CN115368583B - 多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物 - Google Patents

多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物。该多支化聚合物由包括含芴结构的聚合物和多官能环氧化合物的物质聚合而成,多支化聚合物的内核结构由多官能环氧化合物提供,多支化聚合物的外侧支链由含芴结构的聚合物提供,含芴结构的聚合物具有通式I所示结构,

Description

多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物
技术领域
本发明涉及光固化材料技术领域,具体而言,涉及一种多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物。
背景技术
在显示领域,特别是可穿戴设备等快速发展,对显示设备的亮度,图案色彩,对比度等等性能的要求越来越高;而作为显示的核心部件彩色滤光片的显影精度要求也越来越高。为了获得高的显影精度和对比度,就需要对包括树脂,引发剂,可聚合性化合物等原料进行改进,提高其应用性能,以满足不断发展的需求。
感光性树脂组合物,被涂覆到基材上形成涂层,通过曝光,显影,将未曝光部分显影去除,形成所需要的图案。碱可溶性树脂粘合剂在光固化树脂中起到基础支撑的作用,可以为颜料分散以及成膜等提供保障。为了获得较好的显影细微度,需要在树脂组合物中添加硅烷系的粘附促进剂等助剂,随着这些助剂的加入量增加,容易造成树脂组合物体系的稳定性变差,并且在显影过程出现缺陷。因此,为了得到更细致的图案,碱溶性树脂与基板的附着力,显影性以及收缩率等应该得到增强,从而显著改善光固化组合的应用性能。
公开号为CN109343308A的中国专利申请公开了一种硅氧烷改性丙烯酸酯组合物,其涂膜对酸性的耐受能力有明显提高,解析度有一定提高,但其收缩率仍然较大,烘烤固化时容易变形。公开号为CN103718107A的中国专利申请公开了一种含有硅烷改性树脂的组合物,其对虽然对显影图案的密合性有一定提高,显影细微度有一定提高,但同样存在收缩率偏大的问题。
公开号为CN103809375A的中国专利申请采用带有硅脂侧基的碱溶性树脂替代部分硅烷偶联剂,一定程度上可以减少助剂用量,并且能够提高产图案对基材的附着力。然而,在膜厚度增加时,很难再保持较高的解析度和好的附着力。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物,以解决现有技术中的光固化组合物不能兼具高解析度、高附着力和低收缩率的问题。
为了实现上述目的,根据本发明的一个方面,提供了一种多支化聚合物,该多支化聚合物由包括含芴结构的聚合物和多官能环氧化合物的物质聚合而成,多支化聚合物的内核结构由多官能环氧化合物提供,多支化聚合物的外侧支链由含芴结构的聚合物提供,含芴结构的聚合物具有通式I所示结构,
其中,A选自包含四个取代位置的芳香族残基中的任意一种,B选自包含2个取代位置的烷基残基或者芳香族残基中的任意一种,n为1~20中的任意一个整数,多官能环氧化合物具有硅氧烷主体结构。
进一步地,上述多支化聚合物的重均分子量为4000~6000,优选为4500~5500。
进一步地,上述A选自 中的任意一种,B选自/> 中的任意一种,*表示连接位置。
进一步地,上述多官能环氧化合物选自含有至少一个Si-O-Si且包含2个以上环氧基团的化合物,优选多官能环氧化合物选自具有如下结构b-1~b-36的化合物中的任意一种或多种,
m1和m2各自独立地选自0-6中的任意一个整数且不同时为0,m1+m2=6。
进一步地,上述多支化聚合物通过含芴结构的聚合物与多官能环氧化合物在催化剂和阻聚剂作用下发生环氧开环反应得到,优选催化剂为季铵盐类化合物,优选阻聚剂为酚类阻聚剂或醌类阻聚剂中的任意一种,优选环氧开环反应的温度为70~150℃,优选含芴结构的聚合物与多官能环氧化合物的摩尔比为1:0.1~1,更优选为1:0.1~0.5。
根据本发明的另一方面,提供了一种碱可溶性树脂,该碱可溶性树脂包括多支化聚合物和通式II所示结构的含硅烷侧链单元聚合物,多支化聚合物为上述任一种的多支化聚合物,
通式II中,R21独立地表示H、甲基、C2~C20的烷基或取代烷基;R22和R23各自独立地表示C1~C30的烷基、C3~C30的取代或未取代的环烷基、C2~C20的具有杂原子取代的环烷基、C6~C30的取代或未取代的芳香基,杂原子为O或S;R24、R25和R26各自独立地表示H、氘、取代或者未取代的C1~C20的烷基、取代或未取代的C3~C20的环烷基、取代或未取代的C2~C20的杂环烷基、取代或未取代的C6~C30的芳香基、取代或未取代的C5~C30的杂环芳香基、-Si-(R28)3基团中的任意一种,各R28各自独立地表示C1~C10的直链烷基或支链烷基,R27表示化学键、或者R24、R25和R26任意一个基团所产生的二价基团,x、y、z、m各自独立地表示0~20的整数,且x和m不为0。
