JP2022152751A - 液滴吐出装置および液滴吐出方法 - Google Patents

液滴吐出装置および液滴吐出方法 Download PDF

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Abstract

【課題】液滴の吐出状態の検査を安定的に行うこと。【解決手段】液滴吐出装置は、搬送機構と、複数の吐出ヘッドと、検査台と、媒体送り部と、撮像部とを備える。搬送機構は、ワークを搬送方向に沿って搬送する。複数の吐出ヘッドは、ワークに機能液の液滴を吐出する。検査台は、複数の吐出ヘッドから吐出される検査用の液滴を受ける検査用媒体を吸着する。媒体送り部は、検査用媒体を搬送方向に直交する方向に送る。撮像部は、検査用媒体に吐出された液滴を撮像する。検査台は、複数の第１分割台と、複数の第２分割台とを有する。複数の第１分割台は、直交する方向に沿って互いに連結する。複数の第２分割台は、複数の第１分割台に対して搬送方向に隣接して配置され、直交する方向に沿って互いに連結し、継ぎ目が複数の第１分割台の継ぎ目とは搬送方向において重ならない位置に位置する。【選択図】図４

Description

本開示は、液滴吐出装置および液滴吐出方法に関する。
特許文献１には、吐出ヘッドから検査フィルムに機能液の液滴を吐出し、検査カメラによって検査フィルムに吐出された液滴を撮像し、液滴の吐出状態を検査する液滴吐出装置が開示されている。また、特許文献２には、検査フィルムを吸着する検査台が互いに連結する複数の分割台により構成されることが開示されている。
特開２０１３－２１０２６号公報 特開２００７－２３７１２５号公報
本開示は、液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことができる技術を提供する。
本開示の一態様による液滴吐出装置は、搬送機構と、複数の吐出ヘッドと、検査台と、媒体送り部と、撮像部とを備える。搬送機構は、ワークを搬送方向に沿って搬送する。複数の吐出ヘッドは、ワークに機能液の液滴を吐出する。検査台は、複数の吐出ヘッドから吐出される検査用の液滴を受ける検査用媒体を吸着する。媒体送り部は、検査用媒体を搬送方向に直交する方向に送る。撮像部は、検査用媒体に吐出された液滴を撮像する。検査台は、複数の第１分割台と、複数の第２分割台とを有する。複数の第１分割台は、直交する方向に沿って互いに連結する。複数の第２分割台は、複数の第１分割台に対して搬送方向に隣接して配置され、直交する方向に沿って互いに連結し、継ぎ目が複数の第１分割台の継ぎ目とは搬送方向において重ならない位置に位置する。
本開示によれば、液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことができるという効果を奏する。
図１は、実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す左側面図である。 図２は、実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。 図３は、実施形態に係るノズルヘッドの配置の一例を示す図である。 図４は、実施形態に係る検査機構の一部をＸ軸正方向から見た概略構成を示す図である。 図５は、図４の検査機構を上側から見た概略構成を示す平面図である。 図６は、実施形態に係るスライダが待機位置から第１吐出位置に移動した状態を示す概略図である。 図７は、第１吐出位置における複数の第１分割台および複数の第２分割台と、第１ノズルヘッド群および第２ノズルヘッド群との位置関係の一例を示す図である。 図８は、実施形態に係るスライダが第１吐出位置から第２吐出位置に移動した状態を示す概略図である。 図９は、実施形態に係るスライダが第２吐出位置から撮像位置に移動した状態を示す概略図である。 図１０は、実施形態に係るスライダが撮像位置から待機位置に移動した状態を示す概略図である。
以下、添付図面を参照して、本願の開示する液滴吐出装置および液滴吐出方法の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態により開示される液滴吐出装置および液滴吐出方法が限定されるものではない。
ところで、検査フィルムは、検査台に吸着された状態で吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴を受ける。検査台が互いに連結する複数の分割台により構成される構造においては、吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴が、検査フィルムのうち検査台を構成する複数の分割台の継ぎ目に対応する部分に着弾することがある。機能液の液滴が検査フィルムのうち複数の分割台の継ぎ目に対応する部分に着弾すると、着弾後の液滴の形状が乱れるため、検査カメラにおける機能液の液滴の撮像結果の精度が低下する。その結果、液滴の吐出状態を安定的に検査することが困難となる。
