CN115104053B - 集成光模块 - Google Patents

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Abstract

本发明的集成光模块具备：安装部(23)，具有射出光信号(33)的发光元件(13)；安装部(22)，与安装部(23)并排设置，并具有射出波长与光信号(33)不同的光信号(32)的发光元件(12)；以及光合波器(5)，具有仅透过光信号(33)的波长的滤光片(93)、反射透过滤光片(93)后的光信号(33)的反射镜(10)、以及与滤光片(93)并排设置并仅透过光信号(32)的波长且反射由反射镜反射后的光信号(33)并且与透过后的光信号(32)进行合波的滤光片(92)，将发光元件(13)在安装部(23)中安装在比相对于光信号(33)的射出方向而言的宽度方向中央靠发光元件(12)侧的位置，将发光元件(12)在安装部(22)中安装在比相对于光信号(32)的射出方向而言的宽度方向中央靠发光元件(13)侧的位置。

Description

集成光模块
技术领域
本申请涉及集成光模块。
背景技术
在光传送系统中，为了应对近年来通信容量的急剧增大，而广泛采用将多个波长信号汇集在一根光纤来收发光信号的波分复用光传送方式。集成光模块使用在这样的波分复用光传送方式中，将波长不同的多个发光元件、和将从多个发光元件射出的多个光信号合波并且合波到一根光纤的光合波器内置于同一封装中，具有向一根光纤汇集来发送的功能。例如，如专利文献1的光模块那样，由滤光片和反射镜反复反射，与其他通道的光信号合波，并从光合波器射出。由光合波器合波并射出的光信号通过聚光透镜聚光在一根光纤，以能够向光纤传送网发送的状态从集成光模块射出。
为了实现大容量光传送系统，需要在传送装置内安装多个集成光模块，为了提高安装密度而强烈要求小型的集成光模块。集成光模块的尺寸很大程度上取决于内置于封装的部件中最大的保持器的尺寸。在保持器的尺寸中，长度(光信号的行进方向)尺寸由发光元件的间隔决定。这是由于在对光信号进行合波时，光信号在粘贴于保持器的滤光片与反射镜之间一边反射一边前进，但由反射镜反射而到达相邻通道的滤光片时，必须位于与该相邻通道的光信号相同的位置。因此，若发光元件的间隔变大，则需要加长保持器的长度以便返回到与邻接通道的光信号相同的位置。另外，由于集成光模块的高性能化、低功耗化，而在发光元件的安装基板不仅安装发光元件，还一起安装监视器以及电容器等部件，导致安装基板大型化，由此产生发光元件的间隔的增大。
专利文献1：日本特开2018-72674号公报(0015段，图4)
因此，以往的集成光模块存在如下问题：随着近年来通信容量的急剧增大，高性能化、低功耗化导致安装基板的大型化，由此产生发光元件的间隔的增大，光合波器与保持器一起变大，导致集成光模块也大型化。
发明内容
本申请公开用于解决上述那样的课题的技术，目的在于提供一种通过光合波器的小型化实现的小型的集成光模块。
本申请所公开的集成光模块的特征在于，具备：第一安装部，具有从第一发光点射出第一光信号的第一发光元件；第二安装部，与上述第一安装部并排设置，并具有从第二发光点射出波长与上述第一光信号不同的第二光信号的第二发光元件；第一准直透镜，将从上述第一发光点射出的第一光信号转换为平行光；第二准直透镜，将从上述第二发光点射出的第二光信号转换为平行光；以及光合波部，具有第一滤光片、表面反射镜以及第二滤光片，上述第一滤光片仅透过由上述第一准直透镜转换为平行光的上述第一光信号的波长，上述表面反射镜反射透过上述第一滤光片后的上述第一光信号，上述第二滤光片与上述第一滤光片并排设置，并且仅透过由上述第二准直透镜转换为平行光的上述第二光信号的波长，并且反射由上述表面反射镜反射后的上述第一光信号并且与上述透过后的上述第二光信号进行合波，上述第一发光元件在上述第一安装部中安装在比相对于第一光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠上述第二发光元件侧的位置，且上述第二发光元件在上述第二安装部中安装在比相对于第二光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠上述第一发光元件侧的位置。
