CN115138501A - 液滴释放装置和液滴释放方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的液滴释放装置和液滴释放方法能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。液滴释放装置包括输送机构、多个释放头、检查台、介质输送部和拍摄部。输送机构沿着输送方向输送工件。多个释放头对工件释放功能液的液滴。检查台吸附检查用介质，该检查用介质接收从多个释放头释放的检查用的液滴。介质输送部在与输送方向正交的方向上输送检查用介质。拍摄部拍摄被释放到检查用介质的液滴。检查台具有多个第一分割台和多个第二分割台。多个第一分割台沿着正交的方向彼此连结。多个第二分割台相对于多个第一分割台在输送方向上相邻地配置，且沿着正交的方向彼此连结，多个第二分割台的接缝位于与多个第一分割台的接缝在输送方向上不重叠的位置。

Description

液滴释放装置和液滴释放方法
技术领域
本发明涉及液滴释放装置和液滴释放方法。
背景技术
专利文献1中公开有一种液滴释放装置，其从释放头向检查膜释放功能液的液滴，利用检查摄像机对释放到检查膜的液滴进行拍摄，检查液滴的释放状态。另外，在专利文献2中公开有一种技术，其中吸附检查膜的检查台由彼此连结的多个分割台构成。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-21026号公报
专利文献2：日本特开2007-237125号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明提供一种能够稳定地进行液滴的释放状态的检查的技术。
用于解决技术问题的技术方案
本发明的一个方式的液滴释放装置包括输送机构、多个释放头、检查台、介质输送部和拍摄部。输送机构沿着输送方向输送工件。多个释放头对工件释放功能液的液滴。检查台吸附检查用介质，该检查用介质接收从多个释放头释放的检查用的液滴。介质输送部在与输送方向正交的方向上输送检查用介质。拍摄部拍摄被释放到检查用介质的液滴。检查台具有多个第一分割台和多个第二分割台。多个第一分割台沿着正交的方向彼此连结。多个第二分割台相对于多个第一分割台在输送方向上相邻地配置，且沿着正交的方向彼此连结，多个第二分割台的接缝位于与多个第一分割台的接缝在输送方向上不重叠的位置。
发明效果
依照本发明，起到能够稳定地进行液滴的释放状态的检查的效果。
附图说明
图1是表示实施方式的液滴释放装置的概略结构的左侧视图。
图2是表示实施方式的液滴释放装置的概略结构的俯视图。
图3是表示实施方式的喷头的配置的一个例子的图。
图4是表示从X轴正方向观察实施方式的检查机构的一部分的概略结构的图。
图5是表示从上侧观察图4的检查机构的概略结构的俯视图。
图6是表示实施方式的滑动件从待机位置移动到第一释放位置的状态的概略图。
图7是表示第一释放位置处的多个第一分割台和多个第二分割台、与第一喷头组和第二喷头组的位置关系的一个例子的图。
图8是表示实施方式的滑动件从第一释放位置移动到第二释放位置的状态的概略图。
图9是表示实施方式的滑动件从第二释放位置移动到拍摄位置的状态的概略图。
图10是表示实施方式的滑动件从拍摄位置移动到待机位置的状态的概略图。
附图标记说明
1 液滴释放装置
4 基片输送机构
7 检查机构
8 控制装置
63 喷头
63a 第一喷头组
63b 第二喷头组
71 检查台
71a 第一分割台
71b 第二分割台
77 检查膜
631 第一喷头
632 第二喷头
711、712 接缝
W 基片。
具体实施方式
以下，参照附图，对本申请公开的液滴释放装置和液滴释放方法的实施方式详细地进行说明。此外，公开的液滴释放装置和液滴释放方法不限定于以下给出的实施方式。
检查膜在被吸附于检查台的状态下接收从释放头释放的功能液的液滴。在检查台由彼此连结的多个分割台构成的构造中，存在从释放头释放的功能液的液滴着落在检查膜中的、与构成检查台的多个分割台的接缝对应的部分的情况。当功能液的液滴着落在检查膜中的与多个分割台的接缝对应的部分时，着落后的液滴的形状杂乱，因此检查摄像机中的功能液的液滴的拍摄结果的精度降低。其结果是，难以稳定地检查液滴的释放状态。
