CN115418607A - 含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，包括刀具基体和设于所述刀具基体上的复合涂层，所述复合涂层包括自刀具基体表面向外依次设置的氮化物底层、CrON过渡层和Cr2O3氧化物层。该复合涂层切削刀具具有耐高温磨损性能好、抗冲击性能高、抗氧化性能良好等优点，涂层之间及涂层与刀具基体之间结合强度高，实现了热稳定性、抗高温氧化性、耐磨性以及复合涂层层间结合力的协同提升，特别适用于硬质合金可转位刀片，同时也适用于金属陶瓷、非金属陶瓷等其他切削刀具材料。
Description
技术领域
本发明属于金属切削加工领域，具体涉及一种含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具。
背景技术
切削加工的发展对机械制造的生产效率、加工精度和成本有着重要意义。为了提高机械加工的效率、减少对生态环境的污染，干式高速切削在近年来得到巨大发展。干式高速切削是包含高温摩擦和高温氧化的复杂过程，对刀具材料要求极为严苛，需要刀具具有良好的力学性能、抗氧化性、高温稳定性和耐磨性等综合性能。常用的刀具包括：高速钢刀具、硬质合金刀具、陶瓷刀具、金属陶瓷刀具、超硬刀具和涂层刀具。其中，涂层刀具兼具基体强度高、韧性好以及表面涂层硬度高，耐磨性、高温稳定性好等优点且制造成本较低，是目前应用广泛的刀具材料。
涂层刀具是在硬质合金刀具的表面涂覆硬质涂层，从而延长刀具在切削中的寿命。1969年，Sandvik公司申请了采用化学气相沉积技术在硬质合金刀具表面沉积TiC硬质涂层的专利，标志着涂层刀具的诞生。随后，采用CVD制备的刀具涂层家族迎来了TiN、TiCN和Al2O3等新成员加入。随着物理气相沉积技术在制备刀具涂层中的应用，更多新的刀具涂层材料被创造出来。包括TiAlN、CrAlN、TiSiN、TiAlSiN、CrAlSiN、TiB2等单层涂层及其组合而成的多层涂层。除氮化物涂层外，以Al2O3为代表的金属氧化物涂层也具有优秀的防护性质。Al2O3在高温下具有较高的硬度，良好的热稳定性和化学稳定性以及优良的抗氧化磨损和抗扩散磨损性能，是理想的刀具表面防护涂层材料。Al2O3是多晶型物质，有α、γ、δ、η、θ、κ、χ七种晶型。其中，仅α-Al2O3为稳定氧化物，其余均为亚稳相，在1000℃以上会向稳态α相转变。常用的制备α-Al2O3涂层的方法是CVD法，该方法通过将一种或多种含有构成薄膜元素的化合物和单质气体通过放置在有基材的反应室，由气相作用或在基材表面上发生的化学反应生成所希望的薄膜。CVD法可以通过控制薄膜的组成，制备出各种单质、化合物、氧化物及氮化物。然而，CVD的沉积温度较高，为获取理想的α-Al2O3，工业制备时温度需要在1000℃以上，这不但会导致基体力学性能下降，并且由于涂层与基体的热膨胀系数不同，易产生热应力使涂层开裂，导致防护效果下降。近年来，为了降低制备α-Al2O3涂层的沉积温度，拓宽其应用范围，越来越多的研究聚焦于PVD技术制备α-Al2O3涂层。尽管PVD技术具有沉积温度低，环境污染小等优点，但在制备α-Al2O3涂层的过程中，部分原子由于缺乏迁移所需要的能量，在凝固时将产生亚稳态的非晶(a-)Al2O3和立方(c-)Al2O3。这些亚稳相在高温下会向其稳态形式α-Al2O3转变，当温度超过1000℃后，所有亚稳相相变的终点均为α-Al2O3。该过程将造成材料体积的变化，诱发裂纹、剥落的产生，引起涂层失效。
为在低温下制备出具有稳态结构的α-Al2O3涂层，需要在制备涂层的过程中促进亚稳相Al2O3向稳态形式转变。从相变机理来说，有两种方法可以降低α-Al2O3的转变温度：一种是在相变过程中增加形核驱动力，使相变势垒能在较低温度下被克服；另一种则是采取特殊手段，降低α-Al2O3的形核势垒。对于第一种方法，主要通过调整制备设备、优化制备工艺实现，如：Hirschauer等人采用脉冲激光沉积，在850℃下硅基板上沉积出了α-Al2O3。Zywitzki等人通过脉冲滋控溅射的方法，在约760℃下不锈钢基体上制备出完全由α-Al2O3相组成的薄膜。You等人通过二极管激光化学气相沉积，将α-Al2O3的制备温度降低到了655℃。第二种方法是利用具有相似结构的涂层作为模板层，通过外延生长的方式制备α-Al2O3。如Pohler等人采用阴极电弧蒸镀技术以低Al含量的(Cr,Al)2O3层为模板，在此之上沉积高Al含量的α-(Al,Cr)2O3层，并揭示了种子层厚度与功能层结构之间的关系。Koller等人研究了电弧离子镀制备交替生长的(Cr,Al)2O3/(Al,Cr,Fe)2O3、(Cr,Al)2O3/(Al,Cr,Si)2O3和(Cr,Al)2O3/(Al,Cr,B)2O3多层涂层。结果显示，虽然制备的多层涂层相较于对应的(Al,Cr)2O3单层具有明显的α相结构，但硬度显著下降。Koller等人对电弧离子镀制备的(Al1–xCrx)2O3涂层的显微结构、力学性能和高温下的相结构演变做了详细的研究。尽管高Cr含量的(Al1–xCrx)2O3涂层具有稳定的α结构，但由于其结构致密性较差，硬度反而低于具有两相结构的富Al涂层。此外，在退火过程中，涂层的结构呈现多级演变：亚稳态的c-(Al1–xCrx)2O3首先转变为γ/θ-(Al1–xCrx)2O3，随着退火温度升高再向其稳态形式α-(Al1–xCrx)2O3转变，该相变过程将会引起材料体积收缩，造成裂纹、空洞等缺陷产生。
