CN112154320B - 缺陷检测方法以及装置 - Google Patents

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Abstract

缺陷检测装置(10)具备：激光光源(11)，其向被检查物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；激光光源控制部(15)，其控制激光光源，使得以比被检查物体(S)上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；干涉仪(散斑剪切干涉仪(14))，其生成所述激光在测定区域反射出的反射激光与从激光光源(11)射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；检测器(成像传感器(145))，其检测所述干涉光的在测定区域(R)的各点的强度；移相器(143)，其使反射激光和参照激光中的任意激光的相位偏移；累计强度参数决定部(16)，其通过移相器(143)使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述各点的强度进行累计所得到的累计强度；干涉度分布生成部(17)，其基于针对所述各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及缺陷检测部(18)，其基于所述测定区域(R)内的所述干涉度的分布，来检测测定区域(R)中的缺陷。

Description

缺陷检测方法以及装置
技术领域
本发明涉及一种对混凝土、钢铁构造物等被检查物体的缺陷进行检测的缺陷检测方法以及装置。
背景技术
作为对被检查物体的表面及内部的缺陷进行检测的方法，提出了一种使用了散斑干涉法或散斑剪切干涉法的缺陷检测方法。散斑干涉法是以下方法：使来自激光光源的激光分支为照明光和参照光，向测定区域照射照明光，得到由照明光在测定区域内的被检查物体的表面的各点处反射出的光与参照光形成的干涉图案。散斑剪切干涉法是以下方法：使用来自激光光源的激光对测定区域进行照明(不分支出参照光)，得到从在该测定区域内的被检查物体的表面上接近的两个点反射来的光所形成的干涉图案。在散斑剪切干涉法中，从测定区域内的被检查物体的表面的各点中的接近的点反射来的光相当于参照光。在这些缺陷检测方法中，从激振源向被检查物体输入弹性波，在输入之前和输入之后分别利用CCD摄像机等拍摄干涉图案的图像，根据这两张图像来计算测定区域的在前后方向(面外方向)上的位移的分布。由于在缺陷部位位移变得不连续，因此能够检测在测定区域内存在的缺陷。
但是，如果仅获取一张输入弹性波后的干涉图案的图像，则只看到弹性波的某一种状态，因此，在与测定区域相比弹性波的波长小的情况下，如果缺陷碰巧处于波的振幅大的部分则容易检测，但在缺陷存在于振幅小的部分的情况下难以检测。即，根据测定区域内的场所不同，缺陷检查能力产生差异。对此，专利文献1中记载的缺陷检测方法为在被检查物体中激发弹性波的连续波，并且在该连续波(振动)的至少三个互不相同的相位下分别利用脉冲激光光源进行频闪照明并拍摄干涉图案的图像，基于这些干涉图案以及获取到各干涉图案时的振动的相位，来求出各点的位移。由此，无论测定区域的大小与弹性波的波长的关系如何，在测定区域的任一场所都能够再现弹性波的全振动状态，能够不依赖于测定区域内的场所地高精度地检测缺陷。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-219318号公报
发明内容
发明要解决的问题
在包括专利文献1所记载的方法的、使用了散斑干涉法或散斑剪切干涉法的缺陷检测方法中，利用激振装置在被检查物体上激发出振动，但在被检查物体处于高处或水上等人难以靠近的场所的情况下，难以对被检查物体安装激振装置。另外，即使假设进行了安装，也会由于激振装置本身以及用于激振装置与测定装置之间的通信的设备等而导致成本上升。
本发明要解决的课题在于提供如下一种缺陷检测方法以及装置：不使用激振装置或者不需要进行激振装置与测定装置之间的通信，就能够检测被检查物体的缺陷。
用于解决问题的方案
