JP6276022B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハー、ＦＰＤ（flat panel display）基板、メタルマスク、及びプリント基板等の外観を検査する検査装置に関するものである。

従来、カメラで撮像して得られたプリント基板の検査画像を用いてプリント基板の欠陥を検出することにより、プリント基板が不良品か否かを判別する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−０５７５０５号公報

ところで、異物の中には容易に除去できるものも存在するが、上述の検査装置においては、検査時において異物がプリント基板に付着している場合には欠陥として検出される。

本発明の目的は、異物を除去しながら検査対象物を検査することができる検査装置を提供することである。

本発明の検査装置は、平板状の検査対象物を載置するテーブル部と、前記検査対象物を所定の倍率で観察する対物レンズと、前記対物レンズを介して観察された前記検査対象物の像を撮像する撮像部と、を有する顕微鏡部と、前記顕微鏡部を支持し、前記テーブル部の一辺と平行な方向にスライド可能なフレームと、前記フレームがスライドする方向と直交する方向に延びる形状を有し、前記フレームのスライド時における前記対物レンズの前方側の近傍に配置され、前記フレームをスライドさせながら前記撮像部による撮像を行なう際に前記検査対象物に対して空気を噴出する噴出部と、前記フレームがスライドする方向と直交する方向に延びる形状を有し、前記フレームのスライド時における前記対物レンズの前方側の近傍であって、前記噴出部と前記対物レンズとの間に配置され、前記フレームをスライドさせながら前記撮像部による撮像を行なう際に前記検査対象物の表面に付着した付着物を吸引する吸引部とを備えることを特徴とする。

また、本発明の検査装置は、前記フレームが、前記テーブル部の一辺と平行な方向に往復してスライド可能であり、前記吸引部及び前記噴出部は、前記対物レンズの往方向移動時の前方側の近傍、及び前記対物レンズの復方向移動時の前方側の近傍にそれぞれ配置されることを特徴とする。

また、本発明の検査装置は、前記検査対象物が、半導体ウェーハー、ＦＰＤ基板、メタルマスク、プリント基板の何れかであることを特徴とする。

本発明の検査装置によれば、異物を除去しながら検査対象物を検査することができる。

第１の実施の形態に係る検査装置を上方及び側方から視た図である。 第１の実施の形態に係る検査装置の顕微鏡を上方及び側方から視た図である。 第１の実施の形態に係る検査装置を用いて検査する検査対象物の位置を示す図である。 第２の実施の形態に係る検査装置の顕微鏡を上方及び側方から視た図である。 第３の実施の形態に係る検査装置を上方及び側方から視た図である。 第３の実施の形態に係る検査装置を用いて検査する検査対象物の位置を示す図である。 第４の実施の形態に係る検査装置及び搬送ロボットを上方から視た図である。 第４の実施の形態に係る検査装置及び搬送ロボットを側方から視た図である。 実施の形態に係る検査装置のバキュームを示す図である。

以下、図面を参照して、第１の実施の形態に係る検査装置について、メタルマスクの外観を検査する検査装置を例に説明する。図１（ａ）は、第１の実施の形態に係る検査装置を上方から視た図であり、図１（ｂ）は、これを側方から視た図である。なお、以下の説明においてはＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照して説明する。ＸＹＺ直交座標系は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ＸＹ平面が検査装置を載置する水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。

図１（ａ）、（ｂ）に示すように、検査装置２には、検査対象物であるメタルマスク４をＸＹ平面に平行になるように載置する平板矩形状のテーブル部８、テーブル部８に載置されたメタルマスク４を検査するための顕微鏡６、顕微鏡６を支持するフレーム１０、フレーム１０を±Ｘ方向にスライド可能に支持する一対のガイドレール１２、及び直方体状の基台１４が備えられている。