进一步地,上述碱可溶性树脂中多支化聚合物和含硅烷侧链单元聚合物的重量为1:0.1~10,优选为1:0.55,更优选为1:0.8~1.2。
进一步地,上述含硅烷侧链单元聚合物的重均分子量在5000~30000之间,更优选在8000~20000之间,特别优选在8000~15000之间。
进一步地,上述含硅烷侧链单元聚合物的酸值为50~200mgKOH/g,优选为70~150mgKOH/g,进一步优选为90~120mg KOH/g。
根据本发明的另一方面,提供了一种光固化组合物,光固化组合物包含碱可溶性树脂、可光聚合单体和光引发剂,该碱可溶性树脂为上述任一种的碱可溶性树脂中的任意一种或多种。
进一步地,上述碱可溶性树脂的重量份为5~30,优选为10~20。
进一步地,上述光引发剂的重量份为0.1~3.0,进一步优选光引发剂的重量份为0.5~3.0。
进一步地,上述可光聚合单体组分的重量份为10~20份。
进一步地,上述光固化组合物还包括着色剂,进一步优选着色剂的重量份为30~40。
进一步地,上述光固化组合物还包括溶剂和可选的助剂。
应用本发明的技术方案,采用本申请的上述多支化聚合物制备碱可溶性树脂,同时配合光固化组合物中常规的其他添加物制备出相应的光固化组合物,利用该光固化组合物制备的图案,在膜厚度增加时,依然能获得较高解析度和表面平滑度,与基材附着力好,烘烤过程膜收缩率低。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合实施例来详细说明本发明。
如本申请背景技术所分析的,现有技术中的光固化组合物不能兼具高解析度、高附着力和低收缩率,为了解决该问题,本申请提供了一种多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物。
在本申请一种典型的实施方式中提供了一种多支化聚合物,该多支化聚合物由包括含芴结构的聚合物和多官能环氧化合物的物质聚合而成,多支化聚合物的内核结构由多官能环氧化合物提供,多支化聚合物的外侧支链由含芴结构的聚合物提供,上述含芴结构的聚合物具有通式I所示结构,
其中,A选自包含四个取代位置的芳香族残基中的任意一种,B选自包含2个取代位置的烷基残基或者芳香族残基中的任意一种,n为1~20中的任意一个整数,多官能环氧化合物具有硅氧烷主体结构。
采用本申请的上述多支化聚合物制备碱可溶性树脂,同时配合光固化组合物中常规的其他添加物制备出相应的光固化组合物,利用该光固化组合物制备的图案,在膜厚度增加时,依然能获得较高解析度和表面平滑度,与基材附着力好,烘烤过程膜收缩率低。
为了更好地控制所形成的图案的表面平滑度以及尽可能提高附着力,优选上述多支化聚合物的重均分子量为4000~6000,优选为4500~5500。
含芴结构的聚合物为现有技术已知结构,可以通过现有技术已知方法进行制备,本申请对其制备方法不再赘述。
具有本申请的上述通式I的含芴结构的聚合物具有上述主链结构,在一些实施例中,上述通式I中的A选自 中的任意一种,B选自/> 中的任意一种,*表示酸酐的连接位置。
在一些实施例中,为了提高所得多支化聚合物的结构稳定性,优选上述多官能环氧化合物选自含有至少一个Si-O-Si且包含2个以上环氧基团的化合物,优选多官能环氧化合物选自具有如下结构b-1~b-36的化合物中的任意一种或多种,
m1和m2各自独立地选自0-6中的任意一个整数且不同时为0,m1+m2=6。
上述含芴结构的聚合物与多官能环氧化合物通过发生环氧开环反应形成本申请的多支化聚合物,为了加快该反应效率,优选上述多支化聚合物通过含芴结构的聚合物与多官能环氧化合物在催化剂和阻聚剂作用下发生环氧开环反应得到,优选环氧开环反应的温度为70~150℃,优选催化剂为季铵盐类化合物,优选阻聚剂为酚类阻聚剂或醌类阻聚剂中的任意一种,比如季铵盐类化合物包括但不限于四丁基溴化铵、四乙基溴化铵、四甲基氯化铵、苄基三乙基溴化铵、苄基三丁基氯化铵等,酚类阻聚剂包括但不限于4-甲氧基苯酚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚,醌类阻聚剂包括但不限于对苯醌、氢醌、甲基氢醌等。在一些实施例中,通过调整含芴结构的聚合物与多官能环氧化合物的摩尔比来平衡解析度、附着力和收缩率之间的关系,比如控制含芴结构的聚合物与多官能环氧化合物的摩尔比为1:0.1~1,优选该摩尔比为1:0.1~0.5,能有效提高光固化组合物的耐热性、耐碱性、与基板附着力等,另外,可以形成相对厚度较高的固化膜,固化膜的收缩率相对较低。
在本申请另一种典型的实施方式中,提供了一种碱可溶性树脂,该碱可溶性树脂包括多支化聚合物和通式II所示结构的含硅烷侧链单元聚合物,