为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的缺陷检测方法中，
在被检查物体上产生了振动的状态下，以比该被检查物体上产生的振动的周期长的时间从激光光源向该被检查物体的表面的测定区域连续地或准连续地照射激光，
使任一个激光的相位偏移来三次以上地生成测定区域的各点的累计强度，所述测定区域的各点的累计强度是在比所述振动的周期长的累计时间内对所述激光在所述测定区域反射出的反射激光与从所述激光光源射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光的强度进行累计而得到的，
根据针对所述各点在三个以上的所述相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布，基于该干涉度的分布来检测该测定区域中的缺陷。
本发明所涉及的缺陷检测方法在被检查物体上产生了振动的状态下实施。但是，无需为了产生该振动而使用激振装置，能够使用在使用了被检查物体的环境下在该被检查物体上产生的振动即环境振动。作为环境振动的例子，能够列举在汽车行驶的桥梁是被检查物体的情况下由因汽车等的行驶引起的交通载荷产生的振动。这样的环境振动通常是不规则的振动，但在本发明中，即使在被检查物体上产生了这样的不规则的振动的状态下也能够实施缺陷检测方法。当然，也可以使用激振单元使被检查物体产生振动。作为这样的激振单元，例如能够使用对路面施加人工振动的起振车、在被检查物体为比较小型的物体的情况下能够使用电动锤子等电动工具等。或者，也可以通过使用者用锤子等手动(非电动)的工具(激振单元)进行敲击来对被检查物体施加振动。此外，也可以使用超声波振子等对被检查物体施加规则的振动。
在像这样在被检查物体上产生了振动的状态下，以比被检查物体上产生的振动的周期长的时间向在被检查物体的表面中设为缺陷检测的对象的区域即测定区域在时间上连续地或准连续地照射从激光光源射出的激光。在此，“准连续”的激光是指以与被检查物体的振动的周期及相位无关的周期及相位来间歇性地射出的激光。而且，求出在测定区域反射出的反射激光与从相同激光光源射出的参照激光的干涉光的在所述测定区域的各点的累计强度。
此外，关于累计强度，既可以通过计算来对多次测定干涉光的强度所得到的多个值进行累计从而求出累计强度，也可以通过在比所述振动的周期长的时间内利用检测器不间断地测定干涉光的强度来求出累计强度。在利用成像传感器检测测定区域的各点的干涉光的强度的情况下，通常，振动的周期比成像传感器的曝光时间短，因此能够使用后者的方法来求出累计强度。
在得到反射激光与参照激光的干涉光的方法中，能够使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法。在散斑干涉法中，将使从激光光源射出的激光的一部分在测定区域的近前分支出的激光用作参照激光。在散斑剪切干涉法中，针对在测定区域内的各位置处分别反射的反射激光，使用从激光光源射出的激光在该位置的附近反射的激光作为参照激光。
使反射激光和参照激光中的任意激光的相位偏移来三次以上地生成所述累计强度。在此，关于相位的偏移，既可以通过使反射激光和参照激光中的仅任一方的相位偏移来进行，也可以通过以使彼此的相位不同的方式使反射激光和参照激光这双方的相位偏移来进行。相位的偏移量是任意的，但优选的是三个以上的相位的间隔接近等间隔。
这样得到的每个相位的累计强度具有以下意义。在反射激光和参照激光具有完全的可干涉性(coherence)且在累计时间内反射激光与参照激光的光路差不变化的情况下，使用反射激光的累计强度I1、参照激光的累计强度I2、反射激光与参照激光的相位差通过以下式子来表示干涉光的累计强度I。
I＝(I1+I2)+2(I1×I2)1/2cosφ
＝A+Bcosφ…(1)
(A＝I1+I2、B＝2(I1×I2)1/2)
在此，A是不依赖于相位差的背景光的强度，B是干涉光的振幅。在本说明书中，将使干涉光的振幅B除以背景光的强度A所得到的B/A＝C的值称为干涉度来定义。
