CN115339045B - 一种塑封方法 - Google Patents

Abstract

本公开涉及电子信息领域，提供一种塑封方法，应用于塑封装置，塑封装置包括载物台、固化液供给组件、固化液输送组件、可移动地设置于载物台上方的电子束发射组件；塑封方法包括：将待塑封产品置于载物台；固化液供给组件将固化液提供给固化液输送组件；固化液输送组件将固化液输送至待塑封产品的表面；电子束发射组件将电子束发射至固化液，将固化液固化，得到塑封好的待塑封产品。本公开可在室温下进行，应力释放几乎为0，塑封好的产品无需进行烘烤，节省了能源，缩短了固化时间，塑封环境更加安全；对塑封体厚度无限制，可应用于塑封体厚度要求不同的待塑封产品；电子束发射组件每次的位移可设置为较小数值，减少对线弧的影响，减少冲线。

Description

一种塑封方法

技术领域

本公开涉及电子信息技术领域，特别涉及一种塑封方法。

背景技术

现有技术中，对产品进行塑封时，通常首先通过机械手抓取待塑封的产品并将该产品放置在预热平台上，预热平台对待塑封的产品进行预热，机械手通过注塑口与注塑杆将熔融状态的塑封料注入模具，机台合模后注塑开始，固化120秒后机台开模，通过机械手抓取固化完成的产品并将其按压在平台上，通过吹冷气的方式为固化后的产品降温，降温完成后手动将塑封好的产品装入料盒。

然而，上述塑封方法在对产品进行塑封时，塑封料熔融的温度通常为175℃，为保证塑封料粘性的均匀变化，模具和注塑杆的温度相应的也为175℃，使得模具温度与室温相差较大，从而会对产品翘曲产生影响。产品塑封区域和塑封厚度大小完全由模具决定，这在一定程度上限制了待塑封的产品的种类。同时，产品的塑封过程从注塑到固化完成通常耗时较长，塑封过程中模流的不稳定还可能对塑封后的产品造成冲线、填充不良等影响。

发明内容

本公开旨在至少解决现有技术中存在的问题之一，提供一种。

本公开提供了一种塑封方法，应用于塑封装置，所述塑封装置包括载物台、固化液供给组件、固化液输送组件和电子束发射组件，所述电子束发射组件可移动地设置于所述载物台的上方，所述塑封方法包括以下步骤：

将待塑封产品置于所述载物台；

所述固化液供给组件将固化液提供给所述固化液输送组件，所述固化液输送组件将所述固化液输送至所述待塑封产品的表面；

所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液，将所述固化液固化，得到塑封好的所述待塑封产品。

可选的，所述固化液输送组件包括输送管道以及输送驱动机构，所述输送管道穿设于所述载物台，所述输送管道的第一端与所述固化液供给组件相连通，所述输送管道的第二端露出所述载物台的表面，所述输送驱动机构的第一端插置于所述输送管道；

所述固化液输送组件将所述固化液输送至所述待塑封产品的表面，包括：

所述输送驱动机构将所述输送管道内的固化液驱动至所述载物台，使所述固化液覆盖所述待塑封产品的表面。

可选的，所述输送驱动机构包括第一活塞、第一活塞杆、输送驱动电机以及凸轮，所述第一活塞插置于所述输送管道，所述第一活塞杆的第一端与所述第一活塞相连接，所述第一活塞杆的第二端延伸出所述输送管道与所述凸轮相连接，所述输送驱动电机与所述凸轮传动连接；

所述输送驱动机构将所述输送管道内的固化液驱动至所述载物台，包括：

所述输送驱动电机驱动所述凸轮带动所述第一活塞杆和所述第一活塞向靠近所述载物台的方向运动，将所述输送管道内的固化液输送至所述载物台。

可选的，所述固化液供给组件包括固化液存储腔、供给管道以及单向导通控制件，所述供给管道的第一端与所述固化液输送组件相连通，所述供给管道的第二端与所述固化液存储腔相连通，所述供给管道串设有所述单向导通控制件；