近年の液滴吐出装置では、吐出ヘッドの配置が高密度化されている。吐出ヘッドの配置が高密度化された場合、吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴が検査フィルムのうち複数の分割台の継ぎ目に対応する部分に着弾する可能性が高くなることから、液滴の吐出状態の検査の安定性がより低下するおそれがある。そこで、吐出ヘッドの配置が高密度化された場合であっても、液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことが期待されている。
以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする直交座標系を示す。
Ｘ軸方向は、ワークである基板Ｗが搬送される搬送方向である。Ｙ軸方向は、搬送方向に直交する方向である。Ｚ軸方向は、鉛直方向に平行な方向である。
また、ここでは、Ｘ軸正方向を前方とし、Ｘ軸負方向を後方とする前後方向を規定し、Ｙ軸正方向を右方とし、Ｙ軸負方向を左方とする左右方向を規定する。また、Ｚ軸正方向を上方とし、Ｚ軸負方向を下方とする上下方向を規定する。Ｚ軸負方向は、鉛直方向である。
実施形態に係る液滴吐出装置１について、図１および図２を参照し説明する。図１は、実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す左側面図である。図２は、実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す平面図である。
液滴吐出装置１は、基板Ｗを搬送方向に沿って搬送しながら、インクジェット方式で基板Ｗに描画を行う描画装置である。基板Ｗは、例えば、フラットパネルディスプレイに用いられる基板Ｗである。
液滴吐出装置１は、チャンバルーム１００に収容される。チャンバルーム１００には、不活性ガス（例えば、窒素ガス）が供給される。液滴吐出装置１は、不活性ガス雰囲気で機能液を基板Ｗに吐出し、基板Ｗに描画を行う。なお、液滴吐出装置１は、チャンバルーム１００に収容されない装置であってもよい。
機能液には、インクの他に、正孔注入層（ＨＩＬ：Hole Injection Layer）や、正孔輸送層（ＨＴＬ：Hole Transport Layer）などを形成する液が含まれる。
チャンバルーム１００には、制御装置８などが収容される電気室１０１が併設される。また、チャンバルーム１００には、機能液が貯留される図示しない機能液タンクを交換するための交換室１０２が設けられる。
液滴吐出装置１は、架台２と、第１ガイドレール３と、基板搬送機構４（搬送機構の一例）と、第２ガイドレール５と、描画機構６と、検査機構７と、制御装置８とを備える。
架台２は、基板Ｗの搬送方向に沿って延びるように形成される。すなわち、架台２は、前後方向に沿って延びるように形成される。
第１ガイドレール３は、架台２の上面に配置される。第１ガイドレール３は、左右方向に並んで一対配置される。各第１ガイドレール３は、前後方向に沿って延びるように形成される。
基板搬送機構４は、ワークステージ４０と、ステージ回転部４１と、スライダ４２とを備える。基板搬送機構４は、基板Ｗ（ワーク）を搬送方向（前後方向）に沿って搬送する。
ワークステージ４０は、例えば、真空吸着ステージであり、基板Ｗを吸着する。ステージ回転部４１は、ワークステージ４０の下方に設けられ、上下方向と平行な軸を中心にワークステージ４０を回動させる。すなわち、ワークステージ４０は、ステージ回転部４１によって上下方向と平行な軸を中心に回動自在に支持される。
なお、ワークステージ４０の上方には、ワークステージ４０上の基板Ｗのアライメントマークを撮像するワークアライメントカメラ（不図示）が設けられている。ステージ回転部４１は、ワークアライメントカメラによって撮像された画像に基づいて上下方向と平行な軸を中心に回動し、基板Ｗの位置を補正する。
スライダ４２は、ステージ回転部４１の下方に設けられ、ステージ回転部４１、およびワークステージ４０を支持する。スライダ４２は、一対の第１ガイドレール３に取り付けられ、一対の第１ガイドレール３のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（不図示）、例えば、リニアモータによって一対の第１ガイドレール３に沿って移動可能である。
すなわち、ワークステージ４０、およびステージ回転部４１は、スライダ４２が一対の第１ガイドレール３に沿って前後方向に移動することで、スライダ４２と共に前後方向に移動する。これにより、基板Ｗが前後方向に沿って搬送される。
なお、基板搬送機構４は、浮上式の搬送機構であってもよい。浮上式の搬送機構は、例えば、基板Ｗの端を下方から支持し、基板Ｗに向けて下方から圧縮空気を吹き付けて基板Ｗを水平に保持しつつ、基板Ｗを移動させる。
第２ガイドレール５は、前後方向に並んで一対配置される。各第２ガイドレール５は、左右方向に沿って延びるように形成される。各第２ガイドレール５は、例えば、門型に形成される支持部５ａの上面に取り付けられる。