当由于被检查物体的振动而导致反射激光被反射的位置发生变化时，与之相伴地，反射激光与参照激光的光路差发生变化。如果在累计时间内发生该光路差的变动，则干涉度降低。另外，被检查物体的振动的振幅越大，光路差的变化越大，由此干涉度的降低程度越大。由于振动的振幅根据被检查物体中的缺陷的有无而不同，因此测定区域内的各点的干涉度C的值也根据该位置处的缺陷的有无而不同。而且，由于用A、B、这三个参数来决定式(1)中的强度I，因此通过在至少三个相位下求出强度，能够求出该干涉度C(＝B/A)的值。
因而，通过基于至少三个相位下的测定区域内的各点的累计强度求出干涉度C的分布，能够求出缺陷的分布，因此能够检测测定区域中的缺陷。
本发明所涉及的缺陷检测装置具备：
激光光源，其向被检查物体的表面的测定区域照射激光；
激光光源控制部，其控制所述激光光源，使得以比所述被检查物体上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；
干涉仪，其生成在测定区域反射出的反射激光与从所述激光光源射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；
检测器，其检测所述干涉光的在所述测定区域的各点的强度；
移相器，其使所述反射激光和所述参照激光中的任意激光的相位偏移；
累计强度决定部，其通过所述移相器使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述各点的强度进行累计所得到的累计强度；
干涉度分布生成部，其基于针对所述各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及
缺陷检测部，其基于所述测定区域内的所述干涉度的分布，来检测该测定区域中的缺陷。
在所述缺陷检测装置中，也可以代替所述缺陷检测部而具备显示部或者在具备所述缺陷检测部的同时具备显示部，其中，所述显示部显示基于所述测定区域内的所述干涉度的分布的信息。在该情况下，使用者视觉观察显示部中显示的基于干涉度的分布的信息来发现缺陷。
发明的效果
根据本发明所涉及的缺陷检测方法以及装置，不需要使用激振装置或者不需要进行激振装置与测定装置之间的通信，就能够检测被检查物体的缺陷。
附图说明
图1是示出本发明所涉及的缺陷检测装置的一个实施方式的概要结构图。
图2是示出变形例的缺陷检测装置的概要结构图。
图3是示出本实施方式的缺陷检测方法的流程图。
图4A是示出使用本实施方式的缺陷检测装置检测出被检查物体的缺陷的实施例的图，是用普通的摄像机拍摄被检查物体的表面而得到的图像。
图4B是示出使用本实施方式的缺陷检测装置检测出被检查物体的缺陷的实施例的图，是图示了干涉度的分布的图像。
图5是示出其它变形例的缺陷检测装置的概要结构图。
具体实施方式
使用图1～图5来说明本发明所涉及的缺陷检测方法以及装置的实施方式。
(1)本实施方式的缺陷检测装置的结构
图1是本实施方式的缺陷检测装置10的概要结构图。该缺陷检测装置10具备激光光源11、照明光透镜12、散斑剪切干涉仪14、激光光源控制部15、累计强度决定部16、干涉度分布生成部17以及缺陷检测部18。
激光光源11是输出激光的光源，用于向被检查物体S照射激光。照明光透镜12是配置在激光光源11与被检查物体S之间的凹透镜，具有使激光扩散到被检查物体S的表面的整个测定区域R的作用。
散斑剪切干涉仪14具有分束器141、第一反射镜1421、第二反射镜1422、移相器143、聚光透镜144以及成像传感器145。
分束器141是配置于在被检查物体S的表面的测定区域R处反射出的照明光要入射的位置的半透半反镜。第一反射镜1421配置在被分束器141反射的照明光的光路上，第二反射镜1422配置在透过分束器141的照明光的光路上。移相器143配置在分束器141与第一反射镜1421之间，用于使通过该移相器143的光的相位变化(偏移)。成像传感器145配置于在被分束器141反射后被第一反射镜1421反射而透过分束器141的照明光以及在透过了分束器141后被第二反射镜1422反射并被分束器141反射的照明光的光路上。聚光透镜144配置在分束器141与成像传感器145之间。此外，在此移相器143被配置成使被第一反射镜1421反射的激光的相位偏移，但移相器143也可以被配置成使被第二反射镜1422反射的激光的相位偏移，还可以在针对这两束光双方配置了移相器之后，以使两者间的相位差变化的方式使两者的相位偏移。
