CN114930168A - 缺陷检查装置及缺陷检查方法 - Google Patents

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Abstract

所述缺陷检查装置(100)包括：激振部，激发弹性波；照射部(2)，对激光进行照射；测定部(3)，对经干涉的激光进行测定；以及控制部，通过使激振部为了对检查对象(P)激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，针对多个频率，获取与检查对象(P)受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象(P)的缺陷检查的推荐频率(F)。

Description

缺陷检查装置及缺陷检查方法
技术领域
本发明涉及一种缺陷检查装置及缺陷检查方法。
背景技术
以往，已知有使用激光干涉法的缺陷检查装置。此种缺陷检查装置例如公开在日本专利特开2017-219318号公报中。
所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的缺陷检查装置包括：激振部，对被检查物体激发弹性波；照明部，对被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明的照射；以及位移测定部。位移测定部构成为：通过对弹性波的相位以及频闪照明的时机进行控制，从而在弹性波的相互不同的至少三个相位下对测定区域各点的前后方向上的位移进行一并测定。另外，关于所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的缺陷检查装置，公开了如下结构：通过使用作为激光干涉法的一形态的散斑剪切(speckle shearing)干涉法来对测定区域各点的前后方向上的位移进行测定，从而对测定区域各点的振动状态(振幅及相位)进行测定。然后，基于所测定的测定区域各点的振动状态(振幅及相位)，制作以图像的明暗差异表示由振动引起的位移的差异的图像，检查者通过目视确认所制作的图像，由此将振动状态的不连续部分检测为缺陷。此处，所谓散斑剪切干涉法，是如下方法：照射激光，使在测定区域的相互不同的两个点处被反射的激光发生干涉，并对此干涉光的强度进行测定，由此对两个点之间的相对位移进行测定。
[现有技术文献]
[专利文献]
专利文献1：日本专利特开2017-219318号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
此处，如所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的缺陷检查装置那样，在通过对检查对象(被检查物体)的测定区域的位移进行测定而进行缺陷的检查的情况下，检查对象产生的位移的大小根据检查对象受到激发而产生的弹性波的频率的值而发生变化。因此，虽在所述日本专利特开2017-219318号公报中并未明确记载，但为了有效果地进行缺陷的检查，需要以检查对象产生大的位移的频率(适于测定的频率)激发弹性波。然而，为了探索适于测定的频率而反复进行以下操作：利用激光干涉法进行检查对象的测定、以及基于测定的结果进行用以对检查对象激发的频率是否适当的判定，反复进行如上操作所耗费的工时对于检查作业者而言成为负担。因此，期望一种能够减轻检查作业者为了对适于利用激光干涉法的测定的频率进行探索而承受的负担的缺陷检查装置及缺陷检查方法。
本发明是为解决如上所述的问题而成，本发明的一个目的在于提供一种能够减轻检查作业者为了对适于利用激光干涉法的测定的频率进行探索而承受的负担的缺陷检查装置及缺陷检查方法。
[解决问题的技术手段]
为了实现所述目的，本发明的第一方面的缺陷检查装置包括：激振部，对检查对象激发弹性波；照射部，对检查对象的测定区域照射激光；测定部，利用激光干涉法使在测定区域被反射的激光发生干涉，并且对经干涉的激光进行测定；以及控制部，使激振部为了对检查对象激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与检查对象受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象的缺陷的检查的推荐频率。此外，振动状态信息包括与成为检查对象受到激发而产生的弹性波的起点的激振振动的状态相关的信息。
本发明的第二方面的缺陷检查方法包括如下步骤：对检查对象激发弹性波；对检查对象的测定区域照射激光；利用激光干涉法使在测定区域被反射的激光发生干涉，并且对经干涉的激光进行测定；以及使为了对检查对象激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与检查对象受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象的缺陷检查的推荐频率。
[发明的效果]
在所述第一方面的缺陷检查装置及所述第二方面的缺陷检查方法中，使为了对检查对象激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与检查对象受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息。由此，可在多个频率下分别基于振动状态信息来获取弹性波的状态。因此，通过参照弹性波的状态，可判定多个频率分别是否是适于用以对检查对象的缺陷进行检查的测定的频率。而且，在本发明中，基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象的缺陷检查的推荐频率。由此，可基于振动状态信息，对被判定为是适于测定的频率的频率进行提取来作为被推荐用于缺陷检查的推荐频率。因此，可在不通过利用激光干涉法对经干涉的激光进行测定来测定检查对象P受到激发而产生的弹性波的位移的情况下，通过获取振动状态信息来获取被推荐用于检查对象的缺陷检查的推荐频率。其结果，可在不反复进行基于激光干涉法的检查对象的测定以及测定结果的判定的情况下，获取适于测定的频率(推荐频率)，因此可减轻检查作业者为了对适于利用激光干涉法的测定的频率进行探索而承受的负担。
附图说明
图1是用以对基于第一实施方式的缺陷检查装置的结构进行说明的图。
图2是用以对基于第一实施方式的利用信号产生器的输入至振动器的电压与电流的相位差获取进行说明的图。
图3是示出表示基于第一实施方式的弹性波的频率与振动状态信息的关系的图表的图。
图4是用以对基于第一实施方式的推荐频率的提取进行说明的图。
图5是用以对基于第一实施方式的用以设定测定频率的显示部的显示进行说明的图。