根据本申请，通过将相邻的发光元件作为对以接近的方式安装在彼此的安装基板上，而能够实现光合波器的小型化，并且内置光合波器的集成光模块也能够实现小型化。
附图说明
图1是表示实施方式1所涉及的集成光模块的整体构造的示意图。
图2是表示实施方式1所涉及的集成光模块的内部结构的俯视图。
图3是表示实施方式1所涉及的集成光模块的安装部的结构的俯视图。
图4是表示以往的集成光模块的内部结构的俯视图。
图5是用于说明实施方式1所涉及的集成光模块的动作的流程图。
图6是用于说明实施方式1所涉及的集成光模块的安装部的制造方法的图。
图7是表示实施方式1所涉及的集成光模块的安装部的其他结构的俯视图。
图8是表示实施方式1所涉及的集成光模块的安装部的其他结构的俯视图。
图9是表示实施方式2所涉及的集成光模块的光合波器的结构的俯视图。
图10是表示实施方式3所涉及的集成光模块的光合波器的结构的俯视图。
具体实施方式
实施方式1
图1是表示实施方式1所涉及的集成光模块101的整体构造的示意图。图2是表示集成光模块101的内部结构的俯视图。图3是表示集成光模块101的安装部的结构的俯视图。
如图1所示，实施方式1所涉及的集成光模块101由如下部分构成：安装部2i，搭载将电信号转换为光信号3i的发光元件1i；准直透镜4i，将从发光元件1i射出的光信号3i转换为平行光；光合波器5，对光信号3i进行合波；封装6，收容上述部分；光纤8；以及聚光透镜7，将光合波器射出光聚光于光纤8。此外，后缀i是表示集成光模块的通道编号(沟道编号)的数字，在本例中为0、1、2或3(i＝0、1、2、3)。
如图2所示，光合波器5由如下部分构成：滤光片9i，透过通道i的波长的光信号3i，反射除此以外的波长的光信号；作为表面反射镜的反射镜10，位于与滤光片9i相反侧的位置，反射所有波长的光信号；以及作为背面反射镜的反射镜19，在滤光片9i侧位于滤光片91与滤光片92之间；以及保持器11，在平行的两个面上固定滤光片9i和反射镜10、19。反射镜10、19通过在玻璃基板蒸镀电介质多层膜而形成。
如图3所示，安装部2i具有：发光元件1i的发光点13i，产生与电信号12i对应的光信号3i；监视器PD(Photodiode：光电二极管)14i，用于监视发光元件1i的发光量；终端电阻15i，用于根据电信号12i对发光元件1i的调制器施加电压；AC(Alternating Current：交流电)耦合用电容器16i，用于防止电信号12i的DC(Direct Current：直流电)成分向终端电阻15i流动而消耗功率；以及金线17，用于将发光元件以及监视器PD的电极与安装基板的电极电连接。
安装部2i通过一对作为第一安装部的安装部23和作为第二安装部的安装部22、以及一对作为第三安装部的安装部21和作为第四安装部的安装部20，分别构成作为第一发光元件对的发光元件对18b以及作为第二发光元件对的18a。发光元件对18a是发光元件10和发光元件11相邻的对，发光元件10安装在比安装基板220的中心靠发光元件11侧的位置，另外，发光元件11安装在比安装基板221的中心靠发光元件10侧的位置，发光元件的相邻的对以接近的方式安装在彼此的安装基板上。同样，发光元件对18b也是发光元件12和发光元件13相邻的对，发光元件12安装在比安装基板222的中心靠发光元件13侧的位置，另外，发光元件13安装在比安装基板223的中心靠发光元件12侧的位置，发光元件的相邻的对以接近的方式安装在彼此的安装基板上。
在图4示出有表示以往的集成光模块的内部结构的俯视图。在图4中，安装部2i为了比较而具有与实施方式1的情况相同的尺寸。在实施方式1中，对于发光元件1i的发光点13i的位置，从以往的安装基板22i的相对于射出方向而言的宽度方向中心以1/4宽度的量，将发光元件对18a以及18b各自的发光元件1i安装于作为发光元件对的相邻的发光元件侧。若将该情况下的发光元件对18b的各个发光元件1312彼此的发光点133132间的距离设为d1，则如图2所示，发光元件对18a和发光元件对18b的相邻的发光元件11与发光元件12的发光点131132间的距离成为3d1。因此，发光元件对18a和发光元件对18b的两端的发光元件10与发光元件13的发光点130133间的距离成为5d1。另一方面，在以往例中，如图4所示，发光元件1i的发光点13i之间的距离分别成为2d1，安装部20和安装部23的两端的发光元件10与发光元件13的发光点130133间的距离成为6d1。