上述文献中通过PVD方法制备了氧化铝或多元复合氧化物涂层，一方面，较过去氮化物涂层提升了抗高温氧化性能，但是另一方面，制备的氧化物涂层硬度值不高、韧性较差，特别是Al2O3层在PVD的制备条件下难以获得完全高温稳定的刚玉结构相，或者制备的α相氧化铝仅限于实验室条件，难以获得工业化应用。
发明内容
本发明要解决的问题是克服现有技术的不足，提供一种既具有优异的耐高温磨损性能、高抗冲击性能、优异的高温稳定性能又能保留良好的隔热和抗氧化效果的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案。
一种含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，包括刀具基体和设于所述刀具基体上的复合涂层，所述复合涂层包括自刀具基体表面向外依次设置的氮化物底层、CrON过渡层和Cr2O3氧化物层。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述Cr2O3氧化物层由单相刚玉结构α相构成。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述CrON过渡层由面心立方结构fcc相构成。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，自所述氮化物底层向Cr2O3氧化物层的方向，所述CrON过渡层中元素成分O/N的原子比逐渐提高。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述氮化物底层由面心立方结构fcc相构成。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述氮化物底层为TiAlN层、TiAlSiN层、CrAlN层和CrAlSiN层中的任意一种涂层或由其中任意两种涂层交替而成的多层结构涂层。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述Cr2O3氧化物层的厚度为0.2μm～2.5μm，所述CrON过渡层的厚度为0.1μm～0.5μm，所述氮化物底层的厚度为1μm～8μm。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述复合涂层还包括设于所述Cr2O3氧化物层上的CrN表面层。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述CrN表面层的厚度为0.1μm～1μm。
上述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，优选的，所述复合涂层的总厚度为2μm～10μm。
本发明中，Cr2O3氧化物层由单相刚玉结构α相构成，Cr2O3氧化物层可选择Cr靶材为原料，可采用脉冲偏压阴极弧涂层的沉积方法实现。
本发明中，CrON过渡层由面心立方结构fcc相构成，CrON过渡层成分存在梯度变化，元素成分O/N的原子比由氮化物底层侧向Cr2O3氧化物层侧逐渐提高，CrON过渡层可采用脉冲偏压阴极弧涂层的沉积方法实现，在制备过程中逐渐改变混合气氛中氧气和氮气流量的比例来实现O/N原子比的变化。
本发明中，氮化物底层由面心立方结构fcc相构成，氮化物底层可采用直流偏压阴极弧涂层的沉积方法或脉冲偏压阴极弧涂层的沉积方法实现。
本发明中，可选择在含Cr2O3氧化物的复合涂层切削刀具外表面增加银色的CrN表面层。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
1、本发明通过大量研究，开发出一种含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，该含Cr2O3氧化物层的复合涂层可替代Al2O3层的PVD涂层制备和产品应用，既保留了氧化物涂层良好的隔热和抗氧化效果，同时又解决现有Al2O3层在PVD的制备条件下难以获得高温稳定的刚玉结构相问题。相对于传统氮化物/氧化铝复合涂层，本发明通过氮化物叠加Cr2O3涂层的协同，底层氮化物保证了复合涂层与基体良好的结合力以及对表面氧化物层良好的韧性和硬度支撑，而中间的CrON过渡层减缓了氮化物层到氧化物涂层的成分和性能突变，改善了氮化物层和Cr2O3层之间的层间结合力，采用划痕法测量的本发明复合涂层在硬质合金基体上的结合力达到了75N～110N，同时表面Cr2O3层起到了与Al2O3层相似的抗氧化和隔热性能。