ここで、フレーム１０は、顕微鏡６をメタルマスク４の表面に沿って±Ｙ方向に移動できるようにスライド可能に支持している。また、フレーム１０は、コの字形状を有しており、コの字形状の下側（−Ｚ方向側）の両端部をガイドレール１２に沿って滑動させることにより±Ｙ方向にスライドする。

図２（ａ）は、第１の実施の形態に係る顕微鏡６を上方から視た図であり、図２（ｂ）、（ｃ）は、これをそれぞれ異なる側方から視た図である。図２（ｂ）、（ｃ）に示すように、顕微鏡６は、鏡筒６ａの下側（−Ｚ方向側）の端部に所定の倍率でメタルマスク４を観察する対物レンズ６ｂを備え、鏡筒６ａの上側（＋Ｚ方向側）の端部に対物レンズ６ｂによって観察されるメタルマスク４の像を撮像するカメラ６ｃを備えている。

また、図２（ａ）に示すように、顕微鏡６は、対物レンズ６ｂの＋Ｘ方向側において、メタルマスク４に対して圧縮空気を噴出する前方ブロー２０ａ、及びメタルマスク４の表面に付着したゴミやホコリ等の異物を吸引する前方バキューム２２ａを備えている。同様に、対物レンズ６ｂの−Ｘ方向側において、後方ブロー２０ｂ、及び後方バキューム２２ｂを備えている。なお、前方ブロー２０ａ及び前方バキューム２２ａは、対物レンズ６ｂの＋Ｘ方向側の所定の位置に位置するように図示しない取付部材によってフレーム１０に取付けられている。同様に、後方ブロー２０ｂ及び後方バキューム２２ｂもまた、対物レンズ６ｂの−Ｘ方向側の所定の位置に位置するように取付部材によってフレーム１０に取付けられている。

また、前方ブロー２０ａ、後方ブロー２０ｂの下側には、圧縮空気を噴出する噴出口２８ａ、２８ｂが設けられ、前方バキューム２２ａ及び後方バキューム２２ｂの下側には、空気及び異物を吸入する吸入口３０ａ、３０ｂが設けられている。

ここで、前方ブロー２０ａ、後方ブロー２０ｂは、噴出口２８ａ、２８ｂが＋Ｙ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜している。また、前方バキューム２２ａ、後方バキューム２２ｂは、吸入口３０ａ、３０ｂが−Ｙ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜している。このため、前方ブロー２０ａと前方バキューム２２ａ、並びに後方ブロー２０ｂと後方バキューム２２ｂとは、それぞれＹ軸方向において対向するように配置される。なお、前方ブロー２０ａ、前方バキューム２２ａは、フレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせながら検査を行う場合に用いられ、後方ブロー２０ｂ、後方バキューム２２ｂは、フレーム１０を−Ｘ方向にスライドさせながら検査を行う場合に用いられる。

また、前方ブロー２０ａ、後方ブロー２０ｂには、図示しないコンプレッサにおいて生成された圧縮空気を送り込むための図示しない供給管がそれぞれ接続されている。また、前方バキューム２２ａ、後方バキューム２２ｂには、図示しない排出装置からの吸引力により、前方バキューム２２ａ、後方バキューム２２ｂから吸入された空気及び異物を排出するための図示しない排出管がそれぞれ接続されている。

次に、図面を参照して第１の実施の形態に係る検査装置２の処理について説明する。まず、メタルマスク４がテーブル部８に移載されると、検査装置２の図示しない制御部は、図３に示すように、メタルマスク４の原点位置Ｏ１の直上に顕微鏡６の位置を合わせる。

次に、制御部は、図示しない駆動部によりコンプレッサ及び排出装置を起動させると共に、顕微鏡６の進行方向である＋Ｘ方向側の前方ブロー２０ａ及び前方バキューム２２ａを駆動させる制御を行う。例えば、コンプレッサにおいて生成された圧縮空気を前方ブロー２０ａのみに送り込み、後方ブロー２０ｂに送り込まないようにする。また、排出装置による吸入を前方バキューム２２ａのみによって行い、後方バキューム２２ｂによる吸入を行わないようにする。

