CN114940589A - 增透超保温玻璃 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种增透超保温玻璃,属于特种玻璃技术领域。所述增透超保温玻璃包括玻璃基片;底层电介质组合层,所述底层电介质组合层镀于所述玻璃基片上;功能层,所述功能层镀于所述底层电介质组合层上;阻挡层,所述阻挡层镀于所述功能层上;以及,顶层电介质组合层,所述顶层电介质组合层镀于远离所述玻璃基片的最外层;其中,所述阻挡层为TiCr膜层或NiCrAl膜层或NiCr膜层或CrV膜层或TiN膜层。本发明通过阻挡层,改善并提升了三银红外线屏蔽玻璃的透光性和保温性,降低了可见光波段的透过率损失,并使得窗内、窗外的小角度观测效果视觉更加柔和,防止产生突变色差,提升近红外波段透过率的屏蔽效果。
Description
技术领域
本发明涉及特种玻璃技术领域,特别涉及一种增透超保温玻璃。
背景技术
相关技术中,三银红外线屏蔽玻璃,是在玻璃表面镀制包括三层银层和四层电介质层在内的多层金属或其他化合物组成的膜系产品。由于银层具有低辐射率的特性,低辐射玻璃对可见光有较高的透射率,对红外线有很高的屏蔽,并采用增加银层总厚度的方式,来提升保温效果。
但是,增加银层总厚度后,三银低辐射玻璃的膜结构无法兼顾透光率和保温效果。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种增透超保温玻璃,旨在解决现有技术中增加银层总厚度后,三银低辐射玻璃的膜结构无法兼顾透光率和保温效果的技术问题。
为实现上述目的,根据本公开实施例的第一方面,本发明提出的一种增透超保温玻璃,包括:
玻璃基片;
底层电介质组合层,所述底层电介质组合层镀于所述玻璃基片上;
功能层,所述功能层镀于所述底层电介质组合层上;
阻挡层,所述阻挡层镀于所述功能层上;以及,
顶层电介质组合层,所述顶层电介质组合层镀于远离所述玻璃基片的最外层;
其中,所述阻挡层为TiCr膜层或NiCrAl膜层或NiCr膜层或CrV膜层或TiN膜层。
可选地,所述增透超保温玻璃还包括:
第一电介质组合层、第二电介质组合层和第三电介质组合层,所述第一电介质组合层、所述第二电介质组合层和所述第三电介质组合层镀设于所述底层电介质组合层和所述顶层电介质组合层之间;
所述功能层还包括第一功能层、第二功能层、第三功能层和第四功能层;
所述阻挡层还包括第一阻挡层、第二阻挡层、第三阻挡层和第四阻挡层,所述第一阻挡层为TiCr膜层,所述第二阻挡层为NiCrAl膜层,所述第三阻挡层为CrV膜层,所述第四阻挡层为TiN膜层;
其中,自所述底层电介质组合层朝所述顶层电介质组合层的方向上依次层叠镀设有所述底层电介质组合层、所述第一功能层、所述第一阻挡层、所述第一电介质组合层、所述第二功能层、所述第二阻挡层、所述第二电介质组合层、所述第三功能层、所述第三阻挡层、所述第三电介质组合层、所述第四功能层、所述第四阻挡层和所述顶层电介质组合层。
可选地,所述底层电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述底层电介质组合层中的一层所述底层电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述底层电介质组合层中的另一层所述底层电介质组合层为第一氮化物膜层;
其中,为第一氧化物膜层的所述底层电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述底层电介质组合层交替设置。
可选地,所述第一电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述第一电介质组合层中的一层所述第一电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述第一电介质组合层中的另一层所述第一电介质组合层为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的所述第一电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述第一电介质组合层交替设置;
所述第二电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述第二电介质组合层中的一层所述第二电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述第二电介质组合层中的另一层所述第二电介质组合层为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的所述第二电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述第二电介质组合层交替设置;以及,
所述第三电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述第三电介质组合层中的一层所述第三电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述第三电介质组合层中的另一层所述第三电介质组合层为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的所述第三电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述第三电介质组合层交替设置。
