统的构成图。
图2是第一实施方式的纯水槽附近的构成图。
图3是关于第一实施方式的压力调整部关联的控制系统的框图。
图4A是表示第一实施方式的超纯水供给系统的变形例的构成图。
图4B是表示第一实施方式的超纯水供给系统的另一变形例的构成图。
图5是表示第二实施方式的超纯水供给系统的构成图。
具体实施方式
(第一实施方式)
下面，参照附图，来对本发明所涉及的液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法的第一实施方式进行说明。在本实施方式中，以供给、回收作为液体的超纯水的例子进行说明。
本实施方式的超纯水供给系统10具有预处理装置12、一次纯水装置14、纯水槽16、二次纯水装置20、使用点30。并且，二次纯水装置20具有热交换器21、紫外线照射装置23、膜脱气装置25、非再生型离子交换装置(polisher，抛光机)27、超滤膜(UF)28。
将原水供给到预处理装置12。预处理装置12针对供给的原水，使用凝集沉淀单元、砂过滤单元、膜过滤单元等来对原水进行除浊，得到已将悬浊物质和有机物的一部分除去的预处理水。作为原水，能够举出工业用水、自来水、地下水、河水等。
在一次纯水装置14中，对由预处理装置12处理得到的预处理水进行进一步净化处理，从预处理水中除去杂质，得到一次纯水。具体地，一次纯水装置具有将杂质离子除去的脱盐装置；将无机离子、有机物、微粒子等除去的反渗透膜装置；将溶解氧等溶解气体除去的真空脱气装置或膜脱气装置；将残存的离子等除去的再生型混床式脱盐装置、电再生式脱盐装置等各种装置。
通过一次纯水装置14得到的一次纯水被输送到纯水槽16。纯水槽16是暂时地贮存通过一次纯水装置14得到的一次纯水的容器。作为纯水槽16，只要是不会从容器中溶出成分或生锈的、能够稳定地贮存一次纯水的容器即可，对其材质、形状等不作特别地限定。例如，优选使用纤维强化塑胶(Fiber Reinforced Plastics，FRP)、聚乙烯、SUS304不锈钢、SUS316不锈钢、以及对它们涂覆特氟隆(Teflon，注册商标)衬里所得到的材质等。另外，为了防止二氧化碳、氧等杂质气体的吸收，优选用纯氮对纯水槽16的上部进行吹扫。
如后所述，在循环回收所制造的超纯水中在使用点30处未使用的超纯水时，将该未使用的超纯水与上述的一次纯水混合并贮存于纯水槽16。下面，将贮存于纯水槽16的一次纯水与从使用点返回的超纯水的混合水也称为“一次纯水”。将贮存于纯水槽16的一次纯水距地面G的水位设为H0。纯水槽16经由第一输送配管18与二次纯水装置20连接。在第一输送配管18上设置有第一泵P1，通过第一泵P1将一次纯水从纯水槽16向二次纯水装置20输送。
预处理装置12、一次纯水装置14以及纯水槽16配置在超纯水供给系统10的设置场所中的较低的位置处，例如，配置在工厂建筑物的一层或地下楼层等。
二次纯水装置20配置于在铅垂方向上比纯水槽16高的位置处。二次纯水装置20有时也设置在与纯水槽16相同的位置。利用二次纯水装置20的热交换器21，通过对一次纯水进行的热交换(加热或冷却)，来进行由一次纯水的热交换产生的温度调整。作为热交换器21，例如可列举板式热交换器，但具体的构造没有特别地限定。
通过热交换器21进行温度调整后的一次纯水被输送到紫外线照射装置23。利用紫外线照射装置23，通过对一次纯水照射紫外线，进行对一次纯水中有机物的分解、活菌的消杀处理(杀菌)等。作为紫外线照射装置23，例如只要具备可照射185nm左右的波长或254nm左右的波长的紫外线灯，就能够可靠地进行一次纯水中有机物的分解、杀菌。作为所用的紫外线灯，没有特别地限定，但就操作的容易度这点来看，优选低压汞灯。另外，作为紫外线照射装置，可列举流通型或者浸渍型，从处理效率这点来看优选流通型。
膜脱气装置25是使用气体分离膜来除去一次纯水中的气体、特别是溶解氧的装置，该气体分离膜可以使气体透过而不使水分透过。已由膜脱气装置25处理的一次纯水的溶解氧浓度处于较低的状态。
经由膜脱气装置25降低了溶解氧浓度的一次纯水被送到非再生型离子交换装置27。
非再生型离子交换装置27是除去因紫外线照射装置23产生的有机酸等杂质离子的装置。该装置例如为在圆筒形的密闭容器中填充有非再生型离子交换树脂的构造。
通过非再生型离子交换装置27除去杂质离子后的一次纯水被送到超滤膜(UF)28。