所述固化液供给组件将固化液提供给所述固化液输送组件，包括：

通过所述单向导通控制件将所述固化液存储腔与所述供给管道导通，使所述固化液存储腔中的固化液通过所述供给管道流入所述固化液输送组件。

可选的，所述塑封装置还包括原料驱动机构、多个原料腔以及多个原料管道，所述原料管道的入口与对应的所述原料腔的出口相连通，所述原料管道的出口与所述固化液存储腔相连通，所述原料驱动机构的第一端插置于各所述原料腔；

在所述通过所述单向导通控制件将所述固化液存储腔与所述供给管道导通之前，所述塑封方法还包括：

所述原料驱动机构驱动各所述原料腔的原料通过对应的所述原料管道至所述固化液存储腔内混合，得到所述固化液。

可选的，所述原料驱动机构包括活塞推杆、多个第二活塞杆以及多个第二活塞，所述第二活塞插置于对应的所述原料腔，所述第二活塞杆的第一端与对应的所述第二活塞相连，全部的所述第二活塞杆的第二端均延伸出所述原料腔并与所述活塞推杆相连；

所述原料驱动机构驱动各所述原料腔的原料通过对应的所述原料管道至所述固化液存储腔内混合，包括：

所述活塞推杆通过各所述第二活塞杆及其对应的所述第二活塞，驱动各所述原料腔中的原料通过对应的所述原料管道至所述固化液存储腔内混合。

可选的，各所述原料管道的横截面积之比与所述固化液中各所述原料的质量分数之比相对应。

可选的，所述塑封装置还包括旋转驱动机构，在所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液时，所述塑封方法还包括：

所述旋转驱动机构驱动所述载物台沿水平方向旋转。

可选的，所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液，包括：

所述电子束发射组件沿所述载物台旋转的直径方向做直线运动，且所述电子束发射组件的运动速度不超过所述载物台旋转的角速度。

可选的，所述电子束发射组件包括移动牵引机构、发射箱，以及设置在所述发射箱内的高压电源、电子源、电子加速机构、电子偏转机构；

所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液，包括：

所述移动牵引机构牵引所述发射箱在所述载物台上方移动，并且，在移动过程中，所述电子源在所述高压电源的作用下产生所述电子束，所述电子加速机构对所述电子束进行加速，所述电子偏转机构将加速后的所述电子束偏转至所述固化液。

本公开相对于现有技术而言，通过将待塑封产品置于载物台，固化液供给组件将固化液提供给固化液输送组件，固化液输送组件将固化液供给组件提供的固化液输送至待塑封产品的表面，可移动地设置于载物台上方的电子束发射组件将电子束发射至固化液，将固化液固化，得到塑封好的待塑封产品，使得待塑封产品的塑封过程在室温下即可进行，应力释放几乎为0，塑封好的产品无需再进行烘烤，相比现有的高温塑封环境，还节省了能源，缩短了固化时间，且塑封环境更加安全。同时，本公开提供的塑封方法对产品的塑封体厚度并无限制，理论上该塑封体厚度可以无限大，从而使得本实施方式可以对塑封体厚度要求不同的各种待塑封产品进行塑封。另外，本公开中的电子束发射组件每次的位移还可以设置为较小的数值，从而减少对线弧的影响，减少冲线。

附图说明

一个或多个实施方式通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施方式的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1为本公开一实施方式提供的一种塑封方法的流程图；

图2为本公开另一实施方式提供的一种塑封装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本公开实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本公开各实施方式中，为了使读者更好地理解本公开而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本公开所要求保护的技术方案。以下各个实施方式的划分是为了描述方便，不应对本公开的具体实现方式构成任何限定，各个实施方式在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。

如图1所示，本公开的一个实施方式涉及一种塑封方法S100，应用于如图2所示的塑封装置100。塑封装置100包括载物台110、固化液供给组件(图中并未标出)、固化液输送组件(图中并未标出)和电子束发射组件(图中并未标出)，电子束发射组件可移动地设置于载物台110的上方。