通式II中,R21独立地表示H、甲基、C2~C20的烷基或取代烷基;R22和R23各自独立地表示C1~C30的烷基、C3~C30的取代或未取代的环烷基、C2~C20的具有杂原子取代的环烷基、C6~C30的取代或未取代的芳香基,杂原子为O或S;R24、R25和R26各自独立地表示H、氘、取代或者未取代的C1~C20的烷基、取代或未取代的C3~C20的环烷基、取代或未取代的C2~C20的杂环烷基、取代或未取代的C6~C30的芳香基、取代或未取代的C5~C30的杂环芳香基、-Si-(R28)3基团中的任意一种,各R28各自独立地表示C1~C10的直链烷基或支链烷基,R27表示化学键、或者R24、R25和R26任意一个基团所产生的二价基团,x、y、z、m各自独立地表示0~20的整数,且x和m不为0。
采用本申请的上述多支化聚合物与含硅烷侧链单元聚合物进行配合作为碱可溶性树脂,制备出相应的光固化组合物,由于含有芴结构的多支化聚合物,具有较好的刚性结构,多支化链能够使树脂分子间彼此更好的缠结从而形成交联度高的固化物;另外,含有硅烷侧基的聚合物能够提供较好的与基板的附着力。因此利用该光固化组合物制备的图案,在膜厚度增加时,依然能获得较高解析度和表面平滑度,与基材附着力好,烘烤过程膜收缩率低,且可以进一步提高显影效果,减少显影残留。
上述结构的含硅烷侧链单元聚合物可以由聚合性单体与含有硅烷结构的单体共聚得到,聚合条件可以以实施例2为参考。具体而言,聚合性单体指含有乙烯结构的不饱和化合物:如乙烯基化合物,不饱和氧杂环丁烷羧酸酯,芳香族乙烯酯,乙烯基氰基化合物,马来酸酐类化合物,马来酰亚胺类化合物,以及(甲基)丙烯酸(酯)类化合物等。这些单体可以是其中的一种或者几种的混合物。此处(甲基)丙烯酸(酯)类化合物可以包括丙烯酸类化合物及其酯,甲基丙烯酸类化合物及其酯。
上述聚合性单体可以示例性的列举如下:
苯乙烯,乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、对乙基苯乙烯、对氯苯乙烯等在α-位或在芳香族环上被取代的可聚合的苯乙烯衍生物;(甲基)丙烯酸、α-溴代(甲基)丙烯酸、α-氯代(甲基)丙烯酸、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸等(甲基)丙烯酸衍生物;(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等(甲基)丙烯酸酯类化合物;丙烯酰胺、双丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺衍生物;丙烯腈、乙烯基正丁基醚等乙烯基醇的醚类衍生物,马来酸酐,马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、马来酸单异丙酯等马来酰亚胺衍生物;富马酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙醇酸、N-乙烯基己内酰胺;N-乙烯基吡咯烷酮等。这些聚合性单体可以单独使用,也可以两种以上组合使用。
含有硅烷结构的(甲基)单体,可示例性地列举如下:
甲基丙烯酸三甲基硅酯、甲基丙烯酸三乙基硅酯、甲基丙烯酸叔丁基二甲基硅酯、甲基丙烯酸异丙基二甲基硅酯、甲基丙烯酸苯基二甲基硅酯、甲基丙烯酸二叔丁基甲基硅酯、甲基丙烯酸三异丙基硅酯、丙烯酸三甲基硅酯、丙烯酸三乙基硅酯中选出的单独一种或其混合物,但并不限于此。
在本申请一些实施例中,上述碱可溶性树脂中多支化聚合物和含硅烷侧链单元聚合物的重量为1:0.1~1:10,优选为1:0.5~1:5,更优选为1:0.8~1:1.2,本发明实施例中采用比例为1:1。从而使得上述多支化聚合物和含硅烷侧链单元聚合物即能在充分利用多支化树脂的刚性和交联效果,又能充分混合含有硅烷侧链的聚合物,使得硅烷侧链基团能够充分与基板接触,同时提高组合物固化后的应用效果。
在本发明的碱可溶性树脂中,对具有通式II所示结构的含硅烷侧链单元聚合物的重均分子量没有特别限制,其应与具体应用环境相适应。该聚合物的重均分子量通过凝胶渗透色谱法(GPC)进行测定,通过使用标准聚苯乙烯的标准曲线进行换算而得到。优选该含硅烷侧链单元聚合物的重均分子量(Mw)在5000~30000之间,更优选在8000~20000之间,特别优选在8000~15000之间。当重均分子量大于30000时,产品附着力会有一定提高,图案平滑度下降;当重均分子量小于5000时,显影时间短,会影响图案对基材的附着力,容易剥离。
进一步地,从显影性良好的角度考虑,含硅烷侧链单元聚合物的酸值优选为50~200mgKOH/g,更优选为70~150mgKOH/g,进一步优选为90~120mg KOH/g。当含硅烷侧链单元聚合物的酸值低于50mgKOH/g时,显影速度过慢,操作成本明显上升,当超过200mgKOH/g时,附着力提升有限,容易发生图案剥离,形成显影缺陷。
在本申请又一种典型的实施方式中,提供了一种光固化组合物,该光固化组合物包含碱可溶性树脂、可光聚合单体和光引发剂,碱可溶性树脂为上述碱可溶性树脂中的任意一种或多种。