超滤膜(UF)28是通过除去微粒子来制造超纯水的装置，配置在二次纯水装置20的末端。
此外，在上述的二次纯水装置20中，可以设置氧化剂除去装置，该氧化剂除去装置例如可以被提供担载有Pt、Pd金属的催化剂树脂或担载有亚硫酸基、亚硫酸氢基、亚硝酸基等的还原性树脂。
二次纯水装置20经由第二输送配管29与使用场所(使用点)30连接。通过二次纯水装置20得到的超纯水经由第二输送配管29被输送到使用点30。
在使用点30处，使用所供给的超纯水。使用点30设置在与二次纯水装置20大致相同的高度、或者在铅垂方向上比二次纯水装置20高的位置处。所供给的超纯水中未被使用的超纯水，经由后述的返回配管32被循环回收到纯水槽16，与一次纯水一起贮存在纯水槽16内。
纯水槽16和使用点30通过返回配管32连接。在返回配管32的第一位置H1设置有第一压力调整阀40。将第一位置H1设置于在铅垂方向上比返回配管32的高低差的中间位置高的位置处，优选设定在二次纯水装置20的设置高度以上且使用点30的设置高度以下的位置处。
此外，为了形成较长的流路，返回配管32是通过将多个配管用凸缘等连接构件来连接、或焊接、熔敷、粘合而构成的。
作为配管的原材料，没有特别地限定，可以使用PVDF(聚偏氟乙烯)、PVC(聚氯乙烯)、SUS304、SUS316等的不锈钢等，但在液体为超纯水的情况下，优选使用PVDF。
此外，如果使用点30的最高位置与纯水槽16的水面H0之间的高低差为5m以上，则在压力调整阀为一个的情况下，存在大气混入返回配管32的可能性和返回配管32变形的可能性，而如果高低差为10m以上、甚至30m以上，则这种可能性变大。
在返回配管32的、比使用点30靠下游侧且比第一压力调整阀40靠上游侧的位置，设置有第一压力检测器41。第一压力检测器41测定使用点30的出口的压力。将由第一压力检测器41测定的返回配管32内的压力设为第一压力PR1，将其测定值信号设为第一压力信号PRS1。第一压力信号PRS1被输送到后述的压力控制部50。
在返回配管32的第二位置H2设置有第二压力调整阀42。第二位置H2在铅垂方向上配置在纯水槽16的水位H0以下的高度。如图2所示，关于纯水槽16的水位，其距地面G的高度在Hmin～Hmax之间变动。在本实施方式中，将第二位置H2配置在比水位Hmin低的位置处。
在返回配管32的、比第一位置H1靠下游侧且比第二压力调整阀42靠上游侧的位置处，设置有第二压力检测器43。第二压力检测器43测定返回配管32内的压力。将由第二压力检测器43测定的返回配管32内的压力设为第二压力PR2，将其测定值信号设为第二压力信号PRS2。第二压力信号PRS2被输送到后述的压力控制部50。另外，将返回配管32内比第二压力调整阀42靠下游侧的压力设为第三压力PR3。
超纯水供给系统10具备图3所示的压力控制部50。压力控制部50具备CPU 50A、ROM50B、RAM 50C、存储器50D、I/F 50E、以及将它们连接的数据总线、控制总线等总线50F。在存储器50D中存储有上游压PRA、以及中间压PRB。上游压PRA被设定为将使用点30的压力维持在期望的压力所需要的第一压力PR1的值。中间压PRB被设定为上游压PRA以下，其程度为返回配管32的比第一压力调整阀40靠下游侧的位置不会成为负压的程度。
在I/F 50E上连接有第一压力检测器41、第一压力调整阀40、第二压力检测器43、第二压力调整阀42。第一压力信号PRS1、第二压力信号PRS2从第一压力检测器41、第二压力检测器43输入到压力控制部50。压力控制部50基于被输入的第一压力信号PRS1、第二压力信号PRS2来控制第一压力调整阀40、第二压力调整阀42。
接着，对本实施方式的超纯水供给系统10中的返回配管32的压力调整进行说明。
压力控制部50基于被输入的第一压力信号PRS1，向第一压力调整阀40输出用于调整第一压力调整阀40的开度的信号，以使第一压力PR1成为上游压PRA。即，对第一压力调整阀40的开度进行反馈控制，以使第一压力PR1成为上游压PRA。
另外，压力控制部50基于被输入的第二压力信号PRS2，向第二压力调整阀42输出用于调整第二压力调整阀42的开度的信号，以使第二压力PR2成为中间压PRB。即，对第二压力调整阀42的开度进行反馈控制，以使第二压力PR2成为中间压PRB。