接下来，对实施方式1所涉及的集成光模块101的动作进行说明。图5是用于说明集成光模块101的动作的流程图。
首先，从发光元件13射出的光信号33通过准直透镜43转换为平行光后，入射到光合波器5，并透过滤光片93后，由反射镜10反射，到达滤光片92(步骤S501)。
接着，从发光元件12射出的光信号32通过准直透镜42转换为平行光后，入射到光合波器5，并透过滤光片92后，与光信号33合波(步骤S502)。这里，保持器11的光信号传播方向的长度被设计成由反射镜反射后的光信号33与透过了滤光片92的光信号32的位置一致。
接下来，合波后的光信号33、32由反射镜10以及反射镜19反复反射，到达滤光片91(步骤S503)。
接着，从发光元件11射出的光信号31通过准直透镜41转换为平行光后，入射到光合波器5，并透过滤光片91后，与光信号33、32合波(步骤S504)。这里，若将发光元件对18b的发光元件1312彼此的发光点133132间的距离设为d1，则发光元件对18a和发光元件对18b的相邻的发光元件11与发光元件12的发光点131132间的距离成为3d1，因此来自发光元件对18b的发光元件13、12的光信号33、32的在滤光片91处的到达位置(反射位置)、与来自构成另一个发光元件对18a的发光元件11的光信号31透过滤光片91的位置一致。
接下来，合波后的光信号33、32、31由反射镜10反射，到达滤光片90(步骤S505)。
接着，从发光元件10射出的光信号30通过准直透镜40转换为平行光后，入射到光合波器5，并透过滤光片90后，与光信号33、32、31合波(步骤S506)。这里，构成发光元件对18a的发光元件10与发光元件11之间的距离也成为d1，因此来自发光元件对18b的发光元件13、12的光信号33、32以及来自发光元件对18a的发光元件11的光信号31的在滤光片90处的到达位置(反射位置)、与光信号30从构成另一个发光元件对18a的发光元件10的发光点130透过的位置一致。
最后，合波后的光信号33、32、31、30从光合波器5射出(步骤S507)。从光合波器5射出的光信号通过聚光透镜7聚光于一根光纤8，以能够向光纤传送网发送的状态从集成光模块射出。
如上述那样，为了对光信号3i进行合波，光信号必须一边由反射镜10、19和滤光片9i反复反射，一边与相邻的光信号的位置一致，光合波器5的保持器11在光信号的入射方向上的长度与光信号间的距离成比例。
因此，在本实施方式1中，相邻的发光元件彼此的发光点间的距离为d1，是以往的集成光模块的2d1的一半，能够使保持器11的在光信号的入射方向上的长度成为一半。另外，对于保持器11的在相对于光信号的入射方向而言的横向上的横向宽度，在实施方式1中从发光点130到发光点133的横向宽度为5d1，相对于此，在以往例中为6d1，因此光合波器的横向宽度也能够实现小型化。
此外，在本实施方式1中，在发光元件对18a和发光元件对18b中，需要发光元件形成于光信号的射出方向左侧的安装基板220、222、和形成于光信号的射出方向右侧的安装基板221、223这两种安装基板。因此，在实施方式1中，能够使用图6所示的安装基板22。图6的(a)是俯视图(表面)，图6的(b)是侧视图，图6的(c)是仰视图(背面)。如图6所示，安装基板22在表面以及背面分别在相对于光信号的射出方向左右对称的位置形成有终端电阻15R和15L、发光元件搭载部20R和20L、电容器搭载部21R和21L，监视器PD搭载部22R和22L。
在用作安装基板220、222的情况下，使用安装基板22的背面侧，而在发光元件搭载部20L搭载发光元件10、12，在电容器搭载部21L搭载电容器160、162、在监视器PD搭载部22L搭载监视器PD140、142。另外，在用作安装基板221、223的情况下，使用安装基板22的表面侧，而在发光元件搭载部20R搭载发光元件11、13、在电容器搭载部21R搭载电容器161、163、在监视器PD搭载部22R搭载监视器PD141、143。