塑封方法S100包括以下步骤：

步骤S110，将待塑封产品置于载物台。

具体的，一并结合图2，本步骤可以将待塑封产品200置于载物台110。待塑封产品200可以是芯片，通常为半导体所用部件，但并不仅限于此。

步骤S120，固化液供给组件将固化液提供给固化液输送组件。

具体的，一并结合图2，固化液供给组件可以将固化液300提供给固化液输送组件。固化液300可以是环氧树脂混合溶液。例如，固化液300可以是由三种原料即环氧树脂、活性稀释剂、脱模剂组成的环氧树脂混合溶液。环氧树脂混合溶液中的环氧树脂高分子，在电子束的照射下会发生交联固化反应进而形成固体，固化在待塑封产品200的表面，从而实现对待塑封产品200的塑封。当然，固化液300也可以是由其他种类的原料组成的溶液，或者包括更多种类的原料，本实施方式对此并不限制，只要能在电子束的照射下固化即可。

步骤S130，固化液输送组件将固化液输送至待塑封产品的表面。

具体的，一并结合图2，固化液输送组件可以将固化液300输送至待塑封产品200的表面。需要说明的是，在本步骤中，除与载物台110接触的表面外，待塑封产品200的其他表面均可被固化液300包裹住。

步骤S140，电子束发射组件将电子束发射至固化液，将固化液固化，得到塑封好的待塑封产品。

具体的，电子束(Electron Beam)简称EB，是由空间中同一个方向运动的电子流所组成。与在导体中运动的电子流即电工学上称谓的电流不同，电子束必须以能量和电流两个物理量才能明确表示其物理性能。电子束固化，又称“EB”固化法，是指液态材料在高能电子束的照射下迅速从液态转变成固态的一种固化方式。由于电子束能量高，其对树脂及填料等固体成分有很强的穿透力，因此，电子束固化不会出现堆积的树脂或者填料阻碍固化的情况，且固化后的产品内部干燥不会受到影响。

需要说明的是，如图1所示，为了防止塑封前待塑封产品200在载物台110上移动，可以在载物台110承载待塑封产品200的位置设置若干真空孔111，并在步骤S110之后、步骤S120之前，利用真空泵通过真空孔111将待塑封产品200吸附在载物台110上。在塑封完成即步骤S140之后，还可以将吸附在载物台110上的待塑封产品200释放，从而取出塑封好的待塑封产品200。

需要进一步说明的是，如图1所示，载物台110的四周可以设置有挡板112，以防止固化液输送组件输送至载物台110的固化液300溢出载物台110。特别的，挡板112的高度可以根据待塑封产品200的厚度和塑封好的待塑封产品200中塑封体的厚度确定。例如，挡板112的高度可以大于待塑封产品200与塑封体的厚度之和，也可以等于待塑封产品200与塑封体的厚度之和，只要挡板112能够防止固化液输送组件输送至载物台110的固化液300溢出载物台110即可。其中，塑封体的厚度取决于固化液输送组件输送至待塑封产品表面的固化液的量，本领域技术人员可以根据不同的塑封体厚度要求，对固化液输送组件输送至待塑封产品表面的固化液的量进行设置。

本公开实施方式相对于现有技术而言，通过将待塑封产品置于载物台，固化液供给组件将固化液提供给固化液输送组件，固化液输送组件将固化液供给组件提供的固化液输送至待塑封产品的表面，可移动地设置于载物台上方的电子束发射组件将电子束发射至固化液，将固化液固化，得到塑封好的待塑封产品，使得待塑封产品的塑封过程在室温下即可进行，应力释放几乎为0，塑封好的产品无需再进行烘烤，相比现有的高温塑封环境，还节省了能源，缩短了固化时间，且塑封环境更加安全。同时，本实施方式提供的塑封方法对产品的塑封体厚度并无限制，理论上该塑封体厚度可以无限大，从而使得本实施方式可以对塑封体厚度要求不同的各种待塑封产品进行塑封。另外，本实施方式中的电子束发射组件每次的位移还可以设置为较小的数值，从而减少对线弧的影响，减少冲线。