如此，以通过第一压力调整阀40使得第一压力PR1成为上游压PRA、通过第二压力调整阀42使得第二压力PR2成为中间压PRB的方式调整返回配管32的压力，由此能够分阶段地控制由配管的高低差引起的压力差。即，与压力调整阀为一个的情况相比，能够减小第一压力PR1与第二压力PR2之间的压力差、第二压力PR2与第三压力PR3之间的压力差。因而，能够抑制由负压作用在比第二位置H2靠下游侧的返回配管32内引起的返回配管32的变形、异物从连接部分向返回配管32内的流入。
另外，将第二位置H2设定为纯水槽16的水位以下的低高度，因此第三压力PR3与水位H0的压力相等。因而，能够抑制由负压作用在比第二位置H2靠下游侧的返回配管32内引起的返回配管32的变形、大气从连接部分向返回配管32内的流入。
此外，在本实施方式中，将第二位置H2设定在纯水槽16的水位H0以下的低高度，但第二位置H2不一定必须为水位H0以下，也可以将第二位置H2设置在第三压力PR3恒常为正压的位置处。另外，如图4A所示，也可以将第二位置H2设置于在铅垂方向上比返回配管32的高低差的中间位置M靠下侧的位置(低的位置)处，如图4B所示，也可以将第二位置H2设置于与纯水槽16的水位H0之间的高低差DH为4m以内的位置处。在这些情况下，也能够降低由比第二位置H2靠下游侧的返回配管32的高低差引起的配管内的压力差，并能够抑制由负压作用于返回配管32引起的配管的变形、大气向返回配管32内的流入。此外，如果将第二位置H2设定在纯水槽16的水位H0以下的低高度，则第三压力PR3与纯水槽16内的压力相等，因此更为优选。
(第二实施方式)
接着，对本发明的第二实施方式进行说明，在本实施方式中，对与第一实施方式相同的部分标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。
如图5所示，在本实施方式中，使用机械式压力调整阀46来代替第二压力调整阀42。其他结构与第一实施方式相同。
对机械式压力调整阀46进行调整以使第二压力PR2与大气压之间的差压为预定的差压值PRC。作为机械式压力调整阀46，可使用弹簧式等自力式压力调整阀、电动式、空气式等它力式压力调整阀。
如此，使用机械式压力调整阀46来进行调整以使第二压力PR2与大气压之间的差压为预定的差压值PRC，由此与第一实施方式同样地，能够分阶段地控制由返回配管32的高低差引起的压力差。即，与压力调整阀为一个的情况相比，能够减小第一压力PR1与第二压力PR2的压力差、第二压力PR2与第三压力PR3的压力差。因而，能够简易地对被要求成为预定的压力的使用点30的压力进行调整。
此外，在本实施方式中，既可以将第二位置H2设定为纯水槽16的水位以下的低高度，也可以将第二位置H2设置在第三压力PR3恒常为正压的位置处。另外，既可以将第二位置H2设置于在铅垂方向上比返回配管32的高低差的中间位置M靠下侧的位置(低的位置)，也可以将第二位置H2设置于与纯水槽16的水位H0之间的高低差DH为9m以内的位置处。在这些情况下，也能够降低由比第二位置H2靠下游侧的返回配管32的高低差引起的配管内的压力差，并能够抑制由负压作用于返回配管32引起的配管的变形、异物向返回配管32内的流入。
另外，在上述的第一实施方式、第二实施方式中，对回收、供给超纯水的例子进行了说明，但本发明也可以用于回收、供给其他液体的系统。例如，也可以用于溶解了氢、臭氧、碳酸这样的特定物质的功能水；对原水等实施脱气处理得到的脱气水；对纯水、超纯水进行加热而制造的加热纯水、加热超纯水；通常的纯水；成药/医药品制造中的精制水、注射用水。
此外，如果液体达到例如40℃以上的高温，则例如凸缘等连接部的垫片变软，因此容易产生问题，由此使用本发明成为有效的对策。
另外，在制造半导体、液晶工厂中的纯水/超纯水的情况下，流量大(例如，50m3/H以上、100m3/H以上)，因此凸缘等连接部的面积大，容易引起本申请中成为问题的课题，由此使用本发明成为有效的对策。
(实施例)
为了确认本实施方式的超纯水供给系统10的效果，在以下的条件下，在实施例1～3和比较例中测定返回配管32内的超纯水中的溶解氧浓度(DO)。在比较例中，不设置第二压力调整阀42。
·返回配管32的高低差为40m(使用点30～纯水槽16的水位H0)
·第一压力调整阀40与使用点30之间没有高低差