2、本发明的复合涂层通过对涂层结构和组分的设计，克服了现有PVD方法制备的氮化物/氧化铝复合涂层中氧化铝层的涂层晶体结构不理想，在切削高温条件下容易发生相变过程将会引起材料体积变化、造成涂层裂纹早期破损失效的缺陷。本发明的复合涂层进一步提升了表面氧化物层的纳米硬度，改善了涂层的耐磨损性能，还改善了涂层层间结合力，减少了刀具切削加工过程中涂层的异常剥落失效。本发明的复合涂层可应用于硬质合金可转位车削、铣削、螺纹、切断切槽、钻削各种形式切削刀片，同时也适用于金属陶瓷、非金属陶瓷、立方氮化硼等其他切削刀具材料。
3、本发明可采用现有的脉冲偏压阴极弧涂层方法在500～600℃温度区间实现Cr2O3层的制备并且呈现出与刚玉结构Al2O3相同的α相结构，保持了优异的高温稳定性能和隔热效果，高温条件下不发生氧化、分解及相变，并有易于实现工业化生产特点。现有低温条件下PVD方法制备的Al2O3涂层晶体结构大多不理想，一般只能获得高温稳定性较差的γ相和无定型结构，涂层纳米硬度较低，大约在18～25GPa范围，而本发明制备复合涂层表面Cr2O3层纳米硬度可达到28～30GPa。
4、本发明通过优化氮化物底层、CrON过渡层、Cr2O3氧化物层的厚度以及总涂层厚度，均有利于改善和提升复合涂层的性能。
5、本发明可选择在复合涂层切削刀具的外表面增加银色的CrN层，该表面CrN层主要起到外观装饰及磨损识别作用。
附图说明
图1为本发明实施例中含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具的结构示意图。
1、刀具基体；2、氮化物底层；3、CrON过渡层；4、Cr2O3氧化物层。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本发明作进一步描述，但并不因此而限制本发明的保护范围。以下实施例中所采用的材料和仪器均为市售。
本发明提供了一种含Cr2O3氧化物层4的复合涂层切削刀具，具有优异的耐高温磨损性能、高抗冲击性能及良好的抗氧化性能，本发明改进了氧化物层与氮化物层之间的层间结合力，能够有效避免在实际的切削应用中涂层氧化物层的剥落和过早失效。本发明的复合涂层包括直接涂覆在刀具基体1表面的TiAlN或TiAlSiN或CrAlN或CrAlSiN或其中两者交替沉积的多层结构的氮化物底层2，然后在氮化物底层2上采用物理气相沉积工艺沉积CrON过渡层3，再在CrON过渡层3上采用物理气相沉积工艺沉积单相刚玉结构α相Cr2O3层，最终形成本发明的复合涂层切削刀具。本发明的涂层结构如图1所示，由刀具基体1表面向外依次为氮化物底层2、CrON过渡层3和Cr2O3氧化物层4。
下述各实施例中，本发明的含Cr2O3氧化物层4的复合涂层切削刀具可采用以下方法制备：
首先根据现有的粉末冶金方法制作硬质合金坯料，并经过后期的研磨加工制备出特定形状的刀具基体。刀具基体在准备涂层以前首先要经过刃口处理、表面处理和超声波清洗以达到良好的刃口和表面质量。在正式涂层之前采用氩离子对刀具表面进行轰击进一步改善涂层与基体的结合，根据各种刀具的要求使用不同成分的靶材作为涂层源，并采用阴极弧涂层方式，首先在刀具基体表面采用直流偏压模式或脉冲偏压模式条件下沉积氮化物底层2，将氮化物底层2制备成面心立方结构fcc相，然后在氮化物底层2上采用脉冲偏压模式条件下沉积一层CrON过渡层3，将CrON过渡层3制备成面心立方结构fcc相，再在CrON过渡层3上采用脉冲偏压模式，通过选择Cr靶材为原料，沉积一层刚玉结构α相Cr2O3氧化物层4，最终形成复合涂层，得到含Cr2O3氧化物层4的复合涂层切削刀具。
下述各对照刀具采用与各实施例刀具相同的制备方法制备得到，即在沉积涂层前，对刀具基体做相同的预处理，然后也采用物理气相沉积法(PVD)沉积涂层。
实施例1
一种本发明的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，如图1所示，包括刀具基体1和设于刀具基体1上的复合涂层，复合涂层包括自刀具基体1表面向外依次设置的氮化物底层2、CrON过渡层3、Cr2O3氧化物层4和CrN表面层(CrN表面层在图中省略示出)。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4由单相刚玉结构α相构成。
本实施例中，CrON过渡层3由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，CrON过渡层3成分存在梯度变化，自氮化物底层2向Cr2O3氧化物层4的方向，CrON过渡层3中元素成分O/N的原子比逐渐提高。
本实施例中，氮化物底层2由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，氮化物底层2为Ti0.5Al0.5N底层。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4的厚度为0.8μm，CrON过渡层3的厚度为0.2μm，Ti0.5Al0.5N底层的厚度约2.5μm，CrN表面层厚度约0.4μm。