次に、コンプレッサにより生成された圧縮空気が供給管を介して前方ブロー２０ａに送り込まれると、噴出口２８ａから圧縮空気が噴出され、メタルマスク４の表面に吹付けられる。これにより、メタルマスク４の表面に付着した異物がメタルマスク４の表面から剥離される。また、排出装置が作動すると、前方バキューム２２ａによってメタルマスク４の表面近傍の空気が吸引され、メタルマスク４の表面から剥離された異物がメタルマスク４の表面近傍の空気と共に吸入口３０ａに吸入される。そして、吸入された異物は排出管を介して図示しない集塵装置に集塵される。

次に、制御部は、噴出口２８ａからの圧縮空気の噴出、及び吸入口３０ａへの異物吸入が行われた状態でフレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせる。そして、制御部は、図３に示すように、顕微鏡６を原点位置Ｏ１からＯ２の位置に向けて移動させながら、対物レンズ６ｂによって観察されるメタルマスク４の像をカメラ６ｃにより撮像する。このため、メタルマスク４のＯ１〜Ｏ２間の表面に付着した異物は、カメラ６ｃによって撮像される前に除去される。なお、カメラ６ｃによって撮像された画像の画像データは図示しない記憶部に記憶される。

次に、顕微鏡６の位置がＯ２の位置まで移動し、メタルマスク４におけるＯ１〜Ｏ２の間の撮像が終了すると、制御部は、噴出口２８ａからの圧縮空気の噴出、及び吸入口３０ａへの異物吸入を中止し、フレーム１０に沿って−Ｙ方向に顕微鏡６をスライドさせ、顕微鏡６の位置をＯ２の位置からＯ３の位置に移動させる。

顕微鏡６がＯ３の位置に移動すると、制御部は、顕微鏡６の進行方向である−Ｘ方向側の後方ブロー２０ｂ及び後方バキューム２２ｂを駆動させる制御を行う。そして、後方ブロー２０ｂの噴出口２８ｂから圧縮空気を噴出させてメタルマスク４の表面の異物を剥離させ、剥離された異物が後方バキューム２２ｂの吸入口３０ｂから吸入される。そして、制御部は、噴出口２８ｂからの圧縮空気の噴出、及び吸入口３０ｂへの異物吸入が行われた状態でフレーム１０を−Ｘ方向にスライドさせ、顕微鏡６をＯ３の位置からＯ４の位置に向けて移動させながらメタルマスク４の像を撮像する。これにより、メタルマスク４のＯ３〜Ｏ４間の表面に付着した異物は、カメラ６ｃによって撮像される前に除去される。

以下、制御部は、顕微鏡６の位置をＯｎの位置に移動させ、メタルマスク４の撮像が完了するまで同様の処理を繰り返す。

次に、画像データが読み出され、図示しないレビュー機を用いて、記憶部に記憶された画像データに基づく画像に異物像が含まれるか否か、即ち、メタルマスク４の表面になお異物が付着しているか否かの確認が行われる。

確認の結果、メタルマスク４の表面になお異物が付着している場合、図示しないリペア装置を用いてメタルマスク４の表面に付着している異物が除去される。

この第１の実施の形態に係る検査装置によれば、対物レンズの近傍にブロー及びバキュームを備えることにより、異物を除去しながらメタルマスクを検査することができる。このため、レビュー機によって確認する対象となる欠陥数を減らすことができ、レビュー時間を削減することができる。また、メタルマスクの表面に付着した異物の数を減らすことにより、検査後に異物を除去する時間を削減することができる。なお、レビュー機による確認は、メタルマスク４の表面に付着した異物の有無に限定されない。例えば、メタルマスク４のパターンに欠陥があるか否か、メタルマスク４の表面に傷があるか否かを確認することもできる。