可选地,所述顶层电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述顶层电介质组合层中的一层所述顶层电介质组合层为第二氧化物膜层,至少两层所述顶层电介质组合层中的另一层所述顶层电介质组合层为第二氮化物膜层,且为第二氧化物膜层的所述顶层电介质组合层与为第二氮化物膜层的所述顶层电介质组合层交替设置;
其中,所述第二氧化物膜层为ZnOx膜层,所述第二氮化物膜层为SiTiNx膜层或SiNx膜层。
可选地,所述第二功能层和所述第三功能层的厚度相同。
可选地,所述第一氧化物膜层为ZnOx膜层或SiOx膜层;
所述第一氮化物膜层为TiZrNx膜层或SiTiNx膜层或SiNx膜层。
可选地,所述底层电介质组合层和所述顶层电介质组合层的厚度相同;以及,
所述第一电介质组合层和所述第三电介质组合层的厚度相同。
可选地,所述功能层为Ag膜层或AgCu膜层或AgAl膜层或AgCr膜层。
根据本公开实施例的第二方面,本发明还提出一种增透超保温玻璃的制作方法,用于上述的增透超保温玻璃,所述增透超保温玻璃的制作方法包括:
将清洗并干燥后的所述玻璃基片置于磁控溅射区;
采用中频电源和旋转阴极在所述玻璃基片上溅射沉积形成所述底层电介质组合层;
采用直流双极脉冲电源在所述底层电介质组合层上溅射沉积形成所述功能层;
采用直流电源和脉冲在所述功能层上溅射沉积形成所述阻挡层;
采用中频电源和旋转阴极在所述阻挡层上溅射沉积形成所述顶层电介质组合层。
本发明技术方案通过使用TiCr膜层或NiCrAl膜层或NiCr膜层或CrV膜层或TiN膜层作为阻挡层,改善并提升了三银红外线屏蔽玻璃的透光性和保温性,降低了可见光波段(380nm~780nm)的透过率损失,使透过玻璃窗的光线(亮光)足够,并使得窗内、窗外的小角度观测效果视觉更加柔和,防止产生突变色差,提升近红外波段(790nm~2500nm)透过率的屏蔽效果,并且,还改善了三银红外线屏蔽玻璃自身的颜色,防止因增加银层总厚度而使得三银红外线屏蔽玻璃自身的颜色不够中性色、使得三银红外线屏蔽玻璃自身的颜色调整受限制。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明增透超保温玻璃的整体结构示意图;
图2为本发明增透超保温玻璃的详细结构示意图;
图3为本发明增透超保温玻璃的制作方法的流程示意图。
标号 | 名称 | 标号 | 名称 |
100 | 玻璃基片 | 200 | 底层电介质组合层 |
300 | 功能层 | 400 | 阻挡层 |
600 | 顶层电介质组合层 | 310 | 第一功能层 |
320 | 第二功能层 | 330 | 第三功能层 |
340 | 第四功能层 | 410 | 第一阻挡层 |
420 | 第二阻挡层 | 430 | 第三阻挡层 |
440 | 第四阻挡层 | 510 | 第一电介质组合层 |
520 | 第二电介质组合层 | 530 | 第三电介质组合层 |
本发明目的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外,若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,全文中出现的“和/或”的含义,包括三个并列的方案,以“A和/或B”为例,包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
下面结合一些具体实施方式进一步阐述本发明的发明构思。
本发明提出一种增透超保温玻璃。
参照图1,图1为本发明增透超保温玻璃的整体结构示意图。
在本发明一实施例中,如图1所示,增透超保温玻璃包括:玻璃基片100;底层电介质组合层200,底层电介质组合层200镀于玻璃基片100上;功能层300,功能层300镀于底层电介质组合层200上;阻挡层400,阻挡层400镀于功能层300上;以及,顶层电介质组合层600,顶层电介质组合层600镀于远离玻璃基片100的最外层;其中,阻挡层400为TiCr膜层或NiCrAl膜层或NiCr膜层或CrV膜层或TiN膜层。
为便于理解,下面示出一具体实施方式:
将清洗并干燥后的玻璃基片100置于磁控溅射区,采用中频电源和旋转阴极在玻璃基片100上溅射沉积底层电介质组合层200,采用直流双极脉冲电源在底层电介质组合层200上溅射沉积功能层300,采用直流电源和脉冲在功能层300上溅射沉积阻挡层400,采用中频电源和旋转阴极在阻挡层400上溅射沉积顶层电介质组合层600。
可以理解的是,本实施例中,增透超保温玻璃可包括至少两组复合层,每一组复合层包括在自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上依次层叠镀设的一层功能层300和一层阻挡层400,在玻璃基片100的一侧表面镀设底层电介质组合层200后,在底层电介质组合层200的背离玻璃基片100的一侧表面,自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上依次层叠镀设至少两组复合层,相邻的两组复合层之间还镀设有中间电介质组合层,在远离玻璃基片100的最外层的复合层上镀设有顶层电介质组合层600。