图6是用以对基于第一实施方式的缺陷检查用图像的显示进行说明的图。
图7是用以对基于第一实施方式的用以再次进行测定的显示部的显示进行说明的图。
图8是用以对基于第一实施方式的缺陷检查方法进行说明的图(流程图)。
图9是用以对基于第二实施方式的缺陷检查装置的结构进行说明的图。
图10是用以对基于第三实施方式的缺陷检查装置的结构进行说明的图。
图11是用以对基于第三实施方式的用以使频率变化的频带的变更进行说明的图。
图12是用以对基于第一实施方式～第三实施方式的变形例的推荐频率的显示进行说明的图。
具体实施方式
以下，基于附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。
[第一实施方式]
(缺陷检查装置的整体结构)
参照图1～图7，对基于本发明的第一实施方式的缺陷检查装置100进行说明。
如图1所示，基于本实施方式的缺陷检查装置100包括：振动器1、照射部2、散斑剪切干涉计3、控制部4、检测器5、信号产生器6、显示部7以及操作部8。此外，振动器1是权利要求书的“激振部”的一例，散斑剪切干涉计3是权利要求书的“测定部”的一例。
振动器1及照射部2经由缆线而与信号产生器6连接。
振动器1对检查对象P的测定区域Pa激发弹性波。具体而言，振动器1配置成与检查对象P接触，将来自信号产生器6的交流信号转换为机械振动，为了对测定区域Pa激发弹性波而产生激振振动。此外，由振动器1对检查对象P激发而产生的弹性波的频率成为与振动器1的振动(激振振动)的频率相等的频率。即，输入至振动器1的交流信号的频率与由振动器1对检查对象P激发而产生的弹性波的频率是相等的频率。
照射部2对检查对象P的测定区域Pa照射激光。照射部2包括未图示的激光光源。从激光光源照射出的激光通过照明光透镜21扩展至检查对象P的表面的测定区域Pa整体而进行照射。另外，照射部2基于来自信号产生器6的电信号在规定的时机照射激光。即，照射部2与由振动器1激发的弹性波相对应地对检查对象P照射激光。激光光源例如是激光二极管，照射波长为785nm的激光(近红外光)。
散斑剪切干涉计3利用激光干涉法使在测定区域Pa被反射的激光发生干涉，并且对经干涉的激光进行测定。散斑剪切干涉计3利用激光干涉法使在被振动器1激振的测定区域Pa的相互不同的两点处被反射的激光发生干涉。另外，散斑剪切干涉计3包括分束器31、第一反射镜32a、第二反射镜32b、聚光透镜33、图像传感器34及移相器35。
分束器31包括半反射镜。分束器31配置于在检查对象P的测定区域Pa被反射的激光所入射的位置。另外，分束器31使所入射的激光如图1中的直线L1所示的光路那样向第一反射镜32a侧反射，并且如图1中的虚线L2所示的光路那样向第二反射镜32b侧透过。另外，分束器31使由第一反射镜32a反射并入射的激光如图1中的直线L1所示的光路那样向图像传感器34侧透过，并且使由第二反射镜32b反射的激光如图1中的虚线L2所示那样向图像传感器34侧反射。
第一反射镜32a配置成：在由分束器31反射的激光的光路上，相对于分束器31的反射面而成45度的角度。第一反射镜32a使由分束器31反射的激光向分束器31侧反射。
第二反射镜32b配置成：在透过分束器31的激光的光路上，相对于分束器31的反射面而成自45度的角度稍微倾斜后的角度。第二反射镜32b使透过分束器31并入射的激光向分束器31侧反射。
聚光透镜33配置于分束器31与图像传感器34之间，使透过分束器31的激光(图1中的直线L1)与由分束器31反射的激光(图1中的虚线L2)聚光。
图像传感器34对经干涉的激光进行拍摄。图像传感器34具有多个检测元件，且配置于在分束器31中被反射之后由第一反射镜32a反射并透过分束器31的激光(图1中的直线L1)、与在透过分束器31之后由第二反射镜32b反射并由分束器31反射的激光(图1中的虚线L2)的光路上。图像传感器34包括例如互补金属氧化物半导体(complementary metaloxide semiconductor，CMOS)图像传感器或电荷耦合器件(charge coupled device，CCD)图像传感器等。
移相器35配置于分束器31与第一反射镜32a之间，并且通过控制部4的控制使透过的激光(图1中的直线L1)的相位变化(移位)。具体而言，移相器35构成为使透过的激光的光路长度变化。
在散斑剪切干涉计3中，例如，由测定区域Pa的表面上的位置Pa1及第一反射镜32a反射的激光(图1中的直线L1)与由测定区域Pa的表面上的位置Pa2及第二反射镜32b反射的激光(图1中的虚线L2)相互干涉，并入射至图像传感器34的同一地方(在同一元件中被检测)。位置Pa1及位置Pa2是以微小距离相互分离的位置。从测定区域Pa的各个区域中的相互不同的位置反射的激光被散斑剪切干涉计3导光并且分别入射至图像传感器34。
控制部4进行缺陷检查装置100的各部的控制。另外，控制部4基于由散斑剪切干涉计3测定的经干涉的激光，生成缺陷检查用图像D(参照图6)。控制部4例如是包括中央处理器(Central Processing Unit，CPU)的计算机。此外，关于控制部4的控制的详细情况将在下文进行叙述。
检测器5对输入至振动器1的电流进行检测。然后，检测器5将表示检测出的电流的检测信号发送至信号产生器6。
信号产生器6基于由控制部4进行的控制，输出用于对振动器1的振动以及照射部2的激光照射时机进行控制的交流信号。信号产生器6例如包括现场可编程门阵列(field-programmable gate array，FPGA)。
信号产生器6基于输出的交流信号而获取输入至振动器1的电压。另外，信号产生器6基于由检测器5输出的检测信号而获取输入至振动器1的电流。然后，信号产生器6获取输入至振动器1的电压与输入至振动器1的电流的相位差δin。具体而言，如图2所示，信号产生器6将所获取的输入至振动器1的电压转换为脉冲信号，并且通过使相位延迟π/2而生成电压脉冲信号Sv。然后，信号产生器6将输入至振动器1的电流转换为脉冲信号，由此生成电流脉冲信号Si。然后，信号产生器6通过对所生成的电压脉冲信号Sv与所生成的电流脉冲信号Si的差分进行测定来获取相位差δp。另外，信号产生器6将所获取的相位差δp发送至控制部4。此外，由于电压脉冲信号Sv使相位相对于所输入的电压延迟π/2，因此相位差δin越小，相位差δp越大。
显示部7显示由控制部4生成的图像。另外，显示部7显示所生成的缺陷检查用图像D，所述缺陷检查用图像D是表示检查对象P的测定区域Pa受到激发而产生的弹性波的振动状态的图像。显示部7包括液晶显示器或有机电致发光(Electro-Luminescence，EL)显示器等。
操作部8受理由检查作业者进行的输入操作。操作部8例如是键盘及鼠标等点击设备。