在本申请一些实施例中,以在100重量份光固化组合物为,碱可溶性树脂在为5~30重量份,优选为10~20重量份,以充分发挥碱可溶性树脂的优势。根据需要,上述光固化组合物中,可以用到可光聚合单体组分,用以改善光固化组合物的感光性能、交联性、机械强度、耐药品性等性能,优选可光聚合单体组分的重量份为10~20份。作为该可光聚合单体组分,只要是分子内具有一个或一个以上不饱和键的化合物,即可根据需要选择其中的一种或者几种的组合。本发明中所选择的可光聚合单体组分,示例性的举例如:丙二醇二缩水甘油醚、二丙二醇二缩水甘油醚、三丙二醇二缩水甘油醚、四丙二醇二缩水甘油醚、聚丙二醇二缩水甘油醚、山梨糖醇三缩水甘油醚、丙三醇三缩水甘油醚等环氧化合物的(甲基)丙烯酸加成物;马来酸等不饱和有机酸及其酸酐;N-甲基丙烯酰胺、N-乙基丙烯酰胺、N-异丙基丙烯酰胺、N-羟甲基丙烯酰胺、N-甲基丙烯酰胺、N-乙基甲基丙烯酰胺、N-异丙基甲基丙烯酰胺、N-羟甲基甲基丙烯酰胺、N,N-二甲基丙烯酰胺、N,N-二乙基丙烯酰胺、N,N-二甲基丙烯酰胺、N,N-二乙基甲基丙烯酰胺等丙烯酰胺类;聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯(亚乙基数为2~14);三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷丙氧基三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯(亚丙基数为2~14);二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、双酚A聚氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、双酚A二氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、双酚A三氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、双酚A氧乙烯基二(甲基)丙烯酸酯、多元羧酸(如邻苯二甲酸酐等)与具有羟基和烯键式不饱和基团的化合物(如(甲基)丙烯酸β-羟乙酯等)的酯化物、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯;乙二醇二缩水甘油醚、二甘醇二缩水甘油醚、三乙二醇二缩水甘油醚、四乙二醇二缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚、苯乙烯、羟基苯乙烯等苯乙烯类;N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基甲酰胺、N-乙烯基乙酰胺、N-乙烯基咪唑等;上述所列举的各物质可单独使用也可以多种进行组合使用。
根据配方需要,上述光固化组合物中含有光引发剂,优选光引发剂的重量份为0.1~3.0,进一步优选光引发剂的重量份为0.5~3.0。本发明中使用的是自由基光引发剂,没有特别限制,只要能够在光照条件下引发双键聚合的物质均可使用,可选自二苯甲酮类引发剂、三嗪类引发剂、二烷氧基苯乙酮类引发剂、α-羟烷基苯酮类引发剂、α-胺烷基苯酮类引发剂、酰基膦氧化物引发剂、二苯甲酮类引发剂、苯偶姻类引发剂、苯偶酰类引发剂、杂环芳酮类引发剂、肟酯类光引发剂中的一种或多种的组合。特别优选肟酯类引发剂。
示例性的列举如:二苯甲酮、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4'-甲基二苯基硫醚、二乙氧基苯乙酮、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻异丁醚、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二甲氧基蒽、10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、9,10-菲醌、邻乙氧羰基-a-氧亚氨基-1-苯基丙-酮、1,2-辛二酮、1-(4-苯硫基)苯基-2(邻苯甲酰基肟)、1-(9-乙基)-6-(2-甲基苯甲酰基)咔唑-3基-1-(O-乙酰基肟)、GGI-124、GGI-224、OXE-01、NCI-831、2,4,5-三芳基咪唑二聚体、4,4'-双二乙基氨基二苯甲酮、4,4'-二氯苯甲酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮、三氯苯乙酮、戊基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、1,7-二(9-吖啶基)庚烷、1,3-二(9-吖啶基)丙烷、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,5-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙氨基-2甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯苯基-s-三嗪、4-苯甲酰基-4'-甲基二甲基硫醚、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸甲酯、苄基-β-甲氧基乙基缩醛、苄基二甲基缩酮、1-苯基-1,2-丙二酮-2(o-乙氧基羰基)肟等化合物中的一种或几种的混合。
