CN115074804B - 一种金刚线辅助上砂添加剂 - Google Patents
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- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 72
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 239000000654 additive Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 title claims abstract description 43
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 229920002755 poly(epichlorohydrin) Polymers 0.000 claims abstract description 27
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 238000005282 brightening Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000013556 antirust agent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 125000003354 benzotriazolyl group Chemical group N1N=NC2=C1C=CC=C2* 0.000 claims abstract description 6
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 28
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 21
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 5
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 4
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 4
- 150000001565 benzotriazoles Chemical class 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 241001278833 Rosa laevigata Species 0.000 description 1
- 235000000661 Rosa laevigata Nutrition 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000003031 feeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000004579 marble Substances 0.000 description 1
- SNMVRZFUUCLYTO-UHFFFAOYSA-N n-propyl chloride Chemical compound CCCCl SNMVRZFUUCLYTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 polyoxyethylene chloropropane Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D15/00—Electrolytic or electrophoretic production of coatings containing embedded materials, e.g. particles, whiskers, wires
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F11/00—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
- C25D7/06—Wires; Strips; Foils
- C25D7/0607—Wires
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- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
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- Electrochemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
本发明属于电镀金刚线技术领域，具体涉及一种金刚线辅助上砂添加剂，包括表面活性剂、光亮剂、防锈剂和去离子水，表面活性剂是聚环氧氯丙烷胺，光亮剂是乙二胺‑二甲氨基丙胺‑环氧氯丙烷聚合物，聚环氧氯丙烷胺能够增加乙二胺‑二甲氨基丙胺‑环氧氯丙烷聚合物在水中的溶解性，使乙二胺‑二甲氨基丙胺‑环氧氯丙烷聚合物充分溶解，起到增加镀层致密性的作用，所述防锈剂是苯并三氮唑或苯并三氮唑衍生物，具有更优异的防锈功能，保护钢线不被侵蚀，增加电镀层的致密性，本发明金刚线辅助上砂添加剂既能增加金刚石在金刚线表面的颗粒数，又提高金刚石在金刚线表面的分散性，让金刚石在金刚线表面均匀铺展，很大程度的降低线痕发生的风险。
Description
技术领域
本发明属于电镀金刚线技术领域，具体涉及一种金刚线辅助上砂添加剂。
背景技术
随着光伏产业的迅速发展，硅片切割方式发生了巨大的变化，从原来的钢线磨料切割加工，进化成了金刚线切割加工，金刚石线切割技术，即使用固定在金刚线上的金刚石颗粒进行切割的技术，其具有切割效率高、硅耗低、面形精度好和环保清洁等优点，目前硅片切割，半导体切割，蓝宝石切割，磁性材料切割，玻璃切割，大理石切割等行业都已经由砂线切割转变为金刚线切割，因此金刚线质量的好坏直接决定着切割的效果。
随着切割技术的提升，硅片切割薄片化已经成为硅片切割行业发展的必然趋势，由之前的200μm降低至目前的140微米，后续发展至120微米，随着硅片日趋薄片化，对金刚线的质量要求也逐渐增加。薄片切割必然使用更窄的槽距，需要更强的切割力，这就要求切割过程中金刚线上参与切割的金刚石越来越多，金刚石颗粒的增加必然会导致金刚石颗粒的聚集，若金刚石在金刚线上聚集或者堆积在一起的颗粒较多，必然会导致局部切割的摩擦力增加，产生不平稳切割的风险增加，大大增加了出现线痕的概率，而线痕问题是硅片切割中要完全避免的主要问题之一，因此既要保证金刚石颗粒数增加，又要降低金刚石在金刚线表面的聚集增加金刚石在金刚线表面的分散性，是解决薄片化切割的主要研究方向。
发明内容
为了解决背景技术中问题，本发明公开一种金刚线辅助上砂添加剂，包括表面活性剂、光亮剂和防锈剂，既能增加金刚石在金刚线表面的颗粒数，又能提高金刚石在金刚线表面的分散性，金刚石在金刚线表面均匀铺展。
为实现上述发明目的，本发明采用下述技术方案：
一种金刚线辅助上砂添加剂，包括如下组分：
其中，表面活性剂是聚环氧氯丙烷胺，光亮剂是乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物，防锈剂是苯并三氮唑或苯并三氮唑衍生物。
进一步地，所述金刚线辅助上砂添加剂，表面活性剂有效含量等于50％-80％，粘度是50-100CPS。
进一步地，所述金刚线辅助上砂添加剂，光亮剂有效含量等于30％-50％，粘度是40-90CPS。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明公开本发明公开一种金刚线辅助上砂添加剂，包括表面活性剂、光亮剂、防锈剂和去离子水，表面活性剂是聚环氧氯丙烷胺，是一种阳离子表面活性剂聚合物，光亮剂是乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物，二者共同作用，协同增效，聚环氧氯丙烷胺可以增加乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物在水中的溶解性，使乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物充分溶解，起到增加镀层致密性的作用，所述防锈剂是苯并三氮唑或苯并三氮唑衍生物，苯并三氮唑衍生物作为防锈剂使用，具有更优异的防锈功能，可以保护钢线不被侵蚀，增加电镀层的致密性，本发明公开金刚线辅助上砂添加剂既能增加金刚石在金刚线表面的颗粒数，又能提高金刚石在金刚线表面的分散性，让金刚石在金刚线表面均匀铺展，既能保证参与切割金刚石的颗粒数，又能降低金刚石堆积造成局部摩擦力较大，很大程度的降低线痕发生的风险。
具体实施方式
下面通过具体实施例来进一步说明本发明的技术方案。
所属试剂和材料信息如下:
| 材料 | 购买厂家牌号 |
| 聚环氧氯丙烷胺 | 江西斯莫生物化学有限公司 |
