CN109580782A - 一种石英坩埚表面在线检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种石英坩埚表面处理技术领域,具体为一种石英坩埚表面在线检测装置,包括工作台,工作台上设有检测室,工作台上安装有密封板,密封板底部安装有第一磁块,工作台内还安装有齿条,齿条一端连接有第二磁块,齿条另一端连接有第二弹簧;齿条啮合有蜗轮,蜗轮啮合有蜗杆,蜗杆同轴连接有第一齿轮,第一齿轮啮合有第二齿轮,第二齿轮同轴连接有显示屏;通过第一磁块、第二磁块、蜗轮蜗杆、第一齿轮、第二齿轮的传动设置,实现了需要对石英坩埚检测时显示屏正面朝外,不需要对石英坩埚检测时显示屏正面朝里,解决了现有技术中显示屏因积灰而无法看清显示屏内容,影响工作人员判断石英坩埚表面是否存在缺陷的问题。

Description

一种石英坩埚表面在线检测装置
技术领域
本发明涉及石英坩埚表面处理技术领域,具体为一种石英坩埚表面在线检测装置。
背景技术
石英坩埚在生产过程中,由于各种原因,在石英坩埚的成品中存在划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷。如果将由划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷的石英坩埚投入使用,会对安全生产和产品质量产生严重影响。所以必须对加工完的石英坩埚进行检验,确定石英坩埚符合现行业标准、满足客户需求后,方可包装出厂。
现有技术中对石英坩埚的检测技术,多半使用超声波技术原理对石英坩埚表面是否存在缺陷,检测到的结果通过在显示屏上产生脉冲波形来显现,然后工作人员通过这些脉冲波形来判断石英坩埚表面是否存在缺陷。一般来说,显示屏都是裸露在外侧,长期如此,显示屏上会积攒许多的灰尘,工作人员会比较难看清显示屏上脉冲波形,从而无法判断石英坩埚表面是否存在缺陷。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种石英坩埚表面在线检测装置,来解决现有技术中显示屏因积灰而无法看清显示屏内容,影响工作人员判断石英坩埚表面是否存在缺陷的问题。
为达到以上目的,本发明采用的技术方案为:一种石英坩埚表面在线检测装置,包括工作台,所述工作台上设有检测室,所述检测室侧壁上设有开口,所述工作台上安装有用于传送石英坩埚的传输装置,传输装置包括第二电机,所述第二电机的输出轴连接有螺杆,所述螺杆上螺纹套接有密封板和可滑动至检测室内的承载滑块,所述承载滑块上设有用于放置石英坩埚的卡槽;所述检测室外侧顶部安装有第一电机,所述第一电机输出轴连接有转轴,所述转轴连接有检验装置,所述检测室侧壁内滑动连接有楔形块,所述楔形块与检测室侧壁之间连接有第一弹簧,所述检测室侧壁内安装有用于控制第一电机的触碰开关;所述密封板底部安装有第一磁块,所述工作台内还安装有齿条,所述齿条的一端可拆卸地连接有第二磁块,所述齿条的另一端与工作台内壁之间连接有第二弹簧;所述第二磁块和第一磁块相对设置且第一磁块和第二磁块的相对面为同磁极,所述齿条啮合有蜗轮,所述蜗轮啮合有蜗杆,所述蜗杆同轴连接有第一齿轮,所述第一齿轮啮合有第二齿轮,所述第二齿轮同轴连接有用于显示检测结果的显示屏。
本方案的原理如下:将石英坩埚倒置在承载滑块内的卡槽上,启动传输装置将承载滑块运输至检测室内,传输完毕后,密封板压迫楔形块,使楔形块压缩第一弹簧并与触碰开关相接触,从而打开第一电机的触碰开关,第一电机启动,检验装置开始检测,第一电机带动转轴旋转,转轴与检验装置连接,检验装置将会绕石英坩埚一周一次来完成石英坩埚的表面检测。
同时密封板底部的第一磁块与工作台内的第二磁块因为同性相斥的原理,使第二磁块带动齿条向下移动,齿条向下移动带动蜗轮顺时针转动,蜗杆顺时针转动,蜗杆带动第一齿轮转动,第一齿轮带动第二齿轮转动,第二齿轮带动显示屏转动,使从显示屏正面朝里的状态变为显示屏正面朝外的状态。
检测装置所检测到的结果反映在显示屏上,然后人工根据显示屏上的脉冲波形来判断石英坩埚表面是否存在缺陷。