根据产品应用需要,上述光固化组合物还可选择性地添加本领域中常用的着色剂,通过添加着色剂可以很好的形成滤色器。优选上述光固化树脂组合物还包括着色剂,进一步优选着色剂的重量份为30~40。
本领域中通常使用的任何有机颜料、无机颜料均可选择性使用作为本申请的着色剂。其中包括偶氮颜料、酞菁颜料、喹吖啶酮颜料、异吲哚啉颜料、吲哚蒽酮颜料、阴丹酮颜料、吡咯二酮颜料等。上述各颜料可以单独使用也可以混合后使用,视产品的具体要求而定。
进一步优选有机原料,具体颜料示例性的列举如下,但不限于以下颜料。具体列举色指数(染色工作者协会(The Society of Dyers and Colorists)(C.I.)序号的化合物如:
C.I.颜料橙1、3、11、13、14、15、16、17、20、24、3、53、55、60、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、100、101、106、109、120、125、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、167、175、180、183、185;
C.I.颜料橙1、13、31、36、42、43、55、59、61、65、71;
C.I.颜料紫1、14、19、23、29、30、36、37、38、39、40;
C.I.颜料红1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、18、19、21、23、30、31、37、38、40、42、48、53:1、57、57:2、60:1、83、97、105、122、144、166、176、180、192、202、206、207、208、215、224、242、254、255、264、265;
C.I.颜料蓝1、2、15、15:3、15:6、16、21、22、60、64、66;
C.I.颜料绿7、10、15、25、36、47、48;
C.I.颜料棕23、25、26、28;
C.I.颜料黑1和7等。
为了便于施工,将感光性树脂组合物充分分散,需要用溶剂,使用溶剂时优选光固化组合物中碱可溶性树脂的重量含量为5~30%,进一步优选为10~20%。在本发明中,没有特别的要求,显示行业常用溶剂均可使用。示例性的列举如:(聚)烷撑二醇单烷基醚类,例如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丙醚、二乙二醇单正丁基醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单正丙醚、丙二醇单正丁基醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单正丁基醚、三丙二醇单甲醚、三丙二醇单乙醚等;芳香烃类,例如:甲苯、二甲苯、三甲苯等;酰胺类化合物,例如:N-甲基吡咯酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺等;羧酸酯类化合物,例如:2-氧代丁酸乙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮正丙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯,2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯等;同类溶剂,例如:甲乙酮、环己酮、庚酮、3-庚酮等;环醚类化合物,四氢呋喃和四氢吡喃等;环酯类化合物,如γ-丁内酯等。
上述有机溶剂可以单独使用,也可以两种以上混合使用,其中丙二醇单甲醚,乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯,丙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单甲醚、二乙二醇甲乙醚等溶剂,对本发明中的感光性树脂组合物具有较好的溶解性;进一步的优选溶剂为丙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇甲乙醚等。
上述光固化树脂组合物也可以含有助剂,以提高部分性能。常用助剂列举如:填料、固化剂、流平剂、粘合促进剂、抗氧剂、紫外线吸收剂等,但不仅限于此。