检查对象P例如是在钢板上涂装了涂膜的涂装钢板。不良部位Q是测定区域Pa中的内部(表层/表面)产生的不良部位，包括龟裂或剥离等。
(关于由控制部进行的推荐频率的提取控制)
如图3所示，控制部4使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与检查对象P受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息。此处，所谓振动状态信息，是表示检查对象P受到激发而产生的弹性波的振动状态的信息。即，所谓振动状态信息，是与因激发出的弹性波的振动而检查对象P产生的位移的大小相对应的信息。检查对象P产生的位移的大小根据激发出的弹性波的频率的值发生变化。因此，控制部4为了提取被推荐用于缺陷检查的频率即推荐频率F(参照图4)，在多个频率下，分别获取与检查对象P产生的位移的大小相对应的信息。
此处，关于根据交流信号而运行的振动器1，当振动的频率(输入的交流信号的频率)变化时，交流信号通过振动器1转换为机械振动的效率发生变化。即，振动器1在包括振动器1以及检查对象P的测定系统的共振频率下效率良好地进行振动。即，通过使振动器1在共振频率下振动(使检查对象P激发出共振频率下的弹性波)，输入至振动器1的电能被效率良好地转换为振动的能量。因此，在以相同的电力使振动器1振动的情况下，在共振频率下，振动器1的振动变大。即，通过使振动器1在共振频率下振动(使检查对象P激发出共振频率下的弹性波)，检查对象P产生的位移变大。因此，控制部4通过获取包括振动器1以及检查对象P的测定系统的共振频率，而获取因激发出的弹性波而检查对象P产生的位移发生大变化的频率(适于测定的频率)。
另外，在使振动器1在包括振动器1以及检查对象P的测定系统的共振频率下振动的情况下，输入至振动器1的电压与输入至振动器1的电流的相位差δin取极小值。即，在相位差δin变小的频率下，检查对象P产生的位移变大，另外，在相位差δin变大的频率下，检查对象P产生的位移变小。而且，信号产生器6将所获取的输入至振动器1的电压转换为脉冲信号，并且通过使相位延迟π/2而生成电压脉冲信号Sv，因此在使振动器1在共振频率下振动的情况下，电压脉冲信号Sv与电流脉冲信号Si的相位差δp取极大值。即，在相位差δp变大的频率下，检查对象P产生的位移变大，另外，在相位差δp变小的频率下，检查对象P产生的位移变小。在第一实施方式中，控制部4构成为：针对多个频率(例如，200个频率)，基于输入至振动器1的电压与输入至振动器1的电流的相位差δin来获取振动状态信息。具体而言，控制部4基于输入至振动器1的电压被转换为脉冲信号而得的电压脉冲信号Sv、与输入至振动器1的电流被转换为脉冲信号而得的电流脉冲信号Si的相位差δp，获取振动状态信息。即，控制部4针对多个频率，获取由信号产生器6测定出的电压脉冲信号Sv与电流脉冲信号Si的相位差δp，作为振动状态信息。此外，在图3的图表中，纵轴表示表示相位差δp(数值越大，相位差δin的值越小)的数值，横轴表示获取相位差δp时检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率(由振动器1产生的激振振动的频率)。
另外，如图4所示，控制部4基于所获取的针对多个频率的振动状态信息(相位差δp)，从多个频率中提取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。具体而言，控制部4通过使检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率在规定的频带中依次变化(扫掠、扫描)，从多个频率中提取电压脉冲信号Sv与电流脉冲信号Si的相位差δp成为极大时的频率(输入至振动器1的电压与电流的相位差δin取极小值时的频率)，作为推荐频率F。即，控制部4从所获取的多个频率中，提取相位差δp取极大值时的频率作为被推荐用于测定的推荐频率F(共振频率)。此外，所谓规定的频带，例如是缺陷检查装置100能够获取振动状态信息的频率即20kHz(千赫)以上且400kHz以下的频率的频带(范围)。另外，此处所述的“极大”是指，在相位差δp成为极大时的频率附近的频率下，与获取的所有相位差δp相比，作为极大的相位差δp是最大值的相位差δp。另外，“相位差δp成为极大时的频率附近”包括相位差δp成为极大时的频率本身以及相位差δp成为极大时的频率附近的值的频率此两者。此外，利用生成电压脉冲信号Sv与电流脉冲信号Si的方法，相位差δp成为极小值时的频率有时也成为推荐频率F。
另外，控制部4预先获取欲进行检测的缺陷的种类。此处，根据要测定的缺陷的种类，用以进行检测的频率不同。即，为了对比较小的缺陷进行检测，需要与缺陷的类型相对应的高频率。例如，为了对涂膜的剥离进行检测，需要使弹性波的半波长大于缺陷的大小。检查对象P受到激发而产生的弹性波的波长基于弹性波的频率以及检查对象P的声速而变化，因此需要基于进行测定的检查对象P的种类以及欲进行检测的缺陷的种类，对适于测定的推荐频率F的频带进行设定。因此，控制部4根据欲进行检测的缺陷的种类来决定作为推荐频率F而提取的频率的频带(范围)。即，在基于预先设定的缺陷的种类(适于测定的频率的频带)，将所获取的振动状态信息中的、与因频率低而不适于测定的频带相符的振动状态信息排除的状态下，提取推荐频率F。此外，也可不预先获取缺陷的种类，而从获取了相位差δp时的所有频率中提取推荐频率F。另外，也可基于由检查作业者进行的输入操作，对用于提取推荐频率F的频率的频带进行设定。
另外，在第一实施方式中，控制部4对显示部7的显示进行控制。控制部4构成为：如图5所示将所提取的推荐频率F以能够辨别的方式进行显示。另外，控制部4构成为：以能够从所提取的推荐频率F中选择用于测定的测定频率Fa的方式进行显示。
具体而言，控制部4使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率(检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率)在规定的频带中依次变化，由此针对多个频率获取相位差δp，并且将表示多个频率的各个与相位差δp的关系的图表显示在显示部7上。然后，控制部4将所提取的推荐频率F排列显示在显示部7上。另外，控制部4将预先获取的欲进行测定的缺陷的种类显示在显示部7上。
另外，控制部4基于对操作部8的输入操作，对缺陷检查装置100的各部的动作进行控制。另外，控制部4基于对操作部8的输入操作(选择操作)，从所提取的推荐频率F中设定用于测定的测定频率Fa。
(关于由控制部在测定频率下进行的缺陷检查用图像的生成)