在近年来的液滴释放装置中，释放头趋于高密度地配置。在释放头趋于高密度地配置的情况下，从释放头释放的功能液的液滴着落在检查膜中的与多个分割台的接缝对应的部分的可能性变高，因此，液滴的释放状态的检查的稳定性有可能更加降低。因此，即使在释放头趋于高密度地配置的情况下，人们希望能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。
在以下参照的各附图中，为了使说明容易理解，规定了彼此正交X轴方向、Y轴方向和Z轴方向，表示了以Z轴正方向为铅垂向上的方向的直角坐标系。
X轴方向是作为工件的基片W被输送的输送方向。Y轴方向是与输送方向正交的方向。Z轴方向是与铅垂方向平行的方向。
另外，在此，规定了以X轴正方向为前方，以X轴负方向为后方的前后方向，并且规定了以Y轴正方向为右方，以Y轴负方向为左方的左右方向。另外，规定了以Z轴正方向为上方，以Z轴负方向为下方的上下方向。Z轴负方向为铅垂方向。
参照图1和图2，对实施方式的液滴释放装置1进行说明。图1是表示实施方式的液滴释放装置1的概略结构的左侧视图。图2是表示实施方式的液滴释放装置1的概略结构的俯视图。
液滴释放装置1是一边沿着输送方向输送基片W，一边通过喷墨方式在基片W进行描绘的描绘装置。基片W例如是用于平板显示器的基片W。
液滴释放装置1收纳在腔室空间100中。对腔室空间100供给非活性气体(例如氮气)。液滴释放装置1在非活性气体气氛中将功能液释放到基片W，在基片W进行描绘。此外，液滴释放装置1也可以是没有收纳在腔室空间100中的装置。
在功能液中，除了墨以外，还包含形成空穴注入层(HIL：Hole Injection Layer)、空穴输送层(HTL：Hole Transport Layer)等的液。
在腔室空间100附设有收纳控制装置8等的电气室101。此外，在腔室空间100设置有更换室102，其用于更换贮存功能液的未图示的功能液罐。
液滴释放装置1包括架台2、第一导轨3、基片输送机构4(输送机构的一个例子)、第二导轨5、描绘机构6、检查机构7和控制装置8。
架台2以沿着基片W的输送方向延伸的方式形成。即，架台2以沿着前后方向延伸的方式形成。
第一导轨3配置在架台2的上表面。第一导轨3在左右方向上排列地配置一对。各第一导轨3以沿着前后方向延伸的方式形成。
基片输送机构4包括工件台40、台旋转部41和滑动件42。基片输送机构4沿着输送方向(前后方向)输送基片W(工件)。
工件台40例如为真空吸附台，能够吸附基片W。台旋转部41设置在工件台40的下方，以与上下方向平行的轴为中心使工件台40转动。即，工件台40以与上下方向平行的轴为中心可自由转动地由台旋转部41支承。
另外，在工件台40的上方设置有工件对准摄像机(未图示)，其拍摄工件台40上的基片W的对准标记。台旋转部41基于由工件对准摄像机拍摄到的图像以与上下方向平行的轴为中心转动，校正基片W的位置。
滑动件42设置在台旋转部41的下方，支承台旋转部41和工件台40。滑动件42安装于一对第一导轨3，利用设置于一对第一导轨3中的至少一者的驱动部(未图示)例如线性电动机而能够沿着一对第一导轨3移动。
即，通过滑动件42沿着一对第一导轨3在前后方向上移动，而工件台40和台旋转部41与滑动件42一起在前后方向上移动。由此，基片W沿着前后方向被输送。
另外，基片输送机构4也可以是悬浮式的输送机构。悬浮式的输送机构例如从下方支承基片W的端，一边从下方向基片W吹送压缩空气水平地保持基片W，一边使基片W移动。
第二导轨5以在前后方向上排列的方式配置一对。各第二导轨5以沿着左右方向延伸的方式形成。各第二导轨5例如安装在形成为门形的支承部5a的上表面。
一对第二导轨5例如以比架台2更靠左方延伸的方式设置。在比架台2靠左方延伸的一对第二导轨5之间配置有维护部9。一对第二导轨5被设置成，描绘机构6能够在左右方向上在对基片W进行描绘的描绘位置与利用维护部9进行维护的维护位置之间移动置。
维护部9进行后述的喷头63的维护，消除或者防止喷头63的释放不良等。
描绘机构6沿着左右方向配置有多个。例如，描绘机构6沿着左右方向配置有3个。此外，描绘机构6的数量不限于此。各描绘机构6包括托架板60、托架转动部61、托架(carriage)62和多个喷头63(释放头的一个例子)。