由此，能够用一种安装基板22以发光元件接近的方式构成对，而实现光合波器的小型化、集成光模块的小型化。并且，由于能够共用构成对的发光元件的安装基板，所以能够减少部件的种类，增加每一种安装基板的数量，因此能够降低安装基板的制造成本，实现低成本化。
图7是表示实施方式1所涉及的集成光模块101的安装部的其他结构的俯视图。如图7所示，在集成光模块101的发光元件对18a中，发光点130在发光元件10中安装在比相对于光信号30的射出方向而言的宽度方向中央靠发光点131侧的位置，发光点131在发光元件11中安装在比相对于光信号31的射出方向而言的宽度方向中央靠发光点130侧的位置。同样，在发光元件对18b中，发光点132在发光元件12中安装在比相对于光信号32的射出方向而言的宽度方向中央靠发光点133侧的位置，发光点133在发光元件13中安装在比相对于光信号33的射出方向而言的宽度方向中央靠发光点132侧的位置。
由此，构成发光元件对18a的发光元件10的发光点130与发光元件11的发光点131之间的距离、以及构成发光元件对18b的发光元件12的发光点132与发光元件13的发光点133之间的距离都成为d2，由于d2＜d1，所以能够使光合波器进一步小型化。
图8也是表示实施方式1所涉及的集成光模块101的安装部的其他结构的俯视图。如图8所示，在集成光模块101的发光元件对18a中，形成有安装基板22a，该安装基板22a搭载有集成发出两个波长不同的光信号的发光点130、131而成的一个发光元件1a、监视器PD140、141、以及电容器160、161。同样，在发光元件对18b中，形成有安装基板22b，该安装基板22b搭载有集成发出两个波长不同的光信号的发光点132、133而成的一个发光元件1b、监视器PD142、143、以及电容器162、163。
由此，构成发光元件对18a的发光元件1a的发光点130与发光点131之间的距离、以及构成发光元件对18b的发光元件1b的发光点132与发光点133之间的距离都成为d3，由于d3＜d2＜d1，所以能够使光合波器进一步小型化。
如以上那样，根据本实施方式1所涉及的集成光模块101，具备：安装部23，具有从发光点133射出光信号33的发光元件13；安装部22，与安装部23并排设置，具有从发光点132射出波长与光信号33不同的光信号32的发光元件12；准直透镜43，将从发光点133射出的光信号33转换为平行光；准直透镜42，将从发光点132射出的光信号32转换为平行光；以及光合波器5，具有仅透过由准直透镜43转换为平行光的光信号33的波长的滤光片93、使透过滤光片93后的光信号33反射的反射镜10、以及与滤光片93并排设置，仅透过由准直透镜42转换为平行光的光信号32的波长，反射由反射镜10反射后的光信号33并且与透过后的光信号32合波的滤光片92，由于将发光元件13在安装部23中安装在比相对于光信号33的射出方向而言的宽度方向中央靠发光元件12侧的位置，且将发光元件12在安装部22中安装在比相对于光信号32的射出方向而言的宽度方向中央靠发光元件13侧的位置，所以将相邻的发光元件作为对以接近的方式安装在彼此的安装基板上，因此能够缩小构成对的发光元件彼此的间隔。
另外，具备：安装部21以及安装部20，与由安装部23以及安装部22形成的发光元件对18b对应地形成为发光元件对18a，并且依次并排设置在安装部22的与安装部23相反的一侧；准直透镜41，将从安装部21的发光点131射出的光信号31转换为平行光；准直透镜40，将从安装部20的发光点130射出的光信号30转换为平行光；滤光片91以及滤光片90，与发光元件对18a的光信号31以及光信号30各自的波长对应，并且与滤光片93以及滤光片92对应地并排设置在光合波器5；以及背面反射镜19，在滤光片92与滤光片91之间反射光信号33与光信号32的合波，由于在将安装部23的发光点133与安装部22的发光点132之间的距离设为d1时，安装部22的发光点132与安装部21的发光点131之间的距离成为nd1(n为2以上的整数)，所以光合波器的保持器的长度与光信号的间隔成比例，因此通过将相邻的发光元件作为对以接近的方式安装在彼此的安装基板上，能够实现光合波器的小型化，并且内置光合波器的集成光模块也能够实现小型化。
