CN115078543A - 一种石英坩埚表面在线检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种石英坩埚表面在线检测装置，包括检测室，所述检测室内侧顶部通过安装有检测板，且所述检测板内侧面安装有若干用于发射超声波的发射头，本发明涉及石英坩埚表面检测技术领域。该石英坩埚表面在线检测装置，通过伸缩检测杆对石英坩埚内壁表面的检测，以及检测板对石英坩埚外壁表面的检测，可对石英坩埚的内外表面同时进行检测，节省检测时间，提高检测效率，实现了对不同混合材质的石英坩埚的全方位检测，不留死角，通过经由液压杆自身的升降调节功能，可对不同口径大小以及高度的石英坩埚进行倒扣支撑，不受石英坩埚尺寸大小、杯口结构造型以及高度的约束。

Description

一种石英坩埚表面在线检测装置

技术领域

本发明涉及石英坩埚表面检测技术领域，具体涉及石英坩埚表面在线检测装置。

背景技术

石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点，应用越来越广泛；石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，因为在石英坩埚的成品中会存在划伤、杂质点、气泡和裂纹等缺陷；而如果将有缺陷的石英坩埚投入使用，会对安全生产和产品质量产生严重影响。所以必须对加工完的石英坩埚进行检验，以确保石英坩埚符合现行业标准、满足客户需求。

现有的石英坩埚表面在线检测装置，无法对石英坩埚的内外表面同时进行检测，无法做到全方位检测且存在检测死角，并且翻转石英坩埚时存在刮花石英坩埚表面的隐患，检测效率低，容易受到尺寸大小、杯口结构造型以及高度的约束而不便于检测。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种石英坩埚表面在线检测装置，包括检测室，所述检测室内侧顶部通过安装有检测板，且所述检测板内侧面安装有若干用于发射超声波的发射头，所述检测室内侧底部安装有内部检测组件和照明组件，所述检测室内侧底部中间位置安装有电机，且所述内部检测组件和照明组件分别安装在电机的左右两侧，所述电机上安装有反光镜，且所述电机顶部的旋转轴上安装有升降组件，所述检测室内侧布设有连接线，所述内部检测组件包括用于发射超声波的超声波发射器，所述超声波发射器底部通过丝杆与检测室螺栓安装，所述超声波发射器顶部安装有用于传输超声波的第一鹅颈管，所述第一鹅颈管顶部连接有伸缩检测杆，且所述伸缩检测杆表面靠近检测板的一侧安装有用于输出超声波的微型发射头；

所述照明组件包括电源柱，所述电源柱顶部连接有第二鹅颈管，所述第二鹅颈管顶部连接有LED灯条；

所述升降组件包括液压杆，所述液压杆底部设置有底装盘，所述液压杆顶部设置有顶装盘，所述顶装盘顶部粘黏有橡胶盘。

优选的，所述升降组件顶部安装有石英坩埚，所述检测室前端边侧通过合页活动铰安装有门框，所述门框中部安装有透明玻璃板，以及安装在所述透明玻璃板上的用于显示检测结果的显示屏，其中，所述显示屏具有控制面板，所述检测室顶部安装有吊杆。

优选的，所述门框与检测室贴合的一面开设有卡槽，所述卡槽内侧嵌合安装有磁铁条，所述吊杆上安装有若干螺帽，所述门框通过磁铁条与检测室吸附安装，所述检测板通过螺帽和吊杆配合位于检测室内侧吊设安装。

优选的，所述电源柱用于提供电源，所述电源柱底部与检测室相连接，所述电源柱表面安装有用于安装干电池的卡板。

优选的，所述第二鹅颈管用于任意方向弯折调节，所述LED灯条通过第二鹅颈管安装在电源柱上。

优选的，所述LED灯条用于对石英坩埚的四周进行照明，且所述LED灯条与电机上的反光镜相对应配合，所述反光镜用于反射部分LED灯条散发的灯光照射向石英坩埚中。

优选的，所述液压杆底部通过底装盘和丝杆配合螺栓安装在电机顶部的旋转轴上。

优选的，所述橡胶盘通过液压杆和旋转轴配合与电机旋转安装，所述电机底部通过丝杆与检测室螺栓安装，所述石英坩埚通过液压杆顶部的橡胶盘配合电机上的旋转轴位于检测室内侧旋转设置。

优选的，所述连接线具有一号接线和二号接线，所述一号接线输入端与检测板的输出端相电性连接，所述二号接线输入端与超声波发射器输出端相电性连接，且所述一号接线和二号接线近端相交汇且共同与显示屏的输入端相电性连接，所述控制面板用于控制超声波发射器和发射头的启动与关闭。