托架板60安装在一对第二导轨5，利用在一对第二导轨5中的至少一者设置的驱动部(未图示)例如线性电动机而能够沿着一对第二导轨5在左右方向上移动。此外，能够使多个托架板60作为一体地在左右方向上移动。
托架转动部61配置在托架板60的下方。托架转动部61安装于托架板60的前后方向上的中央。在托架转动部61的下端安装有托架62。托架转动部61对托架62以与上下方向平行的轴为中心可转动地进行支承。
另外，托架转动部61基于由设置于工件台40的托架对准摄像机(未图示)拍摄到的图像，以与上下方向平行的轴为中心使托架转动。由此，校正托架62的位置。
多个喷头63设置于托架62。各喷头63经由未图示的供给管连接于未图示的功能液罐，从功能液罐经由供给管供给功能液，对基片W(工件)释放功能液的液滴。各喷头63能够释放多个种类的功能液。
在托架62的下表面，多个喷头63在左右方向上按规定的间隔配置，并且在前后方向上按规定的间隔配置。
图3是表示实施方式的喷头63的配置的一个例子的图。在图3中表示了从上侧观察托架62的俯视图，设置有喷头63的配置位置由虚线表示。托架62形成为具有在左右方向上延伸的长边和在前后方向上延伸的短边的长方形形状。在托架62的下表面配置有在左右方向和前后方向上相邻的多个喷头63。
多个喷头63具有第一喷头组63a(第一释放头组的一个例子)和第二喷头组63b(第二释放头组的一个例子)。在下文中，将属于第一喷头组63a的喷头63记为第一喷头631(第一释放头的一个例子)，将属于第二喷头组63b的喷头63记为第二喷头632(第二释放头的一个例子)。第一喷头组63a由第一喷头631在左右方向(与输送方向正交的方向)上排列多个而形成。第二喷头组63b通过在相对于第一喷头组63a在前后方向(输送方向)上相邻的位置，由第二喷头632在左右方向(与输送方向正交的方向)上排列多个而形成。第二喷头组63b的各第二喷头632位于与第一喷头组63a的各第一喷头631在前后方向(输送方向)上不重叠的位置。换言之，在前后方向上相邻的第一喷头组63a的各第一喷头631和第二喷头组63b的各第二喷头632在左右方向(与输送方向正交的方向)上位于不同的位置。由此，喷头63能够高密度地配置。
第一喷头组63a和第二喷头组63b沿着前后方向(输送方向)设置有多排。例如，第一喷头组63a和第二喷头组63b沿着前后方向设置有2排。此外，第一喷头组63a和第二喷头组63b的组在前后方向上可以设置1排，此外也可以设置有3排以上的多排。
下面，参照图4和图5，对检查机构7的结构进行说明。图4是表示从X轴正方向观察实施方式的检查机构7的一部分的概略结构的图。图5是表示从上侧观察图4的检查机构7的概略结构的俯视图。此外，在图5中用2点划线表示检查膜77。
检查机构7利用检查膜77(检查用介质的一个例子)接收功能液的液滴，对液滴的释放状态进行拍摄。
检查膜77是疏水性的检查膜。具体而言，检查膜77是表面(被释放液滴的面)具有疏水性的检查膜。
检查机构7包括滑动件70、检查台71、膜输送部72(介质输送部的一个例子)和拍摄部74(参照图1)。
滑动件70安装在一对第一导轨3，以沿着左右方向延伸的方式形成。滑动件70利用设置在一对第一导轨3中的至少一者的驱动部(未图示)例如线性电动机而能够沿着一对第一导轨3移动。即，滑动件70沿着前后方向移动。
滑动件70在沿着前后方向设定的释放位置、拍摄位置和待机位置间移动。
释放位置是多个喷头63的下方的位置。释放位置包括第一释放位置和第二释放位置。第一释放位置是在检查膜77接收利用从多个喷头63的后方(X轴负方向)起第一排的第一喷头组63a和第二喷头组63b释放的检查用的功能液的液滴的位置。第二释放位置是在检查膜77接收利用从多个喷头63的后方(X轴负方向)起第二排的第一喷头组63a和第二喷头组63b释放的检查用的功能液的液滴的位置。
拍摄位置是比释放位置靠前方的位置，是拍摄部74的下方的位置。待机位置是比拍摄位置靠前方的位置。
检查台71安装于滑动件70的上表面的左右方向上的中央。检查台71与滑动件70一起沿着前后方向移动。即，检查台71在沿着前后方向设定的释放位置、拍摄位置和待机位置间移动。
检查台71的左右方向上的长度，比利用描绘机构6将功能液的液滴释放到各检查膜77的释放区域A(参照图4)长。