一対の第２ガイドレール５は、例えば、架台２よりも左方に延びるように設けられる。架台２よりも左方に延びる一対の第２ガイドレール５の間には、メンテナンス部９が配置される。一対の第２ガイドレール５は、基板Ｗに描画を行う描画位置と、メンテナンス部９によってメンテナンスを行うメンテナンス位置との間で、描画機構６が左右方向に移動可能となるように設けられる。
メンテナンス部９は、後述するノズルヘッド６３のメンテナンスを行い、ノズルヘッド６３の吐出不良などを解消、または防止する。
描画機構６は、左右方向に沿って複数配置される。例えば、描画機構６は、左右方向に沿って３個配置される。なお、描画機構６の数は、これに限られることない。各描画機構６は、キャリッジプレート６０と、キャリッジ回動部６１と、キャリッジ６２と、複数のノズルヘッド６３（吐出ヘッドの一例）とを備える。
キャリッジプレート６０は、一対の第２ガイドレール５に取り付けられ、一対の第２ガイドレール５のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（不図示）、例えば、リニアモータによって一対の第２ガイドレール５に沿って、左右方向に移動可能である。なお、複数のキャリッジプレート６０を一体として左右方向に移動可能としてもよい。
キャリッジ回動部６１は、キャリッジプレート６０の下方に配置される。キャリッジ回動部６１は、前後方向におけるキャリッジプレート６０の中央に取り付けられる。キャリッジ回動部６１の下端には、キャリッジ６２が取り付けられる。キャリッジ回動部６１は、キャリッジ６２を上下方向と平行な軸を中心に回動自在に支持する。
なお、キャリッジ回動部６１は、ワークステージ４０に設けられたキャリッジアライメントカメラ（不図示）によって撮像された画像に基づいて、上下方向と平行な軸を中心にキャリッジを回動させる。これにより、キャリッジ６２の位置が補正される。
複数のノズルヘッド６３は、キャリッジ６２に設けられる。各ノズルヘッド６３は、図示しない供給チューブを介して図示しない機能液タンクに接続され、機能液タンクから供給チューブを介して機能液が供給され、基板Ｗ（ワーク）に機能液の液滴を吐出する。各ノズルヘッド６３は、複数種類の機能液を吐出することができる。
複数のノズルヘッド６３は、キャリッジ６２の下面において、左右方向に所定の間隔で配置されており、また、前後方向に所定の間隔で配置されている。
図３は、実施形態に係るノズルヘッド６３の配置の一例を示す図である。図３には、キャリッジ６２を上側から見た平面図が示されており、ノズルヘッド６３を設けた配置位置が破線により示されている。キャリッジ６２は、左右方向に延びる長辺と前後方向に延びる短辺とを有する長方形状に形成される。キャリッジ６２の下面には、左右方向及び前後方向に隣接する複数のノズルヘッド６３が配置されている。
複数のノズルヘッド６３は、第１ノズルヘッド群６３ａ（第１吐出ヘッド群の一例）と、第２ノズルヘッド群６３ｂ（第２吐出ヘッド群の一例）とを有する。以下では、第１ノズルヘッド群６３ａに属するノズルヘッド６３を第１ノズルヘッド６３１（第１吐出ヘッドの一例）と記載し、第２ノズルヘッド群６３ｂに属するノズルヘッド６３を第２ノズルヘッド６３２（第２吐出ヘッドの一例）と記載する。第１ノズルヘッド群６３ａは、第１ノズルヘッド６３１が左右方向（搬送方向に直交する方向）に複数配列されて形成される。第２ノズルヘッド群６３ｂは、第１ノズルヘッド群６３ａに対して前後方向（搬送方向）に隣接する位置において、第２ノズルヘッド６３２が左右方向（搬送方向に直交する方向）に複数配列されて形成される。第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２は、第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１とは前後方向（搬送方向）において重ならない位置に位置する。言い換えると、前後方向に隣接する第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１および第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２が左右方向（搬送方向と直交する方向）において異なる位置に配置される。これにより、ノズルヘッド６３の配置が高密度化される。
第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂは、前後方向（搬送方向）に沿って複数列設けられる。例えば、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂは、前後方向に沿って２列設けられる。なお、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂの組みは、前後方向において１列であってもよく、また、３列以上の複数列設けられてもよい。