第一反射镜1421以其反射面相对于分束器141的反射面形成45°的角度的方式配置。与此相对地，第二反射镜1422以其反射面相对于分束器141的反射面形成自45°稍微倾斜的角度的方式配置。成像传感器145具有多个检测元件，利用各不相同的检测元件对从被检查物体S的表面上的多个点通过第一反射镜1421和移相器143入射到成像传感器145的光进行检测。
通过第一反射镜1421和第二反射镜1422的上述配置，在成像传感器145中，在被检查物体S的表面上的某个点(参照图1中的点Y)及第一反射镜1421处反射的照射光(同图、点划线。将该照射光设为上述的反射激光。)与在位于自该表面上的点稍微偏离的位置处的点(同图、点X)及第二反射镜1422处反射的照射光(同图、虚线。将该照射光设为上述的参照激光。)入射到成像传感器145的同一位置而发生干涉。
激光光源控制部15在缺陷检测的动作时控制激光光源11，使得以比被检查物体S上产生的振动的周期长的时间(将该时间设为“照射时间”)连续地输出(向测定区域R照射)激光。也可以代替连续地输出激光的情况，而准连续地、即以与被检查物体S的振动的周期及相位无关的周期及相位间歇性地射出激光。
累计强度决定部16通过移相器143使参照光的相位偏移为三个以上的相位，在这三个以上的相位下，分别针对每个检测元件、即被检查物体S的表面上的每个点，在所述照射时间的期间内对由该检测元件检测出的强度进行累计，由此求出累计强度。
干涉度分布生成部17基于在累计强度决定部16中针对被检查物体S的表面上的每个点在三个以上的相位下分别求出的累计强度，来如后述那样求出干涉度，由此求出被检查物体S的表面上的干涉度的分布。
缺陷检测部18基于由干涉度分布生成部17生成的测定区域R内的干涉度的分布，来检测测定区域R中的缺陷D(参照图1)。
激光光源控制部15、累计强度决定部16、干涉度分布生成部17以及缺陷检测部18通过中央运算装置(CPU)等硬件以及软件来具体实现。
在专利文献1所记载的以往的缺陷检测装置中设置有振动源(激振装置)，该振动源(激振装置)通过与被检查物体接触来对该被检查物体施加振动。与此相对地，在本实施方式的缺陷检测装置10中没有设置这样的激振装置，例如在被检查物体为桥梁的情况下，利用汽车等通过所产生的环境振动来进行缺陷的检测。如果在被检查对象范围比较小的情况下，则使用者也可以通过用手动的锤子敲击被检查物体来施加振动。
但是，如图2所示，也可以在缺陷检测装置10中附加振动源13。该振动源13对被检查物体施加振动，但该振动不需要是周期性的。作为这样的振动源13，例如在被检查物体为桥梁的情况下，能够使用起振车。或者，如果在被检查对象范围比较小的情况下，则也能够使用电动锤子来作为振动源13。
(2)本实施方式的缺陷检测装置的动作以及本实施方式的缺陷检测方法
接着，参照图3来说明本实施方式的缺陷检测装置10的动作以及本实施方式的缺陷检测方法。在使用该被检查物体S的环境下产生的环境振动产生在被检查物体S上的状态下或者在由振动源13等对被检查物体S施加了振动的状态下，实施该缺陷检测。在该状态下，针对参照光的相位为/>这n个(n为3以上的自然数)的情况，分别执行下述的步骤S2～S5的动作。在此之前，在步骤S1中，将值k的初始值设定为1。该值k取1～n的自然数。
在步骤S2中，累计强度决定部16设定移相器143，使得参照光的相位成为/>接着，在步骤S3中，激光光源控制部15在所述照射时间的期间，从激光光源11通过照明光透镜12向被检查物体S的表面的测定区域R照射激光。在此期间，利用成像传感器145所具有的多个检测元件的每个检测元件持续地检测在测定区域R的某个点(参照图1中的点Y)及第一反射镜1421处反射的反射激光与在位于自该点稍微偏离的位置处的点(参照图1中的点X)及第二反射镜1422处反射的参照光发生干涉所得到的干涉光的强度。
接着，在步骤S4中，累计强度决定部16针对每个检测元件、即被检查物体S的表面上的每个点，对在所述照射时间的期间内检测出的强度进行累计，由此求出每个点的累计强度的值。
在步骤S4结束后，在步骤S5中判定是否为k＝n。如果k＝n，则转移到后述的步骤S7。另一方面，如果不是k＝n(如果k小于n)，则在步骤S6中对k加1后返回到步骤S2，重复执行步骤S2～S5的动作，直到k＝n为止。