控制部4通过对激发出所设定(选择)的测定频率Fa下的弹性波的检查对象P的测定区域Pa照射激光，来对测定区域Pa的位移进行测定。控制部4一边利用移相器35使激光的相位变化，一边基于由图像传感器34拍摄的经干涉的激光的强度图案来对测定区域Pa的位移进行测定。
控制部4利用未图示的致动器使配置于散斑剪切干涉计3内的移相器35运转，从而使透过的激光的相位发生变化。由此，例如在点Pa1处被反射的激光与在点Pa2处被反射的激光的相位差发生变化。图像传感器34的检测元件对所述两个激光发生干涉而得的干涉光的强度进行检测。
控制部4经由信号产生器6对振动器1的振动以及由照射部2照射的激光的照射时机进行控制，在使移相量变化的同时，对图像进行摄影。控制部4使移相量每次变化λ/4，在各移相量(0、λ/4、λ/2、3λ/4)下，对弹性波的相位每次相差T/8的时机j(j＝0～7)的32张图像与各移相量(0、λ/4、λ/2、3λ/4)前后的5张熄灯时的图像的合计37张图像进行摄影。此外，λ是激光的波长。另外，T是测定区域Pa受到激发而产生的弹性波的周期。
控制部4按照下述的顺序对在图像传感器34的各检测元件中检测出的检测信号进行处理，生成表示振动的状态的图像(振动状态的空间分布图像)即缺陷检查用图像D(参照图6)。
控制部4根据弹性波的相位的时机j(j＝0～7)相同、且激光的移相量每次相差λ/4的4张图像的亮度值I0～亮度值I3，并利用式(1)，求出光相位(移相量为零时的、两光路间的相位差)Φj。
Φj＝-arctan{(I3-I1)/(I2-I0)}…(1)
另外，控制部4利用最小二乘法对光相位Φj进行正弦波近似，求出式(2)中的近似系数A、近似系数φ、近似系数C。
Φj＝Acos(φ+jπ/4)+C＝Be×p(jπ/4)+C…(2)
其中，B是复振幅，如式(3)那样表示。
B＝Ae×p(iφ)：复振幅…(3)
另外，控制部4根据从式(2)中去除常数项C后的近似式，生成缺陷检查用图像D作为对弹性波的振动在各相位时刻ξ(0≤ξ＜2π)的光相位变化进行显示的动态图像(30帧～60帧)。此外，在所述过程中，为了去除噪声而针对复振幅B适宜应用空间滤波器。另外，移相量或照射激光的时机的步骤并不限于此。在此情况下，计算式成为与所述式(1)～式(3)不同的式子。
如图6所示，控制部4将缺陷检查用图像D显示在显示部7上，以便能够将振动状态的不连续区域Da在视觉上识别为检查对象P的内部产生的不良部位Q。此处，在检查对象P自身的形状包含凹凸等的情况下，在平面部与凹凸部的边界上，也有时会发生振动状态的不连续。因此，也可将控制部4构成为基于检查对象P的形状信息对内部产生的不良部位Q进行检测，以便不将它们检测为缺陷。
另外，控制部4基于由检查作业者进行的输入操作，使检查对象P激发出与进行了测定的测定频率Fa不同的频率下的弹性波，再次进行测定。即，如图7所示，控制部4在获取了基于测定频率Fa的测定(缺陷检查)的结果之后，将用于受理输入操作的显示内容显示在显示部7的区域E上，以供检查作业者再次进行测定。然后，控制部4基于由检查作业者对显示部7的区域E进行的输入操作，再次将所提取的推荐频率F显示在显示部7上。然后，控制部4基于由检查作业者进行的选择操作，对用以再次进行测定的测定频率Fa进行设定。然后，控制部4通过对检查对象P激发再次进行了设定的测定频率Fa下的弹性波，从而再次进行测定。
(关于缺陷检查方法)
接着，参照图8，对使用了基于第一实施方式的缺陷检查装置100的缺陷检查方法进行说明。
首先，在步骤101中，使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率在规定的频带中依次变化，由此针对多个频率，获取与检查对象P受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息。然后，基于所获得的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。
接着，在步骤102中，将所提取的推荐频率F以能够辨别的方式进行显示。
接着，在步骤103中，基于用以从所提取的推荐频率F中选择用于测定的测定频率Fa的选择操作来设定测定频率Fa。
接着，在步骤104中，使检查对象P激发出所设定的测定频率Fa下的弹性波。
接着，在步骤105中，对处于被激发出测定频率Fa下的弹性波的状态下的检查对象P的测定区域Pa照射激光。
接着，在步骤106中，利用激光干涉法对在测定区域Pa被反射的激光进行干涉。然后，对经干涉的激光进行测定。
接着，在步骤107中，对表示基于所测定的经干涉的激光而生成的测定区域Pa的振动状态的图像(振动状态的空间分布图像)即缺陷检查用图像D进行显示。
接着，在步骤108中，判断使检查对象P激发出与进行了测定的测定频率Fa不同的频率下的弹性波而是否再次进行测定。当判断为再次进行测定时，进入步骤109。在未判断为再次进行测定的情况下，结束关于缺陷检查的控制处理。
在步骤109中，将所提取的推荐频率F以能够辨别的方式再次进行显示。然后，返回步骤103。
[第一实施方式的效果]
在第一实施方式中，可获得如下那样的效果。
在第一实施方式的缺陷检查装置100中，如上所述，使为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与检查对象P受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息。由此，可在多个频率下，分别基于振动状态信息来获取弹性波的状态。因此，通过参照弹性波的状态，可对多个频率分别是否是适于用以对检查对象P的缺陷进行检查的测定的频率进行判定。而且，在第一实施方式中，基于所获得的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。由此，可基于振动状态信息，提取被判定为是适于测定的频率的频率作为被推荐用于缺陷检查的推荐频率F。因此，可在不通过利用激光干涉法对经干涉的激光进行测定来测定检查对象P受到激发而产生的弹性波的位移的情况下，通过获取振动状态信息来获取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。其结果，可在不反复进行基于激光干涉法的检查对象P的测定以及测定结果的判定的情况下，获取适于测定的频率(推荐频率F)，因此可减轻检查作业者为了对适于利用激光干涉法的测定的频率进行探索而承受的负担。
另外，在第一实施方式中，通过如下那样构成，可获得进一步的效果。
即，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为：将所提取的推荐频率F以能够辨别的方式进行显示。若如此构成，则检查作业者通过从多个频率中在视觉上识别被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F，能够容易地进行辨别。