另外，由于将发光点133在发光元件13中安装在比相对于光信号33的射出方向而言的宽度方向中央靠发光点132侧的位置，且将发光点132在发光元件12中安装在比相对于光信号32的射出方向而言的宽度方向中央靠发光点133侧的位置，所以能够进一步减小发光点间的距离，从而能够进一步实现光合波器的小型化、集成光模块的小型化。
另外，由于将安装部23与安装部22一体化，并且并排安装发光点133和发光点132，所以能够进一步减小发光点间的距离，从而能够进一步实现光合波器的小型化、集成光模块的小型化。
另外，由于安装部23以及安装部22由在两表面分别设置有发光元件13的搭载部和发光元件12的搭载部的安装基板形成，所以能够共用构成发光元件对的发光元件的安装基板，因此能够减少部件的种类，并增加每一种安装基板的数量，因此能够降低安装基板的制造成本，而实现低成本化。
实施方式2
虽然在实施方式1中，使用蒸镀有电介质多层膜的玻璃基板来作为反射镜10、19，但在实施方式2中，对在保持器蒸镀了电介质多层膜的情况进行说明。
图9是表示实施方式2所涉及的集成光模块的光合波器的结构的俯视图。如图9所示，在实施方式2所涉及的集成光模块中，反射镜10和反射镜19构成为，代替在实施方式1中使用的蒸镀有电介质多层膜的玻璃基板，而在玻璃制的保持器11直接蒸镀电介质多层膜来形成反射镜。对于实施方式2的集成光模块的其他结构，与实施方式1的集成光模块101相同，对对应的部分标注与图2相同的附图标记并省略其说明。
如以上那样，根据本实施方式2所涉及的集成光模块，由于使用在玻璃制的保持器11的固定反射镜的位置直接蒸镀电介质多层膜的结构，所以不仅能够得到实施方式1所记载的效果，而且通过将反射镜直接形成于保持器，能够省略安装反射镜的工序，并且减少光合波器的部件数量，能够实现低成本化。
实施方式3
虽然在实施方式1中，使用蒸镀有电介质多层膜的玻璃基板作为反射镜19，但在实施方式3中，对使用尺寸大的滤光片的情况进行说明。
图10是表示实施方式3所涉及的集成光模块的光合波器的结构的俯视图。如图10所示，在实施方式3所涉及的集成光模块中，以覆盖实施方式1中的保持器11的固定反射镜19的位置的方式，增大尺寸来形成兼具作为反射镜19的功能的滤光片91。此外，也可以使用滤光片92来代替滤光片91。对于实施方式3的集成光模块的其他结构，与实施方式1的集成光模块101相同，对对应的部分标注与图2相同的附图标记并省略其说明。
如以上那样，根据本实施方式3所涉及的集成光模块，对于反射镜19，由于用滤光片91或滤光片92覆盖到保持器11的固定反射镜19的位置为止而进行反射，所以不仅能够得到实施方式1所记载的效果，而且能够省略安装反射镜的工序，并且减少光合波器的部件数量，能够实现低成本化。
本申请记载了各种例示的实施方式以及实施例，但一个或多个实施方式所记载的各种特征、形态以及功能并不限定于特定的实施方式的应用，也可以单独或以各种组合的方式应用于实施方式。因此，在本申请说明书所公开的技术的范围内能够想到未例示的无数的变形例。例如，包括对至少一个构成要素进行变形的情况、追加的情况或省略的情况，还包括抽取至少一个构成要素并与其他实施方式的构成要素组合的情况。
附图标记说明
1i(10、11、12、13)...发光元件；2i(20、21、22、23)...安装部；3i(30、31、32、33)...光信号；4i(40、41、42、43)...准直透镜；9i(90、91、92、93)...滤光片；10...反射镜；11...保持器；13i(130、131、132、133)...发光点；22i(220、221、222、223)...安装基板；101...集成光模块。

Claims (6)

1.一种集成光模块，其特征在于，
所述集成光模块具备：
第一发光元件对，由第一安装部和第二安装部形成，所述第一安装部具有从第一发光点射出第一光信号的第一发光元件，所述第二安装部与所述第一安装部并排设置，并具有从第二发光点射出波长与所述第一光信号不同的第二光信号的第二发光元件；
第二发光元件对，由第三安装部和第四安装部形成，所述第三安装部与所述第一安装部以及所述第二安装部并排设置，并具有从第三发光点射出波长与所述第一光信号以及第二光信号不同的第三光信号的第三发光元件，所述第四安装部与所述第一安装部、所述第二安装部以及所述第三安装部并排设置，并具有从第四发光点射出波长与所述第一光信号至第三光信号不同的第四光信号的第四发光元件；
