CN115338804A - 一种可调式晶圆用夹具装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种可调式晶圆用夹具装置，包括座体；驱动组件，与座体连接，适于输出驱动力；以及夹具组件，设置在座体上，且至少部分夹具组件受驱动组件的驱动相对于座体沿第一方向移动，第一方向与座体的高度方向平行；其中，夹具组件包括夹具本体、及设置在夹具本体一侧的固定件，夹具本体包括沿第一方向自上而下设置的第一夹具、及与第一夹具可拆卸连接的第二夹具，第一夹具上形成有第一台阶，第二夹具上设置有第二台阶，第一台阶和第二台阶分别供目标物放置。通过上述方式，其可以通过一台机器，根据不同需求放置不同尺寸的目标物。

Description

一种可调式晶圆用夹具装置

技术领域

本申请涉及一种可调式晶圆用夹具装置，属于半导体制造技术领域。

背景技术

随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，通过对晶圆进行加工可以制作成各种各样的芯片，满足不同消费者的需求。因此，晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。

现有技术中，由于晶圆在生产制造中，多采用高温、高真空度工艺。然而，在该工艺条件下，晶圆并不能通过真空或静电吸附，此时需要使用机械限位的方式。然而，现有技术中的机械限位的精度较差。

因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。

发明内容

本申请的目的在于提供一种可调式晶圆用夹具装置，其可以通过一台机器，根据不同需求放置不同尺寸的目标物。

本申请的目的是通过以下技术方案实现：一种可调式晶圆用夹具装置，包括：

其中，所述夹具组件包括夹具本体、及设置在所述夹具本体一侧的固定件，所述夹具本体于高度方向上分布的第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶分别供目标物放置，且所述第一台阶位于所述第二台阶的上方；其中，所述第一台阶可相对于所述夹具本体转动；

所述夹具本体具有初始状态及工作状态，位于所述初始状态时，所述第一台阶被收容在所述夹具本体内，其中一个目标物可放置于所述第二台阶上；

位于所述工作状态时，所述第一台阶转动以使第一台阶暴露，以供另一个目标物放置于所述第一台阶上。

在其中一个实施例中，所述夹具本体还包括键合状态；

所述夹具本体沿高度方向移动，以使所述第二台阶上的目标物与所述座体对接，所述夹具本体沿所述高度方向继续移动，直至所述第一台阶上的目标物与前一个所述目标物接触，所述夹具本体自所述工作状态转换为所述键合状态。

在其中一个实施例中，所述夹具本体包括沿所述高度方向上自上而下设置的第一夹具、及与所述第一夹具可拆卸连接的第二夹具，所述第一夹具上形成有所述第一台阶，所述第二夹具上设置有所述第二台阶。

在其中一个实施例中，所述第一夹具的直径小于所述第二夹具的直径以形成所述第二台阶。

在其中一个实施例中，所述第一夹具包括具有空腔的本体部、及转动设置在所述空腔内的转动部，所述转动部具有第一状态和第二状态；

位于所述第一状态时，所述转动部与所述本体部垂直，以使所述转动部的第一端伸出所述空腔以作为所述第一台阶，所述转动部的第二端伸出所述空腔位于所述固定件的下方，所述第一端和所述第二端分别为所述转动部的两端；

所述驱动组件驱动所述夹具本体沿高度方向上移动，以使得所述转动部的第二端与所述固定件抵持，所述夹具本体继续移动，所述转动部自所述第一状态切换至所述第二状态，所述第二端转动带动所述第一端转动，所述第一端伸入至所述空腔内。

在其中一个实施例中，所述转动部通过转轴转动设置在所述空腔内；

所述第一夹具还包括套设在所述转轴上的扭力部件，所述扭力部件始终施加作用力于所述转动部，以使所述转动部位于所述第一状态。

在其中一个实施例中，所述转动部具有凹槽，所述扭力部件设置在所述凹槽内；

所述扭力部件的一端与所述本体部抵接，所述扭力部件的另一端与所述转动部抵接。

在其中一个实施例中，所述固定件包括固定部及与所述固定部连接的弯折部，所述弯折部自所述固定部的一端朝向所述夹具本体弯折；

所述转动部位于所述第一状态时，所述转动部位于所述弯折部的下方。

在其中一个实施例中，所述可调式晶圆用夹具装置还包括设置在所述夹具组件一侧的检测件，所述检测件适于检测所述夹具组件上是否放置目标物。

在其中一个实施例中，所述检测件为漫反射传感器或红外传感器。

在其中一个实施例中，所述驱动组件包括驱动件，所述驱动件为直线电机、气缸、电缸或液压缸中的任一种。

与现有技术相比，本申请具有如下有益效果：通过设置有第一夹具和第二夹具，第一夹具上形成有第一台阶，第二夹具上形成有第二台阶，第一台阶和第二台阶供目标物放置；将第一夹具与第二夹具可拆卸连接，使得用户可根据实际需要将第一夹具更换，以将不同尺寸的第一夹具安装于第二夹具上，从而可使第一台阶放置不同尺寸的目标物，更加方便快捷，且减少了用户的生产成本。