| 乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物 | 南京优普化工有限公司 |
| 甲基苯并三氮唑 | 德国洋樱 |
实施例1
将80wt％有效含量50％，粘度60％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例2
将90wt％有效含量50％，粘度60％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例3
将95wt％有效含量50％，粘度60％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例4
将90wt％有效含量60％，粘度60％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例5
将90wt％有效含量70％，粘度60％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例6
将90wt％有效含量80％，粘度60％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例7
将90wt％有效含量80％，粘度65％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例8
将90wt％有效含量80％，粘度70％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例9
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例10
将90wt％有效含量80％，粘度85％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例11
将90wt％有效含量80％，粘度90％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量50％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例12
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量40％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例13
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量35％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例14
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量30％，粘度60％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例15
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量40％，粘度45％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例16
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量40％，粘度50％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例17
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量40％，粘度65％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例18
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量40％，粘度75％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例19
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、1wt％有效含量40％，粘度85％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例20
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、2wt％有效含量40％，粘度85％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例21
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、3wt％有效含量40％，粘度85％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例22
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、4wt％有效含量40％，粘度85％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
实施例23
将90wt％有效含量80％，粘度80％CPS的聚环氧氯丙烷胺、5wt％有效含量40％，粘度85％CPS的乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物和0.5wt％甲基苯丙三氮唑混合，与余量去离子水混合搅拌2-5h，得到金刚线辅助上砂添加剂。
采用实施例1-实施例23制备的金刚线辅助上砂添加剂辅助金刚线上砂，另外，将不使用添加剂条件下上砂得到金刚线做对比例，得到金刚线的团聚数、线痕和断线率如下表：
由上表数据可知，同样测试条件下，在同样颗粒的情况下，使用添加剂和不使用添加剂对比，使用添加剂的情况下，整体团聚数量和线痕率较不使用添加低，有改善效果，使用实施例15配比得到添加剂辅助上砂得到的金刚线整体指标相对较优，团聚数量较少，切割线痕率最低，断线率未因为添加剂的使用而受到较大影响，以实施例15的配比配置上砂辅助添加剂辅助上砂能达到上砂效果好、团聚数少、切割指标优的特点。
Claims (3)
1.一种金刚线辅助上砂添加剂，其特征是：包括如下组分：
表面活性剂 80-95 wt%；
光亮剂 1-5 wt%；
防锈剂 0.5-1.5 wt%；
去离子水 余量；
其中，表面活性剂是聚环氧氯丙烷胺，光亮剂是乙二胺-二甲氨基丙胺-环氧氯丙烷聚合物，防锈剂是苯并三氮唑或苯并三氮唑衍生物。
2.根据权利要求1所述金刚线辅助上砂添加剂，其特征是：表面活性剂有效含量等于50%-80%，粘度是 50-100CPS。
3.根据权利要求1所述金刚线辅助上砂添加剂，其特征是：光亮剂有效含量等于30%-50%，粘度是 40-90CPS。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210896310.0A CN115074804B (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 一种金刚线辅助上砂添加剂 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210896310.0A CN115074804B (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 一种金刚线辅助上砂添加剂 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115074804A CN115074804A (zh) | 2022-09-20 |
| CN115074804B true CN115074804B (zh) | 2023-12-26 |
Family
ID=83241833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210896310.0A Active CN115074804B (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 一种金刚线辅助上砂添加剂 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN115074804B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110172714A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-08-27 | 武汉天立表面技术有限公司 | 一种用于金刚石切割线锯生产的组合添加剂及其制备方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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