本发明提供了一种石英坩埚表面在线检测装置。具备以下有益效果：

1、该石英坩埚表面在线检测装置，通过伸缩检测杆对石英坩埚内壁表面的检测，以及检测板对石英坩埚外壁表面的检测，实现装置在同一时间对石英坩埚内外壁表面的共同检测，超声波虽能穿透部分不同材质的石英坩埚，但无法对部分具有特殊高分子材料的石英坩埚进行超声波穿透探测，而本装置通过对石英坩埚内外侧壁的双向同时检测，实现了对不同混合材质的石英坩埚内外表面的全方位检测，不留死角，且不存在刮伤石英坩埚表面的隐患，且结构简单，操作方便，可对石英坩埚的内外表面同时进行检测，节省检测时间，提高检测效率。

2、该石英坩埚表面在线检测装置，通过电源柱作为LED灯条的电源，经由LED灯条为石英坩埚的外侧面提供照明，可方便工作人员透过门框上的透明玻璃观察检测室内部的情况，使得工作人员可随时查看石英坩埚的动态；通过第二鹅颈管可向任意方向弯折调节，来改变LED灯条对石英坩埚四周的具体照明位置，并且可经由反光镜将部分LED灯条散发的灯光汇聚照射向石英坩埚中，为工作人员提供石英坩埚内部清晰的观察视野，方便工作人员将伸缩检测杆平稳伸入石英坩埚内侧，而不会刮蹭到石英坩埚内壁。

3、该石英坩埚表面在线检测装置，通过石英坩埚倒扣安装在液压杆顶部的橡胶盘上，经由橡胶盘增大石英坩埚侧壁与液压杆顶部摩擦力的同时，起到防刮蹭和保护作用，避免石英坩埚内壁与金属制品的液压杆顶部直接接触，避免后期石英坩埚跟随液压杆在电机上旋转时，发生相对滑动刮花现象。

4、该石英坩埚表面在线检测装置，通过经由液压杆自身的升降调节功能，可对不同口径大小以及高度的石英坩埚进行倒扣支撑，改变以往的单一尺寸的限位槽结构，只能对单一尺寸大小的石英坩埚进行检测，且无论是翻转检测还是卡槽限位检测的方式，都无法对具有引流嘴的石英坩埚进行安全平稳检测，而本装置不受石英坩埚尺寸大小、杯口结构造型以及高度的约束。

附图说明

图1为本发明一种石英坩埚表面在线检测装置的外部结构示意图；

图2为本发明检测室的主视图；

图3为本发明检测板的结构示意图；

图4为本发明内部检测组件和升降组件的结构示意图；

图5为本发明内部检测组件的结构示意图；

图6为本发明照明组件的结构示意图；

图7为本发明升降组件与电机的组装结构示意图；

图8为本发明石英坩埚与升降组件的局部组装结构示意图；

图9为本发明升降组件的结构示意图；

图10为本发明反光镜的结构示意图；

图11为本发明门框的结构示意图；

图12为本发明检测室的内部结构示意图。

图中：1、检测室；2、检测板；3、内部检测组件；31、超声波发射器；32、第一鹅颈管；33、伸缩检测杆；4、照明组件；41、电源柱；42、第二鹅颈管；43、LED灯条；5、电机；6、反光镜；7、升降组件；71、液压杆；72、底装盘；73、顶装盘；74、橡胶盘；8、石英坩埚；9、门框；10、显示屏；11、连接线；12、吊杆；13、磁铁条；14、螺帽。