附图说明

图1是本申请的一种可调式晶圆用夹具装置的结构示意图。

图2是本申请的一种可调式晶圆用夹具装置的另一结构示意图。

图3是图1中的夹具组件的结构示意图。

图4是图3中的第一夹具的分解示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本申请的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

请参阅图1至图4所示，本申请的一较佳实施例中的一种可调式晶圆用夹具装置，与控制器信号连接。其中，控制器可以为控制芯片、控制电路或控制面板等，其为常规结构，在此不做赘述。通过设置有控制器，使得控制器与可调式晶圆用夹具装置能够实现信息交互。

具体的，本实施例中的可调式晶圆用夹具装置包括座体1、与座体1连接的驱动组件3、及设置在座体1上的夹具组件2，其中，至少部分夹具组件2受驱动组件3的驱动相对于座体1沿第一方向移动，该第一方向与座体1的高度方向平行。通过控制驱动组件3以驱动至少部分夹具组件2移动，以使夹具组件2能够将目标物固定或释放。

其中，夹具组件2包括夹具本体21、及设置在夹具本体21一侧的固定件22。在本实施例中，驱动组件3与夹具本体21连接，以驱动夹具本体21相对于座体1移动，而固定件22与座体1固定连接。具体的，驱动组件3驱动夹具本体21沿高度方向移动，夹具本体21于高度方向分布有第一台阶213和第二台阶214，第一台阶213和第二台阶214分别供目标物放置，第一台阶213位于第二台阶214的上方，且第一台阶213可相对于夹具本体21转动。

具体的，夹具本体21具有初始状态和工作状态。位于初始状态时，夹具本体21与固定件22抵持，第一台阶213被收容在夹具本体21内，其中一个目标物可放置于第二台阶214上；夹具本体21自初始状态转换为工作状态时，第一台阶213转动以使第一台阶213暴露，以供另一个目标物放置于第一台阶213上。即，在本实施例中，位于初始状态时，第一台阶213被收容在夹具本体21内，继而可将目标物放置于第二台阶214上。当目标物放置于第二台阶214上后，驱动组件3驱动夹具本体21继续下移，夹具本体21与固定件22分开，第一台阶213转动以使第一台阶213暴露，此时，可将另一个目标物放置于第一台阶213上。

并且，夹具本体21还具有键合状态。当两个目标物分别放置于第一台阶213上和第二台阶214上，驱动组件3驱动夹具本体21继续下移，以使第二台阶214上的目标物先放置在座体1上，然后夹具本体21持续下移，直至第一台阶213上的目标物与座体1上的目标物精准接触，以使夹具本体21自工作状态转换为键合状态。通过上述方式，可提高两个目标物对接的准确率，继而提高两个目标物的键合效率。

夹具本体21包括沿第一方向自上而下设置的第一夹具211、及与第一夹具211可拆卸连接的第二夹具212，第一夹具211上形成有第一台阶213，第二夹具212上设置有第二台阶214，第一台阶213和第二台阶214分别供目标物放置。在本实施例中，该目标物为晶圆。在其他实施例中，该目标物也可为其他，在此不做具体限定，根据实际情况而定。

在本实施例中，驱动组件3包括驱动件，驱动件为直线电机、气缸、电缸或液压缸中的任一种。

本申请通过将第一夹具211和第二夹具212可拆卸，从而可将不同尺寸的第一夹具211与第二夹具212安装，以根据实际需求放置不同的目标物。例如，第一夹具211的尺寸为较大尺寸时，可放置的目标物的尺寸则较小。相反的，当第一夹具211的尺寸为较小尺寸时，可放置的目标物的尺寸则较大。通过上述设置，可实现一个设备即可放置不同尺寸的目标物，满足用户的不同需求，无需购买多个设备，从而减小用户的生产成本，方便快捷。其中，第一夹具211和第二夹具212的可拆卸方式可以为紧固件连接、卡接等，其为常规结构，在此不做赘述。

具体的，第一夹具211包括具有空腔的本体部2111、及转动设置在空腔内的转动部2112，转动部2112具有第一状态和第二状态。当转动部2112位于第一状态时，转动部2112与本体部2111垂直，以使转动部2112的第一端伸出空腔以作为第一台阶213，转动部2112的第二端伸出空腔位于固定件22的下方。其中，第一端和第二端分别为转动部2112的两端。驱动组件3驱动夹具本体21沿第一方向移动，以使得转动部2112的第二端与固定件22抵持，夹具本体21继续移动，转动部2112自第一状态切换至第二状态，第二端转动带动第一端转动，第一端伸入至空腔内。

并且，转动部2112通过转轴转动设置在空腔内。此时，第一夹具211还包括套设在转轴上的扭力部件2113，扭力部件2113始终施加作用力于转动部2112，以使转动部2112位于第一状态。在本实施例中，转动部2112在未受到外力作用时，始终保持在第一状态，以使其第一端伸出空腔以形成第一台阶213。当驱动组件3驱动夹具本体21沿第一方向移动，例如上移时，转动部2112的第二端与固定件22抵持，转动部2112克服扭力部件2113施加的外力而发生转动，直至转动部2112的第一端伸入空腔内。