次に、図４および図５を参照し、検査機構７の構成について説明する。図４は、実施形態に係る検査機構７の一部をＸ軸正方向から見た概略構成を示す図である。図５は、図４の検査機構７を上側から見た概略構成を示す平面図である。なお、図５では、検査フィルム７７を２点鎖線で示す。
検査機構７は、検査フィルム７７（検査用媒体の一例）によって機能液の液滴を受けて、液滴の吐出状態を撮像する。
検査フィルム７７は、撥水性の検査フィルムである。具体的には、検査フィルム７７は、表面（液滴が吐出される面）が撥水性を有する検査フィルムである。
検査機構７は、スライダ７０と、検査台７１と、フィルム送り部７２（媒体送り部の一例）と、撮像部７４（図１参照）とを備える。
スライダ７０は、一対の第１ガイドレール３に取り付けられ、左右方向に沿って延びるように形成される。スライダ７０は、一対の第１ガイドレール３のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（不図示）、例えば、リニアモータによって一対の第１ガイドレール３に沿って移動可能である。すなわち、スライダ７０は、前後方向に沿って移動する。
スライダ７０は、前後方向に沿って設定される吐出位置、撮像位置、および待機位置間を移動する。
吐出位置は、複数のノズルヘッド６３の下方となる位置である。吐出位置は、第１吐出位置と、第２吐出位置とを含む。第１吐出位置は、複数のノズルヘッド６３の後方（Ｘ軸負方向）から１列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂによって吐出される検査用の機能液の液滴を検査フィルム７７で受ける位置である。第２吐出位置は、複数のノズルヘッド６３の後方（Ｘ軸負方向）から２列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂによって吐出される検査用の機能液の液滴を検査フィルム７７で受ける位置である。
撮像位置は、吐出位置よりも前方の位置であり、撮像部７４の下方となる位置である。待機位置は、撮像位置よりも前方の位置である。
検査台７１は、左右方向におけるスライダ７０の上面中央に取り付けられる。検査台７１は、スライダ７０と共に前後方向に沿って移動する。すなわち、検査台７１は、前後方向に沿って設定される吐出位置、撮像位置、および待機位置間を移動する。
左右方向における検査台７１の長さは、描画機構６によって機能液の液滴が各検査フィルム７７に吐出される吐出エリアＡ（図４参照）よりも長い。
検査台７１は、上面に吸着板（不図示）を有する。検査台７１の吸着板は、例えば、多孔質の部材によって構成される。また、検査台７１の内部には、吸引装置（不図示）が収容される。検査台７１は、吸引装置によって吸着板を吸引することで、検査フィルム７７を吸着する。
検査台７１は、複数の第１分割台７１ａと、複数の第２分割台７１ｂとに分割されて構成される。複数の第１分割台７１ａは、左右方向（搬送方向に直交する方向）に沿って互いに連結する。複数の第２分割台７１ｂは、複数の第１分割台７１ａに対して前後方向（搬送方向）に隣接して配置され、左右方向（搬送方向に直交する方向）に沿って互いに連結する。複数の第２分割台７１ｂの継ぎ目７１２は、複数の第１分割台７１ａの継ぎ目７１１とは前後方向（搬送方向）において重ならない位置に位置する。言い換えると、前後方向に隣接する複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂでは、各継ぎ目７１１、７１２が、左右方向（搬送方向と直交する方向）において異なる位置に配置される。
このように、検査台７１を構成する複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂの各継ぎ目７１１、７１２を搬送方向において重ならせないことにより、各継ぎ目７１１、７１２の配置位置を搬送方向と直交する方向に分散させることができる。そのため、ノズルヘッド６３から吐出される機能液の液滴が検査台７１に吸着される検査フィルム７７のうち各継ぎ目７１１、７１２に対応する部分に着弾する可能性を低減することができる。その結果、実施形態に係る液滴吐出装置１によれば、着弾後の液滴の形状の乱れを抑制することができることから、ノズルヘッド６３の配置が高密度化された場合であっても、液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことができる。
フィルム送り部７２は、スライダ７０の上方に設けられる。フィルム送り部７２は、複数のノズルヘッド６３から吐出される検査用の液滴を受ける検査フィルム７７（検査用媒体）を左右方向（搬送方向に直交する方向）に送る。
フィルム送り部７２は、繰出軸支持部７２ａと、繰出軸７２ｂと、巻取軸支持部７２ｃと、巻取軸７２ｄとを備える。
繰出軸支持部７２ａは、スライダ７０の上面に取り付けられる。繰出軸支持部７２ａは、検査台７１の左方に配置される。繰出軸支持部７２ａは、繰出軸７２ｂを回転可能に支持する。