检查台71在上表面具有吸附板(未图示)。检查台71的吸附板例如由多孔部件构成。此外，在检查台71的内部收纳有吸引装置(未图示)。检查台71利用吸引装置吸引吸附板，从而吸附检查膜77。
检查台71被分割为多个第一分割台71a和多个第二分割台71b而构成。多个第一分割台71a沿着左右方向(与输送方向正交的方向)彼此连结。多个第二分割台71b相对于多个第一分割台71a在前后方向(输送方向)上相邻地配置，且沿着左右方向(与输送方向正交的方向)彼此连结。多个第二分割台71b的接缝712位于与多个第一分割台71a的接缝711在前后方向(输送方向)上不重叠的位置。换言之，在前后方向上相邻的多个第一分割台71a和多个第二分割台71b中，各接缝711、712在左右方向(与输送方向正交的方向)上配置在不同的位置。
像这样，通过使构成检查台71的多个第一分割台71a和多个第二分割台71b的各接缝711、712在输送方向上不重叠，能够使各接缝711、712的配置位置在与输送方向正交的方向上分散。因此，能够降低从喷头63释放的功能液的液滴着落在吸附于检查台71的检查膜77中的、与各接缝711、712对应的部分的可能性。其结果是，依照实施方式的液滴释放装置1，能够抑制着落后的液滴的形状的杂乱，因此即使在喷头63高密度地配置的情况下，也能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。
膜输送部72设置在滑动件70的上方。膜输送部72在左右方向(与输送方向正交的方向)上输送接收从多个喷头63释放的检查用的液滴的检查膜77(检查用介质)。
膜输送部72包括进给轴支承部72a、进给轴72b、卷取轴支承部72c和卷取轴72d。
进给轴支承部72a安装在滑动件70的上表面。进给轴支承部72a配置在检查台71的左方。进给轴支承部72a以进给轴72b可旋转的方式对其进行支承。
进给轴72b以从进给轴支承部72a向前方突出的方式设置。进给轴72b配置在检查台71的左方。在进给轴72b安装有卷状的检查膜77。进给轴72b将检查膜77送出。
卷取轴支承部72c安装在滑动件70的上表面。卷取轴支承部72c配置在检查台71的右方。卷取轴支承部72c以卷取轴72d可旋转的方式对其进行支承。在卷取轴支承部72c设置有使卷取轴72d旋转的电动机(未图示)。此外，在进给轴支承部72a也可以设置有使进给轴72b旋转的电动机。
卷取轴72d以从卷取轴支承部72c向前方突出的方式设置。卷取轴72d配置在检查台71的右方。卷取轴72d安装于检查膜77的一端，卷取被释放了功能液的液滴的检查膜77。具体而言，卷取轴72d被传递在卷取轴支承部72c设置的电动机的旋转而旋转，卷取被释放了功能液的液滴的检查膜77。
进给轴72b和卷取轴72d在左右方向上夹着检查台71而配置。膜输送部72以将检查膜77从左方向右方输送的方式设置。
即，膜输送部72沿着与基片W的输送方向正交的方向即左右方向输送检查膜77。
拍摄部74如图1所示，经由基部74a安装于第二导轨5。在基部74a设置有使拍摄部74在左右方向上移动的移动机构(未图示)。拍摄部74安装于一对第二导轨5中的配置于前方的第二导轨5。即，拍摄部74配置在比托架62靠前方的位置。
拍摄部74拍摄被释放到检查膜77的功能液的液滴。
另外，也可以设置多个拍摄部74，利用多个拍摄部74拍摄被释放到检查膜77的功能液的液滴。在该情况下，也可以使拍摄部74不能在左右方向上移动，而固定于第二导轨5。
图2所示的控制装置8例如是计算机，包括控制部(未图示)和存储部(未图示)。存储部例如由RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)、闪存(Flash Memory)等半导体存储元件、或者硬盘、光盘等存储装置实现。
控制部包括具有CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)、RAM、输入输出端口等的微型计算机和各种电路。微型计算机的CPU通过读取并执行在存储ROM中的程序，实现基片输送机构4、描绘机构6和检查机构7的控制。