本发明技术方案通过使用TiCr膜层或NiCrAl膜层或NiCr膜层或CrV膜层或TiN膜层作为阻挡层400,改善并提升了三银红外线屏蔽玻璃的透光性和保温性,降低了可见光波段(380nm~780nm)的透过率损失,使透过玻璃窗的光线(亮光)足够,并使得窗内、窗外的小角度观测效果视觉更加柔和,防止产生突变色差,提升近红外波段(790nm~2500nm)透过率的屏蔽效果,并且,还改善了三银红外线屏蔽玻璃自身的颜色,防止因增加银层总厚度而使得三银红外线屏蔽玻璃自身的颜色不够中性色、使得三银红外线屏蔽玻璃自身的颜色调整受限制。
参照图2,图2为本发明增透超保温玻璃的详细结构示意图。
在本发明一实施例中,如图2所示,增透超保温玻璃还包括:第一电介质组合层510、第二电介质组合层520和第三电介质组合层530,第一电介质组合层510、第二电介质组合层520和第三电介质组合层530镀设于底层电介质组合层200和顶层电介质组合层600之间;功能层300还包括第一功能层310、第二功能层320、第三功能层330和第四功能层340;阻挡层400还包括第一阻挡层410、第二阻挡层420、第三阻挡层430和第四阻挡层440,第一阻挡层410为TiCr膜层,第二阻挡层420为NiCrAl膜层,第三阻挡层430为CrV膜层,第四阻挡层440为TiN膜层;其中,自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上依次层叠镀设有底层电介质组合层200、第一功能层310、第一阻挡层410、第一电介质组合层510、第二功能层320、第二阻挡层420、第二电介质组合层520、第三功能层330、第三阻挡层430、第三电介质组合层530、第四功能层340、第四阻挡层440和顶层电介质组合层600。
作为本实施例的一种选择,底层电介质组合层200由SiTiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,底层电介质组合层200的总厚度为40nm,其中,SiTiNx膜层的厚度为12nm,SiNx膜层的厚度为16nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第一功能层310为Ag膜层,第一功能层310的厚度为8nm;
第一阻挡层410为TiNx膜层,第一阻挡层410的厚度为1nm;
第一电介质组合层510由ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第一电介质组合层510的总厚度为78nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为58nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第二功能层320为Ag膜层,第二功能层320的厚度为11nm;
第二阻挡层420为TiNx膜层,第二阻挡层420的厚度为1nm;
第二电介质组合层520由ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第二电介质组合层520的总厚度为70nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为50nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第三功能层330为Ag膜层,第三功能层330的厚度为11nm;
第三阻挡层430为TiNx膜层,第三阻挡层430的厚度为1nm;
第三电介质组合层530由ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第三电介质组合层530的总厚度为78nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为58nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第四功能层340为Ag膜层,第四功能层340的厚度为14nm;
第四阻挡层440为TiNx膜层,第四阻挡层440的厚度为1nm;
顶层电介质组合层600由ZnOx膜层、SiNx膜层和SiTiNx膜层依次层叠组成,顶层电介质组合层600的总厚度为40nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为20nm,SiTiNx膜层的厚度为12nm。
采用此种实施方式的增透超保温玻璃性能与传统高透产品的透过率增透对比,如下表所示:
本发明通过对功能层300的厚度进行多层依次分解,利用SiTiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层以及ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层的组合方式进行交替层叠,有效降低由于单个银层厚度过厚影响膜层的透光率,在确保增透超保温玻璃的保温效果的同时提升透光率,利用第一功能层310、第二功能层320、第三功能层330和第四功能层340分担Ag膜层的厚度,降低了某一层中,Ag膜层的反射光强度,使膜层透光率增加,另外,还可以进一步地提高Ag膜层的使用量,使保温等性能得以提高,用多层TiNx膜层作为阻挡层400能有效克服膜层内各Ag膜层之间互相反射造成的重影叠加增强,削弱膜层内反射造成的杂色,提高了膜层的清澈度和通透性,使透过色更加中性色,Ag膜层的反射降低,减弱了对膜层颜色的干扰,减少了膜层室内、室外颜色随观察角度不同时颜色的变化幅度,使室内室外颜色更加柔和、完美,在自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上采用膜层内外介质层厚度依次对称,如第二功能层320与第三功能层330相同厚度、所有阻挡层400和所有靠近阻挡层400一侧的ZnOx膜层都布置相同厚度,有效降低产品调试工艺难度、提升调试生产效率,易于普及生产,且采用多介质层与多Ag膜层搭配分解承载的膜层配置生产出的增透超保温玻璃,具有辐射率低,光学性能稳定、颜色多样、耐候等性能。
作为本实施例的另一种选择,底层电介质组合层200SiTiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,底层电介质组合层200的总厚度为38nm,其中,SiTiNx膜层的厚度为12nm,SiNx膜层的厚度为14nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第一功能层310为Ag膜层,第一功能层310的厚度为8nm;
第一阻挡层410为NiCr膜层,第一阻挡层410的厚度为0.5nm;
第一电介质组合层510由TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第一电介质组合层510的总厚度为76nm,其中TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为56nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第二功能层320为Ag膜层,第二功能层320的厚度为11nm;
第二阻挡层420为NiCr膜层,第二阻挡层420的厚度为0.5nm;
第二电介质组合层520由TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第二电介质组合层520的总厚度为70nm,其中,TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为50nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第三功能层330为Ag膜层,第三功能层330的厚度为11nm;
第三阻挡层430为NiCr膜层,第三阻挡层430的厚度为0.5nm;
第三电介质组合层530由TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第三电介质组合层530的总厚度为76nm,其中,TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为56nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第四功能层340为Ag膜层,第四功能层340的厚度为14nm;
第四阻挡层440为NiCr膜层,第四阻挡层440的厚度为0.5nm;
顶层电介质组合层600由TiNx膜层、SiNx膜层和SiTiNx膜层依次层叠组成,顶层电介质组合层600的总厚度为38nm,其中,TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为18nm,SiTiNx膜层的厚度为12nm。
采用此种实施方式的增透超保温玻璃性能与传统高透产品的透过率增透对比,如下表所示:
本发明通过对功能层300的厚度进行多层依次分解,利用SiTiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层以及TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层的组合方式进行交替层叠,有效降低由于单个银层厚度过厚影响膜层的透光率,在确保增透超保温玻璃的保温效果的同时提升透光率,利用第一功能层310、第二功能层320、第三功能层330和第四功能层340分担Ag膜层的厚度,降低了某一层中,Ag膜层的反射光强度,使膜层透光率增加,另外,还可以进一步地提高Ag膜层的使用量,使保温等性能得以提高,用多层TiNx膜层作为阻挡层400能有效克服膜层内各Ag膜层之间互相反射造成的重影叠加增强,削弱膜层内反射造成的杂色,提高了膜层的清澈度和通透性,使透过色更加中性色,Ag膜层的反射降低,减弱了对膜层颜色的干扰,减少了膜层室内、室外颜色随观察角度不同时颜色的变化幅度,使室内室外颜色更加柔和、完美,在自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上采用膜层内外介质层厚度依次对称,如第二功能层320与第三功能层330相同厚度、所有阻挡层400和所有靠近阻挡层400一侧的ZnOx膜层都布置相同厚度,有效降低产品调试工艺难度、提升调试生产效率,易于普及生产,且采用多介质层与多Ag膜层搭配分解承载的膜层配置生产出的增透超保温玻璃,具有辐射率低,光学性能稳定、颜色多样、耐候等性能。