在步骤S7中，干涉度分布生成部17基于由累计强度决定部16生成的测定区域R内的每个点的累计强度的值，来求出干涉度C的值的分布。通过到此为止的动作，来在n个相位、即三个以上的相位下求出累计强度，因此能够如上所述那样求出干涉度C。
例如，在使参照激光的相位从初始值起仅变化了0(无偏移)、+π/2、+π、+3π/2的情况下，能够如以下那样求出干涉度C。偏移量为0、+π/2、+π、+3π/2的情况下的强度I1、I2、I3、I4根据式(1)而分别成为下式。
I1＝A+Bcosφ0
I2＝A+Bcos(φ0+π/2)
I3＝A+Bcos(φ0+π)
I4＝A+Bcos(φ0+3π/2)
根据这些I1～I4，A和B成为下式。
[数1]
干涉度C＝B/A成为下式。
[数2]
此外，在此说明了由移相器143产生的偏移量为0、+π/2、+π、+3π/2的情况，但偏移量也可以是与它们不同的四个。另外，即使偏移量的数量(n的值)为三个或五个以上，也同样能够求出干涉度C。为了更准确地求出干涉度C，优选n的值大，但如果n的值过大，则获取累计强度的操作的次数(重复进行步骤S2～S5的次数)增加而需要时间，因此只要考虑准确性和时间来决定n的值即可。
如上所述那样求出的干涉度C反映了伴随被检查物体S的振动而引起的各点的振幅的差异。缺陷检测部18利用这样的振幅的差异依赖于各点的缺陷的有无的情况，根据基于累计强度的各点的分布得到的干涉度C的分布，来确定测定区域R中的缺陷的位置(步骤S8)。以上，本实施方式的缺陷检测装置10以及缺陷检测方法的一系列动作结束。
图4A和图4B示出使用本实施方式的缺陷检测装置10以及缺陷检测方法检测出被检查物体S的缺陷的实施例。图4A是利用普通的摄像机拍摄被检查物体S的表面而得到的图像。在被检查物体S的表面载置有硬币E。通过用电动锤子对该被检查物体S施加非周期性的振动，并且使参照激光的相位以上述四个偏移量变化，并且求出干涉光的累计强度，由此得到干涉度C的分布。在图4B中示出干涉度C的分布。在载置有硬币E的位置处，由于产生与被检查物体S的表面上的其它位置不同的振动，因此以与硬币E的周围不同的浓淡进行显示。而且，在图4B中用虚线包围的区域内出现了弯曲地朝向图的上下方向延伸且颜色比周围浓的线。该线表示在被检查物体S上产生了裂纹(缺陷)。该裂纹无法通过视觉观察或图4A的普通的摄像机的图像进行确认，通过本实施方式的缺陷检测装置10以及缺陷检测方法才能够检测出。
根据本实施方式的缺陷检测装置10以及缺陷检测方法，即使不使用激振装置，也能够检测被检查物体S的缺陷。因此，即使在被检查物体处于高处或水上等人难以靠近的场所而难以对被检查物体安装激振装置的情况下，也能够检测缺陷，并且能够抑制装置的成本。另外，即使在使用激振装置的情况下，也不需要产生规则的振动，能够使用廉价的装置。
本发明不限定于上述实施方式。例如，也可以如图5所示那样，代替缺陷检测装置10中的缺陷检测部18或者与缺陷检测部18一起设置显示部(显示器)19及显示控制部191，其中，显示部19显示干涉度C的分布(参照图4B)来作为基于测定区域R内的所述累计强度的分布的信息，显示控制部191控制显示部19以使得显示干涉度C的分布。在该情况下，使用者能够基于显示部19中显示的干涉度C的分布，通过视觉观察进行缺陷的检测。
另外，在上述实施方式的缺陷检测装置10中，使用了散斑剪切干涉仪14，但也可以取而代之地使用散斑干涉仪。关于散斑干涉仪，代替将从接近的点反射来的光用作参照光的情况，而使激光在激光光源与被检查物体之间分支，将其中一方设为向被检查物体照射并在该被检查物体上反射出的反射激光，将另一方设为参照光，从而得到两者的干涉光。移相器设置于反射激光的光路和参照激光的光路中的任一方或双方即可。
附图标记说明
10：缺陷检测装置；11：激光光源；12：照明光透镜；13：振动源；14：散斑剪切干涉仪；141：分束器；1421：第一反射镜；1422：第二反射镜；143：移相器；144：聚光透镜；145：成像传感器；15：激光光源控制部；16：累计强度决定部；17：干涉度分布生成部；18：缺陷检测部；19：显示部；191：显示控制部；D：缺陷；E：载置在被检查物体上的硬币；R：测定区域；S：被检查物体；X、Y：测定区域中的点。

Claims (11)