示例性的，如图2所示，固化液输送组件包括输送管道131以及输送驱动机构(图中并未标出)，输送管道131穿设于载物台110，输送管道131的第一端与固化液供给组件相连通，输送管道131的第二端露出载物台110的表面，输送驱动机构的第一端插置于输送管道131。

步骤S130包括：输送驱动机构将输送管道内的固化液驱动至载物台，使固化液覆盖待塑封产品的表面。

具体的，一并结合图2，输送驱动机构可以将输送管道131内的固化液300驱动至载物台110，使固化液300覆盖待塑封产品的表面。

需要说明的是，输送管道131可以穿设于载物台110的中心位置，也可以穿设于载物台110的非中心位置。输送管道131的第二端可以凸出载物台110的表面，也可以不凸出载物台110的表面，只要能够将输送管道内的固化液300驱动至载物台110，并使固化液300覆盖待塑封产品200的表面即可。举例而言，一并结合图2，输送驱动机构可以驱动输送管道131内的固化液300上升，使上升后的固化液300溢出输送管道131至载物台110，并逐渐覆盖载物台110上的待塑封产品200的表面。

需要进一步说明的是，在塑封完成即步骤S140之后，固化液输送组件还可以回收载物台上未固化的固化液。举例而言，一并结合图2，输送驱动机构可以驱动输送管道131内的固化液下降，使载物台110上未固化的固化液回流至输送管道131，从而实现固化液的回收。

本实施方式可以对输送至待塑封产品表面的固化液的量进行控制，从而实现对塑封体厚度要求不同的多种产品进行塑封，还可以在塑封结束后回收载物台上尚未固化的固化液，从而实现资源的节约。

示例性的，如图2所示，输送驱动机构包括第一活塞132a、第一活塞杆132b、输送驱动电机132c以及凸轮132d，第一活塞132a插置于输送管道131，第一活塞杆132b的第一端与第一活塞132a相连接，第一活塞杆132b的第二端延伸出输送管道131与凸轮132d相连接，输送驱动电机132c与凸轮132d传动连接。

输送驱动机构将输送管道内的固化液驱动至载物台，包括：

输送驱动电机驱动凸轮带动第一活塞杆和第一活塞向靠近载物台的方向运动，将输送管道内的固化液输送至载物台。也就是说，一并结合图2，输送驱动电机132c可以驱动凸轮132d带动第一活塞杆132b和第一活塞132a向靠近载物台110的方向运动，将输送管道131内的固化液300输送至载物台110。

需要说明的是，在固化液输送组件回收载物台110上未固化的固化液时，输送驱动电机132c还可以驱动凸轮132d带动第一活塞杆132b和第一活塞132a向远离载物台110的方向运动，将载物台110上未固化的固化液回收至输送管道131，从而实现资源的节约。

需要进一步说明的是，如图1所示，输送驱动机构还可以包括传动联轴器132e，传动联轴器132e分别与输送驱动电机132c和凸轮132d相连接，以在输送驱动电机132c驱动凸轮132d带动第一活塞杆132b和第一活塞132a运动时，吸收振动、补偿径向和角向偏差。

本实施方式可以进一步对输送至待塑封产品表面的固化液的量进行控制。

示例性的，如图2所示，固化液供给组件包括固化液存储腔121、供给管道122以及单向导通控制件123，供给管道122的第一端与固化液输送组件相连通，供给管道122的第二端与固化液存储腔121相连通，供给管道122串设有单向导通控制件123。

步骤S120包括：通过单向导通控制件将固化液存储腔与供给管道导通，使固化液存储腔中的固化液通过供给管道流入固化液输送组件。

具体的，一并结合图2，本步骤可以通过单向导通控制件123将固化液存储腔121与供给管道122导通，使固化液存储腔121中的固化液通过供给管道122流入固化液输送组件。

需要说明的是，单向导通控制件123可以是单向阀，也可以是其他能够实现单向导通控制的部件，以控制固化液仅能从固化液存储腔121流入供给管道122，而不能从供给管道122流入固化液存储腔121，从而防止固化液输送组件中的固化液回流至固化液存储腔121。