其中,固化剂用于提高深度固化性能和机械强度。固化剂具体可选用环氧化合物、多官能异氰酸酯化合物、三聚氰胺类化合物和氧杂环丁烷化合物等,但不仅限于这些化合物。流平剂可使用市售的表面活性剂,具体可包括有机硅类表面活性剂、酯类表面活性剂、离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂、两性表面活性剂等,这些表面活性剂可以单独使用,也可以两种以上组合使用。粘合促进剂可以使用硅烷类化合物,具体可以列举如:乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-30氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯基丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷等。上述粘合促进剂可以单独使用也可以两种以上组合使用。抗氧剂具体可以列举如:4,4'-亚丁基双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚、2,3'-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚),对甲.氧基苯酚等。紫外线吸收剂可以选用2-(3-叔丁基-2羟基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑和烷氧基二苯甲酮等。以下将结合实施例和对比例,进一步说明本申请的有益效果。
含芴结构聚合物(I)制备
实施例1
准确称量一定量的含芴结构的聚合物200g(聚合物结构如下:a-1,a-2,a-3,分子量控制在5000左右),放入四口烧瓶中,在充分搅拌情况下,加入多官能环氧化合物(b)10g,催化剂(四丁基溴化铵)0.4g和阻聚剂(4-甲氧基苯酚)0.1g,在空气鼓泡状态下,加热到110℃,保温反应2h后开始测试环氧当量,当环氧当量>25000g/mol,降温到60℃温,过滤,得到目标聚合物I。
根据上述试验条件,分别选取不同的环氧化合物b(b-1~b-36中的部分结构),制备出目标聚合物I(编号A-1~A-20)。如下表1所示。
上述多支化聚合物a-1,a-2,a-3结构式如下:
表1
含硅侧链单元聚合物的制备
实施例2
准确称量一定量的丙烯酸类单体和甲基丙烯酸三甲基硅酯,混合均匀后备用;另外准确称量一定量的引发剂(偶氮二异丁腈)溶解于3倍量的丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)溶液中,充分溶解后备用。
在装有搅拌装置、冷凝管、恒压滴液漏斗、温度计和氮气通入口的500ml四口烧瓶中,加入100g丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),通入氮气,搅拌条件下加热至70℃,分别滴加单体混合物(配方见表2)和引发剂溶液,滴加时间控制在2h,完成后,在此温度下保温4h,测定体系Mw,(8000≤Mw≤15000)达到要求后,降温过滤即得含硅侧链单元聚合物B-1,出料Mw=19678,PDI=1.93。
按照不同单体和配比,制备出含硅侧链单元聚合物B-2~B-5和对比例聚合物B。
具体如下表2所示。
表2
原料 B-1 B-2 B-3 B-4 B-5 B
甲基丙烯酸/g 18 18 18 18 18 18
甲基丙烯酸甲酯/g 20 20 22 0 20 30
甲基丙烯酸苄酯/g 20 22 0 20 20 20
甲基丙烯酸双环戊基酯/g 10 0 12 16 12 12
苯乙烯/g 20 20 20 20 20 20
甲基丙烯酸酸三甲基硅酯/g 0 0 18 14 10 0
甲基丙烯酸苯基二甲基硅酯 0 20 0 0 0 0
丙烯酸三乙基硅酯 12 0 0 0 0 0
偶氮二异丁腈/g 4 5 5 3 3 4
Mw 19783 19295 19733 20113 20030 19912
性能评价
(1)光固化组合物配制
通过配制示例性光固化组合物,对本发明实施例给出的光聚合引发剂和碱可溶解性树脂组成的感光性树脂组合物的应用性能进行评价。根据以下配方,利用本申请提供两种碱可溶性树脂,按照1:1配比组成混合的碱可溶性树脂,配合其他引发剂,助剂等,分别配制成不同组成的光固化组合物。具体实施例1-20和比较例1-9见表3。
组合物配制比例参考:
另外参考CN202010598995.1申请,配制比较例7的光固化组合物进行对比,比较例7中的光固化组合物包括以下组分:
其中,比较例7中的碱可溶性树脂II的制备方法为:
(甲基)丙烯酸(酯)类聚合物B与环氧化合物b-1反应形成接枝聚合物C,再和含芴聚合物A-21混合,即可,比较例中选择接枝聚合物C分子量为15434。比较例8和9的C与比较例7相同。
表3