具体实施方式

实施例1

如图1、图2、图3、图5、图10、图11和图12所示，本发明提供一种技术方案：一种石英坩埚表面在线检测装置，包括检测室1，检测室1内侧顶部通过安装有检测板2，且检测板2内侧面安装有若干用于发射超声波的发射头，检测室1内侧底部安装有内部检测组件3和照明组件4，检测室1内侧底部中间位置安装有电机5，且内部检测组件3和照明组件4分别安装在电机5的左右两侧，电机5上安装有反光镜6，且电机5顶部的旋转轴上安装有升降组件7，检测室1内侧布设有连接线11，内部检测组件3包括用于发射超声波的超声波发射器31，超声波发射器31底部通过丝杆与检测室1螺栓安装，超声波发射器31顶部安装有用于传输超声波的第一鹅颈管32，第一鹅颈管32顶部连接有伸缩检测杆33，且伸缩检测杆33表面靠近检测板2的一侧安装有用于输出超声波的微型发射头；升降组件7顶部安装有石英坩埚8，检测室1前端边侧通过合页活动铰安装有门框9，门框9中部安装有透明玻璃板，以及安装在透明玻璃板上的用于显示检测结果的显示屏10，其中，显示屏10具有控制面板，检测室1顶部安装有吊杆12；门框9与检测室1贴合的一面开设有卡槽，卡槽内侧嵌合安装有磁铁条13，吊杆12上安装有若干螺帽14，门框9通过磁铁条13与检测室1吸附安装，便于对检测室1内部进行密封，检测板2通过螺帽14和吊杆12配合位于检测室1内侧吊设安装；连接线11具有一号接线和二号接线，一号接线输入端与检测板2的输出端相电性连接，二号接线输入端与超声波发射器31输出端相电性连接，且一号接线和二号接线近端相交汇且共同与显示屏10的输入端相电性连接，控制面板用于控制超声波发射器31和发射头的启动与关闭。

超声波发射器31的型号：SEN0001。

使用时，通过石英坩埚8倒扣在液压杆71顶部的橡胶盘74上，然后将液压杆71上升至一定高度，确保石英坩埚8外侧处于检测板2的有效检测范围内，然后弯折调节第一鹅颈管32，将伸缩检测杆33平稳地伸入石英坩埚8内侧，使伸缩检测杆33位于石英坩埚8内壁与液压杆71的空隙之间，随后依次启动超声波发射器31、发射头、电机5，通过超声波遇到表面缺陷就发生反射波，反射波最终经由连接线11在显示屏10上形成脉冲波形，使得检测到的结果直接由显示屏10反应而出，然后人工根据显示屏10上的脉冲波形来判断石英坩埚8表面是否存在缺陷；通过上述操作，实现检测装置对石英坩埚8的内外表面的同时检测，结构简单，操作方便，可对石英坩埚8的内外表面同时进行检测，节省检测时间，提高检测效率；

通过伸缩检测杆33对石英坩埚8内壁表面的检测，以及检测板2对石英坩埚8外壁表面的检测，实现装置在同一时间对石英坩埚8内外壁表面的共同检测，超声波虽能穿透部分不同材质的石英坩埚8，但无法对部分具有特殊高分子材料的石英坩埚8进行单一的穿透探测，而本装置通过对石英坩埚8内外侧壁的双向同时检测，实现了对不同混合材质的石英坩埚8的全方位检测，不留死角，且不存在刮伤石英坩埚8表面的隐患。

实施例2

如图2、图4、图6和图8所示，照明组件4包括电源柱41，电源柱41顶部连接有第二鹅颈管42，第二鹅颈管42顶部连接有LED灯条43；电源柱41用于提供电源，电源柱41底部与检测室1相连接，电源柱41表面安装有用于安装干电池的卡板；第二鹅颈管42用于任意方向弯折调节，LED灯条43通过第二鹅颈管42安装在电源柱41上；LED灯条43用于对石英坩埚8的四周进行照明，且LED灯条43与电机5上的反光镜6相对应配合，反光镜6用于反射部分LED灯条43散发的灯光照射向石英坩埚8中。

使用时，通过电源柱41作为LED灯条43的电源，经由LED灯条43为石英坩埚8的外侧面提供照明，可方便工作人员透过门框9上的透明玻璃观察检测室1内部的情况，使得工作人员可随时查看石英坩埚8的动态；

通过第二鹅颈管42可向任意方向弯折调节，来改变LED灯条43对石英坩埚8四周的具体照明位置，并且可经由反光镜6将部分LED灯条43散发的灯光汇聚照射向石英坩埚8中，为工作人员提供石英坩埚8内部清晰的观察视野，方便工作人员将伸缩检测杆33平稳伸入石英坩埚8内侧，而不会刮蹭到石英坩埚8内壁。

实施例3

如图2、图4、图7、图8、图9和图12所示，升降组件7包括液压杆71，液压杆71底部设置有底装盘72，液压杆71顶部设置有顶装盘73，顶装盘73顶部粘黏有橡胶盘74；液压杆71底部通过底装盘72和丝杆配合螺栓安装在电机5顶部的旋转轴上；橡胶盘74通过液压杆71和旋转轴配合与电机5旋转安装，电机5底部通过丝杆与检测室1螺栓安装，石英坩埚8通过液压杆71顶部的橡胶盘74配合电机5上的旋转轴位于检测室1内侧旋转设置。