另外，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为：以能够从所提取的推荐频率F中选择用于测定的测定频率Fa的方式进行显示。若如此构成，则可容易地从显示的推荐频率F中选择测定频率Fa。因此，与直接输入测定频率Fa的值的情况相比，可更容易地选择(设定)测定频率Fa。
另外，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为：针对多个频率，基于输入至振动器1(激振部)的电压与输入至振动器1的电流的相位差δin来获取振动状态信息。此处，为了利用激光干涉法对检查对象P的缺陷进行检查，控制部4构成为：控制检查对象P受到激发而产生的弹性波的相位与对检查对象P的测定区域Pa照射的激光的时机。因此，控制部4为了对弹性波的相位进行控制，而对振动器1的相位进行控制。即，控制部4构成为对输入至振动器1的电压的相位进行控制。因此，若如第一实施方式那样，将控制部4构成为基于输入至振动器1的电压与输入至振动器1的电流的相位差δin来获取振动状态信息，则利用对振动器1的相位进行控制的结构，可获取用于提取推荐频率F的振动状态信息。因此，可抑制为了提取推荐频率F而使装置结构复杂化。
另外，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为：基于输入至振动器1(激振部)的电压被转换为脉冲信号而得的电压脉冲信号Sv、与输入至振动器1的电流被转换为脉冲信号而得的电流脉冲信号Si的相位差δp来获取振动状态信息，并且从多个频率中提取电压脉冲信号Sv与电流脉冲信号Si的相位差δp成为极大(极值)时的频率作为推荐频率F。此处，电流脉冲信号Si与电压脉冲信号Sv的相位差δp取极大值时的频率(共振频率)是在振动器1中所输入的电能被效率良好地转换为振动的能量的频率。因此，若如第一实施方式那样，构成为从多个频率中提取电压脉冲信号Sv与电流脉冲信号Si的相位差δp成为极大时的频率作为推荐频率F，则可效率良好地提取产生了振动(检查对象P效率良好地产生了位移)的频率作为推荐频率F。其结果，在不利用激光干涉法测定检查对象P的位移的情况下通过对输入至振动器1的电流及电压进行测定，可容易地获取使检查对象P效率良好地产生位移的频率作为推荐频率F。
(基于第一实施方式的缺陷检查方法的效果)
在第一实施方式的缺陷检查方法中，可获得如下那样的效果。
在第一实施方式的缺陷检查方法中，通过如上所述那样构成，使为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与检查对象P受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息。由此，可在多个频率下，分别基于振动状态信息来获取弹性波的状态。因此，通过参照弹性波的状态，可对多个频率分别是否是适于用以对检查对象P的缺陷进行检查的测定的频率进行判定。而且，在第一实施方式中，基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。由此，可基于振动状态信息，提取被判定为是适于测定的频率的频率作为被推荐用于缺陷检查的推荐频率F。因此，可在不通过利用激光干涉法对经干涉的激光进行测定来测定检查对象P受到激发而产生的弹性波的位移的情况下，通过获取振动状态信息来获取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。其结果，可在不反复进行基于激光干涉法的检查对象P的测定以及测定结果的判定的情况下，获取适于测定的频率(推荐频率F)。因此可减轻检查作业者为了对适于利用激光干涉法的测定的频率进行探索而承受的负担。
另外，在第一实施方式中，如上所述，还包括步骤102，所述步骤102中将所提取的推荐频率F以能够辨别的方式进行显示。若如此构成，则检查作业者通过从多个频率中在视觉上识别被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F，可容易地进行辨别。因此，可在不利用激光干涉法对检查对象P的位移进行测定的情况下，容易地获取被推荐用于检查对象P的缺陷检查的推荐频率F。因此，可抑制再次重新进行测定，因此可抑制因重新进行测定而对检查作业者施加的负担增大。
另外，在第一实施方式中，如上所述，在对经干涉的激光进行测定的步骤106之后，还包括步骤109，所述步骤109中将所提取的推荐频率F以能够辨别的方式再次进行显示。若如此构成，则即使在通过对经干涉的激光进行测定来进行缺陷的检查之后，通过在视觉上识别再次显示的推荐频率F，也可容易地重新选择新的测定频率Fa。因此，即使在进行的缺陷检查的结果(基于激光干涉法的测定结果)为不适当的结果的情况下，也可通过重新选择新的测定频率Fa下的弹性波来容易地重新测定。其结果，即使在重新进行用于缺陷检查的测定的情况下，也可容易地选择测定频率Fa，因此可减轻检查作业者的作业负担。
[第二实施方式]
接下来，参照图9对基于本发明的第二实施方式的缺陷检查装置200的结构进行说明。在所述第二实施方式中，与构成为基于输入至振动器1的电流与电压的相位差δin来提取推荐频率F的第一实施方式不同，而构成为通过对振动器1的阻抗进行测定来提取推荐频率F。此外，对于与所述第一实施方式相同的结构，在图中标注相同的符号来进行图示，并省略其说明。
如图9所示，基于第二实施方式的缺陷检查装置200包括控制部204以及信号产生器206。
与第一实施方式同样地，信号产生器206基于由控制部204进行的控制，输出用于对振动器1的振动以及照射部2的激光的照射时机进行控制的交流信号。信号产生器206例如包括FPGA。
另外，信号产生器206对振动器1的阻抗(电阻抗)进行检测。具体而言，信号产生器206对处于激发弹性波的状态(振动状态)下的振动器1的阻抗进行测定。信号产生器206基于输出的交流信号来获取输入至振动器1的电压。另外，信号产生器206基于由检测器5输出的检测信号来获取输入至振动器1的电流。然后，信号产生器206基于所获取的输入至振动器1的电流及电压来测定振动器1的阻抗。另外，信号产生器206将所测定的振动器1的阻抗发送至控制部204。