繰出軸７２ｂは、繰出軸支持部７２ａから前方に向けて突出するように設けられる。繰出軸７２ｂは、検査台７１の左方に配置される。繰出軸７２ｂには、ロール状の検査フィルム７７が取り付けられる。繰出軸７２ｂは、検査フィルム７７を繰り出す。
巻取軸支持部７２ｃは、スライダ７０の上面に取り付けられる。巻取軸支持部７２ｃは、検査台７１の右方に配置される。巻取軸支持部７２ｃは、巻取軸７２ｄを回転可能に支持する。巻取軸支持部７２ｃには、巻取軸７２ｄを回転させるモータ（不図示）が設けられる。なお、繰出軸支持部７２ａにも、繰出軸７２ｂを回転させるモータが設けられてもよい。
巻取軸７２ｄは、巻取軸支持部７２ｃから前方に向けて突出するように設けられる。巻取軸７２ｄは、検査台７１の右方に配置される。巻取軸７２ｄは、検査フィルム７７の一端が取り付けられ、機能液の液滴が吐出された検査フィルム７７を巻き取る。具体的には、巻取軸７２ｄは、巻取軸支持部７２ｃに設けられたモータの回転が伝達されて回転し、機能液の液滴が吐出された検査フィルム７７を巻き取る。
繰出軸７２ｂ、および巻取軸７２ｄは、左右方向において検査台７１を挟むように配置される。フィルム送り部７２は、検査フィルム７７を左方から右方に向けて送るように設けられる。
すなわち、フィルム送り部７２は、基板Ｗの搬送方向に対して直交する方向である左右方向に沿って検査フィルム７７を送る。
撮像部７４は、図１に示すように、第２ガイドレール５にベース７４ａを介して取り付けられる。ベース７４ａには、撮像部７４を左右方向に移動させる移動機構（不図示）が設けられる。撮像部７４は、一対の第２ガイドレール５のうち、前方に配置された第２ガイドレール５に取り付けられる。すなわち、撮像部７４は、キャリッジ６２よりも前方に配置される。
撮像部７４は、検査フィルム７７に吐出された機能液の液滴を撮像する。
なお、撮像部７４を複数設け、検査フィルム７７に吐出された機能液の液滴を複数の撮像部７４によって撮像してもよい。この場合、撮像部７４を左右方向に移動可能とはせずに、第２ガイドレール５に固定してもよい。
図２に示す制御装置８は、例えば、コンピュータであり、制御部（不図示）と記憶部（不図示）とを備える。記憶部は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ（Flash Memory）などの半導体メモリ素子、または、ハードディスク、光ディスクなどの記憶装置によって実現される。
制御部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ、入出力ポート等を含むマイクロコンピュータや各種回路を含む。マイクロコンピュータのＣＰＵは、ＲＯＭに記憶されているプログラムを読み出して実行することにより、基板搬送機構４や、描画機構６や、検査機構７の制御を実現する。
なお、プログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されており、記憶媒体から制御装置８の記憶部にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。
液滴吐出装置１では、撮像部７４における機能液の液滴の撮像結果に基づいて、ノズルヘッド６３における液滴の吐出状態が検査される。
次に、検査機構７における液滴検査について説明する。検査機構７における液滴検査は、主として、制御装置８による制御に基づいて行われる。なお、ここでは、検査フィルム７７に機能液の液滴が吐出される一例について説明する。
検査機構７のスライダ７０は、液滴検査を行わない場合、例えば、描画機構６によって基板Ｗに機能液を吐出している場合や、液滴吐出装置１が使用されていない場合などには、図１に示すように待機位置に保持される。
複数のノズルヘッド６３から吐出される機能液の液滴を検査フィルム７７で受ける場合には、スライダ７０は、待機位置から後方に向けて移動する。具体的には、スライダ７０は、図６に示すように、待機位置から、検査フィルム７７が複数のノズルヘッド６３の後方から１列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂの下方に位置する第１吐出位置に移動する。図６は、実施形態に係るスライダ７０が待機位置から第１吐出位置に移動した状態を示す概略図である。
検査台７１は、スライダ７０とともに待機位置から第１吐出位置に移動する。検査台７１が第１吐出位置に位置する場合、検査台７１を構成する複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂと、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂとの位置関係は、図７に示す位置関係となる。図７は、第１吐出位置における複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂと、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂとの位置関係の一例を示す図である。図７では、検査台７１を上側から見た平面図が示されており、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂが破線により示されている。複数の第１分割台７１ａの継ぎ目７１１は、第１ノズルヘッド群６３ａの隣り合う２つの第１ノズルヘッド６３１の間の隙間に対応する位置に位置する。また、複数の第２分割台７１ｂの継ぎ目７１２は、第２ノズルヘッド群６３ｂの隣り合う２つの第２ノズルヘッド６３２の間の隙間に対応する位置に位置する。