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(2)曝光显影
将具有上述组成的光固化组合物在黄光灯下搅拌,添加组合物于玻璃基板上,采用旋转涂膜方式进行涂胶,在90℃下真空干燥2min,得到干膜厚为10μm的涂膜。将形成有涂膜的基板冷却至室温,附上掩膜板,用高压汞灯1PCS光源,通过FWHM滤光片实现长波长辐射。通过20微米线宽掩膜板在350-420nm波长的紫外线对涂膜进行曝光,随后于25℃下在2.5%的碳酸钠溶液中浸渍20s显影,再用超纯水冲洗,烘干,最后在230℃下硬烘烤30min使图形固定。
(3)性能评价
①感光度:将在曝光步骤中光辐照区域显影后残膜率在90%或以上的最小曝光量评价为曝光需求量。曝光需求量越小表示灵敏度越高。
②显影性:用扫描电子显微镜(SEM)观察基板图案,以评价显影性和图案完整性。③残膜率:残膜率计算采用如下公式:残膜率=(后烘烤处理后的膜厚度)/(后烘烤前的膜厚度)*100%;残膜率越高,说明后烘烤之后,膜的收缩变形越小。
显影性评价标准如下:
○:线宽≤5μm;
△:5μm<线宽≤10μm
╳:线宽>10μm。
残膜率按照以下标准评价:
○:残膜率≥95%;
△:95%>残膜率≥90%;
╳:残膜率<90%。
③附着力测试
对全曝光后的涂膜,进行1.5倍过显处理,烘干后,用刀在基板上每个1毫米进行横竖十次切割,采用标准3M 600胶带进行剥离试验,采用扫描电子显微镜(SEM)观察基板上图案的存留量,存留量越多,说明附着力越高。
图案与基板的附着性:
○:未从基板中剥落,图案完整;
△:1-5个方格从基板中剥落;
╳:大于5个方格从基板中剥落。
评价结果如表4中所示。
表4
从上表4中可以看出,采用本发明提供的含芴结构聚合物(I)与含有硅烷侧链单元聚合物(II)作为基础树脂,组成的光固化组合物。能够在曝光显影过程中,形成显影效果较好,附着力高,残膜率较高的图案。
如上表所示,其在曝光过程中,所需要的能量较低,均低于60mJ/cm2,说明此处光固化组合物感光度较高;而比较例中,所需曝光能量普遍偏高。
显影结果测试可以看出,采用含芴结构聚合物(I)(多官能含硅氧烷环氧改性)的组合物,其显影性,图案完整性,附着力,膜残留率等,均表现良好;而比较例中,同样采用含芴结构的聚合物a(未进行改性),其显影效果,残膜率以及附着力等表现较差;而单独采用含有硅烷侧链单元聚合物(II)与聚合物a配合,同样存在显影效果差,附着力不好等问题。同时与比较例7至9相比,实施例同样表现出较好的附着力和显影效果,并且收缩性有明显改善。
综上所述,同时含有芴结构的聚合物(I)与含有硅烷侧链单元聚合物(II)的光固化树脂组合物,具有较高的感光度,较好的显影性,对基板附着力好,并且具有较高的解析度,烘烤过程中膜收率变动较小,膜厚也有明显提高。应用前景较好。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (31)

1.一种多支化聚合物,其特征在于,所述多支化聚合物由包括含芴结构的聚合物和多官能环氧化合物的物质聚合而成,所述多支化聚合物的内核结构由所述多官能环氧化合物提供,所述多支化聚合物的外侧支链由所述含芴结构的聚合物提供,所述含芴结构的聚合物具有通式I所示结构,
其中,A选自包含四个取代位置的芳香族残基中的任意一种,B选自包含2个取代位置的烷基残基或者芳香族残基中的任意一种,n为1~20中的任意一个整数,
所述多官能环氧化合物具有硅氧烷主体结构。
2.根据权利要求1所述的多支化聚合物,其特征在于,所述多支化聚合物的重均分子量为4000~6000。
3.根据权利要求2所述的多支化聚合物,其特征在于,所述多支化聚合物的重均分子量为4500~5500。
4.根据权利要求1所述的多支化聚合物,其特征在于,所述A选自
中的任意一种,所述B选自**、/>
中的任意一种,*表示连接位置。
5.根据权利要求1所述的多支化聚合物,其特征在于,所述多官能环氧化合物选自含有至少一个Si-O-Si且包含2个以上环氧基团的化合物。
6.根据权利要求5所述的多支化聚合物,其特征在于,所述多官能环氧化合物选自具有如下结构b-1~b-36的化合物中的任意一种或多种,
m1和m2各自独立地选自0-6中的任意一个整数且不同时为0,m1+m2=6。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的多支化聚合物,其特征在于,所述多支化聚合物通过所述含芴结构的聚合物与所述多官能环氧化合物在催化剂和阻聚剂作用下发生环氧开环反应得到。
8.根据权利要求7所述的多支化聚合物,其特征在于,所述催化剂为季铵盐类化合物。
9.根据权利要求7所述的多支化聚合物,其特征在于,所述阻聚剂为酚类阻聚剂或醌类阻聚剂中的任意一种。
10.根据权利要求7所述的多支化聚合物,其特征在于,所述环氧开环反应的温度为70~150℃。
11.根据权利要求7所述的多支化聚合物,其特征在于,所述含芴结构的聚合物与所述多官能环氧化合物的摩尔比为1:0.1~1。