本实施方式可以对固化液供给组件提供给固化液输送组件的固化液的量进行控制，并防止固化液输送组件中的固化液回流至固化供给组件。

示例性的，如图2所示，塑封装置100还包括原料驱动机构(图中并未标出)、多个原料腔152以及多个原料管道153，原料管道153的入口与对应的原料腔152的出口相连通，原料管道153的出口与固化液存储腔121相连通，原料驱动机构的第一端插置于各原料腔152。

在通过单向导通控制件将固化液存储腔与供给管道导通之前，塑封方法S100还包括：

原料驱动机构驱动各原料腔的原料通过对应的原料管道至固化液存储腔内混合，得到固化液。也就是说，一并结合图2，原料驱动机构可以驱动各原料腔152的原料通过对应的原料管道153至固化液存储腔121内混合，得到固化液。

需要说明的是，原料腔的数量可以与原料管道的数量相对应，以使每一个原料腔均能通过对应的原料管道与固化液存储腔相连通。同时，原料腔的数量还可以与固化液的原料种类数相对应，以将组成固化液的所有种类的原料驱动至固化液存储腔内混合。

本实施方式可以根据待塑封产品的塑封要求，即时利用多种原料配制所需要使用的固化液，从而提高固化液的品质，进而提高塑封效果。

示例性的，如图2所示，原料驱动机构包括活塞推杆151a、多个第二活塞杆151b以及多个第二活塞151c，第二活塞151c插置于对应的原料腔152，第二活塞杆151b的第一端与对应的第二活塞151c相连，全部的第二活塞杆151b的第二端均延伸出原料腔152并与活塞推杆151a相连。

原料驱动机构驱动各原料腔的原料通过对应的原料管道至固化液存储腔内混合，包括：

活塞推杆通过各第二活塞杆及其对应的第二活塞，驱动各原料腔中的原料通过对应的原料管道至固化液存储腔内混合。也就是说，一并结合图2，活塞推杆151a可以通过各第二活塞杆151b及其对应的第二活塞151c，驱动各原料腔152中的原料通过对应的原料管道153至固化液存储腔121内混合。

具体的，第二活塞杆151b的数量以及第二活塞151c的数量可以均与原料腔152的数量相对应，以使每个原料腔152分别对应一个第二活塞151c和第二活塞杆151b。例如，如图2所示，在固化液300包括三种原料分别为环氧树脂、活性稀释剂、脱模剂时，可以设置3个原料腔152、3个原料管道153(图中仅标注两个)、3个第二活塞151c(图中仅标注一个)以及3个第二活塞杆151b。

需要说明的是，如图2所示，活塞推杆151a可以沿V1方向移动，各第二活塞杆151b在活塞推杆151a的作用下将带动各第二活塞151c沿V1方向移动，从而驱动各原料腔152的原料至固化液存储腔121内混合。

本实施方式可以在配制固化液时同时驱动不同种类的原料至固化液存储腔内混合，从而提高固化液配制的效率。

示例性的，各原料管道的横截面积之比与固化液中各原料的质量分数之比相对应。

具体的，一并结合图2，各原料管道153的横截面积之比与固化液300中各原料的质量分数之比相对应。举例而言，在固化液300包括环氧树脂、活性稀释剂、脱模剂三种原料，且环氧树脂、活性稀释剂、脱模剂在固化液300中的质量分数之比为2：1：1时，环氧树脂、活性稀释剂、脱模剂对应的原料管道153的横截面积之比也为2：1：1。当然，本实施方式并不对各原料的具体种类以及各原料在固化液中的质量分数之比的具体数值进行限制，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置。