控制部204与基于第一实施方式的控制部4同样地，进行缺陷检查装置200的各部的控制。另外，控制部204通过对信号产生器206进行控制，以多个频率使振动器1进行激振。然后，控制部204针对多个频率获得由信号产生器206测定出的振动器1的阻抗。此处，在使振动器1在包括振动器1以及检查对象P的测定系统的共振频率下振动的情况下，振动器1的阻抗成为极小值。即，在阻抗变小的频率(共振频率)下，检查对象P产生的位移变大。而且，在阻抗变大的频率下，检查对象P产生的位移变小。在第二实施方式中，控制部204构成为：针对多个频率，获取由信号产生器206基于输入至振动器1的电压以及输入至振动器1的电流而测定的振动器1的阻抗，作为振动状态信息。
另外，控制部204基于所获得的针对多个频率的振动状态信息(振动器1的阻抗)，从多个频率中提取推荐频率F。具体而言，控制部204从所获取的多个频率中提取振动器1的阻抗取极小值时的频率，作为被推荐用于测定的推荐频率F(共振频率)。
此外，第二实施方式的其他结构与第一实施方式相同。
[第二实施方式的效果]
在第二实施方式中，可获得如下那样的效果。
在第二实施方式中，如上所述，控制部204构成为：针对多个频率，获取基于输入至振动器1(激振部)的电压以及输入至振动器1的电流而测定出的振动器1的阻抗，作为振动状态信息。此处，振动器1的阻抗取极小值时的频率是在振动器1中所输入的电能被效率良好地转换为振动的能量的频率。因此，若如第二实施方式那样，构成为获取基于输入至振动器1的电压以及输入至振动器1的电流而测定出的振动器1的阻抗作为振动状态信息，则通过对振动器1的阻抗进行测定，来提取振动器1的阻抗取极小值时的频率作为用于进行缺陷检查的推荐频率F。因此，通过对振动器1的阻抗进行测定，可容易地获取能够效率良好地使检查对象P激发出弹性波的频率(适于利用激光干涉法进行测定的频率)。其结果，可在不反复进行基于激光干涉法的检查对象P的测定以及测定结果的判定的情况下，容易地获取适于测定的频率即推荐频率F。
此外，基于第二实施方式的其他效果与第一实施方式相同。
[第三实施方式]
接下来，参照图10及图11对基于本发明的第三实施方式的缺陷检查装置300的结构进行说明。在所述第三实施方式中，与构成为通过使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率在规定的频带中依次变化来提取推荐频率F的第一实施方式不同，而构成为以与预先获取的进行测定的缺陷的种类相对应的方式对频带进行变更，所述频带用以使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率变化。此外，关于与所述第一实施方式及第二实施方式相同的结构，在图中标注相同的符号来进行图示，并省略其说明。
如图10所示，基于第三实施方式的缺陷检查装置300包括控制部304。
控制部304与基于第一实施方式的控制部4同样地，进行缺陷检查装置300的各部的控制。另外，控制部304构成为：使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率(检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率)在规定的频带中依次变化，由此提取推荐频率F，并且以与检查对象P的缺陷的种类相对应的方式对频带进行变更，所述频带用以使振动器1为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率(检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率)变化。
具体而言，为了开始缺陷检查，控制部304预先获取欲进行检测的缺陷的种类。然后，控制部304以与所获取的检查对象P的缺陷的种类相对应的方式对频带进行变更(设定)，所述频带用以使振动器1产生的激振振动的频率(弹性波的频率)变化。然后，控制部304通过在以与缺陷的种类相对应的方式设定的频带中使弹性波的频率依次变化，在所设定的频带中获取针对多个频率的振动状态信息。然后，控制部304在所设定的频带中，从多个频率中提取推荐频率F。此外，也可基于检查作业者的输入操作对用以使弹性波的频率变化的频带进行变更(设定)。
例如，如图11所示，在构成为能够针对20kHz以上且400kHz以下的频率获取振动状态信息的缺陷检查装置300中，在为了检测预先获取的进行测定的缺陷而需要利用100kHz以上的频率下的弹性波进行测定的情况下，控制部304为了获取振动状态信息而将用以使检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率变化的频带变更(设定)为100kHz以上。即，控制部304以与预先获取的缺陷的种类相对应的方式设定用以进行测定的频率的频带。然后，控制部304在以与缺陷的种类相对应的方式设定的频率的频带中，一边使频率依次变化(一边扫掠)一边获取振动状态信息。
此外，第三实施方式的其他结构与第一实施方式相同。
[第三实施方式的效果]
在第三实施方式中，可获得如下那样的效果。
在第三实施方式中，如上所述，控制部304构成为：使振动器1(激振部)为了对检查对象P激发弹性波而产生的激振振动的频率在规定的频带中依次变化，由此提取推荐频率F，并且以与检查对象P的缺陷的种类相对应的方式对用以使弹性波的频率变化的频带进行变更。此处，根据欲进行检测的检查对象P的缺陷的种类(例如，龟裂或涂膜的剥离等)，适于缺陷检查的弹性波的频率的频带不同。因此，通过预先确定欲进行检测的缺陷的种类，可确定适于对所确定的种类的缺陷进行检测的弹性波的频率的频带。考虑到所述情况，在第三实施方式中，以与检查对象P的缺陷的种类相对应的方式对用以使检查对象P受到激发而产生的弹性波的频率变化的频带(使振动器1产生的激振振动的频率变化的频带)进行变更。若如此构成，则可以与缺陷的种类相对应的方式，对变化的频率的频带进行限定。因此，对于进行缺陷检查所不需要的频率的频带，可省略一边使频率变化一边获取相位差δp的控制。因此，通过进行用于针对不需要的频带获取相位差δp的控制，可抑制用于获取不需要的信息的检查时间的增大。
此外，基于第三实施方式的其他效果与第一实施方式及第二实施方式相同。
[变形例]
此外，应认为本次所公开的实施方式在所有方面均为示例而并非限制性的。本发明的范围由权利要求书而非以上所述的实施方式的说明表示，进而包括在与权利要求均等的含义及范围内的所有变更(变形例)。
例如，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了控制部构成为以能够辨别所提取的推荐频率的方式进行显示的例子，但本发明并不限于此。例如，也可构成为不将所提取的推荐频率以能够辨别的方式进行显示。即，也可仅对表示相位差与频率的关系的图表进行显示。另外，也可将所提取的推荐频率与获取了振动状态信息的频率排列显示，而并非以能够辨别的状态进行显示。另外，如图12所示，也可仅显示所提取的推荐频率。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了控制部构成为以能够从所提取的推荐频率中选择用于测定的测定频率的方式进行显示的例子，但本发明并不限于此。例如，也可构成为：不将测定频率以能够选择的方式进行显示，而是控制部从推荐频率中选择测定频率，由此使用所选择的测定频率开始测定。