第一准直透镜，将从所述第一发光点射出的第一光信号转换为平行光；
第二准直透镜，将从所述第二发光点射出的第二光信号转换为平行光；
第三准直透镜，将从所述第三发光点射出的第三光信号转换为平行光；
第四准直透镜，将从所述第四发光点射出的第四光信号转换为平行光；以及
光合波部，具有第一滤光片、表面反射镜、第二滤光片、背面反射镜、第三滤光片以及第四滤光片，所述第一滤光片仅透过由所述第一准直透镜转换为平行光的所述第一光信号的波长，所述表面反射镜反射透过所述第一滤光片后的所述第一光信号，所述第二滤光片与所述第一滤光片并排设置，并且仅透过由所述第二准直透镜转换为平行光的所述第二光信号的波长，并且反射由所述表面反射镜反射后的所述第一光信号且使其与所述透过后的所述第二光信号进行合波，所述背面反射镜将由表面反射镜反射后的所述第一光信号以及第二光信号再次向表面反射镜反射，所述第三滤光片仅透过由所述第三准直透镜转换为平行光的所述第三光信号的波长，所述第四滤光片与所述第三滤光片并排设置，并且仅透过由所述第四准直透镜转换为平行光的所述第四光信号的波长，并且反射由所述表面反射镜反射后的所述第三光信号且使其与所述透过后的所述第四光信号进行合波，
在将所述第一安装部的第一发光点与所述第二安装部的第二发光点之间的距离、以及所述第三安装部的第三发光点与所述第四安装部的第四发光点之间的距离设为d时，所述第二安装部的所述第二发光点与所述第三安装部的所述第三发光点之间的距离为nd，其中，n为2以上的整数，
所述第一发光元件在所述第一安装部中安装在比相对于第一光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第二发光元件侧的位置，且所述第二发光元件在所述第二安装部中安装在比相对于第二光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第一发光元件侧的位置，
所述第三发光元件在所述第三安装部中安装在比相对于第三光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第四发光元件侧的位置，且所述第四发光元件在所述第四安装部中安装在比相对于第四光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第三发光元件侧的位置。
2.根据权利要求1所述的集成光模块，其特征在于，
所述第一发光点在所述第一发光元件中安装在比相对于第一光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第二发光点侧的位置，且所述第二发光点在所述第二发光元件中安装在比相对于第二光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第一发光点侧的位置，
所述第三发光点在所述第三发光元件中安装在比相对于第三光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第四发光点侧的位置，且所述第四发光点在所述第四发光元件中安装在比相对于第四光信号的射出方向而言的宽度方向中央靠所述第三发光点侧的位置。
3.根据权利要求1所述的集成光模块，其特征在于，
所述第一安装部以及所述第二安装部由在两表面分别对称地设置有所述第一发光元件的搭载部和所述第二发光元件的搭载部的安装基板形成，
所述第三安装部以及所述第四安装部由在两表面分别对称地设置有所述第三发光元件的搭载部和所述第四发光元件的搭载部的安装基板形成。
4.根据权利要求1所述的集成光模块，其特征在于，
将所述第一安装部与所述第二安装部、以及所述第三安装部与所述第四安装部分别一体化，并且分别并排安装所述第一发光点和所述第二发光点、以及所述第三发光点和所述第四发光点。
5.根据权利要求1所述的集成光模块，其特征在于，
所述表面反射镜以及所述背面反射镜在玻璃制的保持器的要设置所述表面反射镜以及所述背面反射镜的位置直接蒸镀电介质多层膜而成。
6.根据权利要求1或5所述的集成光模块，其特征在于，
对于所述背面反射镜，用所述第二滤光片或所述第三滤光片覆盖到要设置所述背面反射镜的位置为止而进行反射。
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