本实施方式可以直接按照各原料的质量分数之比将各原料驱动至固化液存储腔内混合，从而简化了固化液的配制流程，进一步提高了配制效率。。

示例性的，一并结合图2，塑封装置100还包括旋转驱动机构160，在电子束发射组件将电子束发射至固化液时，塑封方法S100还包括：

旋转驱动机构160驱动载物台110沿水平方向旋转。

具体的，如图2所示，在输送管道131穿设于载物台110时，可以将旋转驱动机构160设置在输送管道131上，旋转驱动机构160通过驱动输送管道131旋转带动载物台110沿水平方向旋转。旋转驱动机构160可以包括旋转驱动电机161和锥齿轮162，从而通过旋转驱动电机161利用锥齿轮162驱动输送管道131旋转，带动载物台110沿水平方向旋转。

本实施方式可以使待塑封产品表面的固化液能够更加均匀地接收电子束的照射，从而提高塑封质量。

示例性的，电子束发射组件将电子束发射至固化液，包括：

电子束发射组件沿载物台旋转的直径方向做直线运动，且电子束发射组件的运动速度不超过载物台旋转的角速度。

具体的，一并结合图2，电子束发射组件可以沿载物台110旋转的直径方向即V₂方向做直线运动，与此同时，旋转驱动机构160驱动载物台110沿水平方向旋转，且电子束发射组件做直线运动的速度不超过载物台110旋转的角速度。

本实施方式可以使待塑封产品的塑封过程在一个缓慢的节奏下进行，从而进一步减少对线弧的影响，减少冲线。

示例性的，如图2所示，电子束发射组件包括移动牵引机构141、发射箱142，以及设置在发射箱142内的高压电源142a、电子源142b、电子加速机构(图中并未标出)、电子偏转机构142c。

电子束发射组件将电子束发射至固化液，包括：

移动牵引机构牵引发射箱在载物台上方移动，并且，在移动过程中，电子源在高压电源的作用下产生电子束，电子加速机构对电子束进行加速，电子偏转机构将加速后的电子束偏转至固化液。

具体的，如图2所示，移动牵引机构141可以包括导轨141a和滑块141b，滑块141b可以牵引发射箱142在导轨141a上沿V₂方向移动。滑块141b可以在步进电机的作用下每次移动较小的距离，带动电子束每次移动较小的距离，从而使电子束移动前后照射到的固化液能够固化在一起，减少对线弧的影响。电子加速机构和电子偏转机构142c均可以设置有方向与V₂方向相反的电场。电子偏转机构142c还可以设置有方向与该电场的方向相垂直的磁场，以及均由铝箔覆盖的入口和出口。电子源142b可以在高压电源142a的作用下发射方向与V₂方向相同的电子束，电子加速机构中的电场对该电子束进行加速，加速后的电子束从电子偏转机构142c的入口进入电子偏转机构142c，电子偏转机构142c对加速后的电子束进行偏转，使偏转后的电子束从电子偏转机构142c的出口射出至待塑封产品200表面的固化液300上。

本实施方式可以将一定量的电子束发射至待塑封产品表面的固化液使其固化，从而进一步节省能源。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本公开的具体实施方式，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本公开的精神和范围。

Claims (9)

1.一种塑封方法，其特征在于，应用于塑封装置，所述塑封装置包括载物台、固化液供给组件、固化液输送组件和电子束发射组件，所述电子束发射组件可移动地设置于所述载物台的上方，所述塑封方法包括以下步骤：

将待塑封产品置于所述载物台；

所述固化液供给组件将固化液提供给所述固化液输送组件；

所述固化液输送组件将所述固化液输送至所述待塑封产品的表面；

所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液，将所述固化液固化，得到塑封好的所述待塑封产品；

所述固化液输送组件包括输送管道以及输送驱动机构，所述输送管道穿设于所述载物台，所述输送管道的第一端与所述固化液供给组件相连通，所述输送管道的第二端露出所述载物台的表面，所述输送驱动机构的第一端插置于所述输送管道；

所述固化液输送组件将所述固化液输送至所述待塑封产品的表面，包括：

所述输送驱动机构将所述输送管道内的固化液驱动至所述载物台，使所述固化液覆盖所述待塑封产品的表面；

所述载物台承载所述待塑封产品的位置设置有若干真空孔；

在所述将待塑封产品置于所述载物台之后，所述固化液供给组件将固化液提供给所述固化液输送组件之前，所述塑封方法还包括：利用真空泵通过所述真空孔将所述待塑封产品吸附在所述载物台上；