12.根据权利要求7所述的多支化聚合物,其特征在于,所述含芴结构的聚合物与所述多官能环氧化合物的摩尔比为1:0.1~0.5。
13.一种碱可溶性树脂,其特征在于,所述碱可溶性树脂包括多支化聚合物和通式II所示结构的含硅烷侧链单元聚合物,所述多支化聚合物为权利要求1至12中任一项所述的多支化聚合物,
所述通式II中,R21独立地表示H、甲基、C2~C20的烷基或取代烷基;R22和R23各自独立地表示C1~C30的烷基、C3~C30的取代或未取代的环烷基、C2~C20的具有杂原子取代的环烷基、C6~C30的取代或未取代的芳香基,所述杂原子为O或S;R24、R25和R26各自独立地表示H、氘、取代或者未取代的C1~C20的烷基、取代或未取代的C3~C20的环烷基、取代或未取代的C2~C20的杂环烷基、取代或未取代的C6~C30的芳香基、取代或未取代的C5~C30的杂环芳香基、-Si-(R28)3基团中的任意一种,各R28各自独立地表示C1~C10的直链烷基或支链烷基,R27表示化学键、或者R24、R25和R26任意一个基团所产生的二价基团,
x、y、z、m各自独立地表示0~20的整数,且x和m不为0。
14.根据权利要求13所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述碱可溶性树脂中所述多支化聚合物和所述含硅烷侧链单元聚合物的重量比为1:0.1~10。
15.根据权利要求14所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述碱可溶性树脂中所述多支化聚合物和所述含硅烷侧链单元聚合物的重量比为1:0.55。
16.根据权利要求14所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述碱可溶性树脂中所述多支化聚合物和所述含硅烷侧链单元聚合物的重量比为1:0.8~1.2。
17.根据权利要求13所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述含硅烷侧链单元聚合物的重均分子量在5000~30000之间。
18.根据权利要求17所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述含硅烷侧链单元聚合物的重均分子量在8000~20000之间。
19.根据权利要求17所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述含硅烷侧链单元聚合物的重均分子量在8000~15000之间。
20.根据权利要求13所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述含硅烷侧链单元聚合物的酸值为50~200mgKOH/g。
21.根据权利要求20所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述含硅烷侧链单元聚合物的酸值为70~150mgKOH/g。
22.根据权利要求20所述的碱可溶性树脂,其特征在于,所述含硅烷侧链单元聚合物的酸值为90~120mg KOH/g。
23.一种光固化组合物,所述光固化组合物包含碱可溶性树脂、可光聚合单体和光引发剂,其特征在于,所述碱可溶性树脂为权利要求13至22中任一项所述的碱可溶性树脂中的任意一种或多种。
24.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述碱可溶性树脂的重量份为5~30。
25.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述碱可溶性树脂的重量份为10~20。
26.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述光引发剂的重量份为0.1~3.0。
27.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述光引发剂的重量份为0.5~3.0。
28.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述可光聚合单体组分的重量份为10~20份。
29.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述光固化组合物还包括着色剂。
30.根据权利要求29所述的光固化组合物,其特征在于,所述着色剂的重量份为30~40。
31.根据权利要求23所述的光固化组合物,其特征在于,所述光固化组合物还包括溶剂和可选的助剂。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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