CN115091544A - 抛光垫打孔装置和自动供液研抛设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种抛光垫打孔装置，包括外壳、打孔柱和抛光垫支撑腿；外壳内设有气动活塞；外壳设有外置接口，用于外接气泵；打孔柱的第一端固定于气动活塞，第二端伸出外壳外，且第二端处安装有打孔头；打孔柱和外置接口位于气动活塞两侧；抛光垫支撑腿固定于外壳，并且抛光垫支撑腿和打孔柱的第二端位于外壳的同侧。上述抛光垫打孔装置中，气动活塞安装有打孔柱，能通过气动方式驱动气动活塞移动，从而使打孔柱的打孔头对布置于抛光垫支撑腿的抛光垫进行打孔，相比于现有技术中人工打孔的方式，避免人工利用锤子和钉子多次敲击抛光垫进行打孔，能显著提高效率，避免影响产品的研抛进度。本发明还提供应用上述抛光垫打孔装置的自动供液研抛设备。
Description
技术领域
本发明涉及机械工业技术领域，更具体地说，涉及一种抛光垫打孔装置，还涉及一种应用上述抛光垫打孔装置的自动供液研抛设备。
背景技术
在半导体加工、蓝宝石加工等领域，为了使产品获得光亮平整、超光滑无缺陷的表面，经常会使用自动供液的研抛机对产品进行研磨或者抛光以提升产品的表面质量，而自动供液的研抛机通常会在研磨盘上贴聚氨酯或者其他材质的抛光垫，然后通过在抛光垫上打分液孔的方式将研磨液供给到盘面内部。目前，在抛光垫上打孔主要采用锤子结合钉子进行人工打孔这种传统方式，效率低，尤其实际生产过程中抛光垫需频繁更换，人工打孔会严重减缓产品的研抛进度。
另外，现有技术中抛光垫打孔后残留在孔内的抛光垫碎片需通过镊子逐个取出，增加工人劳动强度。
因此，如何解决避免人工对抛光垫打孔，提高效率，以免影响产品的产品的研抛进度，是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种抛光垫打孔装置，其气动活塞安装有打孔柱，能利用气动方式驱动气动活塞移动，从而使打孔柱的打孔头对布置于抛光垫支撑腿的抛光垫进行打孔，相比于现有技术中人工打孔的方式，能显著提高效率，避免影响产品的研抛进度。本发明还提供应用上述抛光垫打孔装置的自动供液研抛设备，利于提高产品的研抛效率。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种抛光垫打孔装置，包括：
外壳，所述外壳内设有气动活塞；所述外壳设有外置接口，用于外接气泵；
打孔柱，所述打孔柱的第一端固定于所述气动活塞，第二端伸出所述外壳外，且所述第二端处安装有打孔头；所述打孔柱和所述外置接口位于所述气动活塞两侧；
抛光垫支撑腿，所述抛光垫支撑腿固定于所述外壳，并且所述抛光垫支撑腿和所述打孔柱的第二端位于所述外壳的同侧。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，还包括支撑组件，所述支撑组件包括：
固定盘，所述固定盘卡箍在所述打孔柱外周；
支撑杆，所述支撑杆一端连接于所述固定盘、另一端连接于所述气动活塞。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述打孔柱可拆卸地安装于所述气动活塞；
所述固定盘包括多个可拆卸地相互连接的固定盘分体，各所述固定盘分体分别通过不同的所述支撑杆与所述气动活塞相连。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述支撑杆的两端分别与所述固定盘和所述气动活塞球铰。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述打孔柱的外周设有周向凹槽，所述固定盘卡箍在所述周向凹槽内。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述打孔柱为空心柱，所述气动活塞设有透孔，所述打孔柱与所述透孔连通。