次に、第２の実施の形態に係る検査装置について説明する。この第２の実施の形態に係る検査装置は、第１の実施の形態では、Ｙ軸方向において対向するように配置されているブローとバキュームをＸ軸方向において対向するように配置ようにしたものである。従って、第１の実施の形態と同様の構成についての詳細な説明は省略し、異なる部分のみについて説明する。また、第１の実施の形態と同一の構成には同一の符号を付して説明する。

図４（ａ）は、第２の実施の形態に係る顕微鏡３８を上方から視た図であり、図４（ｂ）、（ｃ）は、これをそれぞれ異なる側方から視た図である。図４（ｂ）、（ｃ）に示すように、顕微鏡３８は、鏡筒３８ａの下側（−Ｚ方向側）の端部に対物レンズ３８ｂを備え、鏡筒３８ａの上側（＋Ｚ方向側）の端部にカメラ３８ｃを備えている。

また、図４（ａ）に示すように、顕微鏡３８は、対物レンズ３８ｂの＋Ｘ方向側において、Ｙ軸方向に延びる一対の前方ブロー４０ａ、及び前方バキューム４２ａを備えている。同様に、対物レンズ３８ｂの−Ｘ方向側に、Ｙ軸方向に延びる一対の後方ブロー４０ｂ、及び後方バキューム４２ｂを備えている。なお、前方ブロー４０ａ及び前方バキューム４２ａは、対物レンズ３８ｂの＋Ｘ方向側の所定の位置に位置するように図示しない取付部材によってフレーム１０に取付けられている。同様に、後方ブロー４０ｂ及び後方バキューム４２ｂもまた、対物レンズ３８ｂの−Ｘ方向側の所定の位置に位置するように取付部材によってフレーム１０に取付けられている。ここで、前方ブロー４０ａは前方バキューム４２ａよりも＋Ｘ方向側に配置され、後方ブロー４０ｂは後方バキューム４２ｂよりも−Ｘ方向側に配置されている。

また、前方ブロー４０ａ、後方ブロー４０ｂの下側には、Ｙ軸方向に延びるスリット状の噴出口４８ａ、４８ｂが設けられ、前方バキューム４２ａ、後方バキューム４２ｂの下側には、Ｙ軸方向に延びるスリット状の吸入口５０ａ、５０ｂが設けられている。

ここで、前方ブロー４０ａは、噴出口４８ａが−Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜しており、前方バキューム４２ａは、吸入口５０ａが＋Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜している。同様に、前方ブロー４０ｂは、噴出口４８ｂが＋Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜しており、後方バキューム４２ｂは、吸入口５０ｂが−Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜している。このため、前方ブロー４０ａと前方バキューム４２ａ、並びに後方ブロー４０ｂと後方バキューム４２ｂとは、それぞれＸ軸方向において対向するように配置される。なお、前方ブロー４０ａ及び前方バキューム４２ａは、フレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせながら検査を行う場合に用いられ、後方ブロー４０ｂ及び後方バキューム４２ｂは、フレーム１０を−Ｘ方向にスライドさせながら検査を行う場合に用いられる。

また、前方ブロー４０ａ、後方ブロー４０ｂには、供給管がそれぞれ接続されている。また、前方バキューム４２ａ、後方バキューム４２ｂには、排出管がそれぞれ接続されている。

次に、図面を参照して第２の実施の形態に係る検査装置の処理について説明する。まず、メタルマスク４がテーブル部８に移載されると、制御部は、メタルマスク４の原点位置Ｏ１（図３参照）の直上に顕微鏡３８の位置を合わせる。