このように、各継ぎ目７１１、７１２を第１ノズルヘッド６３１または第２ノズルヘッド６３２の間の隙間と対応させることにより、機能液の液滴が検査フィルム７７のうち各継ぎ目７１１、７１２に対応する部分に着弾する可能性をより低減することができる。その結果、実施形態に係る液滴吐出装置１によれば、液滴の吐出状態の検査をより安定的に行うことができる。
図６に戻り、フィルム送り部７２は、待機位置から第１吐出位置に移動する際、または第１吐出位置に移動した後に、前回の液滴検査で機能液の液滴が吐出された検査フィルム７７の巻き取りを行う。これにより、機能液の液滴が吐出された検査フィルム７７が巻取軸７２ｄによって巻き取られ、新たな検査フィルム７７が検査台７１によって吸着される。
スライダ７０が第１吐出位置に移動した後に、制御装置８の制御部は、検査台７１に検査フィルム７７が吸着された状態で、複数のノズルヘッド６３から検査フィルム７７に機能液の液滴を吐出する。具体的には、制御部は、検査フィルム７７の複数の第１分割台７１ａに吸着された部分に対して第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１から機能液の液滴を吐出する。そして、制御部は、検査フィルム７７の複数の第２分割台７１ｂに吸着された他の部分に対して第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２から機能液の液滴を吐出する。このとき、第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１および第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２は、組成が異なる機能液の液滴を吐出してもよい。
検査フィルム７７に機能液の液滴が吐出された後に、スライダ７０は、図８に示すように、第１吐出位置から、検査フィルム７７が後方から２列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂの下方に位置する第２吐出位置に移動する。図８は、実施形態に係るスライダ７０が第１吐出位置から第２吐出位置に移動した状態を示す概略図である。
検査台７１は、スライダ７０とともに第１吐出位置から第２吐出位置に移動する。検査台７１が第２吐出位置に位置する場合、検査台７１を構成する複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂと第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂとの位置関係は、第１吐出位置における位置関係と同様である。
検査フィルム７７に機能液の液滴が吐出された後に、スライダ７０は、図９に示すように、第２吐出位置から、検査フィルム７７が撮像部７４の下方に位置する撮像位置に移動する。図９は、実施形態に係るスライダ７０が第２吐出位置から撮像位置に移動した状態を示す概略図である。
スライダ７０が撮像位置に移動した後に、撮像部７４によって検査フィルム７７に吐出された機能液の液滴の撮像が行われる。
検査フィルム７７に吐出された機能液の液滴の撮像が終了すると、スライダ７０は、図１０に示すように、撮像位置から待機位置に移動する。図１０は、実施形態に係るスライダ７０が撮像位置から待機位置に移動した状態を示す概略図である。
＜効果＞
次に、実施形態の効果について説明する。
液滴吐出装置（例えば、液滴吐出装置１）は、搬送機構（例えば、基板搬送機構４）と、複数の吐出ヘッド（例えば、ノズルヘッド６３）と、検査台（例えば、検査台７１）と、媒体送り部（フィルム送り部７２）と、撮像部（例えば、撮像部７４）とを備える。搬送機構は、ワーク（例えば、基板Ｗ）を搬送方向（例えば、前後方向）に沿って搬送する。複数の吐出ヘッドは、ワークに機能液の液滴を吐出する。検査台は、複数の吐出ヘッドから吐出される検査用の液滴を受ける検査用媒体（例えば、検査フィルム７７）を吸着する。媒体送り部は、検査用媒体を搬送方向に直交する方向（例えば、左右方向）に送る。撮像部は、検査用媒体に吐出された液滴を撮像する。検査台は、複数の第１分割台（例えば、第１分割台７１ａ）と、複数の第２分割台（例えば、第２分割台７１ｂ）とを有する。複数の第１分割台は、直交する方向に沿って互いに連結する。複数の第２分割台は、複数の第１分割台に対して搬送方向に隣接して配置され、直交する方向に沿って互いに連結し、継ぎ目（例えば、継ぎ目７１２）が複数の第１分割台の継ぎ目（例えば、継ぎ目７１１）とは搬送方向において重ならない位置に位置する。これにより、液滴吐出装置は、液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことができる。