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述外壳中背离所述打孔柱一侧的壳壁倾斜，且该壳壁中距离所述气动活塞最远处设有出口，所述出口处安装有碎片收集槽。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述壳壁固定有弧形握把，所述弧形握把安装有用于控制所述气泵的按键。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，所述外壳包括依次固定连接的上部壳体、中部壳体和下部壳体；所述中部壳体的内径分别大于所述上部壳体和所述下部壳体；所述打孔柱插装在所述上部壳体内、所述气动活塞布置于所述中部壳体、所述外置接口与所述下部壳体连通；所述气动活塞和所述中部壳体的内壁之间密封。
一种自动供液研抛设备，包括抛光垫打孔装置，所述抛光垫打孔装置上述技术方案中任意一项所述的抛光垫打孔装置。
本发明提供一种抛光垫打孔装置，包括外壳、打孔柱和抛光垫支撑腿；外壳内设有气动活塞；外壳设有外置接口，用于外接气泵；打孔柱的第一端固定于气动活塞，第二端伸出外壳外，且第二端处安装有打孔头；打孔柱和外置接口位于气动活塞两侧；抛光垫支撑腿固定于外壳，并且抛光垫支撑腿和打孔柱的第二端位于外壳的同侧。
应用上述抛光垫打孔装置时，将待打孔的抛光垫按压固定在抛光垫支撑腿上，然后使气泵通过外置接口向外壳内吹气，则气动活塞带动打孔柱向上述待打孔抛光垫移动，打孔柱第二端处的打孔头对该抛光垫进行打孔。
显然，本发明提供的抛光垫打孔装置中，气动活塞安装有打孔柱，能通过气动方式驱动气动活塞移动，从而使打孔柱的打孔头对布置于抛光垫支撑腿的抛光垫进行打孔，相比于现有技术中人工打孔的方式，避免人工利用锤子和钉子多次敲击抛光垫进行打孔，能显著提高效率，避免影响产品的研抛进度。
本发明还提供应用上述抛光垫打孔装置的自动供液研抛设备，利于提高产品的研抛效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的抛光垫打孔装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的气动活塞的结构图；
图3为本发明实施例提供的支撑组件的结构示意图；
其中，图1-图3中：
抛光垫支撑腿1；打孔柱2；打孔头3；外壳4；固定盘5；第一固定盘分体51；第二固定盘分体52；第三固定盘分体53；可手动拆卸螺丝6；第一可手动拆卸螺丝61；第二可手动拆卸螺丝62；第三可手动拆卸螺丝63；支撑杆7；第一支撑杆71；第二支撑杆72；第三支撑杆73；气动活塞8；密封环9；缓冲气垫10、11；碎片收集槽12；弧形握把13；外置接口14。
具体实施方式
本发明实施例公开了一种抛光垫打孔装置，其气动活塞安装有打孔柱，能利用气动方式驱动气动活塞移动，从而使打孔柱的打孔头对布置于抛光垫支撑腿的抛光垫进行打孔，相比于现有技术中人工打孔的方式，能显著提高打孔效率，避免影响产品的研抛进度。本发明实施例还公开应用上述抛光垫打孔装置的自动供液研抛设备，利于提高产品的研抛效率。
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明实施例提供一种抛光垫打孔装置，包括外壳4、打孔柱2和抛光垫支撑腿1；外壳4内设有气动活塞8；外壳4设有外置接口14，外置接口14用于外接气泵；打孔柱2的第一端固定于气动活塞8，打孔柱2的第二端伸出外壳4外，且第二端处安装有打孔头3；打孔柱2和外置接口14位于气动活塞8两侧；抛光垫支撑腿1固定于外壳4，并且抛光垫支撑腿1和打孔柱2的第二端位于外壳4的同侧。上述气泵为吹吸两用的气泵。
应用上述抛光垫打孔装置时，将待打孔的抛光垫按压固定在抛光垫支撑腿1上，然后使气泵通过外置接口14向外壳4内吹气，则气动活塞8带动打孔柱2向上述待打孔抛光垫移动，打孔柱2第二端处的打孔头3对该抛光垫进行打孔。打孔完成后，使气泵通过外置接口14抽吸外壳4内的气体，则气动活塞8带动打孔柱2远离抛光垫，并准备对下一个抛光垫进行打孔。