次に、制御部は、コンプレッサ及び排出装置を起動させると共に、顕微鏡３８の進行方向である＋Ｘ方向側の前方ブロー４０ａ及び前方バキューム４２ａを駆動する操作を行う。

次に、コンプレッサにより生成された圧縮空気が供給管を介して前方ブロー４０ａに送り込まれると、噴出口４８ａから圧縮空気が噴出される。噴出された圧縮空気はメタルマスク４の表面においてＹ軸方向に幅広く吹付けられ、メタルマスク４の表面に付着した異物がメタルマスク４の表面から剥離される。また、排出装置が作動すると、前方バキューム４２ａによってメタルマスク４の表面近傍の空気が吸引され、メタルマスク４の表面から剥離された異物がメタルマスク４の表面近傍の空気と共に吸入口５０ａに吸入される。そして、吸入された異物は排出管を介して集塵装置に集塵される。

次に、制御部は、噴出口４８ａからの圧縮空気の噴出、及び吸入口５０ａへの異物吸入が行われた状態でフレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせる。そして、制御部は、顕微鏡３８を原点位置Ｏ１からＯ２の位置に向けて移動させながら（図３参照）、対物レンズ３８ｂによって観察されるメタルマスク４の像をカメラ３８ｃにより撮像する。このため、メタルマスク４の表面に付着した異物は、カメラ３８ｃによって撮像される前に除去される。なお、以下の処理については、第１の実施の形態と同様であるため説明を省略する。

この第２の実施の形態に係る検査装置によれば、対物レンズの近傍にブロー及びバキュームを備えることにより、異物を除去しながらメタルマスクを検査することができる。また、ブロー、バキュームは、Ｙ軸方向に延びるスリット状の噴出口、吸入口を有するため、メタルマスク付着した異物を広い範囲で除去することができる。

次に、第３の実施の形態に係る検査装置について説明する。この第３の実施の形態に係る検査装置は、第１の実施の形態で用いられる顕微鏡６をフレーム１０に複数固定したものである。また、第１の実施の形態では、Ｙ軸方向において対向するように配置されているブローとバキュームをＸ軸方向において対向するように配置ようにしたものである。従って、第１の実施の形態と同様の構成についての詳細な説明は省略し、異なる部分のみについて説明する。また、第１の実施の形態と同一の構成には同一の符号を付して説明する。

図５（ａ）は、第３の実施の形態に係る検査装置を上方から視た図であり、図５（ｂ）は、これを側方から視た図である。図５（ａ）、（ｂ）に示すように、検査装置２００のフレーム１０には、顕微鏡５６Ａ、顕微鏡５６Ｂ、顕微鏡５６Ｃが固定されている。

また、顕微鏡５６Ａ、顕微鏡５６Ｂ、顕微鏡５６Ｃは、それぞれ鏡筒の下側（−Ｚ方向側）の端部に対物レンズを備え、鏡筒の上側（＋Ｚ方向側）の端部にカメラを備えている。

また、顕微鏡５６Ａ、顕微鏡５６Ｂ、顕微鏡５６Ｃの対物レンズの＋Ｘ方向側には、Ｙ軸方向に延びる一対のブロー６０、及びバキューム６２が配置されている。なお、前方ブロー６０及び前方バキューム６２は、顕微鏡５６Ａ、顕微鏡５６Ｂ、顕微鏡５６Ｃの対物レンズの＋Ｘ方向側の所定の位置に位置するように図示しない取付部材によってフレーム１０に取付けられている。また、ブロー６０及びバキューム６２のＹ軸方向の長さは、テーブル部８のＹ軸方向の幅と略同等の長さを有している。また、ブロー６０はバキューム６２よりも＋Ｘ方向側に配置されている。

また、ブロー６０の下側には、Ｙ軸方向に延びるスリット状の噴出口６０ａが設けられ、バキューム６２の下側には、Ｙ軸方向に延びるスリット状の吸入口６２ａが設けられている。

ここで、ブロー６０は、噴出口６０ａが−Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜しており、バキューム６２は、吸入口６２ａが＋Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜している。このため、ブロー６０とバキューム６２とは、それぞれＸ軸方向において対向するように配置される。