在得到塑封好的所述待塑封产品之后，所述塑封方法还包括：将吸附在所述载物台上的所述待塑封产品释放，取出塑封好的所述待塑封产品。

2.根据权利要求1所述的塑封方法，其特征在于，所述输送驱动机构包括第一活塞、第一活塞杆、输送驱动电机以及凸轮，所述第一活塞插置于所述输送管道，所述第一活塞杆的第一端与所述第一活塞相连接，所述第一活塞杆的第二端延伸出所述输送管道与所述凸轮相连接，所述输送驱动电机与所述凸轮传动连接；

所述输送驱动机构将所述输送管道内的固化液驱动至所述载物台，包括：

所述输送驱动电机驱动所述凸轮带动所述第一活塞杆和所述第一活塞向靠近所述载物台的方向运动，将所述输送管道内的固化液输送至所述载物台。

3.根据权利要求1所述的塑封方法，其特征在于，所述固化液供给组件包括固化液存储腔、供给管道以及单向导通控制件，所述供给管道的第一端与所述固化液输送组件相连通，所述供给管道的第二端与所述固化液存储腔相连通，所述供给管道串设有所述单向导通控制件；

所述固化液供给组件将固化液提供给所述固化液输送组件，包括：

通过所述单向导通控制件将所述固化液存储腔与所述供给管道导通，使所述固化液存储腔中的固化液通过所述供给管道流入所述固化液输送组件。

4.根据权利要求3所述的塑封方法，其特征在于，所述塑封装置还包括原料驱动机构、多个原料腔以及多个原料管道，所述原料管道的入口与对应的所述原料腔的出口相连通，所述原料管道的出口与所述固化液存储腔相连通，所述原料驱动机构的第一端插置于各所述原料腔；

在所述通过所述单向导通控制件将所述固化液存储腔与所述供给管道导通之前，所述塑封方法还包括：

所述原料驱动机构驱动各所述原料腔的原料通过对应的所述原料管道至所述固化液存储腔内混合，得到所述固化液。

5.根据权利要求4所述的塑封方法，其特征在于，所述原料驱动机构包括活塞推杆、多个第二活塞杆以及多个第二活塞，所述第二活塞插置于对应的所述原料腔，所述第二活塞杆的第一端与对应的所述第二活塞相连，全部的所述第二活塞杆的第二端均延伸出所述原料腔并与所述活塞推杆相连；

所述原料驱动机构驱动各所述原料腔的原料通过对应的所述原料管道至所述固化液存储腔内混合，包括：

所述活塞推杆通过各所述第二活塞杆及其对应的所述第二活塞，驱动各所述原料腔中的原料通过对应的所述原料管道至所述固化液存储腔内混合。

6.根据权利要求5所述的塑封方法，其特征在于，各所述原料管道的横截面积之比与所述固化液中各所述原料的质量分数之比相对应。

7.根据权利要求1至6任一项所述的塑封方法，其特征在于，所述塑封装置还包括旋转驱动机构，在所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液时，所述塑封方法还包括：

所述旋转驱动机构驱动所述载物台沿水平方向旋转。

8.根据权利要求7所述的塑封方法，其特征在于，所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液，包括：

所述电子束发射组件沿所述载物台旋转的直径方向做直线运动，且所述电子束发射组件的运动速度不超过所述载物台旋转的角速度。

9.根据权利要求1至6任一项所述的塑封方法，其特征在于，所述电子束发射组件包括移动牵引机构、发射箱，以及设置在所述发射箱内的高压电源、电子源、电子加速机构、电子偏转机构；

所述电子束发射组件将电子束发射至所述固化液，包括：

所述移动牵引机构牵引所述发射箱在所述载物台上方移动，并且，在移动过程中，所述电子源在所述高压电源的作用下产生所述电子束，所述电子加速机构对所述电子束进行加速，所述电子偏转机构将加速后的所述电子束偏转至所述固化液。