显然，本发明提供的抛光垫打孔装置中，气动活塞8安装有打孔柱2，能通过气动方式驱动气动活塞移动8，从而使打孔柱2的打孔头3对布置于抛光垫支撑腿1的抛光垫进行打孔，相比于现有技术中人工打孔的方式，避免人工利用锤子和钉子多次敲击抛光垫进行打孔，能显著提高效率，尤其在抛光垫需频繁更换时，避免影响产品的研抛进度。
优选的，上述抛光垫打孔装置还包括支撑组件，支撑组件包括：
固定盘5，固定盘5卡箍在打孔柱2外周；
支撑杆7，支撑杆7一端连接于固定盘5、另一端连接于气动活塞8。
本实施例提供的抛光垫打孔装置设有支撑组件，能够对长杆状的打孔柱2进行支撑，避免打孔柱2在打孔时因受抛光垫阻力而发生弯折甚至损坏，提高可靠性。
优选的，上述抛光垫打孔装置中，打孔柱2可拆卸地安装于气动活塞8；固定盘5包括多个可拆卸地相互连接的固定盘分体，各固定盘分体分别通过不同的支撑杆7与气动活塞8相连。
为了能适应不同的研抛设备以及抛光垫，打孔头3和打孔柱2分别可在拆卸后做更换。进一步的，为了便于拆装，上述打孔头3优选设置为通过螺纹连接的方式固定在打孔柱2的第二端，打孔柱2通过螺纹连接的方式固定于气动活塞8。具体的，打孔柱2固定于气动活塞8的正中央。
固定盘5设置为包括多个可拆卸地相互连接的固定盘分体，能在更换打孔柱2前先使各固定盘分体相互拆卸并远离打孔柱2，便于拆卸气动活塞8上的打孔柱2以及将新打孔柱2安装至气动活塞8上。
进一步的，支撑杆7的两端分别与固定盘和气动活塞8球铰，可在拆卸固定盘分体时，使支撑杆7能进行任意方向转动。支撑杆两端分别设有球头，两球头分别镶嵌在气动活塞8与固定盘5的球形孔洞内。
如图3所示，固定盘5包括三个固定盘分体，三个固定盘分体沿周向布置并拼接成上述固定盘5；相邻固定盘分体凹凸配合，并通过沿径向布置的可手动拆卸螺丝6相连。
本实施例提供的固定盘5设计方案便于更换打孔柱2时能徒手操作。
具体的，第一固定盘分体51和第二固定盘分体52通过第一可手动拆卸螺丝61相连，第一固定盘分体51通过第一支撑杆71与气动活塞8连接；第二固定盘分体52和第三固定盘分体53通过第二可手动拆卸螺丝62相连，第二固定盘分体52通过第二支撑杆72与气动活塞8连接；第三固定盘分体53和第一固定盘分体51通过第三可手动拆卸螺丝63相连，第三固定盘分体53通过第三支撑杆73与气动活塞8连接。拆卸时，先拧下第一可手动拆卸螺丝61、第三可手动拆卸螺丝63，将第一固定盘分体51拆下，随后拧下第二可手动拆卸螺丝62，即可将第二固定盘分体52和第三固定盘分体53拆下。
为了使固定盘5更牢固地固定在打孔柱2上，打孔柱2外周中与固定盘5连接的部位可设置周向凹槽，固定盘5卡箍在周向凹槽内，保证二者更加契合。
打孔柱2为空心柱，气动活塞8设有透孔，打孔柱2与透孔连通。本实施例中，打孔柱2内部为空心设计，通过更换打孔头3同时使气泵切换抽气模式，可将抛光垫碎片经由打孔柱2内部排到外壳4内。
外壳4中背离打孔柱2一侧的壳壁倾斜，且该壳壁中距离气动活塞8最远处设有出口，出口处安装有碎片收集槽12。碎片收集槽12具体通过螺纹连接的方式安装于上述出口处。
应用本实施例提供的抛光垫打孔装置后，抛光垫打孔残留在孔内的抛光垫碎片无需通过镊子逐个取出，避免增加工人劳动强度，并进一步提高打孔效率。
优选的，上述壳壁固定有弧形握把13，弧形握把13位于外壳4之外；弧形握把13安装有用于控制气泵的按键。弧形握把13优选设置为通过焊接方式固定于上述壳壁。
上述外壳4的壳壁做了倾斜设计，能在清理抛光垫碎片时方便碎片自动滑动至碎片收集槽12进行收集，同时方便操作人的握持。
弧形握把13中添加了设置有充气和抽气两种功能的按键，且设置有充气和抽气通用的三种不用功率的按键。为了便于操作，弧形握把13内有专门的走线管道可与外置的吹吸两用气泵相连，且走线管道可与气泵导气管整合到一起并通过外置接口14与外置的吹吸两用气泵连接。