使用时，通过石英坩埚8倒扣安装在液压杆71顶部的橡胶盘74上，经由橡胶盘74增大石英坩埚8侧壁与液压杆71顶部摩擦力的同时，起到防刮蹭和保护作用，避免石英坩埚8内壁与金属制品的液压杆71顶部直接接触，避免后期石英坩埚8跟随液压杆71在电机5上旋转时，发生相对滑动刮花现象；

通过经由液压杆71自身的升降调节功能，可对不同口径大小以及高度的石英坩埚8进行倒扣支撑，改变以往的单一尺寸的限位槽结构，只能对单一尺寸大小的石英坩埚8进行检测，且无论是翻转检测还是卡槽限位检测的方式，都无法对具有引流嘴的石英坩埚进行安全平稳检测，而本装置不受石英坩埚8尺寸大小、杯口结构造型以及高度的约束。

显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。

Claims (9)

1.一种石英坩埚表面在线检测装置，具体包括检测室（1），其特征在于：所述检测室（1）内侧顶部通过安装有检测板（2），且所述检测板（2）内侧面安装有若干用于发射超声波的发射头，所述检测室（1）内侧底部安装有内部检测组件（3）和照明组件（4），所述检测室（1）内侧底部中间位置安装有电机（5），且所述内部检测组件（3）和照明组件（4）分别安装在电机（5）的左右两侧，所述电机（5）上安装有反光镜（6），且所述电机（5）顶部的旋转轴上安装有升降组件（7），所述检测室（1）内侧布设有连接线（11），所述内部检测组件（3）包括用于发射超声波的超声波发射器（31），所述超声波发射器（31）底部通过丝杆与检测室（1）螺栓安装，所述超声波发射器（31）顶部安装有用于传输超声波的第一鹅颈管（32），所述第一鹅颈管（32）顶部连接有伸缩检测杆（33），且所述伸缩检测杆（33）表面靠近检测板（2）的一侧安装有用于输出超声波的微型发射头；

所述照明组件（4）包括电源柱（41），所述电源柱（41）顶部连接有第二鹅颈管（42），所述第二鹅颈管（42）顶部连接有LED灯条（43）；

所述升降组件（7）包括液压杆（71），所述液压杆（71）底部设置有底装盘（72），所述液压杆（71）顶部设置有顶装盘（73），所述顶装盘（73）顶部粘黏有橡胶盘（74）。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述升降组件（7）顶部安装有石英坩埚（8），所述检测室（1）前端边侧通过合页活动铰安装有门框（9），所述门框（9）中部安装有透明玻璃板，以及安装在所述透明玻璃板上的用于显示检测结果的显示屏（10），其中，所述显示屏（10）具有控制面板，所述检测室（1）顶部安装有吊杆（12）。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述门框（9）与检测室（1）贴合的一面开设有卡槽，所述卡槽内侧嵌合安装有磁铁条（13），所述吊杆（12）上安装有若干螺帽（14），所述门框（9）通过磁铁条（13）与检测室（1）吸附安装，所述检测板（2）通过螺帽（14）和吊杆（12）配合位于检测室（1）内侧吊设安装。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述电源柱（41）用于提供电源，所述电源柱（41）底部与检测室（1）相连接，所述电源柱（41）表面安装有用于安装干电池的卡板。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述第二鹅颈管（42）用于任意方向弯折调节，所述LED灯条（43）通过第二鹅颈管（42）安装在电源柱（41）上。

6.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述LED灯条（43）用于对石英坩埚（8）的四周进行照明，且所述LED灯条（43）与电机（5）上的反光镜（6）相对应配合，所述反光镜（6）用于反射部分LED灯条（43）散发的灯光照射向石英坩埚（8）中。

7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述液压杆（71）底部通过底装盘（72）和丝杆配合螺栓安装在电机（5）顶部的旋转轴上。

8.根据权利要求7所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述橡胶盘（74）通过液压杆（71）和旋转轴配合与电机（5）旋转安装，所述电机（5）底部通过丝杆与检测室（1）螺栓安装，所述石英坩埚（8）通过液压杆（71）顶部的橡胶盘（74）配合电机（5）上的旋转轴位于检测室（1）内侧旋转设置。

9.根据权利要求8所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述连接线（11）具有一号接线和二号接线，所述一号接线输入端与检测板（2）的输出端相电性连接，所述二号接线输入端与超声波发射器（31）输出端相电性连接，且所述一号接线和二号接线近端相交汇且共同与显示屏（10）的输入端相电性连接，所述控制面板用于控制超声波发射器（31）和发射头的启动与关闭。

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