更进一步的，转动部2112具有凹槽，扭力部件2113设置在凹槽内。扭力部件2113的一端与本体部2111抵接，扭力部件2113的另一端与转动部2112抵接，从而使得转动部2112在扭力部件2113的作用下始终保持在第一状态。在本实施例中，该扭力部件2113为扭簧。

第一夹具211的直径小于第二夹具212的直径以形成第二台阶214。即，在本实施例中，第一夹具211的直径小于第二夹具212的直径，且第一夹具211位于第二夹具212的一侧，从而使得第一夹具211与第二夹具212未接触的地方形成第二台阶214。

固定件22包括固定部221及与固定部221连接的弯折部222，弯折部222自固定部221的一端朝向夹具本体21弯折。其中，转动部2112位于第一状态时，转动部2112位于弯折部222的下方。

可调式晶圆用夹具装置还包括设置在夹具组件2一侧的检测件4，检测件4适于检测夹具组件2上是否放置目标物。在本实施例中，该检测件4设置有两个，两个检测件4分别位于夹具组件2的两侧。并且，在本实施例中，检测件4为漫反射传感器或红外传感器。通过设置有检测件4，可检测夹具本体21上是否有放置目标物。

综上所述：通过设置有第一夹具211和第二夹具212，第一夹具211上形成有第一台阶213，第二夹具212上形成有第二台阶214，第一台阶213和第二台阶214供目标物放置；将第一夹具211与第二夹具212可拆卸连接，使得用户可根据实际需要将第一夹具211更换，以将不同尺寸的第一夹具211安装于第二夹具212上，从而可使第一台阶213放置不同尺寸的目标物，更加方便快捷，且减少了用户的生产成本。

上述仅为本申请的一个具体实施方式，其它基于本申请构思的前提下做出的任何改进都视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，包括：

座体；

驱动组件，与所述座体连接，适于输出驱动力；以及

夹具组件，设置在所述座体上，且至少部分所述夹具组件受所述驱动组件的驱动相对于所述座体沿第一方向移动，所述第一方向与所述座体的高度方向平行；

其中，所述夹具组件包括夹具本体、及设置在所述夹具本体一侧的固定件，所述夹具本体于高度方向上分布的第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶分别供目标物放置，且所述第一台阶位于所述第二台阶的上方；其中，所述第一台阶可相对于所述夹具本体转动；

所述夹具本体具有初始状态及工作状态，位于所述初始状态时，所述第一台阶被收容在所述夹具本体内，其中一个目标物可放置于所述第二台阶上；

所述夹具本体自所述初始状态转换为所述工作状态时，所述第一台阶转动以使第一台阶暴露，以供另一个目标物放置于所述第一台阶上。

2.如权利要求1所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述夹具本体还包括键合状态；

所述夹具本体沿高度方向移动，以使所述第二台阶上的目标物与所述座体对接，所述夹具本体沿所述高度方向继续移动，直至所述第一台阶上的目标物与前一个所述目标物接触，所述夹具本体自所述工作状态转换为所述键合状态。

3.如权利要求1所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述夹具本体包括沿所述高度方向上自上而下设置的第一夹具、及与所述第一夹具可拆卸连接的第二夹具，所述第一夹具上形成有所述第一台阶，所述第二夹具上设置有所述第二台阶。

4.如权利要求3所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述第一夹具的直径小于所述第二夹具的直径以形成所述第一台阶。

5.如权利要求3所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述第一夹具包括具有空腔的本体部、及转动设置在所述空腔内的转动部，所述转动部具有第一状态和第二状态；

位于所述第一状态时，所述转动部与所述本体部垂直，以使所述转动部的第一端伸出所述空腔以作为所述第一台阶，所述转动部的第二端伸出所述空腔位于所述固定件的下方，所述第一端和所述第二端分别为所述转动部的两端；

所述驱动组件驱动所述夹具本体沿高度方向上移动，以使得所述转动部的第二端与所述固定件抵持，所述夹具本体继续移动，所述转动部自所述第一状态切换至所述第二状态，所述第二端转动带动所述第一端转动，所述第一端伸入至所述空腔内。

6.如权利要求5所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述转动部通过转轴转动设置在所述空腔内；

所述第一夹具还包括套设在所述转轴上的扭力部件，所述扭力部件始终施加作用力于所述转动部，以使所述转动部位于所述第一状态。

7.如权利要求6所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述转动部具有凹槽，所述扭力部件设置在所述凹槽内；

所述扭力部件的一端与所述本体部抵接，所述扭力部件的另一端与所述转动部抵接。

8.如权利要求5所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述固定件包括固定部及与所述固定部连接的弯折部，所述弯折部自所述固定部的一端朝向所述夹具本体弯折；

所述转动部位于所述第一状态时，所述转动部位于所述弯折部的下方。

9.如权利要求1至8中任一项所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述可调式晶圆用夹具装置还包括设置在所述夹具组件一侧的检测件，所述检测件适于检测所述夹具组件上是否放置目标物。

10.如权利要求9所述的可调式晶圆用夹具装置，其特征在于，所述检测件为漫反射传感器或红外传感器。

Images