另外，程序也可以是记录在计算机可读取的存储介质中，从存储介质安装到控制装置8的存储部中的程序。作为计算机可读取的存储介质，例如有硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁光盘(MO)、存储卡等。
在液滴释放装置1中，基于拍摄部74中的功能液的液滴的拍摄结果，检查喷头63中的液滴的释放状态。
下面，对检查机构7中的液滴检查进行说明。检查机构7中的液滴检查主要基于控制装置8的控制来进行。此外，此处，说明对检查膜77释放功能液的液滴的一个例子。
检查机构7的滑动件70在不进行液滴检查的情况下，例如在利用描绘机构6对基片W释放功能液的情况下，或者液滴释放装置1未被使用的情况下等，如图1所示保持在待机位置。
在检查膜77接收从多个喷头63释放的功能液的液滴的情况下，滑动件70从待机位置向后方移动。具体而言，滑动件70如图6所示，从待机位置移动到第一释放位置，第一释放位置是检查膜77位于从多个喷头63的后方起第一排的第一喷头组63a和第二喷头组63b的下方的位置。图6是表示实施方式的滑动件70从待机位置移动到第一释放位置的状态的概略图。
检查台71和滑动件70一起从待机位置移动到第一释放位置。在检查台71位于第一释放位置的情况下，构成检查台71的多个第一分割台71a和多个第二分割台71b、与第一喷头组63a和第二喷头组63b的位置关系成为图7所示的位置关系。图7是表示第一释放位置处的多个第一分割台71a和多个第二分割台71b、与第一喷头组63a和第二喷头组63b的位置关系的一个例子的图。在图7中示出了从上侧观察检查台71的俯视图，第一喷头组63a和第二喷头组63b由虚线表示。多个第一分割台71a的接缝711位于与第一喷头组63a的相邻的2个第一喷头631之间的间隙对应的位置。此外，多个第二分割台71b的接缝712位于与第二喷头组63b的相邻的2个第二喷头632之间的间隙对应的位置。
像这样，通过使各接缝711、712与第一喷头631或者第二喷头632之间的间隙对应，能够进一步降低功能液的液滴着落在检查膜77中的与各接缝711、712对应的部分的可能性。其结果是，依照实施方式的液滴释放装置1，能够更稳定地进行液滴的释放状态的检查。
返回图6，膜输送部72在从待机位置移动到第一释放位置时，或者移动到第一释放位置之后，进行在前一次的液滴检查中被释放了功能液的液滴的检查膜77的卷取。由此，被释放了功能液的液滴的检查膜77被卷取轴72d卷取，新的检查膜77被检查台71吸附。
滑动件70在移动到第一释放位置后，控制装置8的控制部在检查膜77被吸附于检查台71的状态下，从多个喷头63对检查膜77释放功能液的液滴。具体而言，控制部对检查膜77的被吸附于多个第一分割台71a的部分从第一喷头组63a的各第一喷头631释放功能液的液滴。而且，控制部对检查膜77的被吸附于多个第二分割台71b的其他部分从第二喷头组63b的各第二喷头632释放功能液的液滴。这时，第一喷头组63a的各第一喷头631和第二喷头组63b的各第二喷头632也可以释放组成不同的功能液的液滴。
在对检查膜77释放了功能液的液滴后，滑动件70如图8所示，从第一释放位置移动到第二释放位置，第二释放位置是检查膜77位于从后方起第二排的第一喷头组63a和第二喷头组63b的下方的位置。图8是表示实施方式的滑动件70从第一释放位置移动到第二释放位置的状态的概略图。
检查台71与滑动件70一起从第一释放位置移动到第二释放位置。当检查台71位于第二释放位置时，构成检查台71的多个第一分割台71a和多个第二分割台71b与第一喷头组63a和第二喷头组63b的位置关系，与第一释放位置处的位置关系相同。
在对检查膜77释放了功能液的液滴后，滑动件70如图9所示从第二释放位置移动到拍摄位置，拍摄位置是检查膜77位于拍摄部74的下方的位置。图9是表示实施方式的滑动件70从第二释放位置移动到拍摄位置的状态的概略图。
在滑动件70移动到拍摄位置后，由拍摄部74进行被释放到检查膜77的功能液的液滴的拍摄。
当被释放到检查膜77的功能液的液滴的拍摄结束时，滑动件70如图10所示，从拍摄位置移动到待机位置。图10是表示实施方式的滑动件70从拍摄位置移动到待机位置的状态的概略图。
<效果>
下面，对实施方式的效果进行说明。