在本发明一实施例中,底层电介质组合层200包括至少两层时,至少两层底层电介质组合层200中的一层底层电介质组合层200为第一氧化物膜层,至少两层底层电介质组合层200中的另一层底层电介质组合层200为第一氮化物膜层;其中,为第一氧化物膜层的底层电介质组合层200与为第一氮化物膜层的底层电介质组合层200交替设置。
在本发明一实施例中,第一电介质组合层510包括至少两层时,至少两层第一电介质组合层510中的一层第一电介质组合层510为第一氧化物膜层,至少两层第一电介质组合层510中的另一层第一电介质组合层510为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的第一电介质组合层510与为第一氮化物膜层的第一电介质组合层510交替设置;第二电介质组合层520包括至少两层时,至少两层第二电介质组合层520中的一层第二电介质组合层520为第一氧化物膜层,至少两层第二电介质组合层520中的另一层第二电介质组合层520为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的第二电介质组合层520与为第一氮化物膜层的第二电介质组合层520交替设置;以及,第三电介质组合层530包括至少两层时,至少两层第三电介质组合层530中的一层第三电介质组合层530为第一氧化物膜层,至少两层第三电介质组合层530中的另一层第三电介质组合层530为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的第三电介质组合层530与为第一氮化物膜层的第三电介质组合层530交替设置。
在本实施例中,第一氧化物膜层为ZnOx膜层或SiOx膜层;第一氮化物膜层为TiZrNx膜层或SiTiNx膜层或SiNx膜层。
作为本实施例的一种选择,第一电介质组合层510由ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第一电介质组合层510的总厚度为78nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为58nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第二电介质组合层520由ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第二电介质组合层520的总厚度为70nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为50nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第三电介质组合层530由ZnOx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第三电介质组合层530的总厚度为78nm,其中,ZnOx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为58nm,ZnOx膜层的厚度为12nm。
作为本实施例的另一种选择,第一电介质组合层510由TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第一电介质组合层510的总厚度为76nm,其中TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为56nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第二电介质组合层520由TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第二电介质组合层520的总厚度为70nm,其中,TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为50nm,ZnOx膜层的厚度为12nm;
第三电介质组合层530由TiNx膜层、SiNx膜层和ZnOx膜层依次层叠组成,第三电介质组合层530的总厚度为76nm,其中,TiNx膜层的厚度为8nm,SiNx膜层的厚度为56nm,ZnOx膜层的厚度为12nm。
本发明通过多层TiNx膜层作为阻挡层400能有效克服膜层内各Ag膜层之间互相反射造成的重影叠加增强,削弱膜层内反射造成的杂色,提高了膜层的清澈度和通透性,使透过色更加中性色,且在自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上采用膜层内外介质层厚度依次对称,有效降低产品调试工艺难度、提升调试生产效率,易于普及生产。
在本发明一实施例中,顶层电介质组合层600包括至少两层时,至少两层顶层电介质组合层600中的一层顶层电介质组合层600为第二氧化物膜层,至少两层顶层电介质组合层600中的另一层顶层电介质组合层600为第二氮化物膜层,且为第二氧化物膜层的顶层电介质组合层600与为第二氮化物膜层的顶层电介质组合层600交替设置;其中,第二氧化物膜层为ZnOx膜层,第二氮化物膜层为SiTiNx膜层或SiNx膜层。