また、ブロー６０には、図示しない供給管が接続され、バキューム６２の上側には、図示しない排出管が接続されている。

次に、図面を参照して第３の実施の形態に係る検査装置２００の処理について説明する。まず、メタルマスク４がテーブル部８に移載されると、制御部は、図６に示すように、メタルマスク４の原点位置Ｏ１Ａ、Ｏ１Ｂ、Ｏ１Ｃの直上に顕微鏡５６Ａ、顕微鏡５６Ｂ、顕微鏡５６Ｃの位置を合わせ、コンプレッサ及び排出装置を起動させる。

コンプレッサにより生成された圧縮空気が供給管を介してブロー６０に送り込まれると、噴出口６０ａから圧縮空気が噴出される。噴出された圧縮空気はメタルマスク４の表面においてＹ軸方向に幅広く吹付けられ、メタルマスク４の表面に付着した異物がメタルマスク４の表面から剥離される。また、排出装置が作動すると、バキューム６２によってメタルマスク４の表面近傍の空気が吸引され、メタルマスク４の表面から剥離された異物がメタルマスク４の表面近傍の空気と共に吸入口６２ａに吸入される。そして、吸入された異物は排出管を介して集塵装置に集塵される。

次に、制御部は、噴出口６０ａからの圧縮空気の噴出、及び吸入口６２ａへの異物吸入が行われた状態でフレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせる。そして、制御部は、顕微鏡５６Ａ、顕微鏡５６Ｂ、顕微鏡５６Ｃを原点位置Ｏ１Ａ、Ｏ１Ｂ、Ｏ１ＣからＯ２Ａ、Ｏ２Ｂ、Ｏ２Ｃの位置に向けて移動させながら（図６参照）、対物レンズによって観察されるメタルマスク４の像をカメラにより撮像する。このため、メタルマスク４の表面に付着した異物は、カメラによって撮像される前に除去される。

この第３の実施の形態に係る検査装置によれば、対物レンズの近傍にブロー及びバキュームを備えることにより、異物を除去しながらメタルマスクを検査することができる。また、複数の顕微鏡を備えることにより、フレームをＸ軸方向に１回移動させるだけでメタルマスクの表面全体を撮像することができるため、検査時間を削減することができる。また、ブロー及びバキュームの長さがメタルマスクを載置するテーブル部のＹ軸方向の幅と略同等の長さであるため、ブロー及びバキュームを＋Ｘ方向に１回走査させるだけでメタルマスクの表面全体に亘って異物を除去することができる。

次に、第４の実施の形態に係る検査装置について説明する。この第４の実施の形態に係る検査装置は、第１の実施の形態において対物レンズの近傍に備えられるブローとバキュームをメタルマスク４の搬入経路に備え、メタルマスクが搬入される際にメタルマスクの表面に付着した異物を除去するようにしたものである。また、第１の実施の形態では、Ｙ軸方向において対向するように配置されているブローとバキュームをＸ軸方向において対向するように配置ようにしたものである。従って、第１の実施の形態と同様の構成についての詳細な説明は省略し、異なる部分のみについて説明する。また、第１の実施の形態と同一の構成には同一の符号を付して説明する。

図７（ａ）は、第４の実施の形態に係る検査装置を上方から視た図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の検査装置にメタルマスクを搬送する搬送ロボットを上方から視た図である。また、図８（ａ）、（ｂ）は、検査装置及び搬送ロボットを側方から視た図である。図７（ａ）、（ｂ）、及び図８（ａ）、（ｂ）に示すように、検査装置２０２の＋Ｘ方向には、搬送ロボット７４が配置され、検査装置２０２と搬送ロボット７４の間の＋Ｚ方向側には、Ｙ軸方向に延びる一対のブロー８０及びバキューム８２が配置されている。なお、ここでは図示されていないが、ブロー８０とバキューム８２は、それぞれ所定の方法で検査装置２０２に取付けられている。