另外，在所述第一实施方式及所述第三实施方式中，示出了控制部针对多个频率，基于输入至振动器(激振部)的电压以及输入至振动器的电流的相位差来获取振动状态信息的例子，但本发明并不限于此。例如，也可获取振动器的有效功率作为振动状态信息。
另外，在所述第一实施方式及第三实施方式中，示出了如下例子，即控制部构成为：将基于输入至振动器(激振部)的电压被转换为脉冲信号而得的电压脉冲信号、与输入至振动器的电流被转换为脉冲信号而得的电流脉冲信号的相位差来获取振动状态信息、并且从多个频率中提取电压脉冲信号与电流脉冲信号的相位差成为极大(极值)时的频率作为推荐频率，但本发明并不限于此。例如，也可不将输入至振动器的电流及电压转换成脉冲信号，而是对输入至振动器的电流与电压的相位差进行测定，由此获取振动状态信息。另外，也可不将输入至振动器的电流与电压的相位差取极小值时的频率作为推荐频率，而提取输入至振动器的电流与电压的相位差小于规定值的频率作为推荐频率。
另外，在所述第一实施方式及第三实施方式中，示出了如下例子，即控制部构成为：将输入至振动器(激振部)的电压转换为脉冲信号，使相位延迟π/2，由此生成电压脉冲信号，并且提取电压脉冲信号与电流脉冲信号的相位差成为极大时的频率作为推荐频率，但本发明并不限于此。例如，也可将电压转换为脉冲信号，不延迟相位而生成电压脉冲信号，并且提取电压脉冲信号与电流脉冲信号的相位差成为极小时的频率作为推荐频率。
另外，在所述第二实施方式中，示出了控制部构成为针对多个频率，获取基于输入至振动器(激振部)的电压以及输入至振动器的电流而测定出的振动器的阻抗作为振动状态信息的例子，但本发明并不限于此。例如，也可针对多个频率，获取检查对象受到激发而产生的弹性波的振幅作为振动状态信息，由此获取弹性波的振幅变大的频率作为推荐频率。
另外，在所述第二实施方式中，示出了基于由检测器检测出的电流以及由信号产生器输入至振动器的电压，获取振动器的阻抗的例子，但本发明并不限于此。例如，也可通过将用于测定阻抗的阻抗测定器与振动器连接，来直接测定振动器的阻抗。另外，也可通过连接功率计，对振动器的有效功率而非振动器的阻抗进行测定，由此提取振动器的有效功率变大的频率作为推荐频率。
另外，在所述第三实施方式中，示出了如下例子，即控制部构成为：使振动器(激振部)为了对检查对象激发弹性波而产生的激振振动的频率在规定的频带中依次变化，由此提取推荐频率，并且以与检查对象的缺陷的种类相对应的方式对用以使弹性波的频率变化的频带进行变更，但本发明并不限于此。例如，也可构成为不对用以使弹性波的频率变化的频带变更。另外，也可构成为与缺陷的种类无关地基于检查作业者的输入操作，对用以使频率变化的频带进行变更。
另外，在所述第一实施方式中，示出了在对经干涉的激光进行测定的步骤之后，还包括将所提取的推荐频率以能够辨别的方式再次进行显示的步骤的例子，但本发明中并不限于此。例如，也可构成为在对经干扰的激光进行测定的步骤之后，包括使用与用于测定的频率不同的推荐频率再次开始测定的步骤。另外，也可在对经干涉的激光进行测定的步骤之后，结束缺陷检查装置的控制。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了将所提取的推荐频率的具体数值显示在显示部上的例子，但本发明并不限于此。例如，也可不显示推荐频率的具体数值，而在表示多个频率的各个和输入至振动器(激振部)的电压与电流的相位差的关系的图表上，标注箭头(标记)，由此将推荐频率以能够辨别的方式进行显示。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了将表示多个频率的各个和输入至振动器(激振部)的电压与电流的相位差的关系的图表显示在显示部上的例子，但本发明并不限于此。也可代替图表，而通过对所显示的推荐频率进行颜色区分显示，利用比色图表以能够识别相位差的大小的方式进行显示。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了使用散斑剪切干涉计对经干涉的激光进行测定的例子，但本发明并不限于此。例如，也可使用迈克尔逊干涉计等。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，作为用于获取振动状态信息的多个频率，示出了针对200个频率获取振动状态信息的例子，但本发明并不限于此。例如，作为多个频率，只要获取至少两个频率即可。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了一边使检查对象受到激发而产生的弹性波的频率在规定的频带中依次变化一边获取振动状态信息的例子，但本发明并不限于此。例如，也可不扫掠(依次变化)而是一边使频率随机变化一边获取振动状态信息。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，作为使检查对象激发出弹性波的激振部的例子，示出了使用振动器的例子，但本发明并不限于此。例如，也可通过发出声音的扬声器来激发弹性波。
另外，在所述第一实施方式～所述第三实施方式中，示出了针对多个频率获取基于输入至振动器(激振部)的电压以及输入至振动器的电流的电特性信息作为振动状态信息的例子，但本发明并不限于此。例如，也可构成为：获取振动器或检查对象产生的位移或声压等机械特性信息作为振动状态。在此情况下，也可在控制部中包括对机械特性信息进行测量的测量部。
[形态]
本领域技术人员可理解为，以上所述的例示性的实施方式是以下形态的具体例。
(项目1)
一种缺陷检查装置，包括：
激振部，对检查对象激发弹性波；
照射部，对所述检查对象的测定区域照射激光；
测定部，利用激光干涉法使在所述测定区域被反射的所述激光发生干涉，并且对经干涉的所述激光进行测定；以及
控制部，使所述激振部为了对所述检查对象激发所述弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与所述检查对象受到激发而产生的所述弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的所述振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于所述检查对象的缺陷检查的推荐频率。
(项目2)