本实施例中，复合涂层的总厚度为3.9μm。
本实施例中，刀具基体1为CNM120408型硬质合金车削刀片，涂层采用上述制备方法获得。
对照刀具为与实施例1具有相同形状和相同基体组分的硬质合金车削刀片，涂层为常规物理气相沉积方法制备的AlTiN/TiAlN(前者Al含量大于Ti含量，后者Ti含量大于Al含量)交替周期性多层结构涂层。
将上述两种对比刀具按照如下切削加工条件进行对比试验：
加工材料为1Cr18Ni9Ti；
加工方式为外圆车削；
切削数度Vc＝200m/min；
切削深度ap＝2mm；
每转进给量f＝0.2mm/r；
冷却方式：水性冷却液；
产品寿命标准为刀具后刀面损量Vb超过0.2mm。
本实施例刀具加工28分钟后，刀具剧烈磨损失效；对照刀具加工20分钟后刀具剧烈磨损失效。该条件下本实施例刀具寿命相比较对照刀具提高40％。
实施例2
一种本发明的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，如图1所示，包括刀具基体1和设于刀具基体1上的复合涂层，复合涂层包括自刀具基体1表面向外依次设置的氮化物底层2、CrON过渡层3和Cr2O3氧化物层4。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4由单相刚玉结构α相构成。
本实施例中，CrON过渡层3由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，CrON过渡层3成分存在梯度变化，自氮化物底层2向Cr2O3氧化物层4的方向，CrON过渡层3中元素成分O/N的原子比逐渐提高。
本实施例中，氮化物底层2由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，氮化物底层2为Ti0.4Al0.6N底层。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4的厚度为1.2μm，CrON过渡层3的厚度为0.2μm，Ti0.4Al0.6N底层的厚度约4.2μm。
本实施例中，复合涂层的总厚度为5.6μm。
本实施例中，刀具基体1为CNMG120408型硬质合金车削刀片，涂层采用上述制备方法获得。
对照刀具为与实施例2具有相同形状和相同基体组分的硬质合金车削刀片，涂层为常规物理气相沉积方法制备的TiAlSiN涂层。
将上述两种对比刀具按照如下切削加工条件进行对比试验：
加工材料为Inconel 718；
加工方式为外圆车削；
切削速度Vc＝70m/min；
切削深度ap＝1.0mm；
每齿进给量fz＝0.04mm/z；
冷却方式：水性冷却液；
产品寿命标准为刀具后刀面损量Vb超过0.3mm或刀具崩缺失效。
本实施例刀具加工30分钟后，磨损量达到0.35mm，正常磨损失效；对照刀具加工15分钟后刀具剧烈磨损失效；本实施例相比较对照刀具寿命提高约100％。
实施例3
一种本发明的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，如图1所示，包括刀具基体1和设于刀具基体1上的复合涂层，复合涂层包括自刀具基体1表面向外依次设置的氮化物底层2、CrON过渡层3和Cr2O3氧化物层4。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4由单相刚玉结构α相构成。
本实施例中，CrON过渡层3由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，CrON过渡层3成分存在梯度变化，自氮化物底层2向Cr2O3氧化物层4的方向，CrON过渡层3中元素成分O/N的原子比逐渐提高。
本实施例中，氮化物底层2由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，氮化物底层2为Al0.7Cr0.3N底层。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4的厚度约0.5μm，CrON过渡层3的厚度为0.2μm，Al0.7Cr0.3N底层的厚度约2.2μm。
本实施例中，复合涂层的总厚度为2.9μm。
本实施例中，刀具基体1为WCMX050308R型硬质合金钻削刀片，涂层采用上述制备方法获得。
对照刀具1为与实施例3具有相同形状和相同基体组分的硬质合金钻削刀片，涂层为常规物理气相沉积方法制备的TiAlN/TiAlSiN双层结构涂层。
对照刀具2为与实施例3具有相同形状和相同基体组分的硬质合金钻削刀片，涂层为常规物理气相沉积方法制备的AlTiN/TiAlN交替周期性多层结构涂层。
将上述三种对比刀具按照如下切削加工条件进行某型凸缘叉零件孔加工对比试验：
加工材料为40Cr；
加工方式为通孔钻削；
切削速度Vc＝100m/min；