在本发明一实施例中,第二功能层320和第三功能层330的厚度相同,底层电介质组合层200和顶层电介质组合层600的厚度相同;以及,第一电介质组合层510和第三电介质组合层530的厚度相同。在自底层电介质组合层200朝顶层电介质组合层600的方向上采用膜层内外介质层厚度依次对称,第二功能层320与第三功能层330相同厚度、所有阻挡层400和所有靠近阻挡层400一侧的ZnOx膜层都布置相同厚度,有效降低产品调试工艺难度、提升调试生产效率,易于普及生产。
在本发明一实施例中,为了有效降低产品调试工艺难度、提升调试生产效率,易于普及生产,功能层300为Ag膜层或AgCu膜层或AgAl膜层或AgCr膜层。
在本发明一实施例中,为了在确保增透超保温玻璃的保温效果的同时提升透光率,防止某一层的厚度过厚而影响透光率,底层电介质层的厚度值为A,A≥35nm;第一电介质组合层510、第二电介质组合层520和第三电介质组合层530均为B,B≥70nm;阻挡层400的厚度值为C,0nm<C<10nm之间;以及,功能层300的厚度值为D,7nm<D<18nm。
此外,本发明还提出一种增透超保温玻璃的制作方法,
参照图3,图3为本发明增透超保温玻璃的制作方法的流程示意图。
在本发明一实施例中,如图3所示,一种增透超保温玻璃的制作方法,用于上述的增透超保温玻璃,增透超保温玻璃的制作方法包括:
S100:将清洗并干燥后的玻璃基片100置于磁控溅射区;
S200:采用中频电源和旋转阴极在玻璃基片100上溅射沉积形成底层电介质组合层200;
S300:采用直流双极脉冲电源在底层电介质组合层200上溅射沉积形成功能层300;
S400:采用直流电源和脉冲在功能层300上溅射沉积形成阻挡层400;
S500:采用中频电源和旋转阴极在阻挡层400上溅射沉积形成顶层电介质组合层600。
为便于理解,下面示出一具体实施方式:
A100:清洗玻璃基片100,干燥后,将玻璃基片100置于磁控溅射区;
A200:采用中频电源和旋转阴极在玻璃基片100上溅射沉积形成底层电介质组合层200;
A310:采用直流双极脉冲电源在底层电介质组合层200上溅射沉积形成第一功能层310;
A410:采用直流电源和脉冲在第一功能层310上溅射沉积形成第一阻挡层410;
A510:采用中频电源和旋转阴极在第一阻挡层410上溅射沉积形成第一电介质组合层510;
A320:采用直流双极脉冲电源在第一电介质组合层510上溅射沉积形成第二功能层320;
A420:采用直流电源和脉冲在第二功能层320上溅射沉积形成第二阻挡层420;
A520:采用中频电源和旋转阴极在第二阻挡层420上溅射沉积形成第二电介质组合层520;
A330:采用直流双极脉冲电源在第二电介质组合层520上溅射沉积形成第三功能层330;
A430:采用直流电源和脉冲在第三功能层330上溅射沉积形成第三阻挡层430;
A530:采用中频电源和旋转阴极在第三阻挡层430上溅射沉积形成第三电介质组合层530;
A340:采用直流双极脉冲电源在第三电介质组合层530上溅射沉积形成第四功能层340;
A440:采用直流电源和脉冲在第四功能层340上溅射沉积形成第四阻挡层440;
A600:采用中频电源和旋转阴极在第四阻挡层440上溅射沉积形成顶层电介质组合层600。
本实施例中,底层电介质组合层200、第一电介质组合层510、第二电介质组合层520、第三电介质组合层530、顶层电介质组合层600材料包含SiTiNx、SiNx、ZnOx等,采用中频电源和旋转阴极,功率为45kw-70kw,在氩氮、或氩氧氛围中溅射沉积。
本实施例中,各第一阻挡层410、第二阻挡层420、第三阻挡层430、第四阻挡层440材料为钛铬TiCr、镍铬NiCr,功率为0.4kw-6kw,氩气、氩氧或者氩氮氛围中溅射。
本实施例中,各第一功能层310、第二功能层320、第三功能层330、第四功能层340材料为银Ag,功率为5kw-20kw,氩气溅射。
用上述工艺参数制出的增透超保温玻璃和传统产品的玻璃光学性能和热性能对比,如下表所示:
本发明采用分多层介质层承载功能层300配置生产出增透超保温玻璃,该产品相比传统产品,具有可见光波段增透10%,红外屏蔽降低40%,光学性能稳定、颜色中性、通透视野,耐磨、抗氧化、可热处理。
此外,该增透超保温玻璃的具体结构参照上述实施例,由于本增透超保温玻璃的制作方法采用了上述所有实施例的全部技术方案,因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果,在此不再一一赘述。
以上所述仅为本发明的可选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的发明构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种增透超保温玻璃,其特征在于,包括:
玻璃基片;
底层电介质组合层,所述底层电介质组合层镀于所述玻璃基片上;
功能层,所述功能层镀于所述底层电介质组合层上;
阻挡层,所述阻挡层镀于所述功能层上;以及,
顶层电介质组合层,所述顶层电介质组合层镀于远离所述玻璃基片的最外层;
其中,所述阻挡层为TiCr膜层或NiCrAl膜层或NiCr膜层或CrV膜层或TiN膜层。
2.根据权利要求1所述的增透超保温玻璃,其特征在于,所述增透超保温玻璃还包括:
第一电介质组合层、第二电介质组合层和第三电介质组合层,所述第一电介质组合层、所述第二电介质组合层和所述第三电介质组合层镀设于所述底层电介质组合层和所述顶层电介质组合层之间;
所述功能层还包括第一功能层、第二功能层、第三功能层和第四功能层;