また、ブロー８０の下側（−Ｚ方向側）には、Ｙ軸方向に延びるスリット状の噴出口８０ａが設けられ、バキューム８２の下側には、Ｙ軸方向に延びるスリット状の吸入口８２ａが設けられている。

ここで、ブロー８０は、噴出口８０ａが−Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜しており、バキューム８２は、吸入口８２ａが＋Ｘ方向側に向くように所定の傾斜角度で傾斜している。このため、ブロー８０とバキューム８２は、Ｘ軸方向において対向するように配置される。

また、ブロー８０の上側（＋Ｚ方向側）には、図示しない供給管が接続され、バキューム８２の上側には、図示しない排出管が接続されている。

また、搬送ロボット７４は、搬送ロボット７４に搬入するメタルマスク４を載置する載置部７１、及び載置部７１に載置されたメタルマスク４をテーブル部８に移載するためのアーム７２を備えている。

次に、図面を参照して第４の実施の形態に係る検査装置２０２の処理について説明する。まず、メタルマスク４が搬送ロボット７４の載置部７１に載置されると、検査装置２０２は、コンプレッサを起動させ、コンプレッサにより生成された圧縮空気を供給管を介してブロー８０に送り込む。ブロー８０に送り込まれた圧縮空気は、噴出口８０ａから噴出され、ブロー８０の下側に吹き付けられる。また、制御部は、排出装置を起動させ、バキューム８２による吸引を開始する。吸引が開始されると、バキューム８２の下側の空気が吸入口８２ａに吸入される。

次に、搬送ロボット７４は、アーム７２を−Ｘ方向に伸ばし、載置部７１を−Ｘ方向に移動させる。これにより、載置部７１に載置されたメタルマスク４がブロー８０、及びバキューム８２の位置に向けて移動する。

メタルマスク４がブロー８０の噴出口８０ａ、及びバキューム８２の吸入口８２ａの直下に移動すると、噴出口８０ａから噴出された圧縮空気がメタルマスク４の表面に幅広く吹付けられる。これにより、メタルマスク４の表面に付着した異物がメタルマスク４の表面から剥離される。また、メタルマスク４の表面から剥離された異物がメタルマスク４の表面近傍の空気と共に吸入口８２ａに吸入される。そして、吸入された異物は排出管を介して集塵装置に集塵される。

次に、異物が除去されたメタルマスク４がテーブル部８に移載されると、検査装置２０２は、メタルマスク４の表面に沿って顕微鏡６を移動させながら撮像し、メタルマスク４の外観検査を行う。

この第４の実施の形態に係る検査装置によれば、メタルマスクの搬入経路にブロー及びバキュームを備えることにより、メタルマスクを検査する前に異物を除去することができる。また、Ｙ軸方向に延びるスリット状の噴出口、及び吸入口を備えることにより、メタルマスクの搬入時においてメタルマスクの表面全面に亘って異物を除去することができる。

なお、上述の第１、第２の実施の形態において、ブロー及びバキュームを対物レンズの片側にのみ備えるようにしてもよい。例えば、ブロー及びバキュームを対物レンズの＋Ｘ方向側のみに備え、制御部は、フレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせながら、ブローの噴出口からの圧縮空気の噴出、及びバキュームの吸入口への異物吸入を行い、顕微鏡のカメラによりメタルマスク４を撮影する。

そして、図３に示すように、顕微鏡の位置がＯ２の位置まで移動し、メタルマスク４におけるＯ１〜Ｏ２の間の撮像が終了した場合、制御部は、フレーム１０を−Ｘ方向にスライドさせながら、フレーム１０に沿って−Ｙ方向に顕微鏡をスライドさせ、顕微鏡の位置をＯ２の位置からＯ４の位置に移動させる。顕微鏡がＯ４の位置に移動すると、制御部は、ブローの噴出口からの圧縮空気の噴出、及びバキュームの吸入口への異物吸入を継続したまま、フレーム１０を＋Ｘ方向にスライドさせながら、メタルマスク４におけるＯ４〜Ｏ３の間の撮像を行う。