切削深度ap＝20mm；
钻孔直径d＝26mm；
每转进给量f＝0.06mm/z；
冷却方式：压缩空气；
产品寿命标准为刀具后刀面损量Vb超过0.3mm或刀具崩缺失效。
本实施例刀具加工245个零件后，刃口崩缺失效；对照刀具1加工180个零件后，刃口崩缺失效；对照刀具2加工138个零件后，刃口崩缺失效。该条件下本实施例刀具寿命相比较对照刀具1提高36％以上，相比较对照刀具2提高77％。
实施例4
一种本发明的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，包括刀具基体1和设于刀具基体1上的复合涂层，复合涂层包括自刀具基体1表面向外依次设置的氮化物底层2、CrON过渡层3和Cr2O3氧化物层4。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4由单相刚玉结构α相构成。
本实施例中，CrON过渡层3由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，CrON过渡层3成分存在梯度变化，自氮化物底层2向Cr2O3氧化物层4的方向，CrON过渡层3中元素成分O/N的原子比逐渐提高。
本实施例中，氮化物底层2由面心立方结构fcc相构成。
本实施例中，氮化物底层2为Ti0.4Al0.6N底层。
本实施例中，Cr2O3氧化物层4的厚度约0.6μm，CrON过渡层3的厚度为0.2μm，Ti0.4Al0.6N底层的厚度约1.5μm。
本实施例中，复合涂层的总厚度为2.3μm。
本实施例中，刀具基体1为RDKW1204型硬质合金铣削刀片，涂层采用上述制备方法获得。
对照刀具为与实施例4具有相同形状和相同基体组分的硬质合金铣削刀片，涂层为常规物理气相沉积方法制备的TiAlN/TiSiN双层结构涂层。
将上述两种对比刀具按照如下切削加工条件进行对比试验：
加工材料为Nak80；
加工方式为平面铣削
切削速度Vc＝240m/min；
切削深度ap＝1.0mm；
切削宽度ae＝30mm；
每齿进给量fz＝0.2mm/z；
冷却方式：压缩空气；
产品寿命标准为刀具后刀面损量Vb超过0.3mm或刀具崩缺失效。
本实施例刀具加工完130分钟后，刃口崩缺失效；对照刀具加工105分钟后，刃口崩缺失效。该条件下本实施例刀具寿命相比较对照刀具提高约24％。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
Claims (10)
1.一种含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，包括刀具基体和设于所述刀具基体上的复合涂层，其特征在于，所述复合涂层包括自刀具基体表面向外依次设置的氮化物底层、CrON过渡层和Cr2O3氧化物层。
2.根据权利要求1所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述Cr2O3氧化物层由单相刚玉结构α相构成。
3.根据权利要求1所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述CrON过渡层由面心立方结构fcc相构成。
4.根据权利要求1所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，自所述氮化物底层向Cr2O3氧化物层的方向，所述CrON过渡层中元素成分O/N的原子比逐渐提高。
5.根据权利要求1所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述氮化物底层由面心立方结构fcc相构成。
6.根据权利要求1所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述氮化物底层为TiAlN层、TiAlSiN层、CrAlN层和CrAlSiN层中的任意一种涂层或由其中任意两种涂层交替而成的多层结构涂层。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述Cr2O3氧化物层的厚度为0.2μm～2.5μm，所述CrON过渡层的厚度为0.1μm～0.5μm，所述氮化物底层的厚度为1μm～8μm。
8.根据权利要求1～6中任一项所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述复合涂层还包括设于所述Cr2O3氧化物层上的CrN表面层。
9.根据权利要求8所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述CrN表面层的厚度为0.1μm～1μm。
10.根据权利要求1～6中任一项所述的含三氧化二铬氧化物层的复合涂层切削刀具，其特征在于，所述复合涂层的总厚度为2μm～10μm。
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