所述阻挡层还包括第一阻挡层、第二阻挡层、第三阻挡层和第四阻挡层,所述第一阻挡层为TiCr膜层,所述第二阻挡层为NiCrAl膜层,所述第三阻挡层为CrV膜层,所述第四阻挡层为TiN膜层;
其中,自所述底层电介质组合层朝所述顶层电介质组合层的方向上依次层叠镀设有所述底层电介质组合层、所述第一功能层、所述第一阻挡层、所述第一电介质组合层、所述第二功能层、所述第二阻挡层、所述第二电介质组合层、所述第三功能层、所述第三阻挡层、所述第三电介质组合层、所述第四功能层、所述第四阻挡层和所述顶层电介质组合层。
3.根据权利要求2所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述底层电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述底层电介质组合层中的一层所述底层电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述底层电介质组合层中的另一层所述底层电介质组合层为第一氮化物膜层;
其中,为第一氧化物膜层的所述底层电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述底层电介质组合层交替设置。
4.根据权利要求2所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述第一电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述第一电介质组合层中的一层所述第一电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述第一电介质组合层中的另一层所述第一电介质组合层为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的所述第一电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述第一电介质组合层交替设置;
所述第二电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述第二电介质组合层中的一层所述第二电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述第二电介质组合层中的另一层所述第二电介质组合层为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的所述第二电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述第二电介质组合层交替设置;以及,
所述第三电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述第三电介质组合层中的一层所述第三电介质组合层为第一氧化物膜层,至少两层所述第三电介质组合层中的另一层所述第三电介质组合层为第一氮化物膜层,为第一氧化物膜层的所述第三电介质组合层与为第一氮化物膜层的所述第三电介质组合层交替设置。
5.根据权利要求2所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述顶层电介质组合层包括至少两层时,至少两层所述顶层电介质组合层中的一层所述顶层电介质组合层为第二氧化物膜层,至少两层所述顶层电介质组合层中的另一层所述顶层电介质组合层为第二氮化物膜层,且为第二氧化物膜层的所述顶层电介质组合层与为第二氮化物膜层的所述顶层电介质组合层交替设置;
其中,所述第二氧化物膜层为ZnOx膜层,所述第二氮化物膜层为SiTiNx膜层或SiNx膜层。
6.根据权利要求2所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述第二功能层和所述第三功能层的厚度相同。
7.根据权利要求3或4所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述第一氧化物膜层为ZnOx膜层或SiOx膜层;
所述第一氮化物膜层为TiZrNx膜层或SiTiNx膜层或SiNx膜层。
8.根据权利要求2至6任一项所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述底层电介质组合层和所述顶层电介质组合层的厚度相同;以及,
所述第一电介质组合层和所述第三电介质组合层的厚度相同。
9.根据权利要求1至6任一项所述的增透超保温玻璃,其特征在于:
所述功能层为Ag膜层或AgCu膜层或AgAl膜层或AgCr膜层。
10.一种增透超保温玻璃的制作方法,其特征在于,用于如权利要求1至9任一项所述的增透超保温玻璃,所述增透超保温玻璃的制作方法包括:
将清洗并干燥后的所述玻璃基片置于磁控溅射区;
采用中频电源和旋转阴极在所述玻璃基片上溅射沉积形成所述底层电介质组合层;
采用直流双极脉冲电源在所述底层电介质组合层上溅射沉积形成所述功能层;
采用直流电源和脉冲在所述功能层上溅射沉积形成所述阻挡层;
采用中频电源和旋转阴极在所述阻挡层上溅射沉积形成所述顶层电介质组合层。
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