1.一种缺陷检测方法，其特征在于，
在被检查物体上产生了振动的状态下，以比该被检查物体上产生的振动的周期长的时间从激光光源向该被检查物体的表面的测定区域连续地或准连续地照射激光，
使任一个激光的相位偏移来三次以上地生成测定区域的多个点的累计强度，所述测定区域的多个点的累计强度是在比所述振动的周期长的累计时间内对所述激光在所述测定区域反射出的反射激光与从所述激光光源射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光的强度进行累计而得到的，
根据针对所述测定区域的所述多个点的各点在三个以上的所述相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布，基于该干涉度的分布来检测该测定区域中的缺陷，
其中，所述准连续地照射激光是指以与所述被检查物体的振动的周期及相位无关的周期及相位间歇性地照射激光，所述干涉度是指使所述干涉光的振幅除以背景光的强度所得到的值。
2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，
所述参照激光是使从所述激光光源射出的激光的一部分在所述测定区域的近前分支而得到的。
3.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，
所述参照激光是从所述激光光源射出并且在所述测定区域内被反射的激光。
4.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，
所述振动是在使用了所述被检查物体的环境下在该被检查物体上产生的环境振动。
5.根据权利要求4所述的缺陷检测方法，其特征在于，
由于对所述被检查物体附加的交通载荷而产生所述环境振动。
6.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，
通过激振单元对所述被检查物体施加所述振动。
7.根据权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，
所述激振单元是起振车、超声波振子、电动工具以及非电动的工具中的任一者。
8.一种缺陷检测装置，其特征在于，具备：
激光光源，其向被检查物体的表面的测定区域照射激光；
激光光源控制部，其控制所述激光光源，使得以比所述被检查物体上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；
干涉仪，其生成所述激光在测定区域反射出的反射激光与从所述激光光源射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；
检测器，其检测所述干涉光的在所述测定区域的多个点的强度；
移相器，其使所述反射激光和所述参照激光中的任意激光的相位偏移；
累计强度决定部，其通过所述移相器使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述测定区域的所述多个点的各点的强度进行累计所得到的累计强度；
干涉度分布生成部，其基于针对所述测定区域的所述多个点的各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及
缺陷检测部，其基于所述测定区域内的所述干涉度的分布，来检测该测定区域中的缺陷，
其中，所述准连续地输出激光是指以与所述被检查物体的振动的周期及相位无关的周期及相位间歇性地输出激光，所述干涉度是指使所述干涉光的振幅除以背景光的强度所得到的值。
9.根据权利要求8所述的缺陷检测装置，其特征在于，
所述参照激光是使从所述激光光源射出的激光的一部分在所述测定区域的近前分支而得到的。
10.根据权利要求8所述的缺陷检测装置，其特征在于，
所述参照激光是从所述激光光源射出并且在所述测定区域内被反射的激光。
11.根据权利要求8所述的缺陷检测装置，其特征在于，
代替所述缺陷检测部而具备显示部，或者在具备所述缺陷检测部的同时具备显示部，其中，所述显示部显示基于所述测定区域内的所述干涉度的分布的信息。
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