根据项目1所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：将所提取的所述推荐频率以能够辨别的方式进行显示。
(项目3)
根据项目2所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：以能够从所提取的所述推荐频率中选择用于测定的测定频率的方式进行显示。
(项目4)
根据项目1至项目3中任一项所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：针对多个频率，基于输入至所述激振部的电压与输入至所述激振部的电流的相位差来获取所述振动状态信息。
(项目5)
根据项目4所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：基于输入至所述激振部的电压被转换为脉冲信号而得的电压脉冲信号、与输入至所述激振部的电流被转换为脉冲信号而得的电流脉冲信号的相位差来获取所述振动状态信息，并且从多个频率中提取所述电压脉冲信号与所述电流脉冲信号的相位差成为极值的频率作为所述推荐频率。
(项目6)
根据项目1至项目3中任一项所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：针对多个频率，获取基于输入至所述激振部的电压与输入至所述激振部的电流而测定出的所述激振部的阻抗，作为所述振动状态信息。
(项目7)
根据项目1至项目6中任一项所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：使所述激振部为了对所述检查对象激发所述弹性波而产生的激振振动的频率在规定的频带中依次变化，由此提取所述推荐频率，并且以与所述检查对象的缺陷的种类相对应的方式，对用以使所述弹性波的频率变化的频带进行变更。
(项目8)
一种缺陷检查方法，包括如下步骤：
对检查对象激发弹性波；
对所述检查对象的测定区域照射激光；
利用激光干涉法使在所述测定区域被反射的所述激光发生干涉，并且对经干涉的所述激光进行测定；以及
使为了对所述检查对象激发所述弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与所述检查对象受到激发而产生的所述弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的所述振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于所述检查对象的缺陷检查的推荐频率。
(项目9)
根据项目8所述的缺陷检查方法，还包括将所提取的所述推荐频率以能够辨别的方式进行显示的步骤。
(项目10)
根据项目9所述的缺陷检查方法，其中，
在对经干涉的所述激光进行测定的步骤之后，
还包括将所提取的所述推荐频率以能够辨别的方式再次进行显示的步骤。
[符号的说明]
1：振动器(激振部)
2：照射部
3：散斑剪切干涉计(测定部)
4、204、304：控制部
100、200、300：缺陷检查装置。

Claims (10)

1.一种缺陷检查装置，包括：
激振部，对检查对象激发弹性波；
照射部，对所述检查对象的测定区域照射激光；
测定部，利用激光干涉法使在所述测定区域被反射的所述激光发生干涉，并且对经干涉的所述激光进行测定；以及
控制部，使所述激振部为了对所述检查对象激发所述弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与所述检查对象受到激发而产生的所述弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的所述振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于所述检查对象的缺陷检查的推荐频率。
2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：将所提取的所述推荐频率以能够辨别的方式进行显示。
3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：以能够从所提取的所述推荐频率中选择用于测定的测定频率的方式进行显示。
4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：针对多个频率，基于输入至所述激振部的电压与输入至所述激振部的电流的相位差来获取所述振动状态信息。
5.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：基于输入至所述激振部的电压被转换为脉冲信号而得的电压脉冲信号、与输入至所述激振部的电流被转换为脉冲信号而得的电流脉冲信号的相位差来获取所述振动状态信息，并且从多个频率中提取所述电压脉冲信号与所述电流脉冲信号的相位差成为极值的频率作为所述推荐频率。
6.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：针对多个频率，获取基于输入至所述激振部的电压与输入至所述激振部的电流而测定出的所述激振部的阻抗，作为所述振动状态信息。
7.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：使所述激振部为了对所述检查对象激发所述弹性波而产生的激振振动的频率在规定的频带中依次变化，由此提取所述推荐频率，并且以与所述检查对象的缺陷的种类相对应的方式，对用以使所述弹性波的频率变化的频带进行变更。
8.一种缺陷检查方法，包括如下步骤：
对检查对象激发弹性波；
对所述检查对象的测定区域照射激光；
利用激光干涉法使在所述测定区域被反射的所述激光发生干涉，并且对经干涉的所述激光进行测定；以及
使为了对所述检查对象激发所述弹性波而产生的激振振动的频率变化，由此针对多个频率，获取与所述检查对象受到激发而产生的所述弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的所述振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于所述检查对象的缺陷检查的推荐频率。
9.根据权利要求8所述的缺陷检查方法，还包括将所提取的所述推荐频率以能够辨别的方式进行显示的步骤。
10.根据权利要求9所述的缺陷检查方法，其中，
在对经干涉的所述激光进行测定的步骤之后，
还包括将所提取的所述推荐频率以能够辨别的方式再次进行显示的步骤。
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