液滴释放装置(例如液滴释放装置1)包括输送机构(例如基片输送机构4)、多个释放头(例如喷头63)、检查台(例如检查台71)、介质输送部(膜输送部72)和拍摄部(例如拍摄部74)。输送机构沿着输送方向(例如前后方向)输送工件(例如基片W)。多个释放头对工件释放功能液的液滴。检查台吸附检查用介质(例如检查膜77)，该检查用介质接收从多个释放头释放的检查用的液滴。介质输送部在与输送方向正交的方向(例如左右方向)上输送检查用介质。拍摄部拍摄被释放到检查用介质的液滴。检查台具有多个第一分割台(例如第一分割台71a)和多个第二分割台(例如第二分割台71b)。多个第一分割台沿着正交的方向彼此连结。多个第二分割台相对于多个第一分割台在输送方向上相邻地配置，且沿着正交的方向彼此连结，多个第二分割台的接缝(例如接缝712)位于与多个第一分割台的接缝(例如接缝711)在输送方向上不重叠的位置。由此，液滴释放装置能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。
另外，也可以为，多个释放头具有第一释放头组(例如第一喷头组63a)和第二释放头组(例如第二喷头组63b)。也可以为，第一释放头组通过将释放液滴的第一释放头(例如第一喷头631)在正交的方向上排列多个而形成。也可以为，第二释放头组通过在相对于第一释放头组在输送方向上相邻的位置将释放液滴的第二释放头(例如第二喷头632)在正交的方向上排列多个而形成。也可以为，第二释放头组的各第二释放头位于与第一释放头组的各第一释放头在输送方向上不重叠的位置。由此，液滴释放装置即使在释放头高密度地配置的情况下，也能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。
另外，也可以为，检查台能够移动到检查用介质位于第一释放头组和第二释放头组的下方的释放位置(例如第一释放位置和第二释放位置)。也可以为，在检查台位于释放位置的情况下，多个第一分割台的接缝位于与第一释放头组的相邻的2个第一释放头之间的间隙对应的位置。也可以为，在检查台位于释放位置的情况下，多个第二分割台的接缝位于与第二释放头组的相邻的2个第二释放头之间的间隙对应的位置。由此，液滴释放装置能够更加稳定地进行液滴的释放状态的检查。
另外，也可以为，液滴释放装置还包括控制部(例如控制装置8的控制部)。也可以为，控制部执行：对检查用介质的被吸附于多个第一分割台的部分从第一释放头组的各第一释放头释放液滴的处理；和对检查用介质的被吸附于多个第二分割台的其他部分从第二释放头组的各第二释放头释放液滴的处理。由此，液滴释放装置即使在释放头高密度地配置的情况下，也能够对检查用介质的被吸附于多个第一分割台的部分和被吸附于多个第二分割台的其他部分分别适当地释放液滴。
另外，也可以为，第一释放头组的各第一释放头和上述第二释放头组的各第二释放头释放组成不同的功能液的液滴。由此，液滴释放装置能够稳定地进行组成不同的功能液的液滴的释放状态的检查。
<变形例>
下面，对本实施方式的变形例进行说明。
变形例的液滴释放装置可以将多个第一分割台71a和多个第二分割台71b的组在输送方向上相邻地配置多排。例如，多个第一分割台71a和多个第二分割台71b的组可以设置2排，与沿着前后方向设置有2排的第一喷头组63a和第二喷头组63b的组数量相同。在该情况下，释放位置不分为第一释放位置和第二释放位置。释放位置为，在由2排的多个第一分割台71a和多个第二分割台71b吸附的检查膜77接收由2排的第一喷头组63a和第二喷头组63b释放的检查用的功能液的液滴的位置。变形例的液滴释放装置在该1个释放位置对检查膜77的被吸附于多个第一分割台71a的部分从第一喷头组63a的各第一喷头631释放功能液的液滴。并且，变形例的液滴释放装置在1个释放位置对检查膜77的被吸附于多个第二分割台71b的其他部分从第二喷头组63b的各第二喷头632释放功能液的液滴。
由此，变形例的液滴释放装置能够在1个释放位置由检查膜77接收功能液的液滴，因此能够使液滴的释放状态的检查高效。
本次公开的实施方式的全部内容均为例示，而不应该认为是限定性的。实际上，上述的实施方式能够以各种方式具体实现。另外，上述的实施方式只要不脱离所附权利要求的范围及其主旨，就能够以各种方式省略、置换、变更。

Claims (7)

