CN116952967B - 一种石英坩埚检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及石英坩埚技术领域，尤其是指一种石英坩埚检测装置，包括支撑架；放置板，放置板固接在所述支撑架的侧壁；坩埚本体，坩埚本体设置在所述放置板的上端面；连接杆，连接杆固接在所述支撑架的侧壁；LED灯具，LED灯具设置在所述连接杆的侧壁，LED灯具灯光朝向坩埚本体；工作时，将待检测的石英坩埚置于放置板上方，之后开启LED灯具，使其产生的灯光照射至坩埚本体表面，并通过检测灯一对坩埚表面的进行检测，来检测出外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，在检测过程中，通过控制调节机构，可以将坩埚本体进行转动，解决了现有技术中由于石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到的问题，有利于石英坩埚后续使用。

Description

一种石英坩埚检测装置

技术领域

本发明涉及石英坩埚技术领域，尤其是指一种石英坩埚检测装置。

背景技术

石英坩埚是化学仪器的重要组成部分，它是熔化和精炼金属液体以及固液加热、反应的容器，是保证化学反应顺利进行，在对半导体单晶硅生产的过程中常常被使用，石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好。

坩埚干燥完成后，需要检测坩埚外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，现有技术也提出解决方案，如公开号CN201653926U的一项中国专利一种石英坩埚检测装置，其包括装置本体，所述装置本体内设有检测单元以及用于放置石英坩埚的检查平台，所述检测单元包括光源和可增强光源照射强度的聚光反射装置，所述光源所发出的光线借助于聚光反射装置照射到放置在检查平台上的石英坩埚上。

上述技术方案虽然解决了石英坩埚在检测过程中需要足够的光照问题，但是由于石英坩埚置于检测平台上，在检测过程中，会导致石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到，影响了后续石英坩埚的使用，为此本发明提供一种石英坩埚检测装置

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种石英坩埚检测装置，包括

支撑架；

放置板，放置板固接在所述支撑架的侧壁；

坩埚本体，坩埚本体设置在所述放置板的上端面；

连接杆，连接杆固接在所述支撑架的侧壁；

LED灯具，LED灯具设置在所述连接杆的侧壁，LED灯具灯光朝向坩埚本体；

固定架，固定架通过撑柱固接在所述支撑架的侧壁；

检测灯一，检测灯一设置在所述固定架的侧端面，检测灯一朝向坩埚本体的外表面；

调节机构，调节机构设置在所述支撑架的侧壁，调节机构用以对所述坩埚本体转动至一定角度；工作时，将待检测的石英坩埚置于放置板上方，之后开启LED灯具，使其产生的灯光照射至坩埚本体表面，并通过检测灯一对坩埚表面的进行检测，来检测出外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，在检测过程中，通过控制调节机构，可以将坩埚本体进行转动，解决了现有技术中由于石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到的问题，有利于石英坩埚后续使用。

在本发明的一个实施例中，所述调节机构包括固接在所述支撑架侧壁靠上侧的电机一，所述电机一的输出端转动连接有转轴一，所述转轴一远离电机一的一端固接有安装盘，所述安装盘的外表面固接有连接架，所述连接架内固接有电机二，所述电机二的输出端固接有转轴二，所述转轴二的外周面固接有检测灯二，工作时，在待检测的石英坩埚置于放置板上方时，且转轴二处于坩埚本体内部，通过控制连接架内的电机二运转，使电机二带动转轴二转动，转轴二带动检测灯二呈圆周转动，使检测灯二在转动过程中对坩埚内壁进行检测，来检测内壁是否存在气泡、黑点、白点、划痕、异物、附着物等，如此设计，能对坩埚本体的外壁和内壁同时进行检测，提高了检测效率。

在本发明的一个实施例中，所述转轴二的底端固接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端设置有吸盘，所述吸盘的材质为橡胶。

在本发明的一个实施例中，所述连接杆的侧壁转动连接有转轮，所述转轮通过转杆与外接电机连接，电机安装在连接杆内，所述转轮的外表面固接有横杆，所述LED灯具的上表面固接在横杆的端部；所述LED灯具呈倾斜式设计，所述LED灯具的灯光朝向坩埚本体仪测出，所述吸盘朝向坩埚本体内部，工作时，当坩埚本体向上偏转时，可以通过外接电机带动转轮以及横杆转动，横杆带动LED灯具转动，使LED灯具转动至一定角度，保证坩埚本体的表面能持续性接收到光照，为坩埚本体的检测带来了便捷性。

在本发明的一个实施例中，所述固定架的侧端面开设有嵌入槽，所述检测灯一靠近嵌入槽的一侧固接有卡杆，所述卡杆设置在嵌入槽内，所述卡杆的上端面固接有弧形杆，所述转轴二的外周面固接有限位杆，所述限位杆的底部固接有压座，所述转轴二带动限位杆转动过程中，其底部的压座会与弧形杆顶端接触，所述卡杆的底端固接有弹性杆，所述弹性杆的底端与嵌入槽固接。

在本发明的一个实施例中，所述弹性杆的外表面套接有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的一端与弹性杆固接，另一端与嵌入槽内壁固接；工作时，当弹性杆受压时，弹性杆会同时挤压拉伸弹簧，当拉伸弹簧恢复时，其会方便带动卡杆和检测灯一恢复，继而有利于对坩埚本体的检测。

在本发明的一个实施例中，所述嵌入槽内开设有两个卡槽，所述卡杆与卡槽内接触位置处固接有滑杆，所述滑杆设置在卡槽内，所述滑杆的形状和卡槽的形状相适配；工作时，当卡杆上下移动时，卡杆会同时带动滑杆在卡槽内上下移动，如此能对卡杆的位置进行限位，避免卡杆和检测灯一出现偏斜的问题，方便其对坩埚的检测。

在本发明的一个实施例中，所述限位杆设置多个，且呈圆周阵列设置在所述转轴二的外周面，所述压座的形状为圆形，所述弧形杆顶部的形状为圆弧形；工作时，由于压座和弧形杆的形状均为弧形，能方便压座对弧形杆的挤压，而且设置了多个压座，能持续性对弧形杆的下压，进而使检测灯一持续性上下移动，有利于对坩埚本体的外表面进行检测。

在本发明的一个实施例中，所述滑杆与卡槽接触位置处设置有滚轮，所述滑杆的端部设置有与滚轮相适配的转轴；工作时，滑杆上下移动时，滑杆会同时带动滚轮在卡槽内上下移动，如此能方便滑杆和卡杆的上下移动，有利于对坩埚的检测。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本发明所述的一种石英坩埚检测装置，通过外侧的检测灯一会继续对坩埚的外表面进行检测，来对坩埚的外表面继续检测是否有异物，裂纹、开口的气泡的问题，提高了坩埚的检测效率，且避免了现有技术中，需要工作人员手动转动坩埚本体的问题，而且当需要检测坩埚本体的底面时，通过控制电机一带动转轴一转动，转轴一带动安装盘、连接架、电机二、转轴二、电动伸缩杆、吸盘以及坩埚本体向上偏转，使坩埚本体的底面裸露出，避免坩埚本体的底面与放置板上表面接触，导致其底面难以检测到的问题。

本发明所述的一种石英坩埚检测装置，通过限位杆转动过程中，其底部的压座会与弧形杆顶端接触，并对弧形杆以及卡杆和弹性杆挤压，使卡杆带动检测灯一的位置发生改变，从而使检测灯一对坩埚本体外表面的检测位置发生改变，当弧形杆与压座远离时，处于挤压状态的弹性杆恢复，会再次带动检测灯一恢复，如此设计，提高了对坩埚本体外表面的检测范围，而且还能检测到坩埚端口位置，以此方便后续判断是否有缺口、异物、刀痕、边距不良等问题。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明的正视结构示意图；

图3是本发明中电机一部分结构示意图；

图4是本发明中电机二部分结构示意图；

图5是本发明中弧形杆部分结构示意图；

图6是本发明中固定架部分结构结构示意图；

图7是本发明中卡杆部分结构示意图；

图8是本发明中图7的A处结构放大图。

说明书附图标记说明：1、支撑架；2、放置板；3、坩埚本体；4、连接杆；5、LED灯具；6、检测灯一；601、固定架；7、电机一；8、转轴一；9、安装盘；10、连接架；101、电机二；102、转轴二；103、检测灯二；11、电动伸缩杆；12、吸盘；13、转轮；131、横杆；14、嵌入槽；15、卡杆；16、弧形杆；17、限位杆；18、压座；19、弹性杆；20、拉伸弹簧；21、卡槽；22、滑杆。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

实施例

参照图1至图8所示，本发明实施例所述的一种石英坩埚检测装置，包括

支撑架1；

放置板2，放置板2固接在所述支撑架1的侧壁；

坩埚本体3，坩埚本体3设置在所述放置板2的上端面；

连接杆4，连接杆4固接在所述支撑架1的侧壁；

LED灯具5，LED灯具5设置在所述连接杆4的侧壁，LED灯具5灯光朝向坩埚本体3；

固定架601，固定架601通过撑柱固接在所述支撑架1的侧壁；

检测灯一6，检测灯一6设置在所述固定架601的侧端面，检测灯一6朝向坩埚本体3的外表面；检测灯一6为超声波发生器，其原理为超声波若遇到表面缺陷就会发生反射波，反射波经外接控制器在外接显示屏上形成脉冲波形，工作人员根据波形来判断石英坩埚表面是否存在缺陷；

调节机构，调节机构设置在所述支撑架1的侧壁，调节机构用以对所述坩埚本体3转动至一定角度；

工作时，将待检测的石英坩埚置于放置板2上方，之后开启LED灯具5，使其产生的灯光照射至坩埚本体3表面，并通过检测灯一6对坩埚表面的进行检测，来检测出外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，在检测过程中，通过控制调节机构，可以将坩埚本体3进行转动，解决了现有技术中由于石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到的问题，有利于石英坩埚后续使用；

需要说明的是，在检测过程中工作人员也可用肉眼观看来检测出坩埚表面的缺陷问题。

所述调节机构包括固接在所述支撑架1侧壁靠上侧的电机一7，所述电机一7的输出端转动连接有转轴一8，所述转轴一8远离电机一7的一端固接有安装盘9，所述安装盘9的外表面固接有连接架10，所述连接架10内固接有电机二101，所述电机二101的输出端固接有转轴二102，所述转轴二102的外周面固接有检测灯二103；

工作时，在待检测的石英坩埚置于放置板2上方时，且转轴二102处于坩埚本体3内部，通过控制连接架10内的电机二101运转，使电机二101带动转轴二102转动，转轴二102带动检测灯二103呈圆周转动，使检测灯二103在转动过程中对坩埚内壁进行检测，来检测内壁是否存在气泡、黑点、白点、划痕、异物、附着物等，如此设计，能对坩埚本体3的外壁和内壁同时进行检测，提高了检测效率。

需要说明的是，检测灯二103和检测灯一6的操作原理相同。

所述转轴二102的底端固接有电动伸缩杆11，所述电动伸缩杆11的伸缩端设置有吸盘12，所述吸盘12的材质为橡胶；工作时，当检测灯二103对坩埚内壁检测完成后，通过控制电动伸缩杆11向下移动，电动伸缩杆11带动吸盘12向坩埚内壁移动，使吸盘12吸附在坩埚内壁，随后再次控制电机二101带动转轴二102转动，转轴二102带动电动伸缩杆11和吸盘12转动，使吸盘12带动坩埚本体3呈圆周转动，在坩埚本体3的转动下，处于其外侧的检测灯一6会继续对坩埚的外表面进行检测，来对坩埚的外表面继续检测是否有异物，裂纹、开口的气泡的问题，提高了坩埚的检测效率，且避免了现有技术中，需要工作人员手动转动坩埚本体3的问题；

而且当需要检测坩埚本体3的底面时，通过控制电机一7带动转轴一8转动，转轴一8带动安装盘9、连接架10、电机二101、转轴二102、电动伸缩杆11、吸盘12以及坩埚本体3向上偏转，使坩埚本体3的底面裸露出，避免坩埚本体3的底面与放置板2上表面接触，导致其底面难以检测到的问题。

需要说明的是，坩埚本体3在向上偏转时，检测灯一6仍能对准坩埚本体3的底面，进而能对其底面进行正常检测。

所述连接杆4的侧壁转动连接有转轮13，所述转轮13通过转杆与外接电机连接，电机安装在连接杆4内，所述转轮13的外表面固接有横杆131，所述LED灯具5的上表面固接在横杆131的端部；所述LED灯具5呈倾斜式设计，所述LED灯具5的灯光朝向坩埚本体3仪测出，所述吸盘12朝向坩埚本体3内部，工作时，当坩埚本体3向上偏转时，可以通过外接电机带动转轮13以及横杆131转动，横杆131带动LED灯具5转动，使LED灯具5转动至一定角度，保证坩埚本体3的表面能持续性接收到光照，为坩埚本体3的检测带来了便捷性。

所述固定架601的侧端面开设有嵌入槽14，所述检测灯一6靠近嵌入槽14的一侧固接有卡杆15，所述卡杆15设置在嵌入槽14内，所述卡杆15的上端面固接有弧形杆16，所述转轴二102的外周面固接有限位杆17，所述限位杆17的底部固接有压座18，所述转轴二102带动限位杆17转动过程中，其底部的压座18会与弧形杆16顶端接触，所述卡杆15的底端固接有弹性杆19，所述弹性杆19的底端与嵌入槽14固接；工作时，当转轴二102带动电动伸缩杆11、吸盘12以及坩埚本体3呈圆周转动时，转轴二102会同时带动限位杆17转动，限位杆17带动压座18转动，限位杆17转动过程中，其底部的压座18会与弧形杆16顶端接触，并对弧形杆16以及卡杆15和弹性杆19挤压，使卡杆15带动检测灯一6的位置发生改变，从而使检测灯一6对坩埚本体3外表面的检测位置发生改变，当弧形杆16与压座18远离时，处于挤压状态的弹性杆19恢复，会再次带动检测灯一6恢复，如此设计，提高了对坩埚本体3外表面的检测范围，而且还能检测到坩埚端口位置，以此方便后续判断是否有缺口、异物、刀痕、边距不良等问题。

所述弹性杆19的外表面套接有拉伸弹簧20，所述拉伸弹簧20的一端与弹性杆19固接，另一端与嵌入槽14内壁固接；工作时，当弹性杆19受压时，弹性杆19会同时挤压拉伸弹簧20，当拉伸弹簧20恢复时，其会方便带动卡杆15和检测灯一6恢复，继而有利于对坩埚本体3的检测。

所述嵌入槽14内开设有两个卡槽21，所述卡杆15与卡槽21内接触位置处固接有滑杆22，所述滑杆22设置在卡槽21内，所述滑杆22的形状和卡槽21的形状相适配；工作时，当卡杆15上下移动时，卡杆15会同时带动滑杆22在卡槽21内上下移动，如此能对卡杆15的位置进行限位，避免卡杆15和检测灯一6出现偏斜的问题，方便其对坩埚的检测。

所述限位杆17设置多个，且呈圆周阵列设置在所述转轴二102的外周面，所述压座18的形状为圆形，所述弧形杆16顶部的形状为圆弧形；工作时，由于压座18和弧形杆16的形状均为弧形，能方便压座18对弧形杆16的挤压，而且设置了多个压座18，能持续性对弧形杆16的下压，进而使检测灯一6持续性上下移动，有利于对坩埚本体3的外表面进行检测。

所述滑杆22与卡槽21接触位置处设置有滚轮，所述滑杆22的端部设置有与滚轮相适配的转轴；工作时，滑杆22上下移动时，滑杆22会同时带动滚轮在卡槽21内上下移动，如此能方便滑杆22和卡杆15的上下移动，有利于对坩埚的检测。

工作时，待检测的石英坩埚置于放置板2上方，且转轴二102处于坩埚本体3内部，通过控制连接架10内的电机二101运转，使电机二101带动转轴二102转动，转轴二102带动检测灯二103呈圆周转动，使检测灯二103在转动过程中对坩埚内壁进行检测，来检测内壁是否存在气泡、黑点、白点、划痕、异物、附着物等，如此设计，能对坩埚本体3的外壁和内壁同时进行检测，提高了检测效率；

通过控制电动伸缩杆11向下移动，电动伸缩杆11带动吸盘12向坩埚内壁移动，使吸盘12吸附在坩埚内壁，随后再次控制电机二101带动转轴二102转动，转轴二102带动电动伸缩杆11和吸盘12转动，使吸盘12带动坩埚本体3呈圆周转动，在坩埚本体3的转动下，处于其外侧的检测灯一6会继续对坩埚的外表面进行检测，来对坩埚的外表面继续检测是否有异物，裂纹、开口的气泡的问题，提高了坩埚的检测效率，且避免了现有技术中，需要工作人员手动转动坩埚本体3的问题。

而且当需要检测坩埚本体3的底面时，通过控制电机一7带动转轴一8转动，转轴一8带动安装盘9、连接架10、电机二101、转轴二102、电动伸缩杆11、吸盘12以及坩埚本体3向上偏转，使坩埚本体3的底面裸露出，避免坩埚本体3的底面与放置板2上表面接触，导致其底面难以检测到的问题；当坩埚本体3向上偏转时，可以通过外接电机带动转轮13以及横杆131转动，横杆131带动LED灯具5转动，使LED灯具5转动至一定角度，保证坩埚本体3的表面能持续性接收到光照，为坩埚本体3的检测带来了便捷性。

当转轴二102带动电动伸缩杆11、吸盘12以及坩埚本体3呈圆周转动时，转轴二102会同时带动限位杆17转动，限位杆17带动压座18转动，限位杆17转动过程中，其底部的压座18会与弧形杆16顶端接触，并对弧形杆16以及卡杆15和弹性杆19挤压，使卡杆15带动检测灯一6的位置发生改变，从而使检测灯一6对坩埚本体3外表面的检测位置发生改变，当弧形杆16与压座18远离时，处于挤压状态的弹性杆19恢复，会再次带动检测灯一6恢复，如此设计，提高了对坩埚本体3外表面的检测范围，而且还能检测到坩埚端口位置，以此方便后续判断是否有缺口、异物、刀痕、边距不良等问题。

当卡杆15上下移动时，卡杆15会同时带动滑杆22在卡槽21内上下移动，如此能对卡杆15的位置进行限位，避免卡杆15和检测灯一6出现偏斜的问题，方便其对坩埚的检测，由于压座18和弧形杆16的形状均为弧形，能方便压座18对弧形杆16的挤压，而且设置了多个压座18，能持续性对弧形杆16的下压，进而使检测灯一6持续性上下移动，有利于对坩埚本体3的外表面进行检测。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (3)

1.一种石英坩埚检测装置，其特征在于：包括

支撑架（1）；

放置板（2），放置板（2）固接在所述支撑架（1）的侧壁；

坩埚本体（3），坩埚本体（3）设置在所述放置板（2）的上端面；

连接杆（4），连接杆（4）固接在所述支撑架（1）的侧壁；

LED灯具（5），LED灯具（5）设置在所述连接杆（4）的侧壁，LED灯具（5）灯光朝向坩埚本体（3）；

固定架（601），固定架（601）通过连接杆固接在所述支撑架（1）的侧壁；

检测灯一（6），检测灯一（6）设置在所述固定架（601）的侧端面，检测灯一（6）朝向坩埚本体（3）的外表面；

检测灯一（6）为超声波发生器，其原理为超声波若遇到表面缺陷就会发生反射波，反射波经外接控制器在外接显示屏上形成脉冲波形，工作人员根据波形来判断石英坩埚表面是否存在缺陷；

调节机构，调节机构设置在所述支撑架（1）的侧壁，调节机构用以对所述坩埚本体（3）转动至一定角度；

所述调节机构包括固接在所述支撑架（1）侧壁靠上侧的电机一（7），所述电机一（7）的输出端转动连接有转轴一（8），所述转轴一（8）远离电机一（7）的一端固接有安装盘（9），所述安装盘（9）的外表面固接有连接架（10），所述连接架（10）内固接有电机二（101），所述电机二（101）的输出端固接有转轴二（102），所述转轴二（102）的外周面固接有检测灯二（103）；所述转轴二（102）的底端固接有电动伸缩杆（11），所述电动伸缩杆（11）的伸缩端设置有吸盘（12），所述吸盘（12）的材质为橡胶；所述连接杆（4）的侧壁转动连接有转轮（13），所述转轮（13）通过转杆与外接电机连接，电机安装在连接杆（4）内，所述转轮（13）的外表面固接有横杆（131），所述LED灯具（5）的上表面固接在横杆（131）的端部；

所述固定架（601）的侧端面开设有嵌入槽（14），所述检测灯一（6）靠近嵌入槽（14）的一侧固接有卡杆（15），所述卡杆（15）设置在嵌入槽（14）内，所述卡杆（15）的上端面固接有弧形杆（16），所述转轴二（102）的外周面固接有限位杆（17），所述限位杆（17）的底部固接有压座（18），所述转轴二（102）带动限位杆（17）转动过程中，其底部的压座（18）会与弧形杆（16）顶端接触，所述卡杆（15）的底端固接有弹性杆（19），所述弹性杆（19）的底端与嵌入槽（14）固接；

所述弹性杆（19）的外表面套接有拉伸弹簧（20），所述拉伸弹簧（20）的一端与弹性杆（19）固接，另一端与嵌入槽（14）内壁固接；所述嵌入槽（14）内开设有两个卡槽（21），所述卡杆（15）与卡槽（21）内接触位置处固接有滑杆（22），所述滑杆（22）设置在卡槽（21）内，所述滑杆（22）的形状和卡槽（21）的形状相适配；所述滑杆（22）与卡槽（21）接触位置处设置有滚轮，所述滑杆（22）的端部设置有与滚轮相适配的转轴。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述LED灯具（5）呈倾斜式设计，所述LED灯具（5）的灯光朝向坩埚本体（3）仪测出，所述吸盘（12）朝向坩埚本体（3）内部。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述限位杆（17）设置多个，且呈圆周阵列设置在所述转轴二（102）的外周面，所述压座（18）的形状为圆形，所述弧形杆（16）顶部的形状为圆弧形。