また、複数の吐出ヘッドは、第１吐出ヘッド群（例えば、第１ノズルヘッド群６３ａ）と、第２吐出ヘッド群（例えば、第２ノズルヘッド群６３ｂ）とを有してもよい。第１吐出ヘッド群は、液滴を吐出する第１吐出ヘッド（例えば、第１ノズルヘッド６３１）が直交する方向に複数配列されて形成されてもよい。第２吐出ヘッド群は、第１吐出ヘッド群に対して搬送方向に隣接する位置において液滴を吐出する第２吐出ヘッド（例えば、第２ノズルヘッド６３２）が直交する方向に複数配列されて形成されてもよい。第２吐出ヘッド群の各第２吐出ヘッドが第１吐出ヘッド群の各第１吐出ヘッドとは搬送方向において重ならない位置に位置してもよい。これにより、液滴吐出装置は、吐出ヘッドの配置が高密度化された場合であっても、液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことができる。
また、検査台は、検査用媒体が第１吐出ヘッド群および第２吐出ヘッド群の下方に位置する吐出位置（例えば、第１吐出位置および第２吐出位置）に移動可能であってもよい。複数の第１分割台の継ぎ目は、検査台が吐出位置に位置する場合に、第１吐出ヘッド群の隣り合う２つの第１吐出ヘッドの間の隙間に対応する位置に位置してもよい。複数の第２分割台の継ぎ目は、検査台が吐出位置に位置する場合に、第２吐出ヘッド群の隣り合う２つの第２吐出ヘッドの間の隙間に対応する位置に位置してもよい。これにより、液滴吐出装置は、液滴の吐出状態の検査をより安定的に行うことができる。
また、液滴吐出装置は、制御部（例えば、制御装置８の制御部）をさらに備えてもよい。制御部は、検査用媒体の複数の第１分割台に吸着された部分に対して第１吐出ヘッド群の各第１吐出ヘッドから液滴を吐出する処理と、検査用媒体の複数の第２分割台に吸着された他の部分に対して第２吐出ヘッド群の各第２吐出ヘッドから液滴を吐出する処理とを実行してもよい。これにより、液滴吐出装置は、吐出ヘッドの配置が高密度化された場合であっても、検査用媒体の複数の第１分割台に吸着された部分および複数の第２分割台に吸着された他の部分それぞれに対して適切に液滴を吐出することができる。
また、第１吐出ヘッド群の各第１吐出ヘッドおよび前記第２吐出ヘッド群の各第２吐出ヘッドは、組成が異なる機能液の液滴を吐出してもよい。これにより、液滴吐出装置は、組成が異なる機能液の液滴の吐出状態の検査を安定的に行うことができる。
＜変形例＞
次に、本実施形態の変形例について説明する。
変形例に係る液滴吐出装置は、複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂの組みを、搬送方向に隣接して複数列配置してもよい。例えば、複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂの組みは、前後方向に沿って２列設けられた第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂの組みと同数である２列設けられてもよい。この場合、吐出位置は、第１吐出位置および第２吐出位置に分かれない。吐出位置は、２列の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂによって吐出される検査用の機能液の液滴を２列の複数の第１分割台７１ａおよび複数の第２分割台７１ｂによって吸着された検査フィルム７７で受ける位置である。変形例に係る液滴吐出装置は、かかる１つの吐出位置において、検査フィルム７７の複数の第１分割台７１ａに吸着された部分に対して第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１から機能液の液滴を吐出する。そして、変形例に係る液滴吐出装置は、１つの吐出位置において、検査フィルム７７の複数の第２分割台７１ｂに吸着された他の部分に対して第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２から機能液の液滴を吐出する。
これにより、変形例に係る液滴吐出装置は、１つの吐出位置において、検査フィルム７７で機能液の液滴を受けることができることから、液滴の吐出状態の検査を効率化することができる。
今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。実に、上記した実施形態は多様な形態で具現され得る。また、上記の実施形態は、添付の請求の範囲およびその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
１ 液滴吐出装置
４ 基板搬送機構
７ 検査機構
８ 制御装置
６３ ノズルヘッド
６３ａ 第１ノズルヘッド群