外壳4包括依次固定连接的上部壳体、中部壳体和下部壳体；中部壳体的内径分别大于上部壳体和下部壳体的内径；打孔柱2插装在上部壳体内、气动活塞8布置在中部壳体内、外置接口14与下部壳体连通；气动活塞和中部壳体的内壁之间密封。
气动活塞8外侧设置凹槽，凹槽内添加密封环9，能加强活塞8的气密性。
上部壳体通过螺丝钉与中部壳体连接，更换打孔柱2时需先拆卸上述螺丝钉以将上部壳体拆卸；中部壳体中气动活塞8的两侧内壁分别固定了缓冲气垫10和缓冲气垫11，能减小噪音，又可保护突然冲压或失压对打孔柱2、打孔头3等部件的冲击。
为了在打孔时有效保护抛光垫，抛光垫支撑腿1的顶部添加了可随时更换的缓冲垫，在长时间使用之后可做更换。抛光垫支撑腿1在外壳顶部沿周向每隔120°分布一个，共布置三个。
本发明实施例还提供一种自动供液研抛设备，包括抛光垫打孔装置，抛光垫打孔装置为上述实施例提供的抛光垫打孔装置。
本实施例提供的自动供液研抛设备应用上述实施例提供的抛光垫打孔装置，利于提高产品的研抛效率。当然，本实施例提供的自动供液研抛设备还具有上述实施例提供的有关抛光垫打孔装置的其他效果，在此不再赘述。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种抛光垫打孔装置，其特征在于，包括：
外壳，所述外壳内设有气动活塞；所述外壳设有外置接口，用于外接气泵；
打孔柱，所述打孔柱的第一端固定于所述气动活塞，第二端伸出所述外壳外，且所述第二端处安装有打孔头；所述打孔柱和所述外置接口位于所述气动活塞两侧；
抛光垫支撑腿，所述抛光垫支撑腿固定于所述外壳，并且所述抛光垫支撑腿和所述打孔柱的第二端位于所述外壳的同侧。
2.根据权利要求1所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，还包括支撑组件，所述支撑组件包括：
固定盘，所述固定盘卡箍在所述打孔柱外周；
支撑杆，所述支撑杆一端连接于所述固定盘、另一端连接于所述气动活塞。
3.根据权利要求2所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述打孔柱可拆卸地安装于所述气动活塞；
所述固定盘包括多个可拆卸地相互连接的固定盘分体，各所述固定盘分体分别通过不同的所述支撑杆与所述气动活塞相连。
4.根据权利要求2所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述支撑杆的两端分别与所述固定盘和所述气动活塞球铰。
5.根据权利要求2所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述打孔柱的外周设有周向凹槽，所述固定盘卡箍在所述周向凹槽内。
6.根据权利要求1所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述打孔柱为空心柱，所述气动活塞设有透孔，所述打孔柱与所述透孔连通。
7.根据权利要求6所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述外壳中背离所述打孔柱一侧的壳壁倾斜，且该壳壁中距离所述气动活塞最远处设有出口，所述出口处安装有碎片收集槽。
8.根据权利要求7所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述壳壁固定有弧形握把，所述弧形握把安装有用于控制所述气泵的按键。
9.根据权利要求1所述的抛光垫打孔装置，其特征在于，所述外壳包括依次固定连接的上部壳体、中部壳体和下部壳体；所述中部壳体的内径分别大于所述上部壳体和所述下部壳体；所述打孔柱插装在所述上部壳体内、所述气动活塞布置于所述中部壳体、所述外置接口与所述下部壳体连通；所述气动活塞和所述中部壳体的内壁之间密封。
10.一种自动供液研抛设备，其特征在于，包括抛光垫打孔装置，所述抛光垫打孔装置为权利要求1-9任意一项所述的抛光垫打孔装置。
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