·第二压力调整阀42与水位H0之间没有高低差(实施例1)、高低差为3m(实施例2)、高低差为5m(实施例3)
·在第一压力调整阀40中，将上游压PRA设定为0.2942MPa来调整第一压力PR1
·在第二压力调整阀42中，将上游压PRA设定为0.2942MPa来调整第一压力PR1
·流量为100m3/H
·水温25℃
·测定器：MOCA-3600，奥比菲亚(Orbisphere)公司制造
[表1]
Figure BDA0003684090120000101
在比较例中，与实施例1～3相比，纯水槽16近前处的溶解氧浓度高，确认为接近10000倍的数值。认为：其原因在于，在第一压力调整阀40的下游侧压力差变大，返回配管32形变，在凸缘部分等连接部分产生微小的间隙，从该间隙混入外部气体，空气混入超纯水内。
另外，在比较例中，与实施例1～3相比，在第一压力调整阀40的上游侧溶解氧浓度也高。认为：其原因在于，纯水槽16内的一次纯水的溶解氧浓度高，因此即使通过二次纯水装置20的膜脱气装置25除去氧，也有少量残留。
由以上可确认：在实施例1～3中，与比较例相比，能够将溶解氧量维持得较低。

Claims (10)

1.一种液体回收系统，所述液体回收系统具备：
槽，所述槽设置在比使用液体的使用点靠铅垂方向下方侧的位置，并贮存所述液体；
配管，所述配管将所述使用点和所述槽连接，使所述液体从所述使用点返回至所述槽；
第一压力调整部，所述第一压力调整部设置在所述配管的第一位置处，并调整比所述第一位置靠上游侧的第一压力；以及
第二压力调整部，所述第二压力调整部设置在所述配管的、比所述第一位置靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置处，并调整比所述第一位置靠下游侧且比所述第二位置靠上游侧的第二压力。
2.根据权利要求1所述的液体回收系统，其中，
将所述第一位置设定于比所述配管的铅垂方向上的中央部靠上侧的位置，
将所述第二位置设定于比所述中央部靠下侧的位置。
3.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，
将所述第二位置设定于在铅垂方向上与所述槽的水位相同的高度、或者比所述槽的水位低的高度。
4.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，
将所述第二位置设定于下游侧的压力恒常是正压的高度。
5.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，
所述第一压力调整部调整所述第一压力，以使所述第一压力为预定的上游压。
6.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，
所述第二压力调整部调整所述第二压力，以使所述第二压力为预定的中间压。
7.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，
所述第二压力调整部调整所述第二压力，以使所述第二压力与大气压之差为预定值。
8.一种液体供给系统，所述液体供给系统具备：
根据权利要求1～7中任一项所述的液体回收系统；
处理部，所述处理部对贮存在所述槽中的所述液体进行处理；以及
使用供给路径，所述使用供给路径向所述使用点供给已由所述处理部处理的所述液体。
9.根据权利要求8所述的液体供给系统，其中，所述液体供给系统具备：
一次处理部，所述一次处理部对原水进行一次处理；以及
一次供给路径，所述一次供给路径向所述槽供给已由所述一次处理部进行了一次处理的一次处理液。
10.一种压力调整方法，所述压力调整方法调整配管的压力，所述配管将使用液体的使用点和贮存所述液体的槽连接，使所述液体从所述使用点返回至所述槽，所述槽设置在比所述使用点靠铅垂方向下方侧的位置，在所述压力调整方法中，
将所述配管的比第一位置靠上游侧的第一压力调整为预定的上游压，并且将所述配管的比所述第一位置靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置的上游侧的第二压力调整为预定的中间压。
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