６３ｂ 第２ノズルヘッド群
７１ 検査台
７１ａ 第１分割台
７１ｂ 第２分割台
７７ 検査フィルム
６３１ 第１ノズルヘッド
６３２ 第２ノズルヘッド
７１１、７１２ 継ぎ目
Ｗ 基板

Claims (7)

  1. ワークを搬送方向に沿って搬送する搬送機構と、
    前記ワークに機能液の液滴を吐出する複数の吐出ヘッドと、
    前記複数の吐出ヘッドから吐出される検査用の前記液滴を受ける検査用媒体を吸着する検査台と、
    前記検査用媒体を前記搬送方向に直交する方向に送る媒体送り部と、
    前記検査用媒体に吐出された前記液滴を撮像する撮像部と
    を備え、
    前記検査台は、
    前記直交する方向に沿って互いに連結する複数の第１分割台と、
    前記複数の第１分割台に対して前記搬送方向に隣接して配置され、前記直交する方向に沿って互いに連結し、継ぎ目が前記複数の第１分割台の継ぎ目とは前記搬送方向において重ならない位置に位置する複数の第２分割台と
    を有する、液滴吐出装置。
  2. 前記複数の吐出ヘッドは、
    前記液滴を吐出する第１吐出ヘッドが前記直交する方向に複数配列されて形成された第１吐出ヘッド群と、
    前記第１吐出ヘッド群に対して前記搬送方向に隣接する位置において前記液滴を吐出する第２吐出ヘッドが前記直交する方向に複数配列されて形成され、各前記第２吐出ヘッドが前記第１吐出ヘッド群の各前記第１吐出ヘッドとは前記搬送方向において重ならない位置に位置する第２吐出ヘッド群と
    を有する、請求項１に記載の液滴吐出装置。
  3. 前記検査台は、前記検査用媒体が前記第１吐出ヘッド群および前記第２吐出ヘッド群の下方に位置する吐出位置に移動可能であり、
    前記複数の第１分割台の継ぎ目は、前記検査台が前記吐出位置に位置する場合に、前記第１吐出ヘッド群の隣り合う２つの前記第１吐出ヘッドの間の隙間に対応する位置に位置し、
    前記複数の第２分割台の継ぎ目は、前記検査台が前記吐出位置に位置する場合に、前記第２吐出ヘッド群の隣り合う２つの前記第２吐出ヘッドの間の隙間に対応する位置に位置する、請求項２に記載の液滴吐出装置。
  4. 前記検査用媒体の前記複数の第１分割台に吸着された部分に対して前記第１吐出ヘッド群の各前記第１吐出ヘッドから前記液滴を吐出する処理と、前記検査用媒体の前記複数の第２分割台に吸着された他の部分に対して前記第２吐出ヘッド群の各前記第２吐出ヘッドから前記液滴を吐出する処理とを実行する制御部
    をさらに備える、請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
  5. 前記第１吐出ヘッド群の各前記第１吐出ヘッドおよび前記第２吐出ヘッド群の各前記第２吐出ヘッドは、組成が異なる機能液の液滴を吐出する、請求項２～４のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。
  6. 前記複数の第１分割台および前記複数の第２分割台の組みは、前記搬送方向に隣接して複数列配置される、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。
  7. ワークを搬送方向に沿って搬送する搬送機構と、
    前記ワークに機能液の液滴を吐出する複数の吐出ヘッドと、
    前記複数の吐出ヘッドから吐出される検査用の前記液滴を受ける検査用媒体を吸着する検査台と、
    前記検査用媒体を前記搬送方向に直交する方向に送る媒体送り部と、
    前記検査用媒体に吐出された前記液滴を撮像する撮像部と
    を備え、
    前記検査台は、
    前記直交する方向に沿って互いに連結する複数の第１分割台と、
    前記複数の第１分割台に対して前記搬送方向に隣接して配置され、前記直交する方向に沿って互いに連結し、継ぎ目が前記複数の第１分割台の継ぎ目とは前記搬送方向において重ならない位置に位置する複数の第２分割台と
    を有し、
    前記複数の吐出ヘッドは、
    前記液滴を吐出する複数の第１吐出ヘッドが前記直交する方向に配列されて形成された第１吐出ヘッド群と、
    前記第１吐出ヘッド群に対して前記搬送方向に隣接する位置において前記液滴を吐出する複数の第２吐出ヘッドが前記直交する方向に配列されて形成され、各前記第２吐出ヘッドが前記第１吐出ヘッド群の各前記第１吐出ヘッドとは前記搬送方向において重ならない位置に位置する第２吐出ヘッド群と
    を有する液滴吐出装置における液滴吐出方法であって、
    前記検査用媒体の前記複数の第１分割台に吸着された部分に対して前記第１吐出ヘッド群の各前記第１吐出ヘッドから前記液滴を吐出する工程と、
    前記検査用媒体の前記複数の第２分割台に吸着された他の部分に対して前記第２吐出ヘッド群の各前記第２吐出ヘッドから前記液滴を吐出する工程と
    を含む、液滴吐出方法。
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