1.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：
沿着输送方向输送工件的输送机构；
对所述工件释放功能液的液滴的多个释放头；
吸附检查用介质的检查台，其中，所述检查用介质接收从所述多个释放头释放的检查用的所述液滴；
在与所述输送方向正交的方向上输送所述检查用介质的介质输送部；和
拍摄被释放到所述检查用介质的所述液滴的拍摄部，
所述检查台包括：
沿着所述正交的方向彼此连结的多个第一分割台；和
多个第二分割台，其相对于所述多个第一分割台在所述输送方向上相邻地配置，且沿着所述正交的方向彼此连结，所述多个第二分割台的接缝位于与所述多个第一分割台的接缝在所述输送方向上不重叠的位置。
2.如权利要求1所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述多个释放头包括：
第一释放头组，其通过将释放所述液滴的第一释放头在所述正交的方向上排列多个而形成；和
第二释放头组，其通过在相对于所述第一释放头组在所述输送方向上相邻的位置将释放所述液滴的第二释放头在所述正交的方向上排列多个而形成，各所述第二释放头位于与所述第一释放头组的各所述第一释放头在所述输送方向上不重叠的位置。
3.如权利要求2所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述检查台能够移动到所述检查用介质位于所述第一释放头组和所述第二释放头组的下方的释放位置，
在所述检查台位于所述释放位置的情况下，所述多个第一分割台的接缝位于与所述第一释放头组的相邻的2个所述第一释放头之间的间隙对应的位置，
在所述检查台位于所述释放位置的情况下，所述多个第二分割台的接缝位于与所述第二释放头组的相邻的2个所述第二释放头之间的间隙对应的位置。
4.如权利要求2或3所述的液滴释放装置，其特征在于：
还包括控制部，其执行以下处理：
对所述检查用介质的被吸附于所述多个第一分割台的部分，从所述第一释放头组的各所述第一释放头释放所述液滴的处理；和
对所述检查用介质的被吸附于所述多个第二分割台的其他部分，从所述第二释放头组的各所述第二释放头释放所述液滴的处理。
5.如权利要求2或3所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述第一释放头组的各所述第一释放头和所述第二释放头组的各所述第二释放头释放组成不同的功能液的液滴。
6.如权利要求1～3中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述多个第一分割台和所述多个第二分割台的组在所述输送方向上相邻地配置有多排。
7.一种液滴释放方法，其特征在于：
所述液滴释放方法是液滴释放装置中的液滴释放方法，
所述液滴释放装置包括：
沿着输送方向输送工件的输送机构；
对所述工件释放功能液的液滴的多个释放头；
吸附检查用介质的检查台，其中，所述检查用介质接收从所述多个释放头释放的检查用的所述液滴；
在与所述输送方向正交的方向上输送所述检查用介质的介质输送部；和
拍摄被释放到所述检查用介质的所述液滴的拍摄部，
所述检查台包括：
沿着所述正交的方向彼此连结的多个第一分割台；和
多个第二分割台，其相对于所述多个第一分割台在所述输送方向上相邻地配置，且沿着所述正交的方向彼此连结，所述多个第二分割台的接缝位于与所述多个第一分割台的接缝在所述输送方向上不重叠的位置，
所述多个释放头包括：
第一释放头组，其通过将释放所述液滴的第一释放头在所述正交的方向上排列多个而形成；和
第二释放头组，其通过在相对于所述第一释放头组在所述输送方向上相邻的位置将释放所述液滴的第二释放头在所述正交的方向上排列多个而形成，各所述第二释放头位于与所述第一释放头组的各所述第一释放头在所述输送方向上不重叠的位置，
所述液滴释放方法包括：
对所述检查用介质的被吸附于所述多个第一分割台的部分，从所述第一释放头组的各所述第一释放头释放所述液滴的步骤；和
对所述检查用介质的被吸附于所述多个第二分割台的其他部分，从所述第二释放头组的各所述第二释放头释放所述液滴的步骤。
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