このように、＋Ｘ方向にのみスライドさせながらメタルマスク４を撮像する場合、対物レンズの−Ｘ方向側にブロー及びバキュームを備えていなくてもメタルマスク４の表面に付着した異物を除去しながらメタルマスクを検査することができる。

また、上述の実施の形態においては、ブロー及びバキュームの両方を備える場合を例に説明しているが、バキュームのみを備え、ブローを備えないようにしてもよい。この場合においても、バキュームを用いてメタルマスク４の表面に付着した異物を吸入し、異物を除去しながらメタルマスクを検査することができる。また、第１、第２の実施の形態において、フレーム１０を一方向にのみスライドさせながらメタルマスク４を撮像する場合に、対物レンズの片側にバキュームのみを備え、ブローを備えないようにしてもよい。

また、上述の第２〜４の実施の形態において、ブローとバキュームの位置を入れ替えてもよい。この場合、バキュームによって吸引できなかった異物をブローによりメタルマスク４の外に排除することができる。

また、上述の実施の形態において、図９に示すように、バキュームの両側面に排出管を接続し、吸入口から吸入された空気を両側面に接続された排出管から排出するようにしてもよい。この場合、吸入口から吸入された方向と直交する方向の両側から吸引を行うことによりバキュームの内部に竜巻を発生させることができ、バキュームの内部に発生した竜巻を利用することによりバキュームの吸引力を高めることができる。従って、メタルマスクの表面に付着した異物を効果的に除去することができる。

また、上述の実施の形態において、カメラの撮影方式は、順次区分領域を撮影する方式でもよく、スキャナーにより帯状の領域をスキャンする方式でもよい。

また、上述の実施の形態においては、メタルマスクを検査対象物とする場合を例に説明したが、半導体ウェーハー、ＦＰＤ基板、プリント基板等を検査対象物としてもよい。

２…検査装置、４…メタルマスク、６…顕微鏡、６ｂ…対物レンズ、６ｃ…カメラ、７…顕微鏡部、８…テーブル部、１０…フレーム、１２…ガイドレール、１４…基台、２０ａ…前方ブロー、２０ｂ…後方ブロー、２２ａ…前方バキューム、２２ｂ…後方バキューム、２８ａ…噴出口、２８ｂ…噴出口、３０ａ…吸入口、３０ｂ…吸入口

Claims (3)

1. 平板状の検査対象物を載置するテーブル部と、
   前記検査対象物を所定の倍率で観察する対物レンズと、前記対物レンズを介して観察された前記検査対象物の像を撮像する撮像部と、を有する顕微鏡部と、
   前記顕微鏡部を支持し、前記テーブル部の一辺と平行な方向にスライド可能なフレームと、
   前記フレームがスライドする方向と直交する方向に延びる形状を有し、前記フレームのスライド時における前記対物レンズの前方側の近傍に配置され、前記フレームをスライドさせながら前記撮像部による撮像を行なう際に前記検査対象物に対して空気を噴出する噴出部と、
   前記フレームがスライドする方向と直交する方向に延びる形状を有し、前記フレームのスライド時における前記対物レンズの前方側の近傍であって、前記噴出部と前記対物レンズとの間に配置され、前記フレームをスライドさせながら前記撮像部による撮像を行なう際に前記検査対象物の表面に付着した付着物を吸引する吸引部とを備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記フレームは、前記テーブル部の一辺と平行な方向に往復してスライド可能であり、
   前記吸引部及び前記噴出部は、前記対物レンズの往方向移動時の前方側の近傍、及び前記対物レンズの復方向移動時の前方側の近傍にそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記検査対象物は、半導体ウェーハー、ＦＰＤ基板、メタルマスク、プリント基板の何れかであることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。

Images