检测完毕后,使用传输装置将石英坩埚运输至检测室外部,从而完成对石英坩埚表面检测处理。传输装置运输过程中,第一磁块和第二磁块逐渐远离,使齿条在第二弹簧的作用下向上滑动,齿条、蜗轮蜗杆、第一齿轮、第二齿轮传动,同理可得第二齿轮带动显示屏反向转动,使显示屏从正面朝外的状态变为显示屏正面朝里的状态,防止显示屏积攒灰尘。解决现有技术中显示屏因积灰而无法看清显示屏内容,影响工作人员判断石英坩埚表面是否存在缺陷的问题。
本发明的优点在于:1、通过第一磁块、第二磁块、蜗轮蜗杆、第一齿轮、第二齿轮的传动设置,实现了需要对石英坩埚检测时显示屏正面朝外,不需要对石英坩埚检测时显示屏正面朝里,解决了现有技术中显示屏因积灰而无法看清显示屏内容,影响工作人员判断石英坩埚表面是否存在缺陷的问题。2、通过传输装置来运送石英坩埚,通过承载滑块来放置石英坩埚,通过检测装置转动一周一次来完成对石英坩埚表面检测处理,从而完成对石英坩埚整个表面检测过程。
进一步优化,所述检测室侧壁内滑动连接有楔形块,所述楔形块与检测室侧壁之间连接有第一弹簧,所述检测室侧壁内安装有用于控制第一电机的触碰开关。密封板压迫楔形块,使楔形块压缩第一弹簧并与触碰开关相接触,从而打开第一电机的触碰开关,第一电机启动。
进一步优化,所述卡槽内滑动连接有第一滑块和第二滑块;所述工作台内滑动有第一斜块、第二斜块和第三斜块,所述第一斜块与工作台内壁之间连接有第三弹簧,所述第三弹簧初始处于压缩状态,所述第一斜块上设有配合第二斜块的第一斜槽和配合第三斜块的第二斜槽,所述工作台内设有供第二斜块、第三斜块竖直滑动的滑道;所述检测室侧壁内设有竖直滑道,所述竖直滑道内滑动连接有第四斜块;所述检测室顶壁内滑动连接有第五斜块,所述第四斜块的两端分别与第一斜块的一端和第五斜块的一端相抵设置;所述转轴同轴连接有凸轮,所述凸轮与所述第五斜块另一端相抵设置,所述承载滑块滑动到检测室内后,所述第一滑块和第二滑块位于所述第二斜块和第三斜块的正上方,所述转轴转动时,凸轮转动,第五斜块松脱,第一斜块在第二弹簧作用下滑动,在第四斜块和第一斜块的传动下,第二斜块和第三斜块分别将第一滑块和第二滑块顶起。初始状态时,凸轮、第五斜块、第四斜块和第一斜块处于力平衡状态,当第一电机启动的一瞬间,第一电机带动转轴转动,转轴带动凸轮偏心转动,从而导致力平衡状态被破坏,在凸轮、第五斜块、第四斜块和第一斜块的传动下,第一斜块上的第二斜块和第三斜块分别将第一滑块和第二滑块顶起,石英坩埚被向上顶起并滑出卡槽区域,石英坩埚底部与承载滑块上表面齐平,第一滑块和第二滑块牢牢将石英坩埚与承载滑块固定住,使得石英坩埚在表面检测过程中固定不动,检测结果精确。
进一步优化,所述检验装置包括截面为半圆弧形的壳体,所述壳体内表面安装有若干个超声波发射器。通过超声波发射器发射超声波来检测石英坩埚表面是否存在缺陷。
进一步优化,所述密封板位于承载滑块与第二电机之间。通过密封板封闭住检测室侧壁上的开口,使检测室处于封闭的状态,密封板同时触碰到触碰开关,从而启动第一电机。
进一步优化,所述凸轮位于第一电机和检验装置之间。
附图说明
图1是本发明一种石英坩埚表面在线检测装置结构示意图;
图2是准备石英坩埚表面在线检测的整体结构示意图;
图3是开始石英坩埚表面在线检测的整体结构示意图;
图4是承载滑块的俯视图;
图5是第五斜块的俯视图;
图6是A的局部放大示意图。
附图标记:工作台1、石英坩埚2、检测室3、第二电机4、螺杆5、承载滑块6、卡槽61、密封板7、第一电机8、转轴9、壳体10、超声波发射器11、第一滑块12、第二滑块13、楔形块14、第一弹簧15、触碰开关16、第一斜块17、第二斜块18、第三斜块19、第三弹簧20、第一斜槽21、第二斜槽22、第四斜块23、第五斜块24、凸轮25、第一磁块26、齿条27、第二磁块28、第二弹簧29、蜗轮30、蜗杆31、第一齿轮32、第二齿轮33、显示屏34。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例,本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
实施例1如图1~6所示:一种石英坩埚表面在线检测装置,包括工作台1,工作台1上设有检测室3,检测室3右侧壁上设有开口,工作台1上安装有用于传送石英坩埚2的传输装置,传输装置包括第二电机4,第二电机4的输出轴连接有螺杆5,螺杆5上从左自右螺纹套接有可滑动至检测室3内的承载滑块6以及密封板7,承载滑块6上设有用于放置石英坩埚2的卡槽61;检测室3外侧顶部安装有第一电机8,第一电机8输出轴连接有转轴9,转轴9连接有检验装置,检验装置包括截面为半圆弧形的壳体10,壳体10内表面安装有若干个超声波发射器11;密封板7底部安装有第一磁块26,工作台1内还安装有齿条27,齿条27的上端通过磁性粘扣连接有第二磁块28,齿条27的下端与工作台1内壁之间设有第二弹簧29;第二磁块28和第一磁块26相对设置且第一磁块26和第二磁块28的相对面为同磁极,齿条27啮合有蜗轮30,蜗轮30啮合有蜗杆31,蜗杆31同轴连接有第一齿轮32,第一齿轮32啮合有第二齿轮33,第二齿轮33同轴连接有用于显示检测结果的显示屏34。
具体地来说,检测室3右侧壁内竖向滑动连接有楔形块14,楔形块14与检测室3右侧壁之间连接有第一弹簧15,检测室3右侧壁内安装有用于控制第一电机8的触碰开关16。
卡槽61内竖向滑动连接有第一滑块12和第二滑块13,工作台1内横向滑动有第一斜块17、竖向滑动有第二斜块18和第三斜块19,第一斜块17与工作台1内壁之间连接有第三弹簧20,第三弹簧20初始处于压缩状态,第一斜块17上设有配合第二斜块18的第一斜槽21和配合第三斜块19的第二斜槽22,所述工作台1内设有供第二斜块18、第三斜块19竖直滑动的滑道;检测室3左侧壁内设有竖向滑道,所述竖直滑道内滑动连接有第四斜块23,检测室3顶壁内横向滑动连接有第五斜块24,第四斜块23的下斜面与第一斜块17的左斜面相抵设置,第四斜块23的上斜面与第五斜块24的左斜面相抵设置;转轴9同轴连接有凸轮25,凸轮25与第五斜块24右端相抵设置。承载滑块6滑动到检测室3内后,第一滑块12和第二滑块13位于第二斜块18和第三斜块19的正上方,转轴9转动时,凸轮25转动、第五斜块24松脱并向右移动,第一斜块17在第三弹簧20作用下向左移动,第四斜块23向上移动,第一斜块17上的第二斜块18和第三斜块19分别将第一滑块12和第二滑块13向上顶起。
本发明的具体操作步骤如下:将石英坩埚2倒置在承载滑块6的卡槽61内,启动第二电机4,第二电机4正转带动承载滑块6进入检测室3,传输完毕后,传输装置内的密封板7压迫楔形块14,使楔形块14压缩第一弹簧15并与触碰开关16相接触,从而打开第一电机8的触碰开关16,第一电机8启动,检测装置中的超声波发射器11发射超声波,超声波遇到表面缺陷就发生发射波,在显示屏34上形成脉冲波形,检测装置所检测到的结果反映在显示屏34上,然后人工根据显示屏34上的脉冲波形来判断石英坩埚2表面是否存在缺陷。第一电机8带动转轴9旋转,转轴9与检测装置连接,检测装置将会绕石英坩埚2一周一次来完成石英坩埚2的表面检测。
同时密封板7底部的第一磁块26与工作台1内的第二磁块28因为同性相斥的原理,使第二磁块28带动齿条27向下移动,并压缩第二弹簧29,齿条27向下移动带动蜗轮30顺时针转动,蜗杆31顺时针转动,蜗杆31带动第一齿轮32转动,第一齿轮32带动第二齿轮33转动,第二齿轮33带动显示屏34转动,使从显示屏34正面朝里的状态变为显示屏34正面朝外的状态。防止显示屏34因积灰,工作人员无法看清显示屏34内容的现象出现。
初始状态时,第五斜块24的右端与凸轮25相抵,第五斜块24的左斜面与第四斜块23的上斜面相抵,第四斜块23的下斜面与第一斜块17左斜面相抵。使凸轮25、第五斜块24、第四斜块23和第一斜块17处于力平衡状态,第三弹簧20也处于压缩状态,当第一电机8启动的一瞬间,第一电机8带动转轴9逆时针转动,转轴9带动逆时针凸轮25偏心转动,从而导致力平衡状态被破坏,使第五斜块24向右移动,第一斜块17在第三弹簧20的作用下向左移动,第一斜块17向上顶起第四斜块23,第四斜块23由于失去了第五斜块24的限制也可以向上移动,第一斜块17移动的同时压迫第二斜块18、第三斜块19向上移动,此时第二斜块18、第三斜块19被迫顶住第一滑块12、第二滑块13向上滑动,石英坩埚26被向上滑出卡槽61区域,石英坩埚26底部与承载滑块6齐平,第一滑块12和第二滑块13牢牢将石英坩埚26与承载滑块6固定住,使得石英坩埚26在表面检测过程中固定不动,检测效果精确。
等到转轴9转完一圈,检测装置也绕着石英坩埚26一周从而完成了表面检测,此时凸轮25也转完一圈回到初始位置,凸轮25、第五斜块24、第四斜块23和第一斜块17回到力平衡的状态,第三弹簧20也恢复到初始的压缩状态,第二斜块18和第三斜块19也回到第一斜槽21、第二斜槽22内,使得第一滑块12、第二滑块13向下滑动,石英坩埚26回到卡槽61内,然后使用传输装置将石英坩埚26运输至检测室3外部,完成对石英坩埚26表面检测处理。
然后使用传输装置将石英坩埚2退回至检测室3外部,完成对石英坩埚2表面检测处理。传输装置运输过程中,第一磁块26和第二磁块28逐渐远离,使齿条27在第二弹簧29的作用下向上滑动,齿条27、蜗轮30、蜗杆31、第一齿轮32、第二齿轮33传动,同理可得第二齿轮33带动显示屏34反向转动,使显示屏34从正面朝外的状态变为显示屏34正面朝里的状态,防止显示屏34积攒灰尘。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.一种石英坩埚表面在线检测装置,包括工作台,所述工作台上设有检测室,所述检测室侧壁上设有开口,所述工作台上安装有用于传送石英坩埚的传输装置,传输装置包括第二电机,所述第二电机的输出轴连接有螺杆,所述螺杆上螺纹套接有密封板和可滑动至检测室内的承载滑块,所述承载滑块上设有用于放置石英坩埚的卡槽;所述检测室外侧顶部安装有第一电机,所述第一电机输出轴连接有转轴,所述转轴连接有检验装置,其特征在于:所述密封板底部安装有第一磁块,所述工作台内还安装有齿条,所述齿条的一端可拆卸地连接有第二磁块,所述齿条的另一端与工作台内壁之间连接有第二弹簧;所述第二磁块和第一磁块相对设置且第一磁块和第二磁块的相对面为同磁极,所述齿条啮合有蜗轮,所述蜗轮啮合有蜗杆,所述蜗杆同轴连接有第一齿轮,所述第一齿轮啮合有第二齿轮,所述第二齿轮同轴连接有用于显示检测结果的显示屏。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置,其特征在于:所述检测室侧壁内滑动连接有楔形块,所述楔形块与检测室侧壁之间连接有第一弹簧,所述检测室侧壁内安装有用于控制第一电机的触碰开关。
3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置,其特征在于:所述卡槽内滑动连接有第一滑块和第二滑块;所述工作台内滑动有第一斜块、第二斜块和第三斜块,所述第一斜块与工作台内壁之间连接有第三弹簧,所述第三弹簧初始处于压缩状态,所述第一斜块上设有配合第二斜块的第一斜槽和配合第三斜块的第二斜槽,所述工作台内设有供第二斜块、第三斜块竖直滑动的滑道;所述检测室侧壁内设有竖直滑道,所述竖直滑道内滑动连接有第四斜块;所述检测室顶壁内滑动连接有第五斜块,所述第四斜块的两端分别与第一斜块的一端和第五斜块的一端相抵设置;所述转轴同轴连接有凸轮,所述凸轮与所述第五斜块另一端相抵设置,所述承载滑块滑动到检测室内后,所述第一滑块和第二滑块位于所述第二斜块和第三斜块的正上方,所述转轴转动时,凸轮转动,第五斜块松脱,第一斜块在第二弹簧作用下滑动,在第四斜块和第一斜块的传动下,第二斜块和第三斜块分别将第一滑块和第二滑块顶起。
4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置,其特征在于:所述检验装置包括截面为半圆弧形的壳体,所述壳体内表面安装有若干个超声波发射器。
5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置,其特征在于:所述密封板位于承载滑块与第二电机之间。
6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置,其特征在于:所述凸轮